CN214753675U - 新型石英舟 - Google Patents

新型石英舟 Download PDF

Info

Publication number
CN214753675U
CN214753675U CN202121450876.8U CN202121450876U CN214753675U CN 214753675 U CN214753675 U CN 214753675U CN 202121450876 U CN202121450876 U CN 202121450876U CN 214753675 U CN214753675 U CN 214753675U
Authority
CN
China
Prior art keywords
side board
quartz boat
pole
horizontal pole
horizontal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202121450876.8U
Other languages
English (en)
Inventor
陈庆敏
李丙科
张海洋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wuxi Songyu Technology Co ltd
Original Assignee
Wuxi Songyu Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wuxi Songyu Technology Co ltd filed Critical Wuxi Songyu Technology Co ltd
Priority to CN202121450876.8U priority Critical patent/CN214753675U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN214753675U publication Critical patent/CN214753675U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种新型石英舟,包括左侧板、右侧板和连接左侧板、右侧板的若干横杆,横杆包括一组上横杆和一组下横杆,左侧板和右侧板采用竖向设置,在左侧板和右侧板的外侧面上设有定位柱,在左侧板和右侧板之间的横杆采用与水平方向倾斜设置,上横杆与下横杆的相对表面上开设有连续的卡槽,横杆上的卡槽垂直于横杆的中心线。本实用新型制作工艺更加简单,节省成本,且结构稳定可靠,使用便捷,具有更好的工艺效果。

