CN220526876U - 一种硅片花篮 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于硅片花篮技术领域，具体涉及一种硅片花篮。本硅片花篮包括：两个平行设置的端板；四个或六个单面开齿芯杆，设于两个端板之间，且两两设置于端板的两侧；四个或六个双面开齿芯杆，置于四个或六个单面开齿芯杆围成的空间内，以形成均匀排列的三排硅片放置区。本实用新型的硅片花篮，在两个端板之间的四个或六个双面开齿芯杆置于四个或六个单面开齿芯杆围成的空间内，以形成均匀排列的三排硅片放置区，增加了硅片承载的排数，提高了产能。
Description
技术领域
本实用新型属于硅片花篮技术领域，具体涉及一种硅片花篮。
背景技术
花篮是一种广泛应用于太阳能电池、IC芯片、LED芯片等半导体制造领域的生产工具，其可以主要用于硅片的存放、刻蚀、搬运等。近年来，随着光伏行业的快速发展，行业内竞争愈演愈烈，对于花篮的使用要求也在不断变化。
现有的花篮，端板的规格为普通常见大小，最多只能装载两排的半片花篮，例如一排承载150片，两排最多承载300片半片花篮，产能太低。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种硅片花篮，设置三排硅片放置区，增加了硅片承载的排数，提高了产能。
为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种硅片花篮，包括：
两个平行设置的端板；四个或六个单面开齿芯杆，设于两个端板之间，且两两设置于端板的两侧；四个或六个双面开齿芯杆，置于四个或六个单面开齿芯杆围成的空间内，以形成均匀排列的三排硅片放置区。
进一步，所述单面开齿芯杆朝向硅片放置区的一侧阵列设置有若干个菱形齿。
进一步，所述双面开齿芯杆上对称设置有与单面开齿芯杆相适配的菱形齿。
进一步，各相邻的菱形齿的间距为4.1mm～4.3mm。
进一步，所述硅片花篮还包括：与硅片放置区对应设置的承载杆。
进一步，所述承载杆靠近硅片放置区的一侧设置有菱形齿。
进一步，所述端板沿硅片放置区的长度为419mm～421mm。
进一步，所述端板上设置有若干个外部设备连接用定位孔。
进一步，所述硅片花篮还包括：与承载杆对应设置的压杆。
本实用新型的有益效果是，本实用新型的硅片花篮，在两个端板之间的四个双面开齿芯杆置于四个单面开齿芯杆围成的空间内，以形成均匀排列的三排硅片放置区，增加了硅片承载的排数，提高了产能；将各相邻的菱形齿的间距设置为4.2mm，相比现有的硅片花篮，间距变小，可以装载更多的硅片。
本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型的第一实施例的俯视图；
图2是本实用新型的第一实施例的侧视图；
图3是本实用新型的第二实施例的俯视图；
图4是本实用新型的第三实施例的俯视图；
图5是本实用新型的第四实施例的俯视图。
图中：
端板1，定位孔11，单面开齿芯杆2，双面开齿芯杆3，硅片放置区4，承载杆5，菱形齿6，压杆7。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例1
如图1和图2所示，本实施例提供了一种硅片花篮，包括：两个平行设置的端板1；四个单面开齿芯杆2，设于两个端板1之间，且两两设置于端板1的两侧；四个双面开齿芯杆3，置于四个单面开齿芯杆2围成的空间内，以形成均匀排列的三排硅片放置区4。在两个端板1之间的四个双面开齿芯杆3置于四个单面开齿芯杆2围成的空间内，以形成均匀排列的三排硅片放置区4(图中的长方形框体代表了一排硅片放置区4)，增加了硅片承载的排数，提高了产能。
本实施例中，单面开齿芯杆2朝向硅片放置区4的一侧阵列设置有若干个菱形齿6，双面开齿芯杆3上对称设置有与单面开齿芯杆2相适配的菱形齿6；单面开齿芯杆2与双面开齿芯杆3相对的面均设置有菱形齿6，通过菱形齿6的设置形成了一层一层的硅片放置区4。
其中，各相邻的菱形齿6的间距为4.1mm～4.3mm。优选的，将各相邻的菱形齿6的间距设置为4.2mm，加工允许的误差为±0.02mm，相比现有的硅片花篮，间距变小，可以装载更多的硅片。单排装载范围为100-170片半片硅片，例如单排装载150片半片硅片，3排可装载450片半片硅片。
