KR20180053274A - 유리 기판의 제조 방법 및 유리 기판의 제조 장치 - Google Patents

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KR20180053274A
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니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤
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Abstract

반입구(2aa)로부터 챔버(2) 내로 반입한 유리 기판(3)을 수평 방향으로 반송하면서, 챔버(2) 내로서의 유리 기판(3)의 반송 경로 상에 설치한 처리 영역(4)에서 처리 가스(5)에 의해 에칭 처리를 실시한 후, 처리 후의 유리 기판(3)을 반출구(2ab)로부터 챔버(2) 외로 반출하는 유리 기판의 제조 방법에 대해서, 유리 기판(3)의 반송 경로상에 있어서의 반입구(2aa)와 처리 영역(4) 사이 및 처리 영역(4)과 반출구(2ab) 사이에 반송 중인 유리 기판(3)을 통과시키기 위한 개구(12a)가 형성된 방풍 부재(12)를 각각 설치했다.

Description

유리 기판의 제조 방법 및 유리 기판의 제조 장치
본 발명은 불화수소 등의 처리 가스를 이용하여 유리 기판에 에칭 처리를 실시하는 유리 기판의 제조 방법 및 유리 기판의 제조 장치에 관한 것이다.
주지와 같이, 유리 기판은 액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이, 유기 EL디스플레이, 필드 에미션 디스플레이 등으로 대표되는 플랫 패널 디스플레이(FPD)나, 스마트폰, 태블릿형 PC 등의 모바일 기기를 비롯하여 다종 다양한 전자 디바이스에 조립되어 있다.
그런데, 유리 기판의 제조 공정에 있어서는 정전기의 대전에 기인한 문제가 발생하는 경우가 있다. 예를 들면, 유리 기판에 소정 처리를 실시하기 위해 재치대 상에 유리 기판을 두었을 때에, 정전기의 대전에 기인해서 유리 기판이 재치대에 첩부되어 버리는 경우가 있고, 처리를 끝낸 유리 기판을 재치대로부터 박리시키려고 했을 때에, 상기 유리 기판이 파손되어버리는 경우가 있다.
그래서, 상기와 같은 문제에 대한 대책으로서, 불화수소 등의 처리 가스를 유리 기판에 블로잉해서 에칭 처리를 실시하고, 상기 유리 기판의 표면을 조면화 시킴으로써, 정전기의 대전에 기인한 문제의 발생을 회피하는 방법이 알려져 있다. 그리고, 이 방법의 하나의 구체예가 특허문헌 1에 개시되어 있다.
동 문헌에는, 반송 중인 유리 기판에 대하여 그 반송 경로의 상류측에서 분출 노즐로부터 처리 가스를 블로잉함으로써 에칭 처리를 실시함과 아울러, 반송 경로의 하류측에서 흡인 노즐에 의해 처리 가스를 흡인해서 배기하는 방법이 개시되어 있다. 또한, 동 문헌에 있어서 명시되어 있지는 않지만, 이러한 방법을 채용할 경우에는 처리 가스가 누출되는 것을 방지하기 위해서, 에칭 처리를 챔버 내에서 실시하는 경우가 많다. 이 챔버에는 유리 기판을 챔버 내로 반입하기 위한 반입구와, 챔버 외로 반출하기 위한 반출구가 형성되어 있다.
국제공개 제2011/105331호
그러나, 특허문헌 1에 개시된 방법을 채용해서 유리 기판에 에칭 처리를 실시할 경우에는 아직 하기와 같은 해결해야 할 문제가 발생하여 있다.
즉, 챔버에는 유리 기판의 반입구 및 반출구가 형성되어 있기 때문에, 챔버 내외의 기압차에 기인하여 반입구, 반출구를 통해서 챔버 내로 유입하는 기류가 발생하면, 이 기류가 유리 기판으로 블로잉되어야 할 처리 가스를 날려 버리는 경우가 있어서, 유리 기판의 표면의 조면화에 불균일이 발생해버리는 문제가 있었다.
상기 사정을 감안하여 이루어진 본 발명은 유리 기판의 반입구 및 반출구가 형성된 챔버 내에서 처리 가스를 이용하여 유리 기판에 에칭 처리를 실시하는 경우에, 그 확실한 실행을 가능하게 하는 것을 기술적인 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해서 창안된 본 발명에 따른 방법은 반입구로부터 챔버 내로 반입한 유리 기판을 수평 방향으로 반송하면서, 챔버 내에서의 유리 기판의 반송 경로 상에 설치한 처리 영역에서 처리 가스에 의해 에칭 처리를 실시한 후, 처리 후의 유리 기판을 반출구로부터 챔버 외로 반출하는 유리 기판의 제조 방법으로서, 유리 기판의 반송 경로 상에 있어서의 반입구와 처리 영역 사이, 및 처리 영역과 반출구 사이의 적어도 일방에 방풍 부재를 설치한 것을 특징으로 한다. 여기에서, 「유리 기판을 수평 방향으로 반송」이란, 유리 기판을 비경사 방향인 수평 방향으로 반송하는 경우뿐만 아니라, 유리 기판을 수평면에 대해서 상하로 30° 이하의 범위 내에서 경사진 방향으로 반송하는 경우도 포함한다. 또한, 이들 경우에 있어서의 유리 기판의 자세는 유리 기판이 반송 방향의 양측방에 대하여 비경사 상태가 되는 자세뿐만 아니라, 유리 기판이 반송 방향의 일측방으로부터 타측방에 대해서 30°이하의 범위 내에서 경사 상태가 되는 자세도 포함한다(이하, 동일함).
