JP6691694B2 - ガラス基板の製造方法、及びガラス基板の製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、フッ化水素等の処理ガスを用いてガラス基板にエッチング処理を施すガラス基板の製造方法、及びガラス基板の製造装置に関する。

周知のように、ガラス基板は、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ等に代表されるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）や、スマートホン、タブレット型ＰＣ等のモバイル機器をはじめとして、多種多様な電子デバイスに組み込まれている。

ところで、ガラス基板の製造工程においては、静電気の帯電に起因した問題が生じることがある。例えば、ガラス基板に所定の処理を施すべく載置台上にガラス基板を置いた際に、静電気の帯電に起因してガラス基板が載置台に貼り付いてしまう場合があり、処理を終えたガラス基板を載置台から剥離させようとした際に、当該ガラス基板が破損してしまうことがある。

そこで、上記のような問題への対策として、フッ化水素等の処理ガスをガラス基板に噴き付けてエッチング処理を施し、当該ガラス基板の表面を粗化させることにより、静電気の帯電に起因した問題の発生を回避する手法が知られている。そして、この手法の一つの具体例が特許文献１に開示されている。

同文献には、搬送中のガラス基板に対し、その搬送経路の上流側で吹出ノズルから処理ガスを噴き付けることでエッチング処理を施すと共に、搬送経路の下流側で吸引ノズルにより処理ガスを吸引して排気する方法が開示されている。なお、同文献において明示されてはいないが、このような方法を採用する場合には、処理ガスが漏れ出すことを防止するため、エッチング処理をチャンバー内で施す場合が多い。このチャンバーには、ガラス基板をチャンバー内へと搬入するための搬入口と、チャンバー外へと搬出するための搬出口とが形成されている。

国際公開第２０１１／１０５３３１号

しかしながら、特許文献１に開示された方法を採用してガラス基板にエッチング処理を施す場合には、未だ下記のような解決すべき問題が生じている。

すなわち、チャンバーにはガラス基板の搬入口、及び搬出口が形成されているため、チャンバー内外の気圧差に起因して、搬入口、搬出口を通じてチャンバー内へと流入する気流が発生すると、この気流がガラス基板に噴き付けられるべき処理ガスを吹き飛ばしてしまう場合があり、ガラス基板の表面の粗化にむらが生じてしまう問題があった。

上記の事情に鑑みなされた本発明は、ガラス基板の搬入口及び搬出口が形成されたチャンバー内で、処理ガスを用いてガラス基板にエッチング処理を施す場合に、その確実な実行を可能とすることを技術的な課題とする。

上記の課題を解決するために創案された本発明に係る方法は、搬入口からチャンバー内へと搬入したガラス基板を水平方向に搬送しつつ、チャンバー内でのガラス基板の搬送経路上に設けた処理領域で処理ガスによりエッチング処理を施した後、処理後のガラス基板を搬出口からチャンバー外へと搬出するガラス基板の製造方法であって、ガラス基板の搬送経路上における搬入口と処理領域との間、及び、処理領域と搬出口との間の少なくとも一方に、防風部材を設置したことに特徴付けられる。ここで、「ガラス基板を水平方向に搬送」とは、ガラス基板を非傾斜方向である水平方向に搬送する場合のみならず、ガラス基板を水平面に対して上下に３０°以下の範囲内で傾斜した方向に搬送する場合をも含む。また、これらの場合におけるガラス基板の姿勢は、ガラス基板が搬送方向の両側方に対して非傾斜状態となる姿勢のみならず、ガラス基板が搬送方向の一側方から他側方に対して３０°以下の範囲内で傾斜状態となる姿勢をも含む（以下、同じ）。

このような方法によれば、チャンバー内外の気圧差に起因して、搬入口からチャンバー内へと流入する気流が発生しやすい環境下では、少なくともガラス基板の搬送経路上における搬入口と処理領域との間に防風部材を設置しておくことで、発生した気流が処理領域へと流れ込むことを可及的に回避することができる。同様にして、搬出口からチャンバー内へと流入する気流が発生しやすい環境下では、少なくとも処理領域と搬出口との間に防風部材を設置しておくことで、発生した気流が処理領域へと流れ込むことを可及的に回避することができる。これにより、気流によってガラス基板に噴き付けられるべき処理ガスが吹き飛ばされるような事態の発生が防止され、ガラス基板に対するエッチング処理を確実に実行することが可能となる。

上記の方法では、ガラス基板の搬送経路上における搬入口と処理領域との間、及び、処理領域と搬出口との間の双方に、それぞれ防風部材を設置することが好ましい。

このようにすれば、搬入口と処理領域との間、及び、処理領域と搬出口との間の双方に、それぞれ防風部材を設置していることから、搬入口と搬出口との両方からチャンバー内へと気流が流入しやすい環境下においても、気流が処理領域へと流れ込むことを防風部材によって可及的に回避することができる。

上記の方法では、ガラス基板の搬送経路が一直線に延びていることが好ましい。

このようにすれば、搬入口と処理領域と搬出口とが一直線上に並ぶことから、防風部材によって気流の処理領域へと向かう進路を遮りやすくなり、処理領域への気流の流れ込みを更に回避しやすくなる。

上記の方法では、防風部材に、搬送中のガラス基板を通過させるための隙間が形成されていることが好ましい。

このようにすれば、防風部材に搬送中のガラス基板を通過させるための隙間が形成されていることから、防風部材によってガラス基板の搬送が阻害されることを確実に回避できる。そして、ガラス基板の搬送が阻害されることを回避しつつ、防風部材に、隙間を挟んでガラス基板が通過する軌道の上方側に存する部位と、下方側に存する部位との双方を設けることができる。これにより、防風部材によって軌道の上方側と下方側との両側で気流の処理領域へと向かう進路を遮りやすくなるため、処理領域への気流の流れ込みをより一層回避しやすくなる。

上記の方法では、ガラス基板の主面に直交する高さ方向において、防風部材の頂部と頂部に対向するチャンバーの内壁との間に形成される隙間の幅を、防