本实施例中，所述硅片花篮还包括：与硅片放置区4对应设置的承载杆5，承载杆5靠近硅片放置区4的一侧设置有菱形齿6；将承载杆5设置在硅片放置区4的一侧，使单面开齿芯杆2、双面开齿芯杆3以及承载杆5围成U型放置区域，几组菱形齿6均面向硅片放置区4，从而夹持硅片，通过设置承载杆5，实现对硅片的承载、对齐，提高了对硅片的支撑，且更加稳定。
本实施例中，所述端板1沿硅片放置区4的长度为419mm～421mm。优选的，将端板1沿硅片放置区4的长度设置为420mm，加工允许的误差为±0.3mm。
本实施例中，所述端板1上设置有若干个外部设备连接用定位孔11；通过定位孔11实现硅片花篮整体与外部设备的连接。
本实施例中，端板1采用铝合金板材或ABS板材或进口PP板材；单面开齿芯杆2和双面开齿芯杆3为一体注塑而成的实心芯杆。
实施例2
如图3所示，在实施例1的基础上，本实施例2提供了一种硅片花篮。与实施例1的区别在于，单面开齿芯杆2和双面开齿芯杆3设置为六个，承载硅片更加稳定。
实施例1和实施例2主要应用在硅片干法花篮中。
实施例3
如图4所示，在实施例1的基础上，本实施例3提供了一种硅片花篮。与实施例1的区别在于，所述硅片花篮还包括：与承载杆5对应设置的压杆7。通过设置压杆7，用于压住硅片，以防止硅片在后续的工艺中脱落。
其中，压杆7可以采用与单面开齿芯杆2或双面开齿芯杆3相同的结构，也可以采用不带齿的杆状结构。压杆7的两端设有凸起的卡接部，卡接部与端板1的卡接槽相连接。
本实施例3中，端板1为进口PVDF材质，单面开齿芯杆2和双面开齿芯杆3内部均具有碳纤内杆。
实施例4
如图5所示，在实施例3的基础上，本实施例4提供了一种硅片花篮。与实施例3的区别在于，单面开齿芯杆2和双面开齿芯杆3设置为六个，承载硅片更加稳定。
实施例3和实施例4主要应用在硅片湿法花篮中。
综上所述，本实用新型的硅片花篮，在两个端板1之间的四个双面开齿芯杆3置于四个单面开齿芯杆2围成的空间内，以形成均匀排列的三排硅片放置区4，增加了硅片承载的排数，提高了产能；将各相邻的菱形齿6的间距设置为4.2mm，相比现有的硅片花篮，间距变小，可以装载更多的硅片。
本申请中选用的各个器件(未说明具体结构的部件)均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
在本实用新型实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (9)
1.一种硅片花篮，其特征在于，包括：
两个平行设置的端板（1）；
四个或六个单面开齿芯杆（2），设于两个端板（1）之间，且两两设置于端板（1）的两侧；
四个或六个双面开齿芯杆（3），置于四个或六个单面开齿芯杆（2）围成的空间内，以形成均匀排列的三排硅片放置区（4）。
2.如权利要求1所述的硅片花篮，其特征在于，
所述单面开齿芯杆（2）朝向硅片放置区（4）的一侧阵列设置有若干个菱形齿（6）。
3.如权利要求2所述的硅片花篮，其特征在于，
所述双面开齿芯杆（3）上对称设置有与单面开齿芯杆（2）相适配的菱形齿（6）。
4.如权利要求3所述的硅片花篮，其特征在于，
各相邻的菱形齿（6）的间距为4.1mm～4.3mm。
5.如权利要求4所述的硅片花篮，其特征在于，
所述硅片花篮还包括：与硅片放置区（4）对应设置的承载杆（5）。
6.如权利要求5所述的硅片花篮，其特征在于，
所述承载杆（5）靠近硅片放置区（4）的一侧设置有菱形齿（6）。
7.如权利要求1所述的硅片花篮，其特征在于，
所述端板（1）沿硅片放置区（4）的长度为419mm～421mm。
8.如权利要求1所述的硅片花篮，其特征在于，
所述端板（1）上设置有若干个外部设备连接用定位孔（11）。
9.如权利要求6所述的硅片花篮，其特征在于，
所述硅片花篮还包括：与承载杆（5）对应设置的压杆（7）。
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2023
- 2023-08-07 CN CN202322119959.4U patent/CN220526876U/zh active Active
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