CN102244142A - 一种太阳能电池生产用的石英舟及其插片与倒片方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种太阳能电池生产用的石英舟及其插片与倒片方法。石英舟包括位于两侧的竖立设置的石英侧板、下石英棒、分别位于所述下石英棒的两侧上方的上石英棒,所述上石英棒的两端部分别与所述两侧的石英侧板的上部固定连接,上石英棒和下石英棒均沿水平方向延伸,上石英棒沿其长度方向设有多个开口朝内的上插槽,所述下石英棒沿其长度方向设有多个开口朝上的下插槽,所述上插槽与下插槽个数相同,且一一对应而形成沿水平方向并排的多个供硅片竖直插入且与插入的硅片之间具有间隙的插接部。本发明的石英舟,插片与倒片效率高,降低了人工的劳动强度和提高了生产效率。

Description

一种太阳能电池生产用的石英舟及其插片与倒片方法
技术领域
本发明涉及一种太阳能电池生产用的石英舟及其插片与倒片方法。
背景技术
目前,太阳能电池片生产过程中,使用的石英舟由4根水平挡杆和4根竖直杆构成整个石英舟的装载装置,其中4根水平挡杆上设有硅片插槽,硅片间隔的插在该硅片插槽内,4根竖直杆即为整个石英舟的4个支撑脚,且4根竖直杆的下端与石英舟底板烧结成型。同时硅片的插片与倒片均采用人工进行操作,存在明显缺点:(1)容易放错、放反、磕碎硅片等,放片间距很难相同,影响了工艺过程;(2)不可避免地人为接触到硅片表面,可能导致硅片污染报废,影响产品的品质;(3)倒片时,经过炉内高温处理后,冷却,将硅片自动倒入耐高温塑料硅片储存器中,避免了原先需要人工一片片取出,再一片片装入硅片储存器中;(4)人工劳动强度大,具有一定的危险性,且生产效率不高。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供一种太阳能电池生产用的石英舟。
本发明同时还要提供一种高效率的石英舟的插片与倒片方法。
为解决上述技术问题,本发明采用的一种技术方案是:
一种太阳能电池生产用的石英舟,其包括位于两侧的竖立设置的石英侧板、两端部分别与两侧的石英侧板的下部固定连接的下石英棒、分别位于所述下石英棒的两侧上方的上石英棒,所述上石英棒的两端部分别与所述两侧的石英侧板的上部固定连接,上石英棒和下石英棒均沿水平方向延伸,上石英棒沿其长度方向设有多个开口朝内的上插槽,所述下石英棒沿其长度方向设有多个开口朝上的下插槽,所述上插槽与下插槽个数相同,且一一对应而形成沿水平方向并排的多个供硅片竖直插入且与插入的硅片之间具有间隙的插接部。
优选地,两侧的所述上石英棒关于所述下石英棒的轴线轴对称。所述上插槽的中心线与下插槽的中心线垂直。在两个所述石英侧板的四个顶角位置开设有导向孔。
本发明采取的又一方案是:一种上述的太阳能电池生产用的石英舟的插片方法,其是通过自动插片机将多个硅片同时插入到石英舟的多个插接部内。
本发明采取的又一方案是:一种上述的太阳能电池生产用的石英舟的倒片方法,其是将石英舟的顶部与硅片存储器的底部对应叠加,且同时使石英舟的多个插接部与硅片存储器的硅片容纳槽的一一对应,然后将石英舟和硅片存储器一起翻转180°,利用硅片的自身重力将各插接部内的硅片转移到其所对应的硅片容纳槽内从而完成倒片。
在所述石英舟的两个所述石英侧板的四个顶角位置开设与硅片存储器底部的四个拐角位置的凸柱对应的导向孔,进行叠加时,使凸柱对准导向孔。
由于采用以上技术方案的实施,本发明与现有技术相比具有如下优点:
具有本发明结构的石英舟,可在自动插片机的作用下,实现了多片硅片同时自动插片,降低了人工的劳动强度。在进行倒片时,无需任何外力,即可直接将石英舟内的所有硅片同时倒入存储器中,取片速度块,提高了硅片的生产效率。
附图说明
    下面结合具体的实施例,对本发明做进一步详细的说明。
图1为根据本发明石英舟的主视示意图;
图2为根据本发明石英舟的俯视示意图;
图3为根据本发明石英舟的左视示意图;
图4为根据本发明存储器的主视示意图;
图5为根据本发明存储器的左视示意图;
其中:1、石英舟;10、上石英棒;11、下石英棒;12、石英侧板;100、上插槽;110、下插槽;2、硅片存储器;20、凸柱;21、硅片容纳槽;3、硅片;4、插接部。
具体实施方式
目前市场上,硅片储存器2是已知的,其具有多个并排排列的硅片容纳槽21,在硅片储存器2的底部四个角的位置各设有一个凸柱20。本发明根据硅片储存器2的结构特点对石英舟重新进行了设计,从而具备本发明结构的石英舟的插片与倒片效率大为提高。
如图1至图3所示,按照本实施例的石英舟1包括位于两侧的竖立设置的石英侧板12、两端部分别与两侧的石英侧板12的下部固定连接的下石英棒11、分别位于所述下石英棒11的两侧上方的上石英棒10,所述上石英棒10的两端部分别与所述两侧的石英侧板12的上部固定连接,上石英棒10和下石英棒11均沿水平方向延伸,上石英棒10沿其长度方向设有多个开口朝内的上插槽100,所述下石英棒11沿其长度方向设有多个开口朝上的下插槽110,所述上插槽100与下插槽110个数相同,且一一对应而形成沿水平方向并排的多个供硅片3竖直插入且与插入的硅片3之间具有间隙的插接部4。在将石英舟1与硅片存储器2叠起时,多个插接部4能够与硅片存储器2的多个硅片容纳槽21一一对应。另外,在两个石英侧板12的四个顶角位置各设有一与硅片储存器2的底部的凸柱20对应的导向孔120。
本实施例的石英舟工作时,首先由自动插片机将硅片3插入石英舟1的插接部4内,然后将插好硅片3的石英舟1,放入扩散炉内进行加工,加工完成后,取出带有硅片3的石英舟1进行冷却,然后将石英舟1的顶部与硅片储存器2的底部叠加,叠加时,使凸柱20对准导向孔120,完成叠加后,将石英舟1与硅片储存器2翻转180度,则硅片3在其自身重力下脱离各插接部4而进入到硅片容纳槽内21从而完成倒片。
本发明的石英舟,可避免原先需要人工一片片取出,再一片片装入硅片储存器中,实现了自动化倒片,降低了人工的劳动强度,自动化程度高,与耐高温塑料舟配合使用,加快了取片速度,提高了生产效率。
    以上对本发明做了详尽的描述,其目的在于让熟悉此领域技术的人士能够了解本发明的内容并加以实施,并不能以此限制本发明的保护范围,凡根据本发明的精神实质所作的等效变化或修饰,都应涵盖在本发明的保护范围内。

Claims (7)

1.一种太阳能电池生产用的石英舟,其特征在于:所述石英舟(1)包括位于两侧的竖立设置的石英侧板(12)、两端部分别与所述两侧的石英侧板(12)的下部固定连接的下石英棒(11)、分别位于所述下石英棒(11)的两侧上方的上石英棒(10),所述上石英棒(10)的两端部分别与所述两侧的石英侧板(12)的上部固定连接,所述上石英棒(10)和下石英棒(11)均沿水平方向延伸,所述上石英棒(10)沿其长度方向设有多个开口朝内的上插槽(100),所述下石英棒(11)沿其长度方向设有多个开口朝上的下插槽(110), 所述上插槽(100)与所述下插槽(110)个数相同,且一一对应而形成沿水平方向并排的多个供硅片竖直插入且与插入的硅片之间具有间隙的插接部(4)。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池生产用的石英舟,其特征在于:两侧的所述上石英棒(10)关于所述下石英棒(11)的轴线轴对称。
3.根据权利要求1所述的太阳能电池生产用的石英舟,其特征在于:所述上插槽(100)的中心线与所述下插槽(100)的中心线垂直。
4.根据权利要求1所述的太阳能电池生产用的石英舟,其特征在于:在两个所述石英侧板(12)的四个顶角位置开设有导向孔(120)。
5.一种权利要求1所述的太阳能电池生产用的石英舟的插片方法,其特征在于:该方法是通过自动插片机将多个硅片(3)同时插入到所述石英舟(1)的多个插接部(4)内。
6.一种权利要求1所述的太阳能电池生产用的石英舟的倒片方法,其特征在于:该方法是将石英舟(1)的顶部与硅片存储器(2)的底部对应叠加,且同时使石英舟(1)的多个插接部(4)与硅片存储器(2)的硅片容纳槽(21)一一对应,然后将石英舟(1)和硅片存储器(2)一起翻转180°,利用硅片(3)的自身重力将各插接部(4)内的硅片(3)转移到其所对应的硅片容纳槽(21)内从而完成倒片。
7.根据权利要求6所述的太阳能电池生产用的石英舟的倒片方法,其特征在于:在所述石英舟(1)的两个所述石英侧板(12)的四个顶角位置开设与硅片存储器(2)底部的四个拐角位置的凸柱(20)对应的导向孔(120),进行叠加时,使凸柱(20)对准导向孔(120)。
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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103268907A (zh) * 2013-05-30 2013-08-28 中节能太阳能科技(镇江)有限公司 一种pe工序半自动插片机
CN103855062A (zh) * 2012-11-30 2014-06-11 有研半导体材料股份有限公司 一种新型的用于晶圆二氧化硅背封膜生长过程的硅片承载装置和生长方法
CN106498501A (zh) * 2016-11-11 2017-03-15 桂林电子科技大学 一种立式扩散炉专用叠加型石英舟
CN108805929A (zh) * 2018-05-24 2018-11-13 广东拓斯达科技股份有限公司 插片方法、装置、系统、计算机设备和存储介质
CN109371383A (zh) * 2018-12-25 2019-02-22 南京爱通智能科技有限公司 一种适用于超大规模原子层沉积设备的载具
CN109385622A (zh) * 2018-12-25 2019-02-26 南京爱通智能科技有限公司 一种适用于超大产量的原子层沉积设备的流道结构
CN110140202A (zh) * 2016-12-30 2019-08-16 太阳能公司 半导体晶片承载器
CN110364465A (zh) * 2019-07-21 2019-10-22 常州时创能源科技有限公司 一种硅片承载用石英舟
CN110379751A (zh) * 2019-07-25 2019-10-25 常州时创能源科技有限公司 一种设有承载边框的硅片花篮
CN110921277A (zh) * 2019-12-25 2020-03-27 曾玲 一种倒片装置及倒片方法
CN111755565A (zh) * 2018-04-28 2020-10-09 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 一种太阳能电池表面钝化膜生产设备

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03159233A (ja) * 1989-11-17 1991-07-09 Tokyo Electron Ltd 熱処理炉装置
EP0884769A1 (en) * 1996-02-29 1998-12-16 Tokyo Electron Limited Heat-treating boat for semiconductor wafer
CN201247768Y (zh) * 2008-07-21 2009-05-27 深圳深爱半导体有限公司 夹取硅片的石英舟
CN201374326Y (zh) * 2009-02-26 2009-12-30 上海晶澳太阳能光伏科技有限公司 一种石英舟
CN101969085A (zh) * 2010-06-18 2011-02-09 常州亿晶光电科技有限公司 轻便型面接触式防污石英舟

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03159233A (ja) * 1989-11-17 1991-07-09 Tokyo Electron Ltd 熱処理炉装置
EP0884769A1 (en) * 1996-02-29 1998-12-16 Tokyo Electron Limited Heat-treating boat for semiconductor wafer
CN201247768Y (zh) * 2008-07-21 2009-05-27 深圳深爱半导体有限公司 夹取硅片的石英舟
CN201374326Y (zh) * 2009-02-26 2009-12-30 上海晶澳太阳能光伏科技有限公司 一种石英舟
CN101969085A (zh) * 2010-06-18 2011-02-09 常州亿晶光电科技有限公司 轻便型面接触式防污石英舟

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103855062A (zh) * 2012-11-30 2014-06-11 有研半导体材料股份有限公司 一种新型的用于晶圆二氧化硅背封膜生长过程的硅片承载装置和生长方法
CN103268907B (zh) * 2013-05-30 2015-10-14 中节能太阳能科技(镇江)有限公司 一种pe工序半自动插片机
CN103268907A (zh) * 2013-05-30 2013-08-28 中节能太阳能科技(镇江)有限公司 一种pe工序半自动插片机
CN106498501B (zh) * 2016-11-11 2019-03-12 桂林电子科技大学 一种立式扩散炉专用叠加型石英舟
CN106498501A (zh) * 2016-11-11 2017-03-15 桂林电子科技大学 一种立式扩散炉专用叠加型石英舟
CN110140202B (zh) * 2016-12-30 2023-02-28 迈可晟太阳能有限公司 半导体晶片承载器
CN110140202A (zh) * 2016-12-30 2019-08-16 太阳能公司 半导体晶片承载器
CN111755565A (zh) * 2018-04-28 2020-10-09 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 一种太阳能电池表面钝化膜生产设备
CN111755565B (zh) * 2018-04-28 2023-08-15 拉普拉斯新能源科技股份有限公司 一种太阳能电池表面钝化膜生产设备
CN108805929B (zh) * 2018-05-24 2021-06-01 广东拓斯达科技股份有限公司 插片方法、装置、系统、计算机设备和存储介质
CN108805929A (zh) * 2018-05-24 2018-11-13 广东拓斯达科技股份有限公司 插片方法、装置、系统、计算机设备和存储介质
CN109385622A (zh) * 2018-12-25 2019-02-26 南京爱通智能科技有限公司 一种适用于超大产量的原子层沉积设备的流道结构
CN109371383A (zh) * 2018-12-25 2019-02-22 南京爱通智能科技有限公司 一种适用于超大规模原子层沉积设备的载具
CN110364465A (zh) * 2019-07-21 2019-10-22 常州时创能源科技有限公司 一种硅片承载用石英舟
CN110364465B (zh) * 2019-07-21 2023-08-29 常州时创能源股份有限公司 一种硅片承载用石英舟
CN110379751A (zh) * 2019-07-25 2019-10-25 常州时创能源科技有限公司 一种设有承载边框的硅片花篮
CN110379751B (zh) * 2019-07-25 2024-02-13 常州时创能源股份有限公司 一种设有承载边框的硅片花篮
CN110921277A (zh) * 2019-12-25 2020-03-27 曾玲 一种倒片装置及倒片方法

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