CN203055879U - 一种用于硅片扩散制结的石英舟 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于硅片扩散制结的石英舟，包括上底板和下底板，上下底板之间设有左导向柱、右导向柱和后导向柱，左导向柱、右导向柱和后导向柱的内侧面均平行设置有复数个卡槽，所述卡槽与相邻卡槽位于同一平面且相互配合，形成硅片承载槽；所述下底板的底面设有一对与高温扩散炉配合的定位板。本实用新型设计得到了一种新的用于硅片扩散制结的石英舟，可以改变扩散制结步骤中硅片的放置形式，采用硅片水平放置的方式，使两片硅片更加紧密的粘合在一起，很好的解决了在扩散过程中因硅片分离而造成的绕射问题。

Description

一种用于硅片扩散制结的石英舟

技术领域

本实用新型涉及一种用于硅片扩散制结的石英舟，是太阳能电池生产过程中使用的一种辅助工具，属于太阳能领域。

背景技术

光伏发电是最具可持续发展理想特征的发电技术之一。常规的化石燃料日益消耗殆尽，在所有的可持续能源中，太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。目前，在所有的太阳能电池中，硅太阳能电池是得到大范围商业推广的太阳能电池之一，这是由于硅材料在地壳中有着极为丰富的储量，同时硅太阳能电池相比其他类型的太阳能电池，有着优异的电学性能和机械性能。在未来光伏技术的发展中，随着硅太阳能电池光电性能的进一步提高，硅材料价格的进一步降低，硅太阳能电池将在光伏领域占据重要的地位。

目前，硅太阳能电池的生产工艺已经工业化，其制造流程一般为：表面清洗及织构化、扩散、清洗刻蚀去边、镀膜、丝网印刷、烧结形成欧姆接触、测试。其中，用于制作PN结的扩散工序是核心工序之一。

现有的扩散工序普遍采用高温扩散炉进行扩散。生产时，首先在石英舟内插入硅片，然后将盛有硅片的石英舟转移到扩散炉内的碳化硅桨上，继而运行扩散工艺。常规的扩散工艺通常采用在同一卡槽中插两片靠在一起（即背靠背），进行单面扩散。然而，由于两片背靠背的硅片是竖直放置的，在高温扩散炉管中，由于气流的扰动或者硅片热应力造成硅片弯曲等原因，造成了两片硅片之间贴合不紧密，会出现扩散源绕射的问题，这对要求只做单面扩散的工艺造成很大困扰。

针对上述问题，现有的方法是采用掩模的方式来避免绕射，但该方法的工艺复杂，不仅增加了操作难度，而且成本较高。

发明内容

本实用新型目的是提供一种用于硅片扩散制结的石英舟。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于硅片扩散制结的石英舟，包括上底板和下底板，上下底板之间设有左导向柱、右导向柱和后导向柱，

左导向柱、右导向柱和后导向柱的内侧面均平行设置有复数个卡槽，所述卡槽与相邻卡槽位于同一平面且相互配合，形成硅片承载槽；

所述下底板的底面设有一对与高温扩散炉配合的定位板。

上文中，所述左导向柱、右导向柱和后导向柱的内侧面上均设有复数个卡槽，对于单个导向柱而言，这些卡槽是从上到下平行设置的；而对于3种导向柱之间而言，相邻卡槽之间是位于同一平面且相互配合的，形成硅片承载槽。因而这些硅片承载槽基本上是处于水平状态。本实用新型采用硅片基本水平的方式放置，依靠上面硅片自身的重量，压住下面的硅片，使得同一卡槽内两硅片贴紧，同时将卡槽宽度减小，使硅片不容易被气流吹动，这种硅片的放置方法，能够最大程度减少硅片的背面饶射。

所述左导向柱、右导向柱和后导向柱的数量可以根据实际情况设定，一般是各有2根。

上述技术方案中，所述硅片承载槽所在的平面的入口高于水平面，且其与水平面之间的夹角为3~15度。

上述技术方案中，所述上底板和下底板上均设有石英套管。

上述技术方案中，所述卡槽的宽度为0.5~0.7 mm。

上述技术方案中，所述左导向柱和右导向柱均向后倾斜设置。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有的优点是：

1、本实用新型设计得到了一种新的用于硅片扩散制结的石英舟，可以改变扩散制结步骤中硅片的放置形式，采用硅片水平放置的方式，使两片硅片更加紧密的粘合在一起，很好的解决了在扩散过程中因硅片分离而造成的绕射问题。

2．本实用新型在实现硅片水平放置的同时，进一步减小了卡槽的宽度，使硅片不容易被气流吹动，最大程度地减少了硅片的背面饶射。

3、本实用新型结构简单，便于制备，且具有良好的可操作性、实用性，适于推广应用。

4．本实用新型方便多种类型硅片进行扩散工艺，且其结构简单便于插片，充分考虑了现场的可操作性、安全性和工艺卫生的要求，具有积极的现实意义。

附图说明

图1是本实用新型实施例一的立体图；

图2是本实用新型实施例一的又一立体图；

图3是本实用新型实施例一中左导向柱的结构示意图；

图4是本实用新型实施例一中后导向柱的结构示意图；

图5是本实用新型实施例一中右导向柱的结构示意图。

其中：1、上底板；2、下底板；3、左导向柱；4、右导向柱；5、后导向柱；6、卡槽；7、定位板；8、石英套管。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例一

参见图1~5所示，一种用于硅片扩散制结的石英舟，包括上底板1和下底板2，上下底板之间设有左导向柱3、右导向柱4和后导向柱5，

左导向柱、右导向柱和后导向柱的内侧面均平行设置有复数个卡槽6，所述卡槽与相邻卡槽位于同一平面且相互配合，形成硅片承载槽；

所述下底板的底面设有一对与高温扩散炉配合的定位板7。

所述左导向柱3、右导向柱4和后导向柱5各有2根。

所述硅片承载槽所在的平面的入口高于水平面，且其与水平面之间的夹角为10度。

所述上底板和下底板上均设有石英套管8。

所述卡槽的宽度为0.6 mm。

所述左导向柱和右导向柱均向后倾斜设置。

Claims (5)

1.一种用于硅片扩散制结的石英舟，其特征在于：包括上底板(1)和下底板(2)，上下底板之间设有左导向柱(3)、右导向柱(4)和后导向柱(5)，

左导向柱、右导向柱和后导向柱的内侧面均平行设置有复数个卡槽(6)，所述卡槽与相邻卡槽位于同一平面且相互配合，形成硅片承载槽；

所述下底板的底面设有一对与高温扩散炉配合的定位板(7)。

2.根据权利要求1所述的用于硅片扩散制结的石英舟，其特征在于：所述硅片承载槽所在的平面的入口高于水平面，且其与水平面之间的夹角为3~15度。

3.根据权利要求1所述的用于硅片扩散制结的石英舟，其特征在于：所述上底板和下底板上均设有石英套管(8)。

4.根据权利要求1所述的用于硅片扩散制结的石英舟，其特征在于：所述卡槽的宽度为0.5~0.7 mm。

5.根据权利要求1所述的用于硅片扩散制结的石英舟，其特征在于：所述左导向柱和右导向柱均向后倾斜设置。

Images