CN215896428U - 新型倾斜式石英舟 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种新型倾斜式石英舟,包括左侧板、右侧板和连接左侧板、右侧板的若干横杆,横杆包括一组上横杆和一组下横杆,左侧板和右侧板采用竖向设置,在左侧板和右侧板的外侧面上设有定位柱,在左侧板和右侧板之间的横杆采用与水平方向倾斜设置,上横杆与下横杆的相对表面上开设有连续的卡槽,横杆上卡槽的中线垂直于横杆,卡槽向两侧张开角度呈︺字形。本实用新型硅片成倾斜角度放置,且硅片与卡槽之间的接触是线接触而不是面接触,接触面积小,降低硅片被污染的可能性,减少污染风险。而且制作工艺更加方便,节省成本,且结构稳定可靠,使用便捷,在相同口径条件下可以放置更多的硅片。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制造设备领域,尤其是一种新型倾斜式石英舟。
背景技术
太阳能光伏电池是一种把太阳的光能直接转化为电能的新型电池。目前通常使用的是以硅为基底的硅光伏电池,包括单晶硅、多晶硅和非晶硅光伏电池。太阳能光伏电池的制备过程中,硅片需要依次经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜以及印刷等工序。在光伏电池的制备过程中,在工艺炉(比如扩散炉或者沉积炉)中需要有承载硅片的舟体,并由推拉舟托起承载硅片的舟体将硅片送入工艺炉内,石英舟是一种常用的载片工具。现有的石英舟对硅片支撑的柱在舟的两侧,适用于硅片平行于炉口截面方向放置,在相同口径条件下,这样放置硅片的数量较低,不能充分利用炉口空间。如果将硅片垂直于炉口截面方向,将硅片的支撑杆设置在硅片的上下两侧,可以放入更多的硅片,通常情况下还需要将硅片倾斜放置,以满足更优的工艺,而现有的石英舟采用的是支撑杆水平设置并在支撑杆上开倾斜的槽口,工艺复杂,加工成本高。
实用新型内容
本申请人针对上述现有石英舟存在的支撑杆水平设置并开倾斜槽口、工艺复杂、加工成本高等缺点,提供了一种结构合理的新型倾斜式石英舟,利用倾斜设置的上下两排横杆,使横杆上的卡槽垂直于横杆的中心线,实现硅片垂直于炉口截面方向且倾斜放置在石英舟上,工艺简单,节省成本,且减少硅片与横杆接触,降低污染风险。
本实用新型所采用的技术方案如下:
一种新型倾斜式石英舟,包括左侧板、右侧板和连接左侧板、右侧板的若干横杆,横杆包括一组上横杆和一组下横杆,左侧板和右侧板采用竖向设置,在左侧板和右侧板的外侧面上设有定位柱,在左侧板和右侧板之间的横杆采用与水平方向倾斜设置,上横杆与下横杆的相对表面上开设有连续的卡槽,横杆上卡槽的中线垂直于横杆,卡槽向两侧张开角度呈︺字形。
作为上述技术方案的进一步改进:
卡槽向两侧张开的角度为2°~50°。
卡槽向两侧张开的角度为20°。
横杆与水平方向的倾斜角度为2°~10°。
上横杆和下横杆上的卡槽相互对应且间距相同,分别卡住硅片的相对两边。
横杆的数量为四个,上下各两个。
四个横杆相互平行围成一个长方体,四个横杆分别位于长方体的四个棱上。
定位柱垂直于左侧板和右侧板横向设置。
定位柱在左侧板和右侧板上各两个。
所述新型倾斜式石英舟通过左右定位柱放置在石英舟托上。
本实用新型的有益效果如下:
本实用新型所述新型倾斜式石英舟在左侧板和右侧板之间的横杆采用与水平方向倾斜设置,上横杆与下横杆的相对表面上开设有连续的卡槽,横杆上卡槽的中线垂直于横杆,卡槽向两侧张开角度呈︺字形,上横杆和下横杆上的卡槽相互对应且间距相同,分别卡住硅片的相对两边,硅片成倾斜角度放置,且硅片与卡槽之间的接触是线接触而不是面接触,接触面积小,降低硅片被污染的可能性,减少污染风险。而且,本实用新型相对于现有技术而言,横杆上卡槽的中线垂直于横杆,制作工艺更加方便,节省成本,且结构稳定可靠,使用便捷。横杆与水平方向的倾斜角度为2°~10°,经多次试验验证,这个区间内的倾斜角度使硅片放置后的效果更佳,满足硅片倾斜放置的工艺优化要求,具有更好的工艺效果。本实用新型适用于硅片垂直于炉口截面的方向放置,在相同口径条件下可以放置更多的硅片,实用性强。
附图说明
图1为本实用新型的示意图。
图2为图1中的A部放大图。
图3为图1中的B部放大图。
图中:1、左侧板;2、右侧板;3、上横杆;4、下横杆;5、定位柱;6、卡槽;θ、横杆与水平方向的倾斜角度;α、卡槽的张开角度。
具体实施方式
下面结合附图,说明本实用新型的具体实施方式。
如图1至图3所示,本实用新型所述的新型倾斜式石英舟包括左侧板1、右侧板2和连接左侧板1、右侧板2的若干横杆,横杆分为上下两排,包括一组上横杆3和一组下横杆4。左侧板1和右侧板2采用竖向设置,在左侧板1和右侧板2的外侧面上设有定位柱5,定位柱5垂直于左侧板1和右侧板2横向设置,定位柱5优选为左侧板1和右侧板2上各两个。在左侧板1和右侧板2之间的横杆采用与水平方向倾斜设置,倾斜角度为θ,θ为2°~10°,优选为2°。上横杆3与下横杆4的相对表面上开设有连续的卡槽6,横杆上卡槽6的中线垂直于横杆,卡槽6向两侧张开角度呈︺字形,张开角度为α,α为2°~50°,优选为20°。上横杆3和下横杆4上的卡槽6相互对应且间距相同,分别卡住硅片的相对两边。硅片放置时处于竖向倾斜状态,与炉口截面垂直。石英舟通过左右定位柱5放置在石英舟托上,左侧板1和右侧板2位于石英舟托的两个侧栏内。
作为一种实施方式,横杆的数量优选为四个,四个横杆相互平行围成一个长方体,四个横杆分别位于长方体的四个棱上。四个横杆采用与水平方向倾斜设置,倾斜角度为θ,θ为2°~10°,优选为2°。两个上横杆3与两个下横杆4的相对表面上开设有连续的卡槽6,横杆上卡槽6的中线垂直于横杆,卡槽6向两侧张开角度呈︺字形,张开角度为α,α为2°~50°,优选为20°。上下横杆相互对应且间距相同,分别卡住硅片的相对两边。石英舟通过左右定位柱5放置在石英舟托上,左侧板1和右侧板2位于石英舟托的两个侧栏内。
本实用新型在实施时,通过自动化插片或取片,机械手抓起石英舟,在石英舟底部放置一个托板,然后旋转90°,使石英舟以垂直于侧板的方向为轴,自身转动90°,把石英舟放置在定位台面上,进行取放硅片的动作。此时上横杆3和下横杆4位于硅片的两侧,不会对取放硅片的操作造成影响。硅片成倾斜角度放置,且硅片与卡槽之间的接触是线接触而不是面接触,接触面积小,降低硅片被污染的可能性,减少污染风险。
以上描述是对本实用新型的解释,不是对实用新型的限定,在不违背本实用新型精神的情况下,本实用新型可以作任何形式的修改。
Claims (10)
1.一种新型倾斜式石英舟,其特征在于:包括左侧板(1)、右侧板(2)和连接左侧板(1)、右侧板(2)的若干横杆,横杆包括一组上横杆(3)和一组下横杆(4),左侧板(1)和右侧板(2)采用竖向设置,在左侧板(1)和右侧板(2)的外侧面上设有定位柱(5),在左侧板(1)和右侧板(2)之间的横杆采用与水平方向倾斜设置,上横杆(3)与下横杆(4)的相对表面上开设有连续的卡槽(6),横杆上卡槽(6)的中线垂直于横杆,卡槽(6)向两侧张开角度呈︺字形。
2.根据权利要求1所述的新型倾斜式石英舟,其特征在于:卡槽(6)向两侧张开的角度为2°~50°。
3.根据权利要求1所述的新型倾斜式石英舟,其特征在于:卡槽(6)向两侧张开的角度为20°。
4.根据权利要求1所述的新型倾斜式石英舟,其特征在于:横杆与水平方向的倾斜角度为2°~10°。
5.根据权利要求1所述的新型倾斜式石英舟,其特征在于:上横杆(3)和下横杆(4)上的卡槽(6)相互对应且间距相同,分别卡住硅片的相对两边。
6.根据权利要求1所述的新型倾斜式石英舟,其特征在于:横杆的数量为四个,上下各两个。
7.根据权利要求6所述的新型倾斜式石英舟,其特征在于:四个横杆相互平行围成一个长方体,四个横杆分别位于长方体的四个棱上。
8.根据权利要求1所述的新型倾斜式石英舟,其特征在于:定位柱(5)垂直于左侧板(1)和右侧板(2)横向设置。
9.根据权利要求1所述的新型倾斜式石英舟,其特征在于:定位柱(5)在左侧板(1)和右侧板(2)上各两个。
10.根据权利要求1所述的新型倾斜式石英舟,其特征在于:所述新型倾斜式石英舟通过左右定位柱(5)放置在石英舟托上。
Priority Applications (1)
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CN202122237237.XU CN215896428U (zh) | 2021-09-15 | 2021-09-15 | 新型倾斜式石英舟 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN115233186A (zh) * | 2022-07-20 | 2022-10-25 | 无锡松煜科技有限公司 | 一种改善lpcvd表面镀膜工艺的方法 |
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2021
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