CN202940219U - 一种石英舟 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种石英舟，包括舟架、设于所述舟架下部的下横杆和设于所述舟架上部的上横杆，所述上横杆两端设有滑块，所述舟架上设有滑槽，所述滑块设于所述滑槽内并可在所述滑槽内按预先设定的行程滑动；所述下横杆和所述上横杆上设有插槽。所述上横杆可以按照预先设定的行程滑动，并固定在特定的位置上，方便在不更换石英舟的情况下承载不同规格硅片。

Description

一种石英舟

技术领域

本技术属于晶硅太阳电池工装领域，具体的涉及一种石英舟。

背景技术

石英舟是晶硅太阳电池扩散工序中用于承载硅片，将硅片置于扩散炉中反应的载具，具有耐高温和化学稳定性。

目前，在晶硅太阳电池扩散工序中，如图1所示，扩散用的石英舟是由石英舟架1和固定在石英舟架1上的四根石英横杆2组成，其中，平行的且间距较宽的两根石英横杆2在石英舟上部，剩下两根间距较窄的石英横杆2位于石英舟的底部，每根石英横杆2上设有垂直于该石英横杆的插槽3，该插槽3的数目、宽度相同且一一对应，将硅片固定于石英横杆2的卡槽内，并垂直于石英横杆2，且硅片上半部分位于石英舟的上方。

综上所述,现有的扩散用石英舟的横杆是固定的,而目前主流硅片尺寸有5英寸、6英寸，不同尺寸的硅片需要更换不同型号的石英舟来存放，频繁更换不同型号的石英舟会加大生产成本，也增加了工人的工作量。

发明内容

本实用新型实施例所要解决的技术问题在于，提供一种石英舟。可适应不同规格的硅片承载任务，而且结构简单，易于操作。

为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提供了一种石英舟，包括舟架、设于所述舟架下部的下横杆和设于所述舟架上部的上横杆，所述上横杆两端设有滑块，所述舟架上设有滑槽，所述滑块设于所述滑槽内并可在所述滑槽内按预先设定的行程滑动；所述下横杆和所述上横杆上设有插槽。

作为上述方案的改进，所述滑槽为竖直对称设置在所述舟架上的竖滑槽，而且靠近所述舟架中心的所述竖滑槽深度比远离所述舟架中心的所述竖滑槽的深度大。

作为上述方案的改进，所述竖滑槽顶部设有开口，所述滑块可从所述开口离开或进入所述竖滑槽。

作为上述方案的改进，所述滑槽为所述舟架上对称设置的呈“V”字型摆放的四个斜滑槽。

作为上述方案的改进，所述斜滑槽的两端设有从所述舟架的顶部穿入的舟架止动孔，所述滑块竖直设有与所述舟架止动孔大小相同的滑块止动孔，当所述滑块滑动至所述斜滑槽两端时，所述舟架止动孔和所述滑块止动孔重合。

作为上述方案的改进，所述石英舟还包括与所述舟架止动孔和所述滑块止动孔大小相适应的插销，所述插销的长度大于所述舟架止动孔和所述滑块止动孔深度之和。

作为上述方案的改进，所述舟架底部设有支撑脚。

作为上述方案的改进，所述石英舟架外侧面设有把手，所述把手为两根垂直于所述石英舟架外侧面的石英圆柱。

实施本实用新型实施例，具有如下有益效果：

所述上横杆可以按照预先设定的行程滑动，并固定在特定的位置上，方便在不更换石英舟的情况下承载不同规格硅片。

所述上横杆通过在所述滑槽滑动的方式调节上横杆之间和下横杆之间的位置，操作简单，加快了工人的生产效率。

附图说明

图1是现有的一种扩散用石英舟的结构示意图；

图2是本实用新型一种扩散用石英舟的结构示意图；

图3是本实用新型一种扩散用石英舟一种实施例的结构示意图；

图4是本实用新型一种扩散用石英舟又一实施例的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型作进一步地详细描述。

如图2至图4所示，一种石英舟，包括舟架1、设于所述舟架1下部的下横杆5和设于所述舟架1上部的上横杆4，所述上横杆4两端设有滑块6，所述舟架1上设有滑槽，所述滑块6设于所述滑槽内并可在所述滑槽内按预先设定的行程滑动；所述下横杆5和所述上横杆4上设有插槽3。

需要说明的是，根据本实用新型实施例，所述下横杆5可以是一根，也可以是两根或者多根。所述插槽3依照所述下横杆5的数目适当改变所述插槽3的设置方向，如当所述下横杆5的数目为两根或多根时，所述上横杆4上的所述插槽3为竖直设置，所述下横杆5上的所述插槽3为水平并垂直于所述下横杆5设置；当所述下横杆5的数目为一根时，所述上横杆4的所述插槽3对称向外倾斜45°设置，所述下横杆5上的所述插槽3为在所述下横杆5上表面呈“V”型设置，以满足所述硅片的固定需求。