이러한 방법에 의하면, 챔버 내외의 기압차에 기인하여 반입구로부터 챔버 내로 유입하는 기류가 발생하기 쉬운 환경 하에서는, 적어도 유리 기판의 반송 경로 상에 있어서의 반입구와 처리 영역 사이에 방풍 부재를 설치해 둠으로써 발생한 기류가 처리 영역으로 유입되는 것을 가급적으로 회피할 수 있다. 마찬가지로 해서, 반출구로부터 챔버 내로 유입하는 기류가 발생하기 쉬운 환경하에서는 적어도 처리 영역과 반출구 사이에 방풍 부재를 설치해 둠으로써, 발생한 기류가 처리 영역으로 유입하는 것을 가급적으로 회피할 수 있다. 이것에 의해, 기류에 의해 유리 기판에 블로잉되어야 할 처리 가스가 날려지는 사태의 발생이 방지되어, 유리 기판에 대한 에칭 처리를 확실하게 실행하는 것이 가능해진다.
상기 방법에서는, 유리 기판의 반송 경로 상에 있어서의 반입구와 처리 영역 사이 및 처리 영역과 반출구 사이의 쌍방에 각각 방풍 부재를 설치하는 것이 바람직하다.
이와 같이 하면, 반입구와 처리 영역 사이 및 처리 영역과 반출구 사이의 쌍방에 각각 방풍 부재를 설치하고 있기 때문에, 반입구와 반출구의 양방으로부터 챔버 내로 기류가 유입하기 쉬운 환경하에 있어서도 기류가 처리 영역으로 유입되는 것을 방풍 부재에 의해 가급적으로 회피할 수 있다.
상기 방법에서는, 유리 기판의 반송 경로가 일직선으로 연장되어 있는 것이 바람직하다.
이렇게 하면, 반입구와 처리 영역과 반출구가 일직선 상으로 배열되기 때문에, 방풍 부재에 의해 기류의 처리 영역으로 향하는 진로를 차단하기 쉬워져서, 처리 영역으로의 기류의 유입을 더욱 회피하기 쉬워진다.
상기 방법에서는, 방풍 부재에 반송 중인 유리 기판을 통과시키기 위한 간극이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
이렇게 하면, 방풍 부재에 반송 중인 유리 기판을 통과시키기 위한 간극이 형성되어 있기 때문에, 방풍 부재에 의해 유리 기판의 반송이 저해되는 것을 확실하게 회피할 수 있다. 그리고, 유리 기판의 반송이 저해되는 것을 회피하면서, 방풍 부재에 간극을 사이에 두고 유리 기판이 통과하는 궤도의 상방측에 존재하는 부위와 하방측에 존재하는 부위의 쌍방을 형성할 수 있다. 이것에 의해, 방풍 부재에 의해 궤도의 상방측과 하방측의 양측에서 기류의 처리 영역으로 향하는 진로를 차단하기 쉬워지기 때문에, 처리 영역으로의 기류의 유입을 보다 한층 회피하기 쉬워진다.
상기 방법에서는, 유리 기판의 주면에 직교하는 높이 방향에 있어서, 방풍 부재의 꼭대기부와 꼭대기부에 대향하는 챔버의 내벽 사이에 형성되는 간극의 폭을 방풍 부재에 형성된 간극의 폭보다 넓게 하는 것이 바람직하다.
방풍 부재에 반송 중인 유리 기판을 통과시키기 위한 간극(이하, 제 1 간극이라고 표기함)이 형성되어 있으면, 제 1 간극을 통해서 기류가 처리 영역으로 유입될 우려가 있다. 그러나, 제 1 간극의 폭보다 방풍 부재의 꼭대기부와 꼭대기부에 대향하는 챔버의 내벽 사이에 형성되는 간극(이하, 제 2 간극이라고 표기함)의 폭을 넓게 하면, 상기의 우려를 적확하게 배제할 수 있다. 즉, 챔버 내로 유입해서 방풍 부재에 도달한 기류가 상대적으로 폭이 넓은 간극인 제 2 간극으로 유입하도록 유도하기 쉬워지기 때문에, 상대적으로 폭이 좁은 간극인 제 1 간극으로의 유입을 가급적으로 회피하는 것이 가능해진다.
상기 방법에서는, 유리 기판의 반송 방향을 따른 방풍 부재의 두께를 100mm 이상으로 하는 것이 바람직하다.
방풍 부재의 두께를 크게 하여 감에 따라, 챔버 내로 유입해서 방풍 부재에 도달한 기류가 방풍 부재에 형성된 간극을 통해서 처리 영역으로 유입되는 것을 회피하기 쉬워진다. 그리고, 방풍 부재의 두께를 100mm 이상으로 하면, 방풍 부재에 형성된 간극으로의 기류의 유입을 가급적으로 방지하는 것이 가능하다.
상기 방법에서는, 유리 기판의 주면을 따라 유리 기판의 반송 방향과 직교하는 폭방향에 있어서, 방풍 부재의 폭방향 양단부를 처리 영역에 있는 유리 기판의 폭방향 양단부보다 외방에 위치시키는 것이 바람직하다.
이렇게 하면, 반입구, 반출구를 통해서 챔버 내로 유입한 기류가 방풍 부재에 의해 진로를 차단하지 않고, 방풍 부재의 폭방향 양단부의 외방으로부터 직접적으로 처리 영역으로 유입되거나, 방풍 부재의 폭방향 양단부를 우회해서 처리 영역으로 유입되는 것을 회피하기 쉬워진다.
상기의 방법에서는, 유리 기판의 주면을 따라 유리 기판의 반송 방향과 직교하는 폭방향에 있어서, 방풍 부재의 폭방향 양단부를 반입구 및 반출구의 폭방향 양단부보다 외방에 위치시키는 것이 바람직하다.
이렇게 하면, 반입구, 반출구를 통해서 챔버 내로 유입한 기류의 진로를 방풍 부재에 의해 차단하기 쉬워진다. 그 때문에, 기류가 직접적으로 처리 영역으로 유입되는 것을 가급적으로 회피할 수 있다.
상기 방법에서는, 반입구와 처리 영역 사이에 설치되는 방풍 부재를 유리 기판의 반송 경로 상에 있어서의 반입구와 처리 영역의 중간 지점을 기준으로 해서 처리 영역측에 설치하고, 처리 영역과 반출구 사이에 설치되는 방풍 부재를 유리 기판의 반송 경로 상에 있어서의 처리 영역과 반출구의 중간 지점을 기준으로 해서 처리 영역측에 설치하는 것이 바람직하다.
이렇게 하면, 반입구와 처리 영역 중, 방풍 부재가 처리 영역 근처에 설치됨과 아울러, 처리 영역과 반출구 중 방풍 부재가 처리 영역 근처에 설치되는 것으로 되기 때문에, 방풍 부재를 우회한 기류가 처리 영역으로 유입되는 것을 회피하기 쉬워진다.
상기 방법에서는, 방풍 부재로서 판형상 부재를 사용하는 것이 바람직하다.
이렇게 하면, 반입구와 처리 영역 사이 및 처리 영역과 반출구 사이에 각각 판형상 부재를 설치하는 것만으로, 기류의 처리 영역으로의 유입을 가급적으로 회피하는 것이 가능해진다. 그 때문에, 기류의 처리 영역으로의 유입을 회피하기 위해서 필요한 비용이나 수고를 적게 할 수 있다.
또한, 상기 과제를 해결하기 위해서 창안된 본 발명에 따른 장치는 반입구로부터 챔버 내로 반입한 유리 기판을 수평 방향으로 반송하면서, 챔버 내에서의 유리 기판의 반송 경로 상에 설치한 처리 영역에서 처리 가스에 의해 에칭 처리를 시한 후, 처리 후의 유리 기판을 반출구로부터 챔버 외로 반출하도록 구성된 유리 기판의 제조 장치로서, 유리 기판의 반송 경로 상에 있어서의 반입구와 처리 영역 사이 및 처리 영역과 반출구 사이의 적어도 일방에 방풍 부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의하면, 상기 유리 기판의 제조 방법에 관한 설명에서 이미 설명한 사항과 동일한 작용·효과를 발휘하는 것이 가능하다.
본 발명에 따른 유리 기판의 제조 방법 및 유리 기판의 제조 장치에 의하면, 유리 기판의 반입구 및 반출구가 형성된 챔버 내에서 처리 가스를 이용하여 유리 기판에 에칭 처리를 실시하는 경우에, 그 확실한 실행이 가능해진다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 유리 기판의 제조 장치를 나타내는 개략 종단 측면도이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 유리 기판의 제조 장치에 구비된 개구폭 조절 부재를 나타내는 정면도이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 유리 기판의 제조 장치에 구비된 공급로의 근방을 나타내는 종단 측면도이다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 유리 기판의 제조 장치에 구비된 방풍 부재를 나타내는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 유리 기판의 제조 장치를 나타내는 개략 종단 측면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시형태에 따른 유리 기판의 제조 장치에 구비된 방풍 부재를 나타내는 사시도이다.
도 7a는 본 발명의 다른 실시형태에 따른 유리 기판의 제조 장치에 구비된 방풍 부재의 근방을 나타내는 종단 측면도이다.
도 7b는 본 발명의 다른 실시형태에 따른 유리 기판의 제조 장치에 구비된 방풍 부재의 근방을 나타내는 종단 측면도이다.
도 7c는 본 발명의 다른 실시형태에 따른 유리 기판의 제조 장치에 구비된 방풍 부재의 근방을 나타내는 종단 측면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 따른 유리 기판의 제조 방법 및 유리 기판의 제조 장치에 대해서 첨부한 도면을 참조해서 설명한다. 또한, 이하에 설명하는 실시형태는 챔버에 형성된 유리 기판의 반입구와 반출구의 양방으로부터 챔버 내로 기류가 유입하기 쉬운 환경에 적합한 형태를 일례로서 열거한 것이다.
<제 1 실시형태>
우선, 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 유리 기판의 제조 장치에 대해서 설명한다.
도 1에 나타나 있는 바와 같이, 제 1 실시형태에 따른 유리 기판의 제조 장치(1)는 반입구(2aa)로부터 챔버(2) 내로 반입된 유리 기판(3)을 수평 방향으로 반송하면서, 챔버(2) 내에서의 유리 기판(3)의 반송 경로 상에 설치한 처리 영역(4)에서 처리 가스(5)로서의 불화수소에 의해 에칭 처리를 실시한 후, 처리 후의 유리 기판(3)을 반출구(2ab)로부터 챔버(2) 외로 반출하는 구성으로 되어 있다. 이 유리 기판의 제조 장치(1)는 챔버(2) 내외에 배치된 복수의 롤러(6)에 의해 수평으로 일직선으로 연장된 반송 경로를 따라 유리 기판(3)을 평평한 자세로 반송하는 것이 가능하게 되어 있다.
챔버(2)는 그 외형이 직육면체 형상으로 형성되어 있고, 그 내부에 형성되는 공간(7)으로부터 처리 가스(5)가 챔버(2) 외로 유출하는 것을 방지하고 있다. 이 챔버(2)는 유리 기판(3)의 반입구(2aa), 반출구(2ab) 및 천정 구멍(2ac)이 형성된 본체(2a)와, 천정 구멍(2ac)을 차단하기 위한 판 형상의 뚜껑체(2b)를 구비하고 있다. 또한, 본체(2a) 및 뚜껑체(2b)의 재질은 처리 가스(5)(불화수소)에 대한 내식성이 우수한 폴리염화비닐로 되어 있다. 또한, 본체(2a) 내(공간(7) 내) 및 본체(2a) 외(챔버(2) 외)에는 각각 기압계(도시 생략)가 설치되어 있고, 양 기압계에 의해 챔버(2) 내외의 기압차를 측정하는 것이 가능하게 되어 있다.
반입구(2aa) 및 반출구(2ab)는 본체(2a)의 측벽부(2ad)에 형성됨과 아울러, 유리 기판(3)의 주면(상면 및 하면)을 따라 상기 유리 기판(3)의 반송 방향에 직교하는 폭방향(도 1에 있어서 지면에 연직한 방향이며, 이하 단지 폭방향이라고 표기함)에 장척의 직사각형으로 형성되어 있다. 천정 구멍(2ac)은 본체(2a)의 천정부(2ae)에 3개 형성되어 있다. 뚜껑체(2b)는 천정 구멍(2ac)의 개구 전체를 차단하는 것이 가능함과 아울러, 본체(2a)에의 부착 및 본체(2a)로부터의 제거가 가능하게 되어 있다.
반입구(2aa) 및 반출구(2ab)의 각각에 대해서, 상하 방향(유리 기판(3)의 주면에 직교하는 높이 방향)에 따른 개구폭은 본체(2a)의 측벽부(2ad)를 따라 상하동시키는 것이 가능한 개구폭 조절 부재(8)에 의해 조절할 수 있게 되어 있다. 이 개구폭 조절 부재(8)에 의한 반입구(2aa) 및 반출구의 개구폭의 조절은 본체(2a)로부터 뚜껑체(2b)를 제거함으로써, 천정 구멍(2ac)을 통해서 작업자가 행하는 것이 가능하게 되어 있다. 이 반입구(2aa) 및 반출구(2ab)의 개구폭의 조절은 상기 양 기압계에 의해 측정된 챔버(2) 내외의 기압차에 근거해서 행해진다. 이것에 의해, 챔버(2) 내외의 기압차에 기인해서 발생하여 반입구(2aa), 반출구(2ab)를 통해서 챔버(2) 내로 유입하는 기류(9)의 유속을 조절하는 것이 가능하게 되어 있다.
도 2에 나타나 있는 바와 같이, 개구폭 조절 부재(8)는 한 쌍의 판형상 부재(8a, 8b)를 구비하고 있다. 한 쌍의 판형상 부재(8a, 8b)의 각각에는 볼트(8c)를 관통시키기 위한 상하 방향으로 장척의 한 쌍의 장공(8aa(8ba))이 형성되어 있다. 또한, 한 쌍의 판형상 부재(8a, 8b) 및 볼트(8c)의 재질은 폴리염화비닐로 되어 있다. 그리고, 장공(8aa(8ba))과 상기 장공(8aa(8ba))을 관통한 볼트(8c)의 상대적인 위치 관계를 조절함과 아울러, 상기 볼트(8c)를 본체(2a)의 측벽부(2ad)에 형성된 나사 구멍(도시 생략)에 고정하고, 한 쌍의 판형상 부재(8a, 8b)의 각각 상하 방향에 있어서의 위치를 위치 결정함으로써 반입구(2aa) 및 반출구(2ab) 상하 방향을 따른 개구폭을 조절하는 것이 가능하게 되어 있다.
도 1에 나타나 있는 바와 같이, 처리 영역(4)에는 챔버(2) 내에 설치된 복수의 롤러(6)에 의해 반송되는 유리 기판(3)에 처리 가스(5)를 블로잉함으로써 에칭 처리를 실시하기 위한 처리기(10)가 배치되어 있다. 처리기(10)는 처리 영역(4)으로 반입된 유리 기판(3)의 하면과 대향하도록 배치된 본체부(10a)와, 유리 기판(3)의 상면과 대향하도록 배치된 천판부(10b)를 구비하고 있다. 이들 본체부(10a)와 천판부(10b)의 상호 간에는 유리 기판(3)에 에칭 처리를 실시하기 위한 처리 공간(10c)이 형성된다. 처리 공간(10c)의 폭방향을 따른 길이는 유리 기판(3)의 전체 폭(폭방향에 따른 길이)보다 길게 되어 있다. 또한, 본체부(10a) 및 천판부(10b)의 재질은 폴리염화비닐로 되어 있다.
