CN202823832U - 烘烤设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种烘烤设备，涉及显示面板的烘烤工艺领域，在烘烤过程中通过热气流的推动使基板漂浮，从而避免了基板受热不均或者由于静电释放造成破坏。该烘烤设备，包括：热风产生装置、底板和气管；所述底板上设置有多个气孔，所述气孔通过所述气管与所述热风产生装置连通。

Description

烘烤设备

技术领域

本实用新型涉及显示面板的烘烤工艺领域，尤其涉及一种烘烤设备。

背景技术

显示面板中的基板在制造过程中，烘烤是其中一项重要的工艺步骤，例如，对于基板上光刻胶的烘烤。

如图1所示，现有技术中的烘烤设备通常为热板上设置有多个支撑针（Pin），基板放置于Pin上，在烘烤的过程中，基板的下表面部分与Pin直接接触，部分裸露在空气中。由于基板的Pin接触部分和裸露部分的热传导方式差异较大，从而造成基板受热温度不均，另外，在烘烤的过程中，容易产生静电且在Pin的尖端释放，从而对基板造成破坏。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种烘烤设备，在烘烤过程中通过热气流的推动使基板漂浮，从而避免了基板受热不均或者由于静电释放造成破坏。

为解决上述技术问题，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种用于显示面板的烘烤设备，包括：

热风产生装置、底板和气管；

所述底板上设置有多个气孔，所述气孔通过所述气管与所述热风产生装置连通。

所述多个气孔在所述底板的上表面均匀分布。

所述多个气孔相互连通，通过一个或多个气管与热风产生装置相连通。

所述气孔与气管之间设置有第一密封结构，和/或所述气管与热风产生装置之间设置有第二密封结构。

所述气管包括设置于所述底板内部的内管和设置于所述底板外部的外管；

每根所述内管于至少一个气孔连通；

所述内管与外管相互连通；

所述外管与所述热风产生装置连通。

所述外管从所述底板的一个端面或相对两个端面或四个端面连通至内管，所述端面与上表面垂直。

所述底板上设置有水平限位结构。

所述水平限位结构为设置在底板上的多个限位块。

所述烘烤设备还包括：

能够穿过所述底板，降至所述底板的上表面之下的升降装置。

烘烤设备还包括：运送需要加工的基板至底板的基板运送装置。

本实用新型实施例中的烘烤设备，在烘烤过程中，由于通过热风的推力使基板悬浮于底板之上而不会与底板发生接触，从而避免了现有技术中基板受热不均或者由于静电释放造成破坏。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中一种烘烤设备的结构示意图；

图2为本实用新型实施例中一种烘烤设备的结构示意图；

图3为本实用新型实施例中另一种烘烤设备的结构示意图；

图4为本实用新型实施例中运送基板的示意图；

图5为本实用新型实施例中升降装置放置基板的示意图；

图6为图3中底板的俯视图；

图7为本实用新型实施例中一种烘烤设备的底板的剖面结构示意图；

图8为本实用新型实施例中一种烘烤设备的气管的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图2所示，该图为本实用新型实施例中一种烘烤设备的结构示意图。

本实用新型实施例提供了一种用于显示面板的烘烤设备，具体可以包括：

热风产生装置1、底板2和气管3。

底板2上设置有多个气孔21，气孔21通过气管3与热风产生装置1连通。

具体地，在烘烤过程中，热风产生装置1产生的热风通过气管3送至气孔21，进而使热风从气孔21向上排出，在热风的推力下，基板4悬浮于底板2之上而不会与底板2发生接触。

本实用新型实施例中的烘烤设备，在烘烤过程中，由于通过热风的推力使基板悬浮于底板之上而不会与底板发生接触，从而避免了现有技术中基板受热不均或者由于静电释放造成破坏。

进一步地，如图3所示，底板2上可以设置有水平限位结构22，水平限位结构22具体可以为多个限位块。

多个限位块的位置设定需要满足：使得放置后的基板4位于多个所述限位块之间，即阻止了基板4在水平平面内的各个方向移动，用于在基板4悬浮时限制基板4的水平位置。

进一步地，上述的烘烤设备，还可以包括：

用于在烘烤之前放置基板4的升降装置5，升降装置5能够穿过底板2上的穿孔，降至底板2的上表面之下。

进一步地，还可以包括：将需要加工的基板运送至底板的基板运送装置6，具体可以通过基板运送装置6的机械臂61完成夹持、运送和放置的操作。

进一步地，如图6所示，上述多个气孔21可以均匀分布在所述底板2的上表面。

具体地，上述气管3可以为硬质的管或者软质的管，具体可以采用保温材料制成，优选采用热的不良导体制成的管路，这样可以降低被传送的热风在传送过程中的热量损失。

为了减少热风的损失，在所述气孔与气管之间设置有第一密封结构，或在所述气管与热风产生装置之间设置有第二密封结构。当然优选方案是在气孔与气管之间设置有第一密封结构，同时在所述气管与热风产生装置之间设置有第二密封结构。

进一步地，如图7所示，多个气孔21相互连通，通过一个或多个气管3与热风产生装置1相连通。

进一步地，气管3可以包括设置于底板2内部的内管31和设置于底板2外部的外管32；每根内管31至少连通一个气孔21。内管31与外管32相互连通；外管32与热风产生装置1连通。

外管32可以从底板2的一个端面连通至内管31，所述端面与上表面垂直。

或如图8所示，外管32可以从底板2的相对两个端面连通至内管31，即从底板2的相对两个端面向气孔21输送热风，以使得各个气孔21的充入热风（气体）的气压较为平均，例如从两个端面分别向奇数列和偶数列的气孔21输送热风，或者同时向全部的气孔输送热风。

每根内管31可以如图8所示的连通同一条直线上的各个气孔21，不同的内管31之间也可以相互连通。在底板2的一个端面，可以为多根外管32分别连通不同的多根内管31，也可以为一根外管32同时连通于多根内管31。

可选地，外管32也可以从底板2的三个端面或者四个端面连通至内管31。

以下通过对基板的烘烤过程为例详细说明本发明实施例中的烘烤设备。

首先，如图4所示，基板4通过基板运送装置6的机械臂61运送至底板2的上方，升降装置5具体可以为多根支撑柱，同时升起并穿过机械臂61，从而托住基板4，如图5所示，完成了运送基板4的动作，机械臂61收回，需要说明的是，机械臂61上设置有用于使支撑柱穿过的槽位，在机械臂61收回时不会被支撑柱阻挡，然后放置有基板4的升降装置5下降，如图3所示，当基板4下降至靠近底板2的位置时，热风产生装置1开始产生热风，热风通过气管3输送至气孔21，从气孔21向上排出的热风对底板2上方附近的基板4产生推力，当升降装置5继续下降，基板4由于热风的推力悬浮在底板2上方不再继续下降，基板4的四周可以被水平限位结构22挡住，从而使基板4不与底板2直接接触，通过热风的强制对流方式对基板4进行烘烤。需要说明的是，热风的温度优选为100～130℃，在烘烤过程中，基板4与底板2之间的距离优选为3～5mm。

本实用新型实施例中的烘烤设备，在烘烤过程中，由于通过热风的推力使基板悬浮于底板之上而不会与底板发生接触，从而避免了现有技术中基板受热不均或者由于静电释放造成破坏。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种用于显示面板的烘烤设备，其特征在于，包括：

热风产生装置、底板和气管；

所述底板上设置有多个气孔，所述气孔通过所述气管与所述热风产生装置连通。

2.根据权利要求1所述的烘烤设备，其特征在于，

所述多个气孔在所述底板的上表面均匀分布。

3.根据权利要求2所述的烘烤设备，其特征在于，

所述多个气孔相互连通，通过一个或多个气管与热风产生装置相连通。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的烘烤设备，其特征在于，所述气孔与气管之间设置有第一密封结构，和/或所述气管与热风产生装置之间设置有第二密封结构。

5.根据权利要求1至3中任意一项所述的烘烤设备，其特征在于，

所述气管包括设置于所述底板内部的内管和设置于所述底板外部的外管；

每根所述内管于至少一个气孔连通；

所述内管与外管相互连通；

所述外管与所述热风产生装置连通。

6.根据权利要求5所述的烘烤设备，其特征在于，

所述外管从所述底板的一个端面或相对两个端面或四个端面连通至内管，所述端面与上表面垂直。

7.根据权利要求1至3中任意一项所述的烘烤设备，其特征在于，

所述底板上设置有水平限位结构。

8.根据权利要求7所述的烘烤设备，其特征在于，

所述水平限位结构为设置在底板上的多个限位块。

9.根据权利要求1至3中任意一项所述的烘烤设备，其特征在于，还包括：

能够穿过所述底板，降至所述底板的上表面之下的升降装置。

10.根据权利要求1至3中任意一项所述的烘烤设备，其特征在于，还包括：运送需要加工的基板至底板的基板运送装置。

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