根据本实用新型的一种实施例，结合图2和图3，优选地，所述滑槽为竖直对称设置在所述舟架1上的竖滑槽7，而且靠近所述舟架1中心的所述竖滑槽7深度比远离所述舟架1中心的所述竖滑槽7的深度大。

优选地，所述竖滑槽7顶部设有开口，所述滑块6可从所述开口离开或进入所述竖滑槽7。

需要说明的是，本实施例的具体原理是：当需要承载不同规格的硅片时，所述上横杆4通过所述滑块6从所述竖滑槽7中水平向上移出，然后按照需要承载的硅片的规格选择不同的竖滑槽7，将所述上横杆4通过所述滑块6从所述竖滑槽7顶部的所述开口卡进所述舟架1，并且由于重力作用固定于所述竖滑槽7底部。

如初始时承载的是5英寸硅片，则所述上横杆4的所述滑块6置于靠内的两个竖滑槽7中；当需要变换为承载6英寸硅片时，则将所述上横杆4从所述竖滑槽7向上水平取出，然后卡进靠外的两个竖滑槽7中，此时所述上横杆4之间的距离会增大，所述上横杆4与所述下横杆5的垂直距离也会增大，适应了6英寸硅片尺寸增大的要求，而且操作简便，结构稳定。反之亦然。

根据本实用新型又一实施例，结合图2和图4，优选地，所述滑槽为所述舟架1上对称设置的呈“V”字型摆放的四个斜滑槽10。

优选地，所述斜滑槽10的两端设有从所述舟架1的顶部穿入的舟架止动孔11，所述滑块6竖直设有与所述舟架止动孔11大小相同的滑块止动孔（图中未画出），当所述滑块6滑动至所述斜滑槽10两端时，所述舟架止动孔11和所述滑块止动孔重合。

优选地，所述石英舟还包括与所述舟架止动孔11和所述滑块止动孔大小相适应的插销12，所述插销12的长度大于所述舟架止动孔11和所述滑块止动孔深度之和。

需要说明的是，本实施例通过所述滑块6在所述斜滑槽10内滑动，再从所述舟架止动孔11和所述滑块止动孔中插入插销12固定的方法改变所述上横杆4的水平距离和垂直距离。具体来说，如初始时承载的是6英寸硅片，所述滑块6应置于所述斜滑槽10的顶端，并由所述插销12固定；当需要改为承载5英寸硅片时，先将所述插销12拔出，使所述滑块6能在所述斜滑槽10内自由滑动。将所述滑块6滑至所述斜滑槽10的底部，插入所述插销12固定，整个变换操作即完成。此时所述上横杆4的水平距离减少，与所述下横杆5的垂直距离也相应减少，满足了5英寸硅片相对6英寸硅片的四边尺寸减小的要求，而且操作简便，结构牢固可靠。

优选地，所述舟架1底部设有支撑脚8。

需要说明的是，所述支撑脚8增大了所述石英舟相对所述底面的投影面积，增强了所述石英舟的稳定性，同时节省材料。

优选地，所述石英舟架1外侧面设有把手9，所述把手9为两根垂直于所述石英舟架1外侧面的石英圆柱。

需要说明的是，所述把手9作为操作人员移动所述石英舟时的抓取部位，也可以作为进入扩散炉后的舟体支撑定位之用。

以上所揭露的仅为本实用新型一种较佳实施例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，因此依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属本实用新型所涵盖的范围。

Claims (8)

1.一种石英舟，其特征在于，包括舟架、设于所述舟架下部的下横杆和设于所述舟架上部的上横杆，所述上横杆两端设有滑块，所述舟架上设有滑槽，所述滑块设于所述滑槽内并可在所述滑槽内按预先设定的行程滑动；所述下横杆和所述上横杆上设有插槽。

2.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述滑槽为竖直对称设置在所述舟架上的竖滑槽，而且靠近所述舟架中心的所述竖滑槽深度比远离所述舟架中心的所述竖滑槽的深度大。

3.如权利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述竖滑槽顶部设有开口，所述滑块可从所述开口离开或进入所述竖滑槽。

4.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述滑槽为所述舟架上对称设置的呈“V”字型摆放的四个斜滑槽。

5.如权利要求4所述的石英舟，其特征在于，所述斜滑槽的两端设有从所述舟架的顶部穿入的舟架止动孔，所述滑块竖直设有与所述舟架止动孔大小相同的滑块止动孔，当所述滑块滑动至所述斜滑槽两端时，所述舟架止动孔和所述滑块止动孔重合。

6.如权利要求5所述的石英舟，其特征在于，所述石英舟还包括与所述舟架止动孔和所述滑块止动孔大小相适应的插销，所述插销的长度大于所述舟架止动孔和所述滑块止动孔深度之和。

7.如权利要求1所述的石英舟,其特征在于,所述舟架底部设有支撑脚。

8.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述石英舟架外侧面设有把手，所述把手为两根垂直于所述石英舟架外侧面的石英圆柱。

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