JP7437186B2 - 浮上搬送装置、及びレーザ処理装置 - Google Patents
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Description
以下、図面を参照して実施の形態1について説明する。図1は、実施の形態1にかかる浮上搬送装置を説明するための断面図である。図1に示すように、本実施の形態にかかる浮上搬送装置1は、基板30の下面に気体を噴射して基板30を浮上させながら、基板30を搬送方向(x軸プラス方向)に搬送する装置である。
次に、実施の形態2について説明する。図6、図7は、実施の形態2にかかる浮上搬送装置を説明するための上面図である。本実施の形態では、実施の形態1にかかる浮上搬送装置をレーザ照射装置に適用した場合について説明する。なお、実施の形態2にかかる浮上搬送装置2の基本的な構成は、実施の形態1で説明した浮上搬送装置1の構成と同様であるので重複した説明は適宜省略する。
次に、実施の形態3について説明する。図8、図9は、実施の形態3にかかる浮上搬送装置を説明するための上面図である。本実施の形態では、実施の形態1にかかる浮上搬送装置をレーザ照射装置に適用した場合について説明する。なお、実施の形態3にかかる浮上搬送装置3の基本的な構成は、実施の形態1で説明した浮上搬送装置1の構成と同様であるので重複した説明は適宜省略する。
次に、実施の形態4について説明する。図10は、実施の形態4にかかる浮上搬送装置を説明するための上面図である。本実施の形態では、実施の形態2で説明した浮上搬送装置2(レーザ照射装置)のy軸方向プラス側に、さらに浮上ユニット8_2を追加した構成例を示している。なお、実施の形態4にかかる浮上搬送装置4の基本的な構成は、実施の形態1、2で説明した浮上搬送装置1、2の構成と基本的に同様であるので重複した説明は適宜省略する。
5、6、7、8_1、8_2 浮上ユニット
10 上板
11 噴射口
13 貫通孔
20 下板
21_1、21_2 第1流路
22_1、22_2 第2流路
23_1、23_2 端部
27_1、27_2 気体供給口
30 基板
35 設置面
41 締結用ボルト
42 レベリングボルト
45 空間
50、50_1、50_2 スリット
61、61_1~61_4 搬送ユニット
62、62_1~62_4 保持機構
63、63_1~63_4 移動機構
65 レーザ光源
68 回転機構
Claims (18)
- 基板の下面に気体を噴射して前記基板を浮上させる浮上ユニットを備える浮上搬送装置であって、
前記浮上ユニットは、
前記基板と対向する面に設けられ、前記気体を噴射する複数の噴射口と、
前記浮上ユニットを鉛直方向に貫通しているスリットと、を備え、
前記浮上ユニットの前記基板と対向する面と前記基板との間に滞留している気体が前記スリットを介して前記浮上ユニットの下面側へと排出されるように構成されており、
前記スリットの周囲に設けられている前記噴射口の密度が、前記浮上ユニットの他の領域に設けられている前記噴射口の密度よりも高くなるように構成されている、
浮上搬送装置。 - 前記浮上ユニットには、前記浮上ユニットの下面から下側に突出している複数のレベリングボルトが設けられており、
前記複数のレベリングボルトが設置面と接触することで、前記浮上ユニットが前記設置面に設置され、
前記浮上ユニットの前記基板と対向する面と前記基板との間に滞留している気体は、前記スリットを介して前記浮上ユニットの下面と前記設置面との間の空間に排出される、
請求項1に記載の浮上搬送装置。 - 前記浮上ユニットの下面と前記設置面との間の空間に排出された前記気体は更に、前記レベリングボルト間の隙間を通過して外部へと排出される、請求項2に記載の浮上搬送装置。
- 前記スリットは、当該スリットの長手方向が前記基板の搬送方向と平行になるように設けられている、請求項1に記載の浮上搬送装置。
- 基板の下面に気体を噴射して前記基板を浮上させる浮上ユニットを備える浮上搬送装置であって、
前記浮上ユニットは、
前記基板と対向する面に設けられ、前記気体を噴射する複数の噴射口と、
前記浮上ユニットを鉛直方向に貫通しているスリットと、を備え、
前記浮上ユニットの前記基板と対向する面と前記基板との間に滞留している気体が前記スリットを介して前記浮上ユニットの下面側へと排出されるように構成されており、
前記浮上ユニットの一辺には、前記基板を保持しながら搬送方向へと搬送する搬送ユニットが設けられており、
前記スリットは、前記浮上ユニットの上面において前記搬送方向と垂直な方向の中心位置よりも、前記搬送ユニット側に設けられている、
浮上搬送装置。 - 前記スリットは、前記浮上ユニットの前記搬送ユニット側において前記搬送方向に沿うように設けられている、請求項5に記載の浮上搬送装置。
- 前記基板が連続して移動する位置よりも前記基板が静止する位置において、前記スリットの密度が高くなるように構成されている、請求項5に記載の浮上搬送装置。
- 前記基板が静止する位置は、前記基板を面内方向において回転させる回転機構を備える位置である、請求項7に記載の浮上搬送装置。
- 前記基板が静止する位置は、前記搬送ユニットから次の搬送ユニットに前記基板を受け渡す位置である、請求項7に記載の浮上搬送装置。
- 基板の下面に気体を噴射して前記基板を浮上させる浮上ユニットを備える浮上搬送装置と、
前記基板に照射するレーザ光を発生させるレーザ発生装置と、を備え、
前記浮上ユニットは、
前記基板と対向する面に設けられ、前記気体を噴射する複数の噴射口と、
前記浮上ユニットを鉛直方向に貫通しているスリットと、を備え、
前記浮上ユニットの前記基板と対向する面と前記基板との間に滞留している気体が前記スリットを介して前記浮上ユニットの下面側へと排出されるように構成されており、
前記スリットの周囲に設けられている前記噴射口の密度が、前記浮上ユニットの他の領域に設けられている前記噴射口の密度よりも高くなるように構成されている、
レーザ処理装置。 - 前記浮上ユニットには、前記浮上ユニットの下面から下側に突出している複数のレベリングボルトが設けられており、
前記複数のレベリングボルトが設置面と接触することで、前記浮上ユニットが前記設置面に設置され、
前記浮上ユニットの前記基板と対向する面と前記基板との間に滞留している気体は、前記スリットを介して前記浮上ユニットの下面と前記設置面との間の空間に排出される、
請求項10に記載のレーザ処理装置。 - 前記浮上ユニットの下面と前記設置面との間の空間に排出された前記気体は更に、前記レベリングボルト間の隙間を通過して外部へと排出される、請求項11に記載のレーザ処理装置。
- 前記スリットは、当該スリットの長手方向が前記基板の搬送方向と平行になるように設けられている、請求項10に記載のレーザ処理装置。
- 基板の下面に気体を噴射して前記基板を浮上させる浮上ユニットを備える浮上搬送装置と、
前記基板に照射するレーザ光を発生させるレーザ発生装置と、を備え、
前記浮上ユニットは、
前記基板と対向する面に設けられ、前記気体を噴射する複数の噴射口と、
前記浮上ユニットを鉛直方向に貫通しているスリットと、を備え、
前記浮上ユニットの前記基板と対向する面と前記基板との間に滞留している気体が前記スリットを介して前記浮上ユニットの下面側へと排出されるように構成されており、
前記浮上ユニットの一辺には、前記基板を保持しながら搬送方向へと搬送する搬送ユニットが設けられており、
前記スリットは、前記浮上ユニットの上面において前記搬送方向と垂直な方向の中心位置よりも、前記搬送ユニット側に設けられている、
レーザ処理装置。 - 前記スリットは、前記浮上ユニットの前記搬送ユニット側において前記搬送方向に沿うように設けられている、請求項14に記載のレーザ処理装置。
- 前記基板が連続して移動する位置よりも前記基板が静止する位置において、前記スリットの密度が高くなるように構成されている、請求項14に記載のレーザ処理装置。
- 前記基板が静止する位置は、前記基板を面内方向において回転させる回転機構を備える位置である、請求項16に記載のレーザ処理装置。
- 前記基板が静止する位置は、前記搬送ユニットから次の搬送ユニットに前記基板を受け渡す位置である、請求項16に記載のレーザ処理装置。
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DE102022102162A1 (de) | 2022-01-31 | 2023-08-03 | Eitzenberger Luftlagertechnik Gmbh | Floating Unit |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006199483A (ja) | 2005-01-24 | 2006-08-03 | Tokyo Electron Ltd | ステージ装置および塗布処理装置 |
JP2009051672A (ja) | 2002-04-18 | 2009-03-12 | Olympus Corp | 基板搬送装置 |
JP2009105377A (ja) | 2007-10-04 | 2009-05-14 | Ihi Corp | 浮上搬送装置及び浮上ユニット |
JP2018060891A (ja) | 2016-10-04 | 2018-04-12 | 株式会社日本製鋼所 | レーザ照射装置、レーザ照射方法、及び半導体装置の製造方法 |
JP2018064048A (ja) | 2016-10-14 | 2018-04-19 | 株式会社日本製鋼所 | レーザ照射装置、レーザ照射方法、及び半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4211505A (en) * | 1975-10-01 | 1980-07-08 | International Business Machines Corporation | Fluidic transport intersection |
