CN107462269A - 气浮载台 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种气浮载台，至少包括底层以及顶层。底层具有第一开口、多个第一通道以及多个通孔。顶层配置在底层上方，并具有排列成阵列的多个第一气孔以及多个第二气孔。第一开口经由第一通道连通至第一气孔，以构成第一气流路径。通孔对应连通至第二气孔，以构成第二气流路径。气流经由第一气流路径与第二气流路径的其中一个从底层流至顶层外侧，或经由第一气流路径与第二气流路径的另一个从顶层流至底层外侧。本发明的气浮载台适于提供气流承载基板，并使基板维持水平效果。

Description

气浮载台

技术领域

本发明涉及一种用于检测的载台，尤其涉及一种用于检测的气浮载台。

背景技术

近年来，随着科技产业日益发达，电子产品已频繁地出现在日常生活中。其中，电子产品所用零件的精密度也为主要考量点。因此，相关的检测仪器便相应产生。举例而言，用于检测基板(例如玻璃)或其他待检测物品的检测仪器通常需配置有载台，以将基板配置在载台上进行相关检测。然而，若将基板直接放置在载台上使其直接接触，则基板容易造成损伤。因此，目前部分做法是将载台制作成气浮载台，使基板悬浮在其上。

更进一步地说，所述气浮载台适于提供气流用于承载基板或其他待检测物品。其中，气浮载台的进气口连接至供气装置。供气装置提供的气流从进气口进入气浮载台内部的气室或气流路径，并从出气口流出，使基板通过流出出气口的气流悬浮在气浮载台上。然而，从出气口流出的气流容易累积在气浮载台与基板之间，且特别是位在气浮载台中间部位的气流被外侧部位的气流包围而不易自发性散逸至外界。如此，气浮载台中间部位的气流累积造成基板中间部位鼓起，进而使基板难以维持水平效果来进行精密检测。

发明内容

本发明提供一种气浮载台，其适于提供气流承载基板，并使基板维持水平效果，以利进行精密的检测。

本发明的气浮载台至少包括底层以及顶层。底层具有第一开口、多个第一通道以及多个通孔。顶层配置在底层上方，并具有排列成阵列的多个第一气孔以及多个第二气孔。第一开口经由第一通道连通至第一气孔，以构成第一气流路径。通孔对应连通至第二气孔，以构成第二气流路径。气流经由第一气流路径与第二气流路径的其中一个从底层流至顶层外侧，或经由第一气流路径与第二气流路径的另一个从顶层流至底层外侧。

基于上述，本发明的气浮载台由彼此叠置的底层与顶层构成，且设置有由第一开口、第一通道与第一气孔彼此连通所构成的第一气流路径以及由通孔与第二气孔彼此连通所构成的第二气流路径，使得气流适于经由两气流路径的其中一个从底层流至顶层外侧，或经由两气流路径的另一个从顶层流至底层外侧，例如通过供气装置将气流经由第一气流路径从底层流至顶层外侧以承载基板，而气浮载台与基板之间的多余气流经由第二气流路径从顶层自然散逸至底层外侧。藉此，本发明的气浮载台适于提供气流承载基板，并使基板维持水平效果，以利进行精密的检测。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明

图1是依照本发明的一实施例的气浮载台的示意图；

图2是图1的底层的俯视示意图；

图3是图1的顶层的俯视示意图；

图4是依照本发明的另一实施例的气浮载台的示意图；

图5是图4的底层的俯视示意图；

图6是图4的中层的俯视示意图；

图7是图4的顶层的俯视示意图。

附图标记：

100、100a：气浮载台

110：底层

112：第一开口

114：第二开口

116：第一通道

116a：第一区段

116b：末段

116c：转折段

118：通孔

120：中层

122：第一连接孔

124：第二连接孔

126：第二通道

126a：第二区段

130：顶层

132：第一气孔

134：第二气孔

P1、P2、P3、P4：长度

U1、U2：单元

具体实施方式

图1是依照本发明的一实施例的气浮载台的示意图。请参考图1，在本实施例中，气浮载台100a包括底层110以及顶层130，而顶层130配置在底层110上方。也就是说，气浮载台100a是由底层110以及顶层130所构成的双层结构，其中底层110及顶层130依序叠置在一起，并通过固定件(例如螺丝)加以固定。并且，气浮载台100a适于提供气流用于承载基板(未示出)，例如是玻璃或其他待检测物品，以对基板进行精密的检测。

具体来说，在本实施例中，气浮载台100a还包括第一气流路径以及第二气流路径。气流适于经由第一气流路径与第二气流路径的其中一个从底层110流至顶层130外侧，或经由第一气流路径与第二气流路径的另一个从顶层130流至底层110外侧。更进一步地说，气浮载台100a的第一气流路径与第二气流路径的其中一个可连接至供气装置(未示出)，以提供气流至顶层130。如此，基板适于配置在气浮载台100a的顶层130上，并通过从第一气流路径与第二气流路径的其中一个流至顶层130的气流悬浮于气浮载台100a上。然而，气流持续从第一气流路径与第二气流路径的其中一个流出而维持承载基板，其中气浮载台100a外侧部分的气流可自发性散逸至外界，但中间部分的气流受到侧边部分的气流环绕，而容易累积在气浮载台100a与基板之间，而影响基板在气浮载台100a上的水平效果，进而影响基板的检测结果。因此，气浮载台100a的第一气流路径与第二气流路径的另一个可连接至排气装置(未示出)，以通过排气装置通过第一气流路径与第二气流路径的另一个将累积在气浮载台100a与基板之间的多余气流引导至底层110外侧，进而维持基板在气浮载台100a上的水平效果。基于上述，气浮载台100a的第一气流路径与第二气流路径彼此错开而未互相连通，以分别作为供气路径与排气路径。同时，用于构成上述气流路径的开口、连接孔、通道与气孔等结构制作在底层110及顶层130上且彼此连接，而其设计需使其所构成的两条气流路径彼此错开。以下将以图式依序说明各层结构与气流路径的连接方式。

图2是图1的底层的俯视示意图。图3是图1的顶层的俯视示意图。首先，请参考图2，在本实施例中，底层110具有第一开口112、第二开口114、多个第一通道116以及多个通孔118。第一开口112与第二开口114分设在底层110中央的相对两处且彼此不相连接，第一通道116连接至第一开口112，而通孔118分布在第一通道116周围，但第二开口114可依据需求省略制作。制作第二开口114的优点在于，气浮载台100a可在加入中层120后构成另一实施例的气浮载台100(显示在图4至图7，详见后续内容)，但本发明不以此为限制。再者，请参考图3，顶层130配置在底层110上方，并具有排列成阵列的多个第一气孔132以及多个第二气孔134，其中第一气孔132对应于前述第一通道116，而第二气孔134对应于前述通孔118。

藉此，请参考图2至图3，在本实施例中，在底层110及顶层130叠置在一起之后，第一开口112经由第一通道116连通至第一气孔132，以构成第一气流路径。类似地，通孔118对应连通至第二气孔134，以构成第二气流路径。换句话说，本实施例将各气流路径的开口(即第一开口112与通孔118)以及第一气流路径的主要流道(即第一通道116)制作于底层110，而各气流路径的气孔(即第一气孔132与第二气孔134)制作于顶层130。如此，第一气流路径与第二气流路径彼此错开而未互相连通，故气流适于经由第一气流路径与第二气流路径的其中一个，例如是第一气流路径，从底层110流至顶层130外侧，而用于承载基板，或经由第一气流路径与第二气流路径的另一个，例如是第二气流路径，从顶层130流至底层110外侧，以避免气流累积在气浮载台100a与基板之间。

举例来说，在本实施例中，未示出的供气装置可连接至第一开口112，使供气装置连接至第一气流路径。藉此，第一气流路径可作为供气路径，使供气装置所提供的气流从底层110的第一开口112经由第一通道116后从顶层130的第一气孔132流至顶层130外侧，而第一气孔132可作为供气孔，以提供气流用于承载基板。并且，第一气流路径通过单一第一开口112连接至供气装置，故供气装置只需通过一个控制阀(未示出)即可控制气流在第一气流路径中流动而从单一第一开口112流出多个第一气孔132，而易于提供气流至气浮载台100的顶层130而承载基板。相对地，第二气流路径可作为排气路径，使气浮载台100a与基板之间的多余气流自发性地经由顶层130的第二气孔134及底层110的通孔118而从顶层130自然散逸至底层110外侧，以避免气流累积在气浮载台100a与基板之间。

再者，请参考图2，在本实施例中，第一通道116包括多个第一区段116a与多个末段116b。第一区段116a与对应的末段116b彼此连接且垂直排列，其中第一区段116a连接第一开口112，并从位在底层110的第一开口112往外延伸，而最后段第一区段116a连接至位在底层110的对应的末段116b。并且，第一区段116a通过对应的末段116b连接至对应的第一气孔132。换句话说，由第一区段116a与末段116b串联而成的第一通道116于最后段末段116b的位置连接至顶层130上对应的第一气孔132(显示在图2与图3)。其中，各第一通道116由数量相同的第一区段116a(本实施例是五个)与末段116b(本实施例是两个)连接而成，故第一开口112经由第一通道116至对应的第一气孔132的长度相等(如图2所标示的虚线所代表的长度P1与P2相等)，且所经过的第一区段116a的数量与转折次数相同。并且，各第一通道116对称设置在第一开口112的相对两侧，而可利用二分法将气流等量均分。藉此，当第一气流路径作为供气路径时，底层110上的各第一通道116长度相等而可将从底层110的第一开口112进入的气流等量均分，而后使气流从顶层130的第一气孔132(显示在图3)等量地流出，进而使基板维持水平效果，且从每一第一气孔132流出的气流具有一致的流量、流速与压力(推动基板的推力)。

类似地，在本实施例中，各通孔118分别贯穿底层110而具有相同长度，且各第二气孔134分别贯穿顶层而具有相同长度，故通孔118连接至对应的第二气孔134的长度相等。并且，通孔118与第二气孔134分散于底层110与顶层130上。藉此，当第二气流路径作为排气路径时，气流可从顶层130的第二气孔134(显示在图3)经由底层110的通孔118等量地流至底层110外侧散逸，进而使基板维持水平效果。

此外，在本实施例中，第一通道116还包括多个转折段116c。所述第一区段116a通过对应的转折段116c连接至对应的末段116b，其中通孔118在垂直方向(即正视图2与图3的图面内的方向)上对应于转折段116c，而转折段116c绕过对应的通孔118。换句话说，第一通道116在最后段第一区段116a及第一段末段116b的交界处设置转折段116c，且转折段116c呈现圆弧状，而环绕在通孔118外侧，使第一通道116避开连接至通孔118，藉以使第一气流路径与第二气流路径彼此错开。

另外，请参考图3，在本实施例中，第一气孔132与第二气孔134排列成阵列，且任两相邻的第二气孔134对应被两排第一气孔132分隔。具体来说，数量为32个的第二气孔134排列成4x8的矩阵，数量为128个的第一气孔132排列成8x16的矩阵。并且，第一气孔132与第二气孔134彼此分散排列，构成12x24的矩阵，而第一气孔132与第二气孔134位在阵列中的不同行列而彼此错开。换句话说，在由第一气孔132与第二气孔134排列成的阵列中，由第一气孔132所构成的每一列或每一行中没有第二气孔134分布于其中，且由所构成的每一列或每一行中没有第一气孔132分布于其中。

更进一步地说，在本实施例中，第二气孔134对应排列在阵列中的第3i-1列与第3j-1行的交集，而第一气孔132对应排列在阵列中的第3i-2列、第3i列、第3j-2行与第3j行的交集，i与j分别为正整数的集合。举例而言，请参考图3，以i为1到8且j为1到4进行说明，第二气孔134对应排列在阵列中的第3i-1列与第3j-1行的交集，即第2列、第5列、第8列、第11列、第14列、第17列、第20列、第23列以及第2行、第5行、第8行、第11行的交集。类似地，第一气孔132对应排列在阵列中的第3i-2列、第3i列、第3j-2行与第3j行的交集，即第1列、第3列、第4列、第6列、第7列、第9列、第10列、第12列、第13列、第15列、第16列、第18列、第19列、第21列、第22列、第24列以及第1行、第3行、第4行、第6行、第7行、第9行、第10行、第12行的交集。

通过上述设计，在本实施例中，任两相邻的第二气孔134对应被两排第一气孔132分隔。举例来说，位在第2列第2行与第5列第2行的两相邻第二气孔134被位在第3列与第4列的两排第一气孔132分隔，且位在第5列第2行与第8列第2行的两相邻第二气孔134被位在第6列与第7列的两排第一气孔132分隔，以此类推。类似地，位在第2列第2行与第2列第5行的两相邻第二气孔134被位在第3行与第4行的两排第一气孔132分隔，且位在第2列第5行与第2列第8行的两相邻第二气孔134被位在第6行与第7行的第一气孔132分隔，以此类推。

另外，在本实施例中，第二气孔134对应排列在阵列中的第2列、第5列、第8列、第11列、第14列、第17列、第20列、第23列以及第2行、第5行、第8行、第11行的交集，而第一气孔132对应排列在阵列中的第1列、第3列、第4列、第6列、第7列、第9列、第10列、第12列、第13列、第15列、第16列、第18列、第19列、第21列、第22列、第24列以及第1行、第3行、第4行、第6行、第7行、第9行、第10行、第12行的交集。如此，位在第2列第2行的第二气孔134被位在第1列第1行、第1列第3行、第3列第1行与第3列第3行的四个第一气孔132包围，如图4左上角所标示的单元U1所示。类似地，位在第5列第2行的第二气孔134被位在第4列第1行、第4列第3行、第6列第1行与第6列第3行的四个第一气孔132包围，如图4左上角所标示的单元U2所示。如此，上述由四个第一气孔132包围一个第二气孔134所构成的单元U1、单元U2依序分布在顶层130上构成所述阵列，故第二气孔134可有效地被第一气孔132区隔开，且第二气孔134均匀分布在第一气孔132之间。换句话说，每个第二气孔134周围被四个第一气孔132包围(例如图7所显示的单元U1、单元U2)，使得第二气孔134可有效地被第一气孔132区隔开，且第二气孔134均匀分布在第一气孔132之间。

基于上述设计，本实施例将数量较多的第一气孔132作为供气孔而用于提供充足的气流至顶层130来承载基板，而数量较少且分布在第一气孔132之间的第二气孔134可用于排出多余气流，藉以调整顶层130与基板之间对应区域的气流量。然而，本发明不以此为限制，其可依据需求调整。藉此，气浮载台100a适于提供气流承载基板，并使基板维持水平效果，以利进行精密的检测。然而，本发明的气浮载台不限于上述实施方式。

图4是依照本发明的另一实施例的气浮载台的示意图。图5是图4的底层的俯视示意图。图6是图4的中层的俯视示意图。图7是图4的顶层的俯视示意图。请参考图4至图7，在本实施例中，气浮载台100包括底层110、中层120以及顶层130，其中顶层130配置在底层110上方，而中层120配置在底层110及顶层130之间。也就是说，气浮载台100是由底层110、中层120以及顶层130所构成的三层结构，其中底层110、中层120及顶层130依序叠置在一起，并通过固定件(例如螺丝)加以固定。并且，气浮载台100适于提供气流用于承载基板(未示出)，例如是玻璃或其他待检测物品，以对基板进行精密的检测。由此可知，气浮载台100与前述气浮载台100a具有类似的结构，其主要差异在于，气浮载台100还包括中层120。

具体来说，请参考图5，在本实施例中，底层110具有第一开口112、第二开口114、多个第一通道116以及多个通孔118。第一开口112与第二开口114分设在底层110中央的相对两处且彼此不相连接，第一通道116连接至第一开口112，而通孔118分布在第一通道116周围。接着，请参考图6，中层120具有多个第一连接孔122、第二连接孔124以及多个第二通道126。第一连接孔122对应于前述第一通道116。第二连接孔124对应于前述第二开口114，并连接至第二通道126，而第二通道126对应至前述的通孔118。接着，请参考图7，顶层130配置在底层110与中层120上方，并具有排列成阵列的多个第一气孔132以及多个第二气孔134。第一气孔132对应于前述第一连接孔122，而第二气孔134对应于前述第二通道126与通孔118。由此可知，本实施例的气浮载台100与前述气浮载台100a所使用的底层110与顶层130可具有类似设计，故有关底层110(包括第一开口112、第二开口114、第一通道116及通孔118)及顶层130(包括第一气孔132及第二气孔134)的实施方式可参考前述内容，在此不多加赘述。

藉此，请参考图5至图7，在本实施例中，在底层110、中层120及顶层130叠置在一起之后，第一开口112通过第一通道116连接至第一连接孔122，并经由第一通道116与第一连接孔122连通至第一气孔132，以构成第一气流路径。类似地，第二开口114通过第二连接孔124连接至第二通道126，并经由第二连接孔124与第二通道126连通至第二气孔134，以构成第二气流路径。另外，在本实施例中，第二通道126制作在中层120上，但不贯穿中层120(例如是制作在中层120上的沟渠)。如此，本实施例的通孔118并不连通至第二通道126，故底层110也可依据需求省略制作通孔118。制作通孔118的优点在于，气浮载台100可在移除中层120后即构成前述气浮载台100a(显示在图1至图3，详见前述内容)，但本发明不以此为限制。然而，在其他实施例中，当第二通道126贯穿中层120时，通孔118也可能连通至第二通道126，本发明不以此为限制。

由此可知，本实施例将各气流路径用于连接供气装置或排气装置的开口(即第一开口112与第二开口114)制作于底层110，而各气流路径的气孔(即第一气孔132与第二气孔134)制作于顶层130。并且，第一气流路径的主要流道(即第一通道116)制作在底层110，而第二气流路径的主要流道(即第二通道126)制作在中层120。如此，第一气流路径与第二气流路径彼此错开而未互相连通，故气流经由第一气流路径与第二气流路径的其中一个从底层110流至顶层130外侧，而用于承载基板，或经由第一气流路径与第二气流路径的另一个从顶层130流至底层110外侧，以避免气流累积在气浮载台100与基板之间。

举例来说，在本实施例中，未示出的供气装置可连接至第一开口112与第二开口114的其中一个，例如是连接至第一开口112，使供气装置连接至第一气流路径。藉此，第一气流路径可作为供气路径，使供气装置所提供的气流从底层110的第一开口112经由底层110的第一通道116与中层120的第一连接孔122后从顶层130的第一气孔132流至顶层130外侧，而第一气孔132可作为供气孔，以提供气流用于承载基板。相对地，未示出的排气装置可连接至第一开口112与第二开口114的另一个，例如是连接至第二开口114，使排气装置连接至第二气流路径。藉此，第二气流路径可作为排气路径，而第二气孔134可作为排气孔，使排气装置可将气浮载台100与基板之间的多余气流从顶层130的第二气孔134经由中层120的第二通道126与第二连接孔124后引导至从底层110的第二开口114流至底层110外侧，以避免气流累积在气浮载台100与基板之间。

另外，在本实施例中，第一气流路径通过单一第一开口112连接至供气装置，故供气装置只需通过一个控制阀(未示出)即可控制气流在第一气流路径中流动而从单一第一开口112流出多个第一气孔132，而易于提供气流至气浮载台100的顶层130而承载基板。类似地，第二气流路径也通过单一第二开口114连接至排气装置，故排气装置只需通过一个控制阀(未示出)即可控制气流在第二气流路径中流动而从多个第二气孔134流出单一第二开口114，而易于调整气浮载台100与基板之间的多余气流。然而，在其他实施例中，上述第一气流路径与第二气流路径的用途可对调使用，即以第一气流路径作为排气路径使第一气孔132作为排气孔，并以第二气流路径作为供气路径使第二气孔134可作为供气孔。本发明并不限于上述实施方式，其可依据需求调整。

再者，请参考图5，在本实施例中，第一通道116包括多个第一区段116a、多个末段116b。有关第一通道116的描述可参考前述内容，在此不多加赘述。第一区段116a与末段116b串联成第一通道116，而第一通道116以第一区段116a连接第一开口112且于最后段末段116b的位置通过中层120上对应的第一连接孔122连接至顶层130上对应的第一气孔132(显示在图3与图4)。其中，各第一通道116由数量相同的第一区段116a(本实施例是五个)与末段116b(本实施例是两个)连接而成，故第一开口112经由第一通道116与第一连接孔122至对应的第一气孔132的长度相等(如图5所标示的虚线所代表的长度P1与长度P2相等)，且所经过的第一区段116a的数量与转折次数相同。并且，各第一通道116对称设置在第一开口112的相对两侧，而可利用二分法将气流等量均分。藉此，当第一气流路径作为供气路径时，底层110上的各第一通道116长度相等而可将从底层110的第一开口112进入的气流等量均分，而后使气流从中层120的第一连接孔122(显示在图6)与顶层130的第一气孔132(显示在图7)等量地流出，进而使基板维持水平效果，且从每一第一气孔132流出的气流具有一致的流量、流速与压力(推动基板的推力)。相反地，当第一气流路径作为排气路径时，底层110的第一通道116可将气浮载台100与基板之间的多余气流等量地从顶层130的第一气孔132与中层120的第一连接孔122引导至底层110的第一开口112后流出底层110外侧。

类似地，请参考图6，在本实施例中，第二通道126包括多个第二区段126a。第二区段126a彼此连接且垂直排列，并从位在中层120的第二连接孔124往外延伸。并且，第二区段126a连接至对应的第二气孔134。换句话说，由第二区段126a串联而成的第二通道126于最后段第二区段126a的位置连接至顶层130上对应的第二气孔134(显示在图7)。其中，各第二通道126由数量相同的第二区段126a(本实施例是五个)连接而成，故第二开口114经由第二连接孔124与第二通道126至对应的第二气孔134长度相等(如图6所标示的虚线所代表的长度P3与长度P4相等)，且所经过的第二区段126a的数量与转折次数相同。并且，各第二通道126对称设置在第二连接孔124的相对两侧，而可利用二分法将气流等量均分。藉此，当第二气流路径作为供气路径时，中层120上的各第二通道126长度相等而可将从底层110的第二开口114(显示在图5)与中层120的第二连接孔124(显示在图6)进入的气流等量均分，而后使气流从顶层130的第二气孔134(显示在图7)等量地流出，进而使基板维持水平效果，且从每一第二气孔134流出的气流具有一致的流量、流速与压力(推动基板的推力)。相反地，当第二气流路径作为排气路径时，中层120的第二通道126可将气浮载台100与基板之间的多余气流等量地从顶层130的第二气孔134引导至中层120的第二连接孔124与底层110的第二开口114后流出底层110外侧。

再者，在本实施例中，位在底层110上的第一通道116与位在中层120上的第二通道126具有类似设计。详细而言，第一区段116a与第二区段126a在垂直方向(即正视图2与图3的图面内的方向)上彼此对应，且第一区段116a与第二区段126a在垂直方向上的正投影彼此重叠。换句话说，从垂直方向(正视图2与图3的图面内的方向)来看，第一通道116的第一区段116a与第二通道126的第二区段126a具有类似设计而彼此对应。

然而，为使第一气流路径与第二气流路径彼此错开而彼此不连通，除了将第一通道116与第二通道126分别制作在底层110与中层120之外，本实施例还在第一通道116设计前述的末端116b，而所述末端116b从最后段第一区段116a往外延伸。换句话说，第一通道116在底层110上的结构设计与分布区域与第二通道126在中层120上的结构设计与分布区域大致上相似(第一区段116a与第二区段126a在垂直方向上的正投影彼此重叠)，差别在于第一通道116还通过末段116b的设计往外延伸，使连接第二通道126的第二气孔134与连接第一通道116的第一气孔132在顶层130上彼此分散排列，藉此使由第一开口112、第一通道116、第一连接孔122与第一气孔132所构成的第一气流路径以及由第二开口114、第二连接孔124、第二通道126与第二气孔134所构成的第二路径彼此错开。

此外，在本实施例中，当底层110设置有通孔118时，第一通道116还包括多个转折段116c。所述第一区段116a通过对应的转折段116c连接至对应的末段116b，其中通孔118在垂直方向(即正视图5与图7的图面内的方向)上对应于转折段116c，而转折段116c绕过对应的通孔118。换句话说，第一通道116在最后段第一区段116a及第一段末段116b的交界处设置转折段116c，使第一通道116避开连接至通孔118。然而，在省略制作通孔118的实施方式中，第一通道116也可省略制作转折段116c(有关制作通孔118的优点请参照前述说明)。

另外，在本实施例中，由于第一通道116(由第一区段116a、转折段116c与末段116b构成)相较于第二通道126(由第二区段126a构成)多了转折段116c与末段116b的设计，故第一通道116的长度较第二通道126的长度长，且第一通道116的转折数且第二通道126的转折数多，藉此使对应连接至第一通道116的第一气孔132的数量多于对应连接至第二通道126的第二气孔134及通孔118。并且，由于本实施例的各第一通道116采用两段末段116b，故第一气孔132的数量为第二气孔134的数量的四倍。更进一步地说，由于第一通道116与第二通道126各自对称设置在第一开口112与第二开口114的相对两侧，并通过二分法将气流等量均分但本发明不以此为限制，其可依据需求调整。

请参考图7，在本实施例中，第一气孔132与第二气孔134排列成阵列，其中任两相邻的第二气孔134对应被两排第一气孔132分隔，且第一气孔132与第二气孔134位在阵列中的不同行列而彼此错开。换句话说，在由第一气孔132与第二气孔134排列成的阵列中，由第一气孔132所构成的每一列或每一行中没有第二气孔134分布于其中，且由所构成的每一列或每一行中没有第一气孔132分布于其中。更进一步地说，任两相邻的第二气孔134对应被两排第一气孔132分隔。有关第一气孔132与第二气孔134的描述请参考内容，在此不多加赘述。如此，每一个第二气孔134周围被四个第一气孔132包围(例如图7所显示的单元U1、单元U2)，使得第二气孔134可有效地被第一气孔132区隔开，且第二气孔134均匀分布在第一气孔132之间。

基于上述设计，本实施例倾向于将第二气孔134作为排气孔(第二气流路径作为排气路径)，并将第一气孔132作为供气孔(第一气流路径作为供气路径)。如此，数量较多的第一气孔132(供气孔)可用于提供充足的气流至顶层130来承载基板，而数量较少的第二气孔134(排气孔)可用于排出气流调整顶层130与基板之间的气流量。然而，本发明不以此为限制，其可依据需求调整。藉此，气浮载台100适于提供气流承载基板，并使基板维持水平效果，以利进行精密的检测。

综上所述，本发明的气浮载台由彼此叠置的底层与顶层(或还包括中层)构成，且底层的第一开口、第一通道(或还包括中层的第一连接孔)与顶层的第一气孔彼此连通构成第一气流路径，而底层的通孔与顶层的第二气孔彼此连通构成第二气流路径。并且，在第一气孔与第二气孔所构成的阵列中，任两相邻的第二气孔对应被两排第一气孔分隔，使第一气孔与第二气孔位在所述阵列中的不同行列，且第二气孔被第一气孔包围而彼此分隔。如此，气流适于经由两气流路径的其中一个，例如是具有数量较多的第一气孔的第一气流路径，而从底层流至顶层外侧，以承载基板，或经由两气流路径的另一个，例如是具有数量较少的第二气孔的第二气流路径，而从顶层流至底层外侧，以调整气浮载台与基板之间的多余气流。藉此，本发明的气浮载台适于提供气流承载基板，并使基板维持水平效果，以利进行精密的检测。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种气浮载台，其特征在于，包括：

底层，具有第一开口、多个第一通道以及多个通孔；以及

顶层，配置在所述底层上方，并具有排列成阵列的多个第一气孔以及多个第二气孔，所述第一开口经由所述多个第一通道连通至所述多个第一气孔，以构成第一气流路径，所述多个通孔对应连通至所述多个第二气孔，以构成第二气流路径，气流适于经由所述第一气流路径与所述第二气流路径的其中一个从所述底层流至所述顶层外侧，或经由所述第一气流路径与所述第二气流路径的另一个从所述顶层流至所述底层外侧。

2.根据权利要求1所述的气浮载台，其特征在于，所述第一气流路径与所述第二气流路径彼此错开。

3.根据权利要求1所述的气浮载台，其特征在于，任两相邻的所述多个第二气孔对应被两排所述多个第一气孔分隔。

4.根据权利要求1所述的气浮载台，其特征在于，所述多个第一气孔与所述多个第二气孔位在所述阵列中的不同行列而彼此错开。

5.根据权利要求1所述的气浮载台，其特征在于，所述多个第二气孔对应排列在所述阵列中的第3i-1列与第3j-1行的交集，而所述多个第一气孔对应排列在所述阵列中的第3i-2列、第3i列、第3j-2行与第3j行的交集，i与j分别为正整数的集合。

6.根据权利要求1所述的气浮载台，其特征在于，还包括中层，配置在所述底层及所述顶层之间，其中所述底层具有第二开口，所述中层具有多个第一连接孔、第二连接孔以及多个第二通道，所述第一开口经由所述多个第一通道与所述多个第一连接孔连通至所述多个第一气孔，而所述第二开口经由所述第二连接孔与所述多个第二通道连通至所述多个第二气孔。

7.根据权利要求6所述的气浮载台，其特征在于，所述第一开口经由所述多个第一通道与所述多个第一连接孔至对应的所述多个第一气孔的长度相等，且所述第二开口经由所述第二连接孔与所述多个第二通道至对应的所述多个第二气孔的长度相等。

8.根据权利要求6所述的气浮载台，其特征在于，所述多个第一通道包括多个第一区段与多个末段，所述多个第一区段与对应的所述多个末段彼此连接且垂直排列，且所述多个第一区段通过对应的所述多个末段以及对应的所述多个第一连接孔连接至对应的所述多个第一气孔，所述多个第二通道包括多个第二区段，所述多个第二区段彼此连接且垂直排列，且所述多个第二区段连接至对应的所述多个第二气孔。

9.根据权利要求8所述的气浮载台，其特征在于，所述多个第一区段与所述多个第二区段在垂直方向上彼此对应，且所述多个第一区段与所述多个第二区段在所述垂直方向上的正投影彼此重叠。

10.根据权利要求8所述的气浮载台，其特征在于，所述多个第一通道还包括多个转折段，所述多个第一区段通过对应的所述多个转折段连接至对应的所述多个末段，而所述多个通孔在垂直方向上对应于所述多个转折段，且所述多个转折段绕过对应的所述多个通孔。