Description

新型石英舟
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制造设备领域,尤其是一种新型石英舟。
背景技术
太阳能光伏电池是一种把太阳的光能直接转化为电能的新型电池。目前通常使用的是以硅为基底的硅光伏电池,包括单晶硅、多晶硅和非晶硅光伏电池。太阳能光伏电池的制备过程中,硅片需要依次经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜以及印刷等工序。在光伏电池的制备过程中,在工艺炉(比如扩散炉或者沉积炉)中需要有承载硅片的舟体,并由推拉舟托起承载硅片的舟体将硅片送入工艺炉内,石英舟是一种常用的载片工具。现有的石英舟对硅片支撑的柱在舟的两侧,适用于硅片平行于炉口截面方向放置,在相同口径条件下,这样放置硅片的数量较低,不能充分利用炉口空间。如果将硅片垂直于炉口截面方向,将硅片的支撑杆设置在硅片的上下两侧,可以放入更多的硅片,通常情况下还需要将硅片倾斜放置,以满足更优的工艺,而现有的石英舟采用的是支撑杆水平设置并在支撑杆上开倾斜的槽口,工艺复杂,加工成本高。
实用新型内容
本申请人针对上述现有石英舟存在的支撑杆水平设置并开倾斜槽口,工艺复杂,加工成本高等缺点,提供了一种结构合理的新型石英舟,利用倾斜设置的上下两排横杆,使横杆上的卡槽垂直于横杆的中心线,实现硅片垂直于炉口截面方向且倾斜放置在石英舟上,工艺简单,节省成本,且稳定可靠。
本实用新型所采用的技术方案如下:
一种新型石英舟,包括左侧板、右侧板和连接左侧板、右侧板的若干横杆,横杆包括一组上横杆和一组下横杆,左侧板和右侧板采用竖向设置,在左侧板和右侧板的外侧面上设有定位柱,在左侧板和右侧板之间的横杆采用与水平方向倾斜设置,上横杆与下横杆的相对表面上开设有连续的卡槽,横杆上的卡槽垂直于横杆的中心线。
作为上述技术方案的进一步改进:
横杆与水平方向的倾斜角度为θ,θ为2°~10°。
横杆与水平方向的倾斜角度为θ,θ为2°。
上横杆和下横杆上的卡槽相互对应且间距相同,分别卡住硅片的相对两边。
横杆的数量为四个,上下各两个。
四个横杆相互平行围成一个长方体,四个横杆分别位于长方体的四个棱上。
定位柱垂直于左侧板和右侧板横向设置。
定位柱在左侧板和右侧板上各两个。
所述新型石英舟通过左右定位柱放置在石英舟托上。
本实用新型的有益效果如下:
本实用新型所述新型石英舟在左侧板和右侧板之间的横杆采用与水平方向倾斜设置,上横杆与下横杆的相对表面上开设有连续的卡槽,横杆上的卡槽垂直于横杆的中心线,上横杆和下横杆上的卡槽相互对应且间距相同,分别卡住硅片的相对两边,石英舟制作工艺更加简单,节省成本,且结构稳定可靠,使用便捷。横杆与水平方向的倾斜角度为θ,θ为2°~10°,经多次试验验证,这个区间内的倾斜角度使硅片放置后更好的贴合在一起,满足硅片倾斜放置的工艺优化要求,具有更好的工艺效果。
附图说明
图1为本实用新型的立体图。
图2为本实用新型的主视图。
图中:1、左侧板;2、右侧板;3、上横杆;4、下横杆;5、定位柱;6、卡槽;θ、横杆与水平方向的倾斜角度。
具体实施方式
下面结合附图,说明本实用新型的具体实施方式。
如图1和图2所示,本实用新型所述的新型石英舟包括左侧板1、右侧板2和连接左侧板1、右侧板2的若干横杆,横杆分为上下两排,包括一组上横杆3和一组下横杆4。左侧板1和右侧板2采用竖向设置,在左侧板1和右侧板2的外侧面上设有定位柱5,定位柱5垂直于左侧板1和右侧板2横向设置,定位柱5优选为左侧板1和右侧板2上各两个。在左侧板1和右侧板2之间的横杆采用与水平方向倾斜设置,倾斜角度为θ,θ为2°~10°,优选为2°。上横杆3与下横杆4的相对表面上开设有连续的卡槽6,横杆上的卡槽6垂直于横杆的中心线,上横杆3和下横杆4上的卡槽6相互对应且间距相同,分别卡住硅片的相对两边。硅片放置时处于竖向倾斜状态,与炉口截面垂直。石英舟通过左右定位柱5放置在石英舟托上,左侧板1和右侧板2位于石英舟托的两个侧栏内。
作为一种实施方式,横杆的数量优选为四个,四个横杆相互平行围成一个长方体,四个横杆分别位于长方体的四个棱上。四个横杆采用与水平方向倾斜设置,倾斜角度为θ,θ为2°~10°,优选为2°。两个上横杆3与两个下横杆4的相对表面上开设有连续的卡槽6,四个横杆上的卡槽6垂直于横杆的中心线,上下相互对应且间距相同,分别卡住硅片的相对两边。石英舟通过左右定位柱5放置在石英舟托上,左侧板1和右侧板2位于石英舟托的两个侧栏内。
本实用新型在实施时,通过自动化插片或取片,机械手抓起石英舟,在石英舟底部放置一个托板,然后旋转90°,使石英舟以垂直于侧板的方向为轴,自身转动90°,把石英舟放置在定位台面上,进行取放硅片的动作。此时上横杆3和下横杆4位于硅片的两侧,不会对取放硅片的操作造成影响。
以上描述是对本实用新型的解释,不是对实用新型的限定,在不违背本实用新型精神的情况下,本实用新型可以作任何形式的修改。

Claims (9)