본체부(10a)는 유리 기판(3)의 하면에 블로잉하는 처리 가스(5)를 처리 공간(10c)에 공급하고, 또한 상대적으로 유리 기판(3)의 반송 경로의 상류측에 설치된 공급로(10aa)와, 처리 공간(10c)으로부터 처리 가스(5)를 회수하고, 또한 상대적으로 유리 기판(3)의 반송 경로의 하류측에 설치된 회수로(10ab)를 갖고 있다. 이것에 의해, 공급로(10aa)로부터 처리 공간(10c)으로 공급된 처리 가스(5)는 유리 기판(3)의 하면에 블로잉된 후, 유리 기판(3)의 반송 경로의 하류측을 향해서 흐르고, 회수로(10ab)에 의해 처리 공간(10c)으로부터 회수되도록 되어 있다. 또한, 본체부(10a)에는 처리 가스(5)에 의한 결로의 발생을 방지하기 위해서, 본체부(10a)의 가열이 가능한 가열 부재(10ac)(예를 들면, 히터 등)가 내장되어 있다.
공급로(10aa)에 있어서의 처리 가스(5)의 유출구 및 회수로(10ab)에 있어서의 처리 가스(5)의 유입구는 모두 폭방향으로 장척의 슬릿 형상으로 형성되어 있다. 이들 유출구 및 유입구의 폭방향에 따른 전체 폭은 유리 기판(3)의 폭방향의 전체 폭보다 길게 되어 있다. 또한, 도 3에 나타나 있는 바와 같이, 공급로(10aa)에 있어서의 처리 가스(5)의 유출구는 그 유리 기판(3)의 반송 방향을 따른 개구폭이 상기 공급로(10aa) 내에 설치된 스페이서(11)에 의해 일정한 폭이 되도록 조절되어 있다. 스페이서(11)는 서로 이간된 상태에서 폭방향을 따라 복수 설치되어 있다.
여기에서, 공급로(10aa)에 있어서의 처리 가스(5)의 유출구로부터 스페이서(11)가 설치된 위치까지의 깊이 치수(D)는 10mm∼100mm의 범위 내로 하는 것이 바람직하다. 이 깊이 치수(D)가 지나치게 작으면, 스페이서(11)에 의해 공급로(10aa) 내의 처리 가스(5)의 흐름에 혼란이 생겨서, 에칭 처리에 의한 유리 기판(3)의 하면의 조면화에 불균일이 생길 우려가 있다. 한편, 깊이 치수(D)가 지나치게 크면, 공급로(10aa)에 있어서의 처리 가스(5)의 유출구에 대해서 그 유리 기판(3)의 반송 방향을 따른 개구폭을 소망의 폭으로 조절하는 것이 곤란해진다. 그 때문에, 유출구로부터 처리 공간(10c)으로의 처리 가스(5)의 공급량이 과대 또는 과소가 되어서 유리 기판(3)의 하면을 소망의 표면 거칠기로 조면화할 수 없는 우려가 있다.
도 1에 나타나 있는 바와 같이, 천판부(10b)는 단일의 판형상 부재로 이루어짐과 아울러, 처리 영역(4)에 반입된 유리 기판(3)의 상면과 대향하는 평탄면을 갖고 있다. 또한, 천판부(10b)에는 본체부(10a)와 마찬가지로 해서 처리 가스(5)에 의한 결로의 발생을 방지하기 위해서, 천판부(10b)의 가열이 가능한 가열 부재(10ba)(예를 들면, 히터 등)가 내장되어 있다.
유리 기판(3)의 반송 경로 상에 있어서의 반입구(2aa)와 처리 영역(4) 사이 및 처리 영역(4)과 반출구(2ab) 사이에는 챔버(2) 내로 유입한 기류(9)의 처리 영역(4)으로의 유입을 방지하기 위한 방풍 부재(12)가 각각 하나씩 설치되어 있다. 반입구(2aa)와 처리 영역(4) 사이에 설치된 방풍 부재(12)는 반입구(2aa)와 처리 영역(4)의 중간 지점을 기준으로 해서 처리 영역(4)측에 설치되어 있다. 마찬가지로 해서, 처리 영역(4)과 반출구(2ab) 사이에 설치된 방풍 부재(12)는 처리 영역(4)과 반출구(2ab)의 중간 지점을 기준으로 해서 처리 영역(4)측에 설치되어 있다.
여기에서, 본 실시형태에서는 반입구(2aa)와 처리 영역(4) 사이 및 처리 영역(4)과 반출구(2ab) 사이에 각각 하나씩 방풍 부재(12)가 설치되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 반입구(2aa)와 처리 영역(4) 사이 및 처리 영역(4)과 반출구(2ab) 사이에 각각 복수의 방풍 부재(12)를 설치해도 좋다. 또한, 반입구(2aa)와 처리 영역(4) 사이와, 처리 영역(4)과 반출구(2ab) 사이에 설치되는 방풍 부재(12)의 수가 달라도 좋다. 또한, 본 실시형태에서는 반입구(2aa)와 처리 영역(4) 사이에 설치된 방풍 부재(12)가 반입구(2aa)와 처리 영역(4)의 중간 지점을 기준으로 해서 처리 영역(4)측에 설치되어 있지만, 이것에 한정되지 않는다. 방풍 부재(12)는 반입구(2aa)와 처리 영역(4) 사이이면 임의의 위치에 설치해도 좋다(처리 영역(4)과 반출구(2ab) 사이에 설치된 방풍 부재(12)에 대해서도 마찬가지임).
도 4에 나타나 있는 바와 같이, 방풍 부재(12)는 단일의 판형상 부재로 이루어짐과 아울러, 반송 중인 유리 기판(3)을 통과시키기 위한 간극으로서의 개구(12a)가 형성되어 있다. 이 개구(12a)는 직사각형으로 형성되어 있고, 그 폭방향에 따른 개구폭(W), 상하 방향을 따른 개구폭(H)은 각각 유리 기판(3)의 폭방향을 따른 전체 폭, 유리 기판(3)의 두께보다 크게 되어 있다. 또한, 방풍 부재(12)의 유리 기판(3)의 반송 방향을 따른 두께(T)는 챔버(2) 내로 유입해서 방풍 부재(12)에 도달한 기류(9)가 개구(12a)를 통해서 처리 영역(4)으로 유입되는 것을 방지하기 위해서, 100mm 이상으로 하는 것이 바람직하고, 150mm 이상으로 하는 것이 더욱 바람직하다. 또한, 두께(T)의 상한은 300mm로 하는 것이 바람직하다.
여기에서, 본 실시형태에서는 방풍 부재(12)로서 판형상 부재를 사용하고 있지만, 이것에 한정되지 않고, 각종 형상의 것을 방풍 부재(12)로서 사용해도 좋다. 또한, 본 실시형태에서는 방풍 부재(12)에 직사각형의 개구(12a)가 형성되어 있지만, 이것에 한정되지 않고, 반송 중인 유리 기판(3)을 통과시키는 것이 가능한 형상이면, 개구(12a)의 형상은 임의의 형상으로 해도 좋다.
도 1에 나타나 있는 바와 같이, 상하 방향에 있어서 방풍 부재(12)의 꼭대기부(12b)와 이 꼭대기부(12b)에 대향하는 본체(2a)의 천정부(2ae) 사이에 형성되는 간극의 폭(HH)은 방풍 부재(12)에 형성된 개구(12a)의 개구폭(H)보다 넓게 되어 있다. 또한, 방풍 부재(12)의 꼭대기부(12b)는 처리기(10)의 천판부(10b)보다 상방에 위치하고 있다. 또한, 폭방향에 있어서, 방풍 부재(12)의 폭방향 양단부(12c)는 처리 영역(4)에 있는 유리 기판(3)의 폭방향 양단부보다 외방에 위치함과 아울러, 반입구(2aa) 및 반출구(2ab)의 폭방향 양단부보다 외방에 위치하도록 되어 있다.
이하, 상기 유리 기판의 제조 장치(1)를 사용한 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 유리 기판의 제조 방법에 대해서 설명한다.
우선, 유리 기판의 제조 장치(1)를 가동시켜 복수의 롤러(6)에 의한 유리 기판(3)의 반송을 개시하여 반입구(2aa)로부터 챔버(2) 내로 유리 기판(3)을 반입한다. 그 후, 반입구(2aa)와 처리 영역(4) 사이에 설치된 방풍 부재(12)의 개구(12a)를 유리 기판(3)에 통과시켜 유리 기판(3)을 처리 영역(4)으로 반입한다.
유리 기판(3)의 처리 영역(4)으로의 반입이 완료되면, 처리기(10)에 형성된 처리 공간(10c) 내에서 유리 기판(3)을 반송하면서, 공급로(10aa)로부터 처리 공간(10c)으로 공급된 처리 가스(5)를 유리 기판(3)에 블로잉해서 에칭 처리를 실시함과 아울러, 회수로(10ab)로부터 처리 공간(10c) 내의 처리 가스(5)를 회수한다. 이 때, 반입구(2aa), 반출구(2ab)를 통과해서 챔버(2) 내로 유입된 기류(9)의 처리 영역(4)으로의 유입이 방풍 부재(12)에 의해 회피된다.
유리 기판(3)에의 에칭 처리가 완료되면, 처리 영역(4)으로부터 유리 기판(3)을 반출한다. 그 후, 처리 영역(4)과 반출구(2ab) 사이에 설치된 방풍 부재(12)의 개구(12a)를 유리 기판(3)에 통과시킨다. 또한 그 후, 반출구(2ab)로부터 챔버(2) 외로 유리 기판(3)을 반출한다. 이상에 의해, 에칭 처리가 실시된 유리 기판(3)이 얻어진다.
또한, 유리 기판의 제조 장치(1)의 가동 중에는 챔버(2)의 본체(2a) 내(공간(7) 내) 및 본체(2a) 외(챔버(2) 외)에 각각 설치된 양 기압계에 의해 챔버(2) 내외의 기압차를 측정한다. 그리고, 측정된 기압차에 의거하여 유리 기판(3)의 반입구(2aa) 및 반출구(2ab)의 상하 방향을 따른 개구폭을 조절할 경우에는, 유리 기판의 제조 장치(1)의 가동을 일단 정지시킨 후에, 개구폭의 조절을 행한다.
이하, 상기 유리 기판의 제조 장치(1) 및 유리 기판의 제조 방법을 사용했을 경우의 주된 작용·효과에 대해서 설명한다.
