CN202940221U - 一种扩散用石英舟 - Google Patents
一种扩散用石英舟 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202940221U CN202940221U CN 201220566492 CN201220566492U CN202940221U CN 202940221 U CN202940221 U CN 202940221U CN 201220566492 CN201220566492 CN 201220566492 CN 201220566492 U CN201220566492 U CN 201220566492U CN 202940221 U CN202940221 U CN 202940221U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- quartz
- boat
- quartzy
- crossbeams
- diffusion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种扩散用石英舟，包括石英舟架和设于所述石英舟架之间的三根石英横杆，所述石英横杆互相平行并垂直于所述石英舟架正面，所述石英横杆在所述石英舟架上呈倒等腰直角三角形分布，所述石英横杆上设有卡槽，三根所述石英横杆上的所述卡槽的宽度和间距一一对应。本实用新型所述的石英舟采用三根石英横杆固定所述硅片，比现有的石英舟采用四根石英横杆固定的方案节省一根石英横杆，不但降低了制作成本，节省原料，而且减小了石英横杆对待反应气体的阻挡，使硅片与待反应气体接触更充分。此外，所述石英横杆与所述硅片接触面减少了四分之一，减少了卡点导致的掺杂不均匀，提高了扩散均匀性。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶硅太阳电池制作工装领域，尤其涉及一种扩散用石英舟。
背景技术
石英舟是晶硅太阳电池扩散工序中用于承载硅片，将硅片置于扩散炉中反应的载具，具有耐高温和化学稳定性。
目前，在晶硅太阳电池扩散工序中，如图1所示，扩散用的石英舟是由石英舟架1和固定在石英舟架1上的四根石英横杆2组成，其中，平行的且间距较宽的两根石英横杆2在石英舟上部，剩下两根间距较窄的石英横杆2位于石英舟的底部，每根石英横杆2上设有垂直于该石英横杆的插槽3，该插槽3的数目、宽度相同且一一对应，将硅片固定于石英横杆2的卡槽内，并垂直于石英横杆2，且硅片上半部分位于石英舟的上方。
在扩散炉中，待反应气体是垂直于硅片扩散，而现扩散石英舟上的硅片是正立在石英舟上，易阻挡带待反应气体。此外，石英舟横杆、插槽阻挡了部分待反应气体。上述原因将导致待反应气体与硅片部分区域接触不充分，从而导致整个硅片掺杂不均匀。
发明内容
本实用新型实施例所要解决的技术问题在于，提供一种扩散用石英舟。可耐高温，耐腐蚀，并且能使置于石英舟内的硅片在扩散炉中稳定均匀地反应，加快反应效率，节省材料。
为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提供了一种扩散用石英舟，包括石英舟架和设于所述石英舟架之间的三根石英横杆,所述石英横杆互相平行并垂直于所述石英舟架正面,所述石英横杆在所述石英舟架上呈倒等腰直角三角形分布，所述石英横杆上设有卡槽,三根所述石英横杆上的所述卡槽的宽度和间距一一对应。
作为上述方案的改进，所述卡槽的宽度相等，间距相同。
作为上述方案的改进，所述石英横杆包括设于所述石英舟架上部的两根上石英横杆和设于所述石英舟架下部中间位置的下石英横杆。
作为上述方案的改进，所述上石英横杆上的卡槽槽底面向外倾斜45°。
作为上述方案的改进，所述下石英横杆上的卡槽两端向中间倾斜，形成“V”字型卡槽。
作为上述方案的改进，所述石英舟架为设于所述石英舟两端的石英板，所述石英板的底部设有石英支撑脚。
作为上述方案的改进，所述石英舟架外侧面设有把手，所述把手为两根垂直于所述石英舟架外侧面的石英圆柱。
实施本实用新型实施例，具有如下有益效果：
本实用新型所述的石英舟采用三根石英横杆固定，比现有的石英舟采用四根石英横杆固定所述硅片的方案节省一根石英横杆，降低了制作成本，节省原料。而且所述石英横杆与所述硅片接触面减少了四分之一，减少了卡点导致的掺杂不均匀，提高了扩散均匀性。
采用本实用新型，所述硅片呈菱形放置于所述石英舟内，减少了所述硅片对所述扩散炉内反应气体的阻挡，使反应更充分和掺杂更均匀。
附图说明
图1是现有的一种扩散用石英舟的结构示意图；
图2是本实用新型一种扩散用石英舟的结构示意图；
图3是本实用新型一种扩散用石英舟的又一结构示意图；
图4是本实用新型一种扩散用石英舟的使用状态图。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型作进一步地详细描述。
如图2至图4所示,一种扩散用石英舟，包括石英舟架1和设于所述石英舟架1之间的三根石英横杆2,所述石英横杆2互相平行并垂直于所述石英舟架1正面,所述石英横杆2在所述石英舟架1上呈倒等腰直角三角形分布，所述石英横杆2上设有卡槽3,三根所述石英横杆2上的所述卡槽3的宽度和间距一一对应。
优选地，所述卡槽3的宽度相等，间距相同。
优选地，所述石英横杆2包括设于所述石英舟架1上部的两根上石英横杆2a和设于所述石英舟架1下部中间位置的下石英横杆2b。
需要说明的是，本实用新型所述的石英舟采用三根石英横杆2固定，比现有的石英舟采用四根石英横杆2固定所述硅片的方案节省一根石英横杆2，大大降低了制作成本，节省原料。而且所述石英横杆2与所述硅片接触面减少了四分之一，减少了卡点导致的掺杂不均匀，提高了扩散均匀性。
采用本实用新型，所述硅片呈菱形放置于所述石英舟内，减少了所述硅片对所述扩散炉内反应气体的阻挡，使反应更充分和掺杂更均匀。
优选地，所述上石英横杆2a上的卡槽3槽底面向外倾斜45°。
优选地，所述下石英横杆2b上的卡槽3两端向中间倾斜，形成“V”字型卡槽4。
需要说明的是,根据本实用新型实施例,所述石英舟采用三根所述石英横杆2将硅片固定,所述下石英横杆2b用于支撑硅片底部,当硅片放置于所述石英舟中时,硅片的一角置于所述下石英横杆2b的“V”字型卡槽4中,此时硅片水平状态的两角分别置于所述上石英横杆2a的卡槽3中,硅片呈完全稳定放置状态。
优选地，所述石英舟架1为设于所述石英舟两端的石英板，所述石英板的底部设有石英支撑脚7。
需要说明的是，所述石英支撑脚7可以增大支撑点对地面的投影面积，增强所述石英舟的稳定性，同时节省材料。
优选地，所述石英舟架1外侧面设有把手5，所述把手5为两根垂直于所述石英舟架1外侧面的石英圆柱。
需要说明的是，所述把手5作为操作人员移动所述石英舟时的抓取部位，也可以作为进入扩散炉后的舟体支撑定位之用。
以上所揭露的仅为本实用新型一种较佳实施例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，因此依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属本实用新型所涵盖的范围。
Claims (7)
1.一种扩散用石英舟，其特征在于，包括石英舟架和设于所述石英舟架之间的三根石英横杆,所述石英横杆互相平行并垂直于所述石英舟架正面,所述石英横杆在所述石英舟架上呈倒等腰直角三角形分布，所述石英横杆上设有卡槽,三根所述石英横杆上的所述卡槽的宽度和间距一一对应。
2.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述卡槽的宽度相等，间距相同。
3.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述石英横杆包括设于所述石英舟架上部的两根上石英横杆和设于所述石英舟架下部中间位置的下石英横杆。
4.如权利要求3所述的石英舟，其特征在于，所述上石英横杆上的卡槽槽底面向外倾斜45°。
5.如权利要求4所述的石英舟，其特征在于，所述下石英横杆上的卡槽两端向中间倾斜，形成“V”字型卡槽。
6.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述石英舟架为设于所述石英舟两端的石英板，所述石英板的底部设有石英支撑脚。
7.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述石英舟架外侧面设有把手，所述把手为两根垂直于所述石英舟架外侧面的石英圆柱。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220566492 CN202940221U (zh) | 2012-10-31 | 2012-10-31 | 一种扩散用石英舟 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220566492 CN202940221U (zh) | 2012-10-31 | 2012-10-31 | 一种扩散用石英舟 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202940221U true CN202940221U (zh) | 2013-05-15 |
Family
ID=48324446
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201220566492 Expired - Lifetime CN202940221U (zh) | 2012-10-31 | 2012-10-31 | 一种扩散用石英舟 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202940221U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110534465A (zh) * | 2019-10-08 | 2019-12-03 | 江苏晟驰微电子有限公司 | 一种扩散硼淀积新型石英舟 |
| CN117133693A (zh) * | 2023-10-26 | 2023-11-28 | 江苏微导纳米科技股份有限公司 | 基片载具及镀膜设备 |
-
2012
- 2012-10-31 CN CN 201220566492 patent/CN202940221U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110534465A (zh) * | 2019-10-08 | 2019-12-03 | 江苏晟驰微电子有限公司 | 一种扩散硼淀积新型石英舟 |
| CN117133693A (zh) * | 2023-10-26 | 2023-11-28 | 江苏微导纳米科技股份有限公司 | 基片载具及镀膜设备 |
| CN117133693B (zh) * | 2023-10-26 | 2024-01-30 | 江苏微导纳米科技股份有限公司 | 基片载具及镀膜设备 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN202721112U (zh) | 一种纵向放片的石英舟 | |
| CN202940221U (zh) | 一种扩散用石英舟 | |
| CN102244142A (zh) | 一种太阳能电池生产用的石英舟及其插片与倒片方法 | |
| CN219303623U (zh) | 一种新型硼扩石英舟及承载石英舟的舟托 | |
| CN214753675U (zh) | 新型石英舟 | |
| CN102064233A (zh) | 面接触式石英舟 | |
| CN202022979U (zh) | 大容量石墨舟 | |
| CN203611547U (zh) | 一种用于pcb防焊印刷的装置 | |
| CN202564379U (zh) | 太阳能电池的网版结构 | |
| CN203967053U (zh) | 一种太阳能电池片用石英舟 | |
| CN105785251A (zh) | 一种硅块的少子寿命检测方法 | |
| CN106128984A (zh) | 倾斜式石英舟托 | |
| CN205265623U (zh) | 一种太阳能电池测试装置 | |
| CN202268378U (zh) | 一种晶体硅太阳能电池扩散用石英舟 | |
| CN102231406A (zh) | 一种用于太阳能电池硅片生产的石英舟 | |
| CN210012900U (zh) | 一种平板式pecvd设备用石墨框 | |
| CN205564795U (zh) | 一种石英舟结构 | |
| CN203292161U (zh) | 蓝宝石片清洗架 | |
| CN203990713U (zh) | 一种用于制作试管斜面培养基的可调式组合架 | |
| CN202677031U (zh) | 一种液晶面板及液晶显示器 | |
| CN203250725U (zh) | 一种太阳能硅片存储架 | |
| CN201975379U (zh) | 晶舟 | |
| CN201383494Y (zh) | 一种半导体高温热扩散舟 | |
| CN206864444U (zh) | 一种便携式石墨舟校准工具 | |
| CN219350167U (zh) | 一种分体舟托设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: No. 69, C District, Sanshui Industrial Park, Sanshui, Foshan, Guangdong Patentee after: GUANGDONG AIKO SOLAR ENERGY TECHNOLOGY Co.,Ltd. Address before: 528100, Sanshui District, Guangdong City, Foshan Industrial Park, No. C District, No. 69 Patentee before: GUANGDONG AIKO SOLAR ENERGY TECHNOLOGY Co.,Ltd. |
|
| CP03 | Change of name, title or address | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20180212 Address after: No. 69, C District, Sanshui Industrial Park, Sanshui, Foshan, Guangdong Co-patentee after: ZHEJIANG AIKO SOLAR ENERGY TECHNOLOGY Co.,Ltd. Patentee after: GUANGDONG AIKO SOLAR ENERGY TECHNOLOGY Co.,Ltd. Address before: No. 69, C District, Sanshui Industrial Park, Sanshui, Foshan, Guangdong Patentee before: GUANGDONG AIKO SOLAR ENERGY TECHNOLOGY Co.,Ltd. |
|
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20130515 |
|
| CX01 | Expiry of patent term |