CN114229471A - 一种基于伯努利原理的气浮平台装置和气浮方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种基于伯努利原理的气浮平台装置和气浮方法,所述气浮平台装置包括:三条平行的排气道,每两条排气道之间由一条泄气道间隔开;每条排气道上表面具有多个排气孔,每条泄气道上表面具有多个泄压孔;每条排气道的底面具有至少一个进气孔,所述进气孔和排气孔分别与所述排气道连通;所述泄气道的两端侧面均具有侧孔,所述侧孔和泄压孔分别于所述泄气道连通。所述泄气道的一端通过一个侧孔与大气连通。所述泄气道的另一端通过另一个侧孔与正压气源连通。本发明的高速气浮方案,明显抑制了运输玻璃时候产生的抖动,增加了检测时候的玻璃的平稳,提高了检测精度。
Description
技术领域
本发明涉及气浮平台技术领域,尤其涉及一种基于伯努利原理的气浮平台装置和气浮方法。
背景技术
目前,在检测液晶显示器(LCD)、等离子体显示器(PDP)以及有机EL显示器(OLED)等平板显示器(FPD)用的玻璃板,在各个平台移动的时候,大量使用了气浮平台。其中平台又分为,精密和高速两种。精密平台有多孔石墨,多孔陶等材料结构,优点是平稳,缺点是价格昂贵不能大面积使用。高速气浮,主流就是铝合金+红宝石喷嘴。
高速平台的缺点是不平稳,容易发生变形以及震动。随着检测精度的要求逐渐增加,高速气浮平台的要求也越来越高。要求高速气浮平台必须更加平稳。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种基于伯努利原理的气浮平台装置,旨在解决现有高速气浮平台平稳性的问题。
根据本发明的第一个方面,提供了一种基于伯努利原理的气浮平台装置,包括:
三条平行的排气道,每两条排气道之间由一条泄气道间隔开;每条排气道上表面具有多个排气孔,每条泄气道上表面具有多个泄压孔;每条排气道的底面具有至少一个进气孔,所述进气孔和排气孔分别与所述排气道连通;所述泄气道的两端侧面均具有侧孔,所述侧孔和泄压孔分别于所述泄气道连通。
进一步地,所述排气道两侧具有排气侧孔,每个排气侧孔配备堵头,通过堵头的阻塞,气流只能所述排气孔排出。
进一步地,所述泄气道的一端通过一个侧孔与大气连通。
进一步地,所述泄气道的另一端通过另一个侧孔与正压气源连通。
进一步地,所述正压气源用于输出高压气体。
进一步地,所述一个侧孔为大气排气口。
进一步地,所述另一个侧孔为高压进气口。
根据本发明的第二个方面,提供了一种根据第一方面的基于伯努利原理的气浮平台装置的气浮方法,包括:
进气孔进气并通过排气孔向上喷气,空气遇到玻璃反流,通过泄压孔排入泄气道;
正压气源产生高压气体输入泄气道,泄气道的一侧通过侧孔高压进气口通入高压气体,另一侧通过另一个侧孔排气到大气。
总的来说,本发明的优势及给用户带来的体验在于:本发明的高速气浮方案,明显抑制了运输玻璃时候产生的抖动,增加了检测时候的玻璃的平稳,提高了检测精度。
附图说明
在附图中,除非另外规定,否则贯穿多个附图相同的附图标记表示相同或相似的部件或元素。这些附图不一定是按照比例绘制的。应该理解,这些附图仅描绘了根据本发明公开的一些实施方式,而不应将其视为是对本发明范围的限制。
图1是本发明实施例的基于伯努利原理的气浮平台装置的俯视图;
图2是本发明实施例的基于伯努利原理的气浮平台装置的正视图;
图3是本发明实施例的基于伯努利原理的气浮平台装置的仰视图;
图4是本发明实施例的基于伯努利原理的气浮平台装置的右视图;
图5是本发明实施例的基于伯努利原理的气浮平台装置的左视图;
图6是沿着虚线1剖开的剖视图。
图7是沿着图5虚线2剖开的剖视图。
图8为泄气道的侧视图;
图9为泄气道封堵后的剖视图;
图10示出根据本发明实施例的基于伯努利原理的气浮平台装置的主视图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅用于解释相关发明,而非对该发明的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与有关发明相关的部分。
需要说明的是,在不冲突的情况下,本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。
实施例1
如图10所示,本发明的一种基于伯努利原理的气浮平台装置,包括:三条平行的排气道,每两条排气道之间由一条泄气道2间隔开;每条排气道上表面具有多个排气孔1,每条泄气道上表面具有多个泄压孔3;每条排气道的底面具有至少一个进气孔,所述进气孔和排气孔分别与所述排气道连通;所述泄气道的两端侧面均具有侧孔4,所述侧孔和泄压孔分别于所述泄气道连通。
工作时,进气孔进气并通过排气孔1向上喷气,空气遇到玻璃5反流,通过泄压孔3排入泄气道2内,泄压孔3与侧孔4通过泄气道2相连,侧孔4处连接一路正压气体,加速孔内的空气流速,从而加大泄压孔3的流速产生伯努利层,从而实现抑制震动平稳运输。以下分别详细介绍本发明的实现结构和过程。
图1是本发明的一种基于伯努利原理的气浮平台装置的俯视图,图2是正视图,图3是仰视图,图4是右视图,图5是左视图,图6是沿着虚线1剖开的剖视图。其中图3中间的三个孔为进气口,图4,图5中,每个排气道两侧具有排气侧孔,每个排气侧孔配备堵头,通过堵头的阻塞,气流只能通过图1中的排气孔1排出。图1中每个泄压孔通过右侧的侧孔与大气相通。当气浮平台装置上面放上玻璃的时候,一部分气体会通过泄压孔,返回大气中去。图7就是沿着图5虚线2剖开的剖视图。黑色是气体流动的区域。可以看到,气体可以通过泄压孔-泄气道-一端侧孔与大气相连。
泄气道的另一端通过一个侧孔与正压气源连通。正压气源产生高压气体输入泄气道。如此,泄气道的一侧通过侧孔(高压进气口)通入高压气体,另一侧通过另一个侧孔(大气排气口)排气到大气,如图8,图9所示。如此,本发明工作时能够加快泄气道内的空气流速,致使泄压孔处的气压降低,产生负压。配合表面的排气孔的气流,形成伯努利层,达到稳定玻璃的效果。
需要说明的是:
在此处所提供的说明书中,说明了大量具体细节。然而,能够理解,本发明的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中,并未详细示出公知的方法、结构和技术,以便不模糊对本说明书的理解。
类似地,应当理解,为了精简本发明并帮助理解各个发明方面中的一个或多个,在上面对本发明的示例性实施例的描述中,本发明的各个特征有时被一起分组到单个实施例、图、或者对其的描述中。然而,并不应将该公开的方法解释成反映如下意图:即所要求保护的本发明要求比在每个权利要求中所明确记载的特征更多的特征。更确切地说,如下面的权利要求书所反映的那样,发明方面在于少于前面公开的单个实施例的所有特征。因此,遵循具体实施方式的权利要求书由此明确地并入该具体实施方式,其中每个权利要求本身都作为本发明的单独实施例。
本领域那些技术人员可以理解,可以对实施例中的设备中的模块进行自适应性地改变并且把它们设置在与该实施例不同的一个或多个设备中。可以把实施例中的模块或单元或组件组合成一个模块或单元或组件,以及此外可以把它们分成多个子模块或子单元或子组件。除了这样的特征和/或过程或者单元中的至少一些是相互排斥之外,可以采用任何组合对本说明书(包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的所有特征以及如此公开的任何方法或者设备的所有过程或单元进行组合。除非另外明确陈述,本说明书(包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的每个特征可以由提供相同、等同或相似目的的替代特征来代替。
此外,本领域的技术人员能够理解,尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征,但是不同实施例的特征的组合意味着处于本发明的范围之内并且形成不同的实施例。例如,在下面的权利要求书中,所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。
应该注意的是上述实施例对本发明进行说明而不是对本发明进行限制,并且本领域技术人员在不脱离所附权利要求的范围的情况下可设计出替换实施例。在权利要求中,不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。单词“包含”不排除存在未列在权利要求中的元件或步骤。位于元件之前的单词“一”或“一个”不排除存在多个这样的元件。本发明可以借助于包括有若干不同元件的硬件以及借助于适当编程的计算机来实现。在列举了若干系统的单元权利要求中,这些系统中的若干个可以是通过同一个硬件项来具体体现。单词第一、第二、以及第三等的使用不表示任何顺序。可将这些单词解释为名称。
以上所述,仅为本发明的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,可轻易想到其各种变化或替换,这些都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此,本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
Claims (8)
1.一种基于伯努利原理的气浮平台装置,其特征在于,包括:
三条平行的排气道,每两条排气道之间由一条泄气道间隔开;每条排气道上表面具有多个排气孔,每条泄气道上表面具有多个泄压孔;每条排气道的底面具有至少一个进气孔,所述进气孔和排气孔分别与所述排气道连通;所述泄气道的两端侧面均具有侧孔,所述侧孔和泄压孔分别于所述泄气道连通。
2.根据权利要求1所述的基于伯努利原理的气浮平台装置,其特征在于,
所述排气道两侧具有排气侧孔,每个排气侧孔配备堵头,通过堵头的阻塞,气流只能所述排气孔排出。
3.根据权利要求1所述的基于伯努利原理的气浮平台装置,其特征在于,
所述泄气道的一端通过一个侧孔与大气连通。
4.根据权利要求3所述的基于伯努利原理的气浮平台装置,其特征在于,
所述泄气道的另一端通过另一个侧孔与正压气源连通。
5.根据权利要求4所述的基于伯努利原理的气浮平台装置,其特征在于,
所述正压气源用于输出高压气体。
6.根据权利要求3所述的基于伯努利原理的气浮平台装置,其特征在于,
所述一个侧孔为大气排气口。
7.根据权利要求4所述的基于伯努利原理的气浮平台装置,其特征在于,
所述另一个侧孔为高压进气口。
8.一种根据权利要求1-7任一项所述的基于伯努利原理的气浮平台装置的气浮方法,其特征在于,包括:
进气孔进气并通过排气孔向上喷气,空气遇到玻璃反流,通过泄压孔排入泄气道;
正压气源产生高压气体输入泄气道,泄气道的一侧通过侧孔高压进气口通入高压气体,另一侧通过另一个侧孔排气到大气。
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Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6781684B1 (en) * | 2000-11-07 | 2004-08-24 | Donald L. Ekhoff | Workpiece levitation using alternating positive and negative pressure flows |
JP2009073646A (ja) * | 2007-09-21 | 2009-04-09 | Myotoku Ltd | 浮上方法及び浮上ユニット |
JP2010260715A (ja) * | 2009-04-07 | 2010-11-18 | Myotoku Ltd | 浮上ユニット及び浮上装置 |
CN104203780A (zh) * | 2012-04-03 | 2014-12-10 | 翁令司工业股份有限公司 | 上浮用空气板 |
CN205892137U (zh) * | 2016-07-26 | 2017-01-18 | 中导光电设备股份有限公司 | 一种高速气浮板 |
CN206188001U (zh) * | 2016-06-28 | 2017-05-24 | 江苏东旭亿泰智能装备有限公司 | 气浮平台、气浮装置及玻璃基板传送装置 |
CN108910534A (zh) * | 2018-07-05 | 2018-11-30 | 江苏科技大学 | 玻璃基板非接触式气浮输运装置 |
-
2021
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6781684B1 (en) * | 2000-11-07 | 2004-08-24 | Donald L. Ekhoff | Workpiece levitation using alternating positive and negative pressure flows |
JP2009073646A (ja) * | 2007-09-21 | 2009-04-09 | Myotoku Ltd | 浮上方法及び浮上ユニット |
JP2010260715A (ja) * | 2009-04-07 | 2010-11-18 | Myotoku Ltd | 浮上ユニット及び浮上装置 |
CN104203780A (zh) * | 2012-04-03 | 2014-12-10 | 翁令司工业股份有限公司 | 上浮用空气板 |
CN206188001U (zh) * | 2016-06-28 | 2017-05-24 | 江苏东旭亿泰智能装备有限公司 | 气浮平台、气浮装置及玻璃基板传送装置 |
CN205892137U (zh) * | 2016-07-26 | 2017-01-18 | 中导光电设备股份有限公司 | 一种高速气浮板 |
CN108910534A (zh) * | 2018-07-05 | 2018-11-30 | 江苏科技大学 | 玻璃基板非接触式气浮输运装置 |
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