상기 유리 기판의 제조 장치(1) 및 유리 기판의 제조 방법에 의하면, 챔버(2) 내외의 기압차에 기인하여 반입구(2aa), 반출구(2ab)를 통해서 챔버(2) 내로 유입하는 기류(9)가 발생했을 경우에 있어서도, 유리 기판(3)의 반송 경로 상에 있어서의 반입구(2aa)와 처리 영역(4) 사이 및 처리 영역(4)과 반출구(2ab) 사이에 각각 방풍 부재(12)가 설치되어 있기 때문에, 발생한 기류(9)가 처리 영역(4)으로 유입되는 것을 방풍 부재(12)에 의해 가급적으로 회피할 수 있다. 이것에 의해, 기류(9)에 의해 유리 기판(3)에 블로잉되어야 할 처리 가스(5)가 날려지는 사태의 발생이 방지되어, 유리 기판(3)에 대한 에칭 처리를 확실하게 실행하는 것이 가능해진다.
<제 2 실시형태>
이하, 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 유리 기판의 제조 장치 및 유리 기판의 제조 방법에 대해서 설명한다. 또한, 이 제 2 실시형태의 설명에 있어서, 상기의 제 1 실시형태에서 이미 설명한 사항에 대해서는 제 2 실시형태의 설명에서 참조하는 도면에 동일한 부호를 붙임으로써 중복되는 설명을 생략하고, 제 1 실시형태와의 차이점에 대해서만 설명한다.
우선, 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 유리 기판의 제조 장치에 대해서 설명한다.
도 5에 나타나 있는 바와 같이, 제 2 실시형태에 따른 유리 기판의 제조 장치(1)가 상기 제 1 실시형태에 따른 유리 기판의 제조 장치(1)와 상위하고 있는 점은 이하의 (1), (2)의 2점이다. (1) 처리기(10)의 천판부(10b) 상에 H강(17)이 설치되어 있는 점. (2) 처리기(10)와 동일한 외형을 갖고, 또한 유리 기판(3)에 대한 에칭 처리를 실행하지 않는 더미 처리기(18)와 더미 처리기(18) 상에 설치된 H강(19)의 양자에 의해 방풍 부재(12)가 구성되어 있는 점.
천판부(10b) 상의 H강(17)은 유리 기판(3)의 폭방향을 따라 연장되어 있고, 천판부(10b)의 전체 폭을 따라 설치되어 있다. H강(17)은 처리 공간(10c) 내를 반송 중인 유리 기판(3)의 상면과 상면에 대향하는 천판부(10b)의 평탄면의 접촉을 회피하기 위해서, 천판부(10b)의 자체 중량에 의한 휨을 방지하기 위한 보강 부재로서의 기능을 갖는다.
더미 처리기(18)는 상단에 개구(18aa)가 형성된 상자 형상의 본체부(18a)와, 단일의 판형상 부재로 이루어지는 천판부(18b)를 구비하고 있고, 양자(18a, 18b)가 유리 기판(3)의 반송 경로를 상하에 끼워 대향하도록 배치되어 있다.
본체부(18a)는 직육면체 형상으로 형성되어 있고, 본체부(18a)의 개구(18aa)는 직사각형으로 형성되어 있다. 개구(18aa)의 폭방향을 따른 길이는 유리 기판(3)의 전체 폭보다 길게 되어 있다. 또한, 본체부(18a)의 저부에는 관통공(18ab)이 형성되어 있고, 관통공(18ab)은 도시 생략한 세정 집진 장치(스크루버)와 접속되어 있다. 그리고, 유리 기판(3)의 반송에 따라 처리 공간(10c)으로부터 유출된 처리 가스(5)를 개구(18aa) 및 관통공(18ab)을 통해서 배기하고, 세정 집진 장치로 보내는 것이 가능하게 되어 있다.
천판부(18b)는 더미 처리기(18)를 통과하는 유리 기판(3)의 상면과 대향하는 평탄면을 갖는다. 또한, 천판부(18b) 상에 설치된 H강(19)은 천판부(10b) 상의 H강(17)과 마찬가지로 유리 기판(3)의 폭방향을 따라 연장되어 있고, 천판부(18b)의 전체 폭을 따라 설치되어 있다. 그리고, H강(19)은 더미 처리기(18)를 통과 중인 유리 기판(3)의 상면과 상면에 대향하는 천판부(18b)의 평탄면의 접촉을 회피하기 위해서, 천판부(18b)의 자체 중량에 의한 휨을 방지하기 위한 보강 부재로서의 기능을 갖는다.
또한, 상기 유리 기판의 제조 장치(1)를 사용하여, 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 유리 기판의 제조 방법을 실행하는 형태는, 더미 처리기(18)의 개구(18aa) 및 관통공(18ab)을 통해서 처리 공간(10c)으로부터 유출된 처리 가스(5)의 배기를 행하는 점 이외에는 상기 제 1 실시형태와 같으므로, 중복되는 설명을 생략한다.
여기에서, 본 발명에 따른 유리 기판의 제조 장치 및 유리 기판의 제조 방법은 상기 실시형태에서 설명한 구성이나 형태에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 상기 제 1 실시형태에 있어서는, 방풍 부재가 단일의 판형상 부재로 되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 도 6에 나타나 있는 바와 같이, 유리 기판을 통과시키기 위한 간극(13)을 통해서 상하로 분할된 2매의 판형상 부재(14, 15)로 방풍 부재를 구성해도 좋다.
