CN106128984A - 倾斜式石英舟托 - Google Patents

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吴俊�
邹海军
吴佳俊
王少华
吴家宏
张凯胜
姚伟忠
孙铁囤
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Changzhou EGing Photovoltaic Technology Co Ltd
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    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
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Abstract

本发明涉及扩散炉管内的石英舟承载器件,尤其是一种倾斜式石英舟托,包括载托体,所述载托体上设置有凸起,当石英舟放置在该载托体上时,石英舟的一端位于载托体上,另一端位于凸起上,石英舟与水平面倾斜,石英舟上的硅片在重力作用下,均朝向远离凸起的一端倾斜,硅片之间始终保持一个均匀的间隔距离,不会两片挨在一起,达到均匀扩散的效果,本发明结构简单,成本低,增设凸起后,硅片的工艺数据提升明显。

Description

倾斜式石英舟托
技术领域
本发明涉及扩散炉管内的石英舟承载器件,尤其是一种倾斜式石英舟托。
背景技术
目前太阳能电池作为新兴的清洁可再生能源,在生活中得到很广泛的应用。扩散时太阳能电池生产中的一种关键工艺,通过扩散所形成的PN结,就是晶体硅太阳能电池的核心,在扩散过程中使用的硅片载体为石英舟,为了提升产能,行业内大多使用的是2.38mm间距的石英舟,较小的间距容易导致相邻硅片挨在一起,引发方阻不均匀,导致低效片的产生。
发明内容
本发明要解决的技术问题是:为了解决现有技术中在扩散过程中使用石英舟为载体承载硅片,石英舟中相邻硅片容易挨在一起的问题,现提供一种倾斜式石英舟托,该舟托可以使得放置在其上的石英舟中的硅片沿同一方向倾斜,相邻的两片硅片不会挨在一起,达到均匀扩散的效果。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种倾斜式石英舟托,用于承载石英舟,包括载托体,所述载托体上设置有凸起。
本方案中通过在载托体上设置凸起,当石英舟放置在该载托体上时,石英舟的一端位于载托体上,另一端位于凸起上,石英舟与水平面倾斜,石英舟上的硅片在重力作用下,均朝向远离凸起的一端倾斜,硅片之间始终保持一个均匀的间隔距离,不会两片挨在一起,达到均匀扩散的效果;如果改造石英舟,将其变为倾斜式石英舟需要改造自动化设备,费用较高。
进一步地,所述载托体包括两根托管,所述凸起设置在所述托管上。
进一步地,所述托管上具有若干承载段,同一根托管上的相邻两个承载段之间设置有隔断件,所述隔断件的两端分别与两根所述托管固定连接,同一根托管上的每个承载段内均设置一个所述凸起,每个所述凸起均位于其所在承载段的同一端。
进一步地,所述凸起的材质为石英。
优选地,所述凸起呈圆柱型。
优选地,所述石英舟放置在所述载托体上,所述石英舟的一端位于凸起上,另一端位于所述载托体上,所述石英舟与所述载托体之间的夹角为3°。
本发明的有益效果是:本发明的倾斜式石英舟托通过在载托体上设置凸起,当石英舟放置在该载托体上时,石英舟的一端位于载托体上,另一端位于凸起上,石英舟与水平面倾斜,石英舟上的硅片在重力作用下,均朝向远离凸起的一端倾斜,硅片之间始终保持一个均匀的间隔距离,不会两片挨在一起,达到均匀扩散的效果,本发明结构简单,成本低,增设凸起后,硅片的工艺数据提升明显。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明倾斜式石英舟托的示意图;
图2是本发明倾斜式石英舟托的示意图;
图3是本发明石英舟放置在倾斜式石英舟托上的示意图。
图中:1、载托体,101、托管,102、隔断件,2、凸起,3、石英舟,4、硅片。
具体实施方式
现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本发明的基本结构,因此其仅显示与本发明有关的构成。
实施例1
如图1-3所示,一种倾斜式石英舟托,用于承载石英舟3,包括载托体1,所述载托体1上设置有凸起2,所述载托体1包括两根托管101,所述凸起2设置在所述托管101上,所述托管101上具有两个承载段,同一根托管101上的相邻两个承载段之间设置有隔断件102,所述隔断件102的两端分别与两根所述托管101固定连接,同一根托管101上的每个承载段内均设置一个所述凸起2,每个所述凸起2均位于其所在承载段的同一端。
所述凸起2的材质为石英,所述凸起2呈圆柱型,所述石英舟3放置在所述载托体1上,所述石英舟3的一端位于凸起2上,另一端位于所述载托体1上,所述石英舟3与所述载托体1之间的夹角为3°。
本发明的倾斜式石英舟托的工作原理如下:
将石英舟3安放在改造后的石英舟托内,石英舟3的一端位于托管101上,另一端位于凸起2上,石英舟3与水平面倾斜,石英舟3上的硅片4在重力作用下,均朝向远离凸起2的一端倾斜,硅片4之间始终保持一个均匀的间隔距离,不会两片挨在一起,石英舟3内的硅片4倾斜方向与炉管气流方向保持一致,从而得到更好的方阻均匀性。
上述依据本发明的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (6)

1.一种倾斜式石英舟托,用于承载石英舟(3),其特征在于:包括载托体(1),所述载托体(1)上设置有凸起(2)。
2.根据权利要求1所述的倾斜式石英舟托,其特征在于:所述载托体(1)包括两根托管(101),所述凸起(2)设置在所述托管(101)上。
3.根据权利要求2所述的倾斜式石英舟托,其特征在于:所述托管(101)上具有若干承载段,同一根托管(101)上的相邻两个承载段之间设置有隔断件(102),所述隔断件(102)的两端分别与两根所述托管(101)固定连接,同一根托管(101)上的每个承载段内均设置一个所述凸起(2),每个所述凸起(2)均位于其所在承载段的同一端。
4.根据权利要求1所述的倾斜式石英舟托,其特征在于:所述凸起(2)的材质为石英。
5.根据权利要求1所述的倾斜式石英舟托,其特征在于:所述凸起(2)呈圆柱型。
6.根据权利要求1所述的倾斜式石英舟托,其特征在于:所述石英舟(3)放置在所述载托体(1)上,所述石英舟(3)的一端位于凸起(2)上,另一端位于所述载托体(1)上,所述石英舟(3)与所述载托体(1)之间的夹角为3°。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN108800953A (zh) * 2018-08-24 2018-11-13 洛阳恒立窑炉有限公司 一种管式电窑炉的料舟与加热管配合结构
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