US4618292A (en) * | 1977-02-28 | 1986-10-21 | International Business Machines Corporation | Controls for semiconductor wafer orientor |
US4275983A (en) * | 1978-07-17 | 1981-06-30 | Bergman Raymond A | Air float fixture clamping system |
US4493548A (en) * | 1982-03-26 | 1985-01-15 | Eastman Kodak Company | Apparatus for supporting flexible members |
JPS61208841A (ja) * | 1985-03-14 | 1986-09-17 | Sony Corp | 半導体ウエハの位置合せ装置 |
US4874273A (en) * | 1987-03-16 | 1989-10-17 | Hitachi, Ltd. | Apparatus for holding and/or conveying articles by fluid |
DE3923405A1 (de) * | 1989-07-14 | 1991-01-24 | Wacker Chemitronic | Vorrichtung zum transportieren und positionieren von scheibenfoermigen werkstuecken, insbesondere halbleiterscheiben, und verfahren zur nasschemischen oberflaechenbehandlung derselben |
DE19607397A1 (de) * | 1996-02-28 | 1997-09-04 | Heidelberger Druckmasch Ag | Vorrichtung und Verfahren zur Führung von bogenförmigem Material in einer Druckmaschine, insbesondere in einer Bogenrotations-Offsetdruckmaschine |
US7269475B1 (en) * | 1998-03-02 | 2007-09-11 | Xerox Corporation | Distributed control system with global contraints for controlling object motion with smart matter |
AT409183B (de) * | 2000-05-05 | 2002-06-25 | Ebner Peter Dipl Ing | Vorrichtung zum führen eines metallbandes auf einem gaskissen |
US6676365B2 (en) * | 2001-03-16 | 2004-01-13 | Toda Kogyo Corporation | Air track conveyor system for disk production |
US6808358B1 (en) * | 2003-06-12 | 2004-10-26 | Lockheed Martin Corporation | Conveyor system having inclined structure utilizing vacuum and air bearing means for facilitating edgewise product transportation |
KR101215147B1 (ko) * | 2004-06-03 | 2012-12-24 | 외를리콘 솔라 아게, 트뤼프바흐 | 공작물을 수용하는 테이블 및 이러한 테이블 위에서 공작물을 처리하는 방법 |
TWI316503B (en) * | 2005-01-26 | 2009-11-01 | Sfa Engineering Corp | Substrate transferring apparatus |
JP4554397B2 (ja) * | 2005-02-23 | 2010-09-29 | 東京エレクトロン株式会社 | ステージ装置および塗布処理装置 |
KR101234442B1 (ko) * | 2005-06-20 | 2013-02-18 | 엘지디스플레이 주식회사 | 비접촉 반송 장치에서의 지지플랫폼 |
KR101234475B1 (ko) * | 2005-06-20 | 2013-02-18 | 엘지디스플레이 주식회사 | 비접촉 반송 장치에서의 지지플랫폼 |
JP4594241B2 (ja) * | 2006-01-06 | 2010-12-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置、基板搬送方法及びコンピュータプログラム |
US8469342B2 (en) * | 2007-07-23 | 2013-06-25 | Creative Technology Corporation | Substrate suction apparatus and method for manufacturing the same |
JP2011519796A (ja) * | 2008-03-11 | 2011-07-14 | コアフロー リミテッド | 平坦な対象物の支持を局所的に制御するための方法およびシステム |
ES2396037T3 (es) * | 2008-06-19 | 2013-02-18 | Rena Gmbh | Procedimiento y dispositivo para transportar objetos |
TW201034055A (en) * | 2008-10-10 | 2010-09-16 | Alta Devices Inc | Continuous feed chemical vapor deposition |
JP5998086B2 (ja) * | 2012-04-03 | 2016-09-28 | オイレス工業株式会社 | 浮上用エアプレート |
NL2009764C2 (en) * | 2012-11-06 | 2014-05-08 | Univ Delft Tech | An apparatus for carrying and transporting a product. |
CN104822613A (zh) * | 2013-02-26 | 2015-08-05 | 株式会社Ihi | 搬运装置 |
JP2016161007A (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-05 | 株式会社日本製鋼所 | ガス浮上ワーク支持装置および非接触ワーク支持方法 |
EP3472077A4 (en) * | 2016-06-21 | 2020-03-04 | Coreflow Ltd | NON-CONTACT SUPPORT PLATFORM WITH EDGE LIFTING |
JP7034817B2 (ja) | 2018-04-19 | 2022-03-14 | 株式会社日本製鋼所 | レーザ処理装置及び半導体装置の製造方法 |
US10745215B2 (en) * | 2018-12-27 | 2020-08-18 | Core Flow Ltd. | Port arrangement for noncontact support platform |
JP7437187B2 (ja) * | 2020-02-26 | 2024-02-22 | Jswアクティナシステム株式会社 | 浮上搬送装置、及びレーザ処理装置 |
-
2020
- 2020-02-26 JP JP2020030105A patent/JP7437186B2/ja active Active
-
2021
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- 2021-02-10 US US17/172,775 patent/US11319167B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009051672A (ja) | 2002-04-18 | 2009-03-12 | Olympus Corp | 基板搬送装置 |
JP2006199483A (ja) | 2005-01-24 | 2006-08-03 | Tokyo Electron Ltd | ステージ装置および塗布処理装置 |
JP2009105377A (ja) | 2007-10-04 | 2009-05-14 | Ihi Corp | 浮上搬送装置及び浮上ユニット |
JP2018060891A (ja) | 2016-10-04 | 2018-04-12 | 株式会社日本製鋼所 | レーザ照射装置、レーザ照射方法、及び半導体装置の製造方法 |
JP2018064048A (ja) | 2016-10-14 | 2018-04-19 | 株式会社日本製鋼所 | レーザ照射装置、レーザ照射方法、及び半導体装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN113307038A (zh) | 2021-08-27 |
US11319167B2 (en) | 2022-05-03 |
JP2021136285A (ja) | 2021-09-13 |
US20210261358A1 (en) | 2021-08-26 |
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Publication | Publication Date | Title |
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