또한, 챔버 내로 유입된 기류가 방풍 부재에 형성된 개구(간극)를 통해서 처리 영역으로 유입되는 것을 회피하기 쉽게 하기 위해서, 도 7a∼도 7c에 나타나 있는 바와 같이 방풍 부재(12)에 형성된 개구(12a)(간극(13))는 간극 개폐 부재로서의 셧터(16)의 상하동에 의해 개폐되도록 해도 좋다. 이 경우, 동 도면에 나타나 있는 바와 같이, 유리 기판(3)이 방풍 부재(12)를 통과할 때에만 개구(12a)(간극(13))이 개방된 상태로 하는 것이 바람직하다. 여기에서, 셧터(16)의 동작 방향은 반드시 상하 방향으로 할 필요는 없고, 방풍 부재(12)에 형성된 개구(12a)(간극(13))을 개폐만할 수 있으면, 그 동작 방향은 임의의 방향으로 해도 좋다.
또한, 상기 실시형태에서 설명한 유리 기판의 제조 장치 및 유리 기판의 제조 방법은 챔버에 형성된 유리 기판의 반입구와 반출구의 양방으로부터 챔버 내로 기류가 유입되기 쉬운 환경에 적합한 구성 및 형태를 일례로서 든 것이다. 그리고, 본 발명에 따른 유리 기판의 제조 장치 및 유리 기판의 제조 방법은 그 이외의 환경 하에서도 적용하는 것이 가능하다. 예를 들면, 반입구로부터만 기류가 챔버 내로 유입되기 쉬운 환경에서는, 유리 기판의 반송 경로 상에 있어서의 반입구와 처리 영역 사이에만 방풍 부재를 설치해도 좋다. 마찬가지로, 반출구로부터만 기류가 챔버 내로 유입되기 쉬운 환경에서는, 유리 기판의 반송 경로 상에 있어서의 처리 영역과 반출구 사이에만 방풍 부재를 설치해도 좋다.
1: 유리 기판의 제조 장치 2: 챔버
2a: 본체 2aa: 반입구
2ab: 반출구 2ac: 천정 구멍
2ad: 측벽부 2ae: 천정부
2b: 뚜껑 3: 유리 기판
4: 처리 영역 5: 처리 가스
9: 기류 12: 방풍 부재
12a: 개구 12b: 꼭대기부
12c: 폭방향 양단부 13: 간극
14: 판형상 부재 15: 판형상 부재
16: 셧터 18: 더미 처리기
19: H강 H: 개구폭
HH: 간극의 폭 T: 두께

Claims (11)

  1. 반입구로부터 챔버 내로 반입한 유리 기판을 수평 방향으로 반송하면서, 상기 챔버 내에서의 상기 유리 기판의 반송 경로 상에 설치한 처리 영역에서 처리 가스에 의해 에칭 처리를 실시한 후, 처리 후의 상기 유리 기판을 반출구로부터 상기 챔버 외로 반출하는 유리 기판의 제조 방법으로서,
    상기 유리 기판의 반송 경로 상에 있어서의 상기 반입구와 상기 처리 영역 사이 및 상기 처리 영역과 상기 반출구 사이 중 적어도 일방에 방풍 부재를 설치한 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 유리 기판의 반송 경로 상에 있어서의 상기 반입구와 상기 처리 영역 사이 및 상기 처리 영역과 상기 반출구 사이의 쌍방에 각각 방풍 부재를 설치한 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 유리 기판의 반송 경로가 일직선으로 연장되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 방풍 부재에 반송 중인 상기 유리 기판을 통과시키기 위한 간극이 형성 되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 유리 기판의 주면에 직교하는 높이 방향에 있어서, 상기 방풍 부재의 꼭대기부와 상기 꼭대기부에 대향하는 상기 챔버의 내벽 사이에 형성되는 간극의 폭을 상기 방풍 부재에 형성된 상기 간극의 폭보다 넓게 하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법.
  6. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,
    상기 유리 기판의 반송 방향을 따른 상기 방풍 부재의 두께를 100mm 이상으로 하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유리 기판의 주면을 따라 상기 유리 기판의 반송 방향과 직교하는 폭방향에 있어서, 상기 방풍 부재의 폭방향 양단부를 상기 처리 영역에 있는 상기 유리 기판의 폭방향 양단부보다 외방에 위치시키는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유리 기판의 주면을 따라 상기 유리 기판의 반송 방향과 직교하는 폭방향에 있어서, 상기 방풍 부재의 폭방향 양단부를 상기 반입구 및 상기 반출구의 폭방향 양단부보다 외방에 위치시키는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반입구와 상기 처리 영역 사이에 설치되는 상기 방풍 부재를 상기 유리 기판의 반송 경로 상에 있어서의 상기 반입구와 상기 처리 영역의 중간 지점을 기준으로 해서 상기 처리 영역측에 설치하고,
    상기 처리 영역과 상기 반출구 사이에 설치되는 상기 방풍 부재를 상기 유리 기판의 반송 경로 상에 있어서의 상기 처리 영역과 상기 반출구의 중간 지점을 기준으로 해서 상기 처리 영역측에 설치한 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 방풍 부재로서 판형상 부재를 사용하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법.
  11. 반입구로부터 챔버 내로 반입한 유리 기판을 수평 방향으로 반송하면서, 상기 챔버 내에서의 상기 유리 기판의 반송 경로 상에 설치한 처리 영역에서 처리 가스에 의해 에칭 처리를 실시한 후, 처리 후의 상기 유리 기판을 반출구로부터 상기 챔버 외로 반출하도록 구성된 유리 기판의 제조 장치로서,
    상기 유리 기판의 반송 경로 상에 있어서의 상기 반입구와 상기 처리 영역 사이 및 상기 처리 영역과 상기 반출구 사이 중 적어도 일방에 방풍 부재가 설치 되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 장치.
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