CN106144596A - 用来运送平板构件的输送载具 - Google Patents

用来运送平板构件的输送载具 Download PDF

Info

Publication number
CN106144596A
CN106144596A CN201510843047.9A CN201510843047A CN106144596A CN 106144596 A CN106144596 A CN 106144596A CN 201510843047 A CN201510843047 A CN 201510843047A CN 106144596 A CN106144596 A CN 106144596A
Authority
CN
China
Prior art keywords
air
flow
transport carriage
hollow chamber
pedestal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201510843047.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106144596B (zh
Inventor
黄政毅
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mirle Automation Corp
Original Assignee
Mirle Automation Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from TW104134467A external-priority patent/TWI562947B/zh
Application filed by Mirle Automation Corp filed Critical Mirle Automation Corp
Publication of CN106144596A publication Critical patent/CN106144596A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106144596B publication Critical patent/CN106144596B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Manipulator (AREA)
  • Ventilation (AREA)

Abstract

一种用来运送平板构件的输送载具包含有一基座以及一气流装置组,所述基座内形成有一中空腔室,一平板构件放置在所述基座上方,所述气流装置组设置在所述基座下方且耦接于所述中空腔室。所述气流装置组包含有一第一轴流装置以及一第二轴流装置,所述第二轴流装置设置在所述第一轴流装置与所述基座之间,所述第一轴流装置的一第一扇叶沿一第一转向转动且沿一入风方向以一第一压力产生一气流,当所述第一轴流装置的所述第一扇叶沿所述第一转向转动时,所述第二轴流装置的一第二扇叶沿相反于所述第一转向的一第二转向转动,使所述气流沿所述入风方向以大于所述第一压力的一第二压力流入所述中空腔室。

Description

用来运送平板构件的输送载具
技术领域
本发明涉及一种输送载具,特别是有关一种用来运送一平板构件的输送载具。
背景技术
近来,显示器的玻璃基材朝向大型化及薄型化的方向发展,在生产制造时,公知的输送系统包含有多个进气装置各自耦接在基座上,以提供气流并抬升玻璃基材,然而公知的输送系统需利用多个进气装置以提供足够抬升玻璃基材的气流,而多个进气装置会造成生产成本的增加。此外,公知的输送系统还包含有过滤装置以过滤进气装置所提供的气流,以确保气流的洁净度,而过滤装置的数量需对应进气装置的数量,以分别过滤对各个进气装置所提供的气流,然而多个过滤装置不但造成初始成本的增加,更造成未来维修更换的难度。因此,如何设计一种能有效提供较大压力的气流且可减少生产成本的输送载具便成为业界所需努力的课题。
发明内容
因此,本发明提供一种能有效提供较大压力的气流且可减少生产成本的输送载具,以解决上述问题。
为了达成上述目的,本发明公开一种用来运送一平板构件的输送载具,其包含有一基座以及一气流装置组,基座内形成有一中空腔室,所述平板构件放置在所述基座上方,所述气流装置组设置在所述基座下方且耦接于所述中空腔室,所述气流装置组包含有一第一轴流装置以及一第二轴流装置。所述第一轴流装置包含有一第一轴体以及多个第一扇叶,所述第一轴体具有一第一轴线,所述多个第一扇叶分别径向地凸出于所述第一轴体,当所述第一轴体驱动所述多个第一扇叶沿一第一转向转动时,所述多个第一扇叶沿平行于所述第一轴线的一入风方向以一第一压力产生一气流,所述第二轴流装置设置在所述第一轴流装置与所述基座之间且包含有一第二轴体以及多个第二扇叶,所述多个第二扇叶分别径向地凸出于所述第二轴体,当所述第一轴体驱动所述多个第一扇叶沿所述第一转向转动时,所述第二轴体驱动所述多个第二扇叶沿相反于所述第一转向的一第二转向转动所述多个第二扇叶,使所述多个第二扇叶沿所述入风方向将所述气流以一第二压力送出,使所述气流能进入所述中空腔室,其中所述第二压力大于所述第一压力。
根据本发明的其中之一实施方式,所述第二轴体具有一第二轴线,且所述第二轴线优选为对齐所述第一轴线。
根据本发明的其中之一实施方式,所述输送载具还包含有一滤网结构,其设置在所述基座与所述第二轴流装置之间,由所述多个第二扇叶沿所述入风方向以所述第二压力送出的所述气流通过所述滤网结构进入所述中空腔室。
根据本发明的其中之一实施方式,所述基座上形成有连通于所述中空腔室的多个气孔结构,部分通过所述滤网结构送入所述中空腔室的所述气流通过所述多个气孔结构喷出,以推升所述平板构件在所述基座上方。
根据本发明的其中之一实施方式,所述基座上形成有连通于所述中空腔室的多个流道结构,其分别导引另一部分通过所述滤网结构送入所述中空腔室的所述气流沿不垂直于所述平板构件的方向喷出。
根据本发明的其中之一实施方式,其中所述多个流道结构分别包含有一凹杯结构以及一导流结构,所述凹杯结构形成在所述基座上且朝所述中空腔室凹陷,所述凹杯结构具有一凹杯侧壁,所述凹杯侧壁上形成有连通于所述中空腔室的一透气孔,所述凹杯侧壁相对所述基座的一上表面倾斜,所述导流结构设置在所述凹杯结构内且具有一导流侧壁,所述导流侧壁平行于所述凹杯侧壁且与所述凹杯侧壁间具有一间隙,所述另一部分通过所述滤网结构送入所述中空腔室的所述气流通过所述间隙沿不垂直于所述上表面的方向喷出。
根据本发明的其中之一实施方式,所述间隙小于各气孔结构的孔径。
根据本发明的其中之一实施方式,所述多个气孔结构的一开口法线方向优选为垂直于所述平板构件。
根据本发明的其中之一实施方式,所述气流装置组还包含有一第三轴流装置,其设置在所述基座与所述第二轴流装置之间,所述第三轴流装置与所述第一轴流装置具有相同结构配置。
综上所述,本发明的输送载具利用彼此同轴设置的多个轴流装置,其中相邻两轴流装置的转向彼此相反,使得通过滤网结构送入中空腔室的气流具有较大的压力,因此本发明输送载具可产生具有较大的压力的气流,借此本发明输送载具便可利用单一进气点提供所述具有较大的压力的气流,以达到节省生产成本的效果。此外,本发明的输送载具利用多个气孔结构使部分进入中空腔室的气流通过多个气孔结构喷出而对平板构件产生一抬升力,如此平板构件便不会与基座接触,以防止平板构件与基座接触而造成平板构件表面的损伤(例如刮伤、撞伤等),进而提升平板构件的产品良率。再者,本发明的输送载具另利用多个流道结构分别导引另一部分进入中空腔室的气流沿不垂直于平板构件的方向喷出而对平板构件的上下两侧造成一压力差,即本发明的输送载具分别利用多个气孔结构与多个流道结构分别对平板构件产生抬升力与下压力,进而使平板构件与基座间保持稳定的间距,以便平板构件进行后续制程(例如高速翻动或180度翻转等)而仍能将平板构件稳定维持在基座上方。有关本发明的前述及其他技术内容、特点与功效,在以下配合参考附图的实施例的详细说明中,将可清楚的呈现。
附图说明
图1为本发明第一实施例输送载具的外观示意图。
图2为本发明第一实施例输送载具的爆炸示意图。
图3为本发明第一实施例基座的剖面示意图。
图4为本发明第一实施例气流装置组的内部结构示意图。
图5为本发明第二实施例输送载具的外观示意图。
图6为本发明第二实施例气流装置组的内部结构示意图。
其中,附图标记说明如下:
1、1’ 输送载具
10 基座
101 中空腔室
103 气孔结构
105 流道结构
1050 凹杯结构
1052 导流结构
1054 凹杯侧壁
1058 透气孔
1060 导流侧壁
12、12’ 气流装置组
121 第一轴流装置
1210 第一轴体
1212 第一扇叶
123 第二轴流装置
1230 第二轴体
1232 第二扇叶
125 第三轴流装置
1250 第三轴体
1252 第三扇叶
14 滤网结构
2 平板构件
D 孔径
F、F1、F2 气流
G 间隙
R1 第一转向
R2 第二转向
X1 第一轴线
X2 第二轴线
X3 第三轴线
Y 入风方向
具体实施方式
以下实施例中所提到的方向用语,例如:上、下、左、右、前或后等,仅是参考附加附图的方向。因此,使用的方向用语是用来说明并非用来限制本发明。请参阅图1至图2,图1为本发明第一实施例一输送载具1的外观示意图,图2为本发明第一实施例输送载具1的爆炸示意图。输送载具1用以输送一平板构件2且包含有一基座10、一气流装置组12以及一滤网结构14,基座10内形成有一中空腔室101,平板构件2放置在基座10上方,气流装置组12设置在基座10下方且耦接于中空腔室101,滤网结构14设置在基座10与气流装置组12之间。
请参阅图3,图3为本发明第一实施例基座10的剖面示意图。基座10上形成有连通于中空腔室101的多个气孔结构103以及多个流道结构105,各气孔结构103的一开口法线方向优选为垂直于平板构件2,各流道结构105包含有一凹杯结构1050以及一导流结构1052,凹杯结构1050形成在基座10上且朝中空腔室101凹陷,凹杯结构1050具有一凹杯侧壁1054,凹杯侧壁1054上形成有连通于中空腔室101的一透气孔1058,凹杯侧壁1054相对基座10的一上表面倾斜,导流结构1052设置在凹杯结构1050内且具有一导流侧壁1060,导流侧壁1060平行于凹杯侧壁1054且与凹杯侧壁1054间具有一间隙G。
进一步地,请参阅图4,图4为本发明第一实施例气流装置组12的内部结构示意图。在此实施例中,气流装置组12包含有一第一轴流装置121及一第二轴流装置123,第二轴流装置123设置在第一轴流装置121与基座10之间,在此实施例中,滤网结构14是设置在基座10与气流装置组12的第二轴流装置123之间。第一轴流装置121包含有一第一轴体1210以及多个第一扇叶1212,第一轴体1210具有一第一轴线X1,多个第一扇叶1212分别径向地凸出于第一轴体1210,即多个第一扇叶1212是沿第一轴体1210的一径向方向凸出于第一轴体1210,其中所述径向方向是垂直于第一轴线X1。第二轴流装置123包含有一第二轴体1230以及多个第二扇叶1232,第二轴流装置123与第一轴流装置121呈串叠设置,即第二轴体1230具有一第二轴线X2,在组装时第二轴流装置123以其第二轴线X2优选为对齐第一轴流装置121的第一轴线X1的方式叠装在第一轴流装置121上。此外,多个第二扇叶1232分别径向地凸出于第二轴体1230,即多个第二扇叶1232是沿第二轴体1230的一径向方向凸出于第二轴体1230,其中所述径向方向是垂直于第二轴线X2。
如图1至图4所示,当第一轴体1210驱动多个第一扇叶1212沿一第一转向R1转动时,多个第一扇叶1212沿平行于第一轴线X1的一入风方向Y以一第一压力产生一气流F,而当第一轴体1210驱动多个第一扇叶1212沿第一转向R1转动时,第二轴体1230驱动多个第二扇叶1232沿相反于第一转向R1的一第二转向R2转动多个第二扇叶1232。换句话说,当本发明输送载具1运转时,第二轴流装置123的第二扇叶1232的转向是相反于第一轴流装置121的第一扇叶1212的转向,即本发明气流装置组12为一双重反转轴流装置组。
承上所述,当第一轴流装置121的第一轴体1210驱动第一扇叶1212沿第一转向R1转动时,第一扇叶1212可沿平行于第一轴线X1的入风方向Y产生具有所述第一压力的气流F,并将具有所述第一压力的气流F送至第二轴流装置123。接着气流F进入第二轴流装置123,此时第二轴流装置123的第二轴体1230沿相反于第一转向R1的第二转向R2转动多个第二扇叶1232,使多个第二扇叶1232能进一步沿入风方向Y将气流F以一第二压力送入中空腔室101。如此一来,第二轴流装置123便能将来自第一轴流装置121的气流F加压,即其中所述第二压力大于所述第一压力。换句话说,在此实施例中,输送载具1利用叠装在第一轴流装置121上的第二轴流装置123将第一轴流装置121所产生的气流F加压,以加压进入中空腔室101的气流F。
值得一提的是,由多个第二扇叶1232以所述第二压力送出的气流F会通过滤网结构14进入中空腔室101,借此进入中空腔室101的气流F便可被滤网结构14过滤,以达到洁净气流F的功效并符合本发明输送载具1的操作现场的环境规范。当由多个第二扇叶1232以所述第二压力送出的气流F通过滤网结构14进入中空腔室101后,部分气流F1会通过多个气孔结构103喷出,以产生一抬升力,进而推升平板构件2在基座10上方,而另一部分气流F2会通过多个流道结构105的间隙G沿不垂直于所述上表面的方向喷出,由于气流F2使平板构件2邻近各流道结构105处与基座10间的空间内的空气沿不垂直于平板构件2的方向被带出,根据伯努利定律,气流F2会致使平板构件2下侧的压力小于上侧的压力,从而使平板构件2的上下两侧产生将平板构件2朝基座10下压的一压力差,如此气流F2对平板构件2所造成的所述压力差便可与气流F1对平板构件2所提供的所述抬升力达成平衡,以使平板构件2与基座10保持稳定的间距。另外,在此实施例中,间隙G可小于各气孔结构103的一孔径D,借此流经间隙G的气流F2的流速便会大于流经各气孔结构103的气流F1的流速,以加速上述平衡过程。
请参阅图5及图6,图5为本发明第二实施例一输送载具1’的外观示意图,图6为本发明第二实施例一气流装置组12’的内部结构示意图。与前述实施例不同的是,气流装置组12’还包含有一第三轴流装置125,其设置在基座10与第二轴流装置123之间且包含有一第三轴体1250以及多个第三扇叶1252,第三轴流装置125与第一轴流装置121具有相同结构配置,且第三轴体1250具有一第三轴线X3,第一轴线X1、第二轴线X2与第三轴线X3彼此对齐。因此当第一轴体1210驱动多个第一扇叶1212沿第一转向R1转动时,多个第一扇叶1212沿平行于第一轴线X1的入风方向Y以所述第一压力产生气流F,此时第二轴体1230驱动多个第二扇叶1232沿相反于第一转向R1的第二转向R2转动多个第二扇叶1232,使多个第二扇叶1232沿入风方向Y将气流F以所述第二压力送出,且第三轴体1250驱动多个第三扇叶1252沿第一转向R1转动多个第三扇叶1252,使多个第三扇叶1252沿入风方向Y将气流F以一第三压力通过滤网结构14送入中空腔室101,即在此实施例中,第三轴流装置125为一三重反转轴流装置组,而通过第三轴流装置125与第二轴流装置123的加压后,所述第三压力大于所述第二压力,且所述第二压力大于所述第一压力。而此实施例与上述实施例中具有相同标号的组件,其具有相同的结构设计与作用原理,为求简洁,在此不再赘述。
相较于现有技术,本发明的输送载具利用彼此同轴设置的多个轴流装置,其中相邻两轴流装置的转向彼此相反,使得通过滤网结构送入中空腔室的气流具有较大的压力,因此本发明输送载具可产生具有较大的压力的气流,借此本发明输送载具便可利用单一进气点提供所述具有较大的压力的气流,以达到节省生产成本的效果。此外,本发明的输送载具利用多个气孔结构使部分进入中空腔室的气流通过多个气孔结构喷出而对平板构件产生一抬升力,如此平板构件便不会与基座接触,以防止平板构件与基座接触而造成平板构件表面的损伤(例如刮伤、撞伤等),进而提升平板构件的产品良率。再者,本发明的输送载具另利用多个流道结构分别导引另一部分进入中空腔室的气流沿不垂直于平板构件的方向喷出而对平板构件的上下两侧造成一压力差,即本发明的输送载具分别利用多个气孔结构与多个流道结构分别对平板构件产生抬升力与下压力,进而使平板构件与基座间保持稳定的间距,以便平板构件进行后续制程(例如高速翻动或180度翻转等)而仍能将平板构件稳定维持在基座上方。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种用来运送一平板构件的输送载具,其特征在于,所述输送载具包含有:
一基座,其内形成有一中空腔室,所述平板构件放置在所述基座上方;以及
一气流装置组,设置在所述基座下方且耦接于所述中空腔室,所述气流装置组包含有:
一第一轴流装置,包含有:
一第一轴体,具有一第一轴线;以及
多个第一扇叶,分别径向地凸出于所述第一轴体,当所述第一轴体驱动所述多个第一扇叶沿一第一转向转动时,所述多个第一扇叶沿平行于所述第一轴线的一入风方向以一第一压力产生一气流;以及
一第二轴流装置,设置在所述第一轴流装置与所述基座之间且包含有:
一第二轴体;以及
多个第二扇叶,分别径向地凸出于所述第二轴体,当所述第一轴体驱动所述多个第一扇叶沿所述第一转向转动时,所述第二轴体驱动所述多个第二扇叶沿相反于所述第一转向的一第二转向转动所述多个第二扇叶,使所述多个第二扇叶沿所述入风方向将所述气流以一第二压力送出,使所述气流能进入所述中空腔室,其中所述第二压力大于所述第一压力。
2.如权利要求1所述的输送载具,其特征在于,所述第二轴体具有一第二轴线,且所述第二轴线对齐所述第一轴线。
3.如权利要求1所述的输送载具,其特征在于,所述输送载具还包含有:
一滤网结构,设置在所述基座与所述气流装置组之间,由所述多个第二扇叶沿所述入风方向以所述第二压力送出的所述气流通过所述滤网结构进入所述中空腔室。
4.如权利要求3所述的输送载具,其特征在于,所述基座上形成有连通于所述中空腔室的多个气孔结构,部分通过所述滤网结构送入所述中空腔室的所述气流通过所述多个气孔结构喷出,以推升所述平板构件到所述基座上方。
5.如权利要求4所述的输送载具,其特征在于,所述基座上形成有连通于所述中空腔室的多个流道结构,所述多个流道结构分别导引另一部分通过所述滤网结构送入所述中空腔室的所述气流沿不垂直于所述平板构件的方向喷出。
6.如权利要求5所述的输送载具,其特征在于,所述多个流道结构分别包含有:
一凹杯结构,形成在所述基座上且朝所述中空腔室凹陷,所述凹杯结构具有一凹杯侧壁,所述凹杯侧壁上形成有连通于所述中空腔室的一透气孔,所述凹杯侧壁相对所述基座的一上表面倾斜;以及
一导流结构,设置在所述凹杯结构内且具有一导流侧壁,所述导流侧壁平行于所述凹杯侧壁且与所述凹杯侧壁间具有一间隙,所述另一部分通过所述滤网结构送入所述中空腔室的所述气流通过所述间隙沿不垂直于所述上表面的方向喷出。
7.如权利要求6所述的输送载具,其特征在于,所述间隙小于各气孔结构的孔径。
8.如权利要求4所述的输送载具,其特征在于,所述多个气孔结构的一开口法线方向垂直于所述平板构件。
9.如权利要求1所述的输送载具,其特征在于,所述气流装置组还包含有:
一第三轴流装置,设置在所述基座与所述第二轴流装置之间,所述第三轴流装置与所述第一轴流装置具有相同结构配置。
CN201510843047.9A 2015-05-11 2015-11-26 用来运送平板构件的输送载具 Active CN106144596B (zh)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201562159368P 2015-05-11 2015-05-11
US62/159,368 2015-05-11
TW104134467 2015-10-21
TW104134467A TWI562947B (en) 2015-05-11 2015-10-21 Transportation jig for transporting a plate member

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106144596A true CN106144596A (zh) 2016-11-23
CN106144596B CN106144596B (zh) 2018-10-16

Family

ID=55841982

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510843047.9A Active CN106144596B (zh) 2015-05-11 2015-11-26 用来运送平板构件的输送载具
CN201520956251.7U Withdrawn - After Issue CN205204252U (zh) 2015-05-11 2015-11-26 用来运送平板构件的输送载具

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201520956251.7U Withdrawn - After Issue CN205204252U (zh) 2015-05-11 2015-11-26 用来运送平板构件的输送载具

Country Status (1)

Country Link
CN (2) CN106144596B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113998462A (zh) * 2021-12-28 2022-02-01 三一技术装备有限公司 极片输送装置及叠片机

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106144596B (zh) * 2015-05-11 2018-10-16 盟立自动化股份有限公司 用来运送平板构件的输送载具

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6781684B1 (en) * 2000-11-07 2004-08-24 Donald L. Ekhoff Workpiece levitation using alternating positive and negative pressure flows
JP2006008350A (ja) * 2004-06-28 2006-01-12 Motoyama:Kk 物体浮上ユニットおよび物体浮上装置
CN101676181A (zh) * 2008-09-18 2010-03-24 大日本网屏制造株式会社 基板搬运装置、基板定位方法及装置
CN101734484A (zh) * 2008-11-24 2010-06-16 Sfa工程股份有限公司 衬底传送装置
CN201943982U (zh) * 2011-01-20 2011-08-24 浙江理工大学 一种双层反转轴流风扇
CN202851137U (zh) * 2012-11-09 2013-04-03 游涛 进气涡轮
CN205204252U (zh) * 2015-05-11 2016-05-04 盟立自动化股份有限公司 用来运送平板构件的输送载具

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6781684B1 (en) * 2000-11-07 2004-08-24 Donald L. Ekhoff Workpiece levitation using alternating positive and negative pressure flows
JP2006008350A (ja) * 2004-06-28 2006-01-12 Motoyama:Kk 物体浮上ユニットおよび物体浮上装置
CN101676181A (zh) * 2008-09-18 2010-03-24 大日本网屏制造株式会社 基板搬运装置、基板定位方法及装置
CN101734484A (zh) * 2008-11-24 2010-06-16 Sfa工程股份有限公司 衬底传送装置
CN201943982U (zh) * 2011-01-20 2011-08-24 浙江理工大学 一种双层反转轴流风扇
CN202851137U (zh) * 2012-11-09 2013-04-03 游涛 进气涡轮
CN205204252U (zh) * 2015-05-11 2016-05-04 盟立自动化股份有限公司 用来运送平板构件的输送载具

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113998462A (zh) * 2021-12-28 2022-02-01 三一技术装备有限公司 极片输送装置及叠片机

Also Published As

Publication number Publication date
CN106144596B (zh) 2018-10-16
CN205204252U (zh) 2016-05-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5998086B2 (ja) 浮上用エアプレート
CN206866995U (zh) 艺术品展示装置
JPWO2009119377A1 (ja) 非接触搬送装置
CN207759694U (zh) 一种用于大型玻璃输送的气浮输送机构
JP5819859B2 (ja) 非接触搬送装置
CN106144596A (zh) 用来运送平板构件的输送载具
CN206188001U (zh) 气浮平台、气浮装置及玻璃基板传送装置
CN204124700U (zh) 水表用玛瑙振动输送机构
CN103219271B (zh) 吸引夹持器及移载装置
CN106144593B (zh) 用来运送平板构件的输送载具
CN202499807U (zh) 一种平板玻璃组合式落板及摆动辊道装置
CN205508797U (zh) 一种无接触输运与定位平台装置
CN211812474U (zh) 一种防叠料机构以及搬运装置
CN208037535U (zh) 气浮设备
CN103662835A (zh) 气旋流悬浮装置
CN205346319U (zh) 用来运送平板构件的输送载具
CN208224713U (zh) 一种气浮装置、工件台和光刻机
CN209651010U (zh) 一种锡粉加料漏斗
CN208082301U (zh) 一种具有减震功能的人造石制备用混料装置
JP5536516B2 (ja) 非接触搬送装置
JP5952666B2 (ja) 非接触搬送装置
CN206288700U (zh) 用以运送平板构件的气浮平台
CN106144595B (zh) 用来运送平板构件的输送载具
CN206059364U (zh) 一种基板支撑装置
CN208265327U (zh) 一种气浮平台

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant