KR20080113521A - 에어플로팅스테이지를 이용한 레이저가공장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (3)
- 광을 발생하는 광원과, 상기 광원에서 발생한 광을 소정의 굴절각을 이루도록 반사하는 스캔부와, 상기 스캔부에서 반사된 광을 스테이지에 의해 지지되는 기판으로 안내하는 광학유닛과, 상기 스캔부에서 반사된 광의 유효 광 경로 중 초기 광 경로를 갖는 광을 수광하는 제1수광부와 마지막 광 경로를 갖는 광을 수광하는 제2수광부로 이루어진 광로인식부와, 상기 광로인식부에서 수신한 동기신호에 의해 상기 광원을 제어하는 제어부와, 상기 기판에 수행할 작업정보를 상기 제어부로 제공하는 외부정보부로 구성되는 레이저 가공장치에 있어서,상기 스테이지는 상기 기판을 탈착하는 기판지지부와, 상기 스테이지에 다수가 내설되어 상기 기판이 안착되는 스테이지 상면으로 에어를 분출시키는 플로팅유닛과, 상기 플로팅유닛에 에어를 공급하는 에어공급부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 에어플로팅스테이지를 이용한 레이저 가공장치.
- 제 1항에 있어서,상기 플로팅유닛은 상기 스테이지 내부에 설치된 플로팅튜브와, 상기 플로팅튜브의 끝단부에 상기 스테이지를 관통하여 형성되어 상기 스테이지 표면으로 에어를 분출시키는 에어관통공과, 상기 플로팅튜브 내부에 형성되어 상기 에어관통공에 에어를 공급하기 위한 에어공급통로로 형성되는 것을 특징으로 하는 에어플로팅스 테이지를 이용한 레이저 가공장치.
- 제 1항에 있어서,상기 스캐너부는 갈바노미터스캐너와 상기 갈바노미터스캐너에서 반사되는 광 경로를 조절하는 다수의 반사면을 가지는 폴리곤스캐너 및 상기 폴리곤스캐너를 구동하는 스핀들모터로 구성되며,상기 폴리곤스캐너의 출력단에 상기 폴리곤스캐너의 경면 기울기에 의한 광 경로의 오차보정을 위한 보정광학계가 장착된 것을 특징으로 하는 에어플로팅스테이지를 이용한 레이저 가공장치.
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