1.一种新型石英舟,其特征在于:包括左侧板(1)、右侧板(2)和连接左侧板(1)、右侧板(2)的若干横杆,横杆包括一组上横杆(3)和一组下横杆(4),左侧板(1)和右侧板(2)采用竖向设置,在左侧板(1)和右侧板(2)的外侧面上设有定位柱(5),在左侧板(1)和右侧板(2)之间的横杆采用与水平方向倾斜设置,上横杆(3)与下横杆(4)的相对表面上开设有连续的卡槽(6),横杆上的卡槽(6)垂直于横杆的中心线。
2.根据权利要求1所述的新型石英舟,其特征在于:横杆与水平方向的倾斜角度为θ,θ为2°~10°。
3.根据权利要求1所述的新型石英舟,其特征在于:横杆与水平方向的倾斜角度为θ,θ为2°。
4.根据权利要求1所述的新型石英舟,其特征在于:上横杆(3)和下横杆(4)上的卡槽(6)相互对应且间距相同,分别卡住硅片的相对两边。
5.根据权利要求1所述的新型石英舟,其特征在于:横杆的数量为四个,上下各两个。
6.根据权利要求5所述的新型石英舟,其特征在于:四个横杆相互平行围成一个长方体,四个横杆分别位于长方体的四个棱上。
7.根据权利要求1所述的新型石英舟,其特征在于:定位柱(5)垂直于左侧板(1)和右侧板(2)横向设置。
8.根据权利要求1所述的新型石英舟,其特征在于:定位柱(5)在左侧板(1)和右侧板(2)上各两个。
9.根据权利要求1所述的新型石英舟,其特征在于:所述新型石英舟通过左右定位柱(5)放置在石英舟托上。
CN202121450876.8U 2021-06-28 2021-06-28 新型石英舟 Active CN214753675U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202121450876.8U CN214753675U (zh) 2021-06-28 2021-06-28 新型石英舟

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202121450876.8U CN214753675U (zh) 2021-06-28 2021-06-28 新型石英舟

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN214753675U true CN214753675U (zh) 2021-11-16

Family

ID=78630908

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202121450876.8U Active CN214753675U (zh) 2021-06-28 2021-06-28 新型石英舟

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN214753675U (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114551638A (zh) * 2022-01-21 2022-05-27 无锡松煜科技有限公司 一种石英舟插片方法和取片方法
CN114535037A (zh) * 2022-01-21 2022-05-27 无锡松煜科技有限公司 一种石英舟表面处理方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114551638A (zh) * 2022-01-21 2022-05-27 无锡松煜科技有限公司 一种石英舟插片方法和取片方法
CN114535037A (zh) * 2022-01-21 2022-05-27 无锡松煜科技有限公司 一种石英舟表面处理方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN214753675U (zh) 新型石英舟
CN219303623U (zh) 一种新型硼扩石英舟及承载石英舟的舟托
CN200967049Y (zh) 太阳能电池硅片专用清洗篮
WO2019196538A1 (zh) 一种pevcd卧式石墨舟结构
CN215896428U (zh) 新型倾斜式石英舟
CN206163498U (zh) 太阳能电池片及太阳能电池组件
CN211079326U (zh) 一种兼容大尺寸硅片的pecvd石墨载板
CN114551638A (zh) 一种石英舟插片方法和取片方法
CN106887478A (zh) P型perc双面太阳能电池、组件和系统
KR20130121377A (ko) 태양전지 제조용 사각 기판 탑재 보트
CN215799882U (zh) 异质结太阳电池加工设备载板上的硅片装载结构
CN211929453U (zh) 光伏电池片石墨舟
CN110137119B (zh) 一种石墨舟
CN211656074U (zh) 一种便于安装的太阳能电池片
CN210722973U (zh) 用于硅晶片清洗的耐腐蚀耐高温工装
CN209607715U (zh) 硅片镀膜用石墨舟
CN206763493U (zh) 一种用于硅片的花篮
CN219917099U (zh) 一种扩散及lpcvd石英舟
CN208127146U (zh) 一种用于太阳能电池功率测试的电极引出装置
CN220691980U (zh) 一种载片舟及反应炉
CN210527154U (zh) 一种光伏组件电池片放置周转工装
CN219192948U (zh) 一种电池串承载载体和电池串插取片系统
CN212848334U (zh) 一种石英舟硅片及沉积用装置
CN220526876U (zh) 一种硅片花篮
CN221041059U (zh) 一种兼容多尺寸硅片承载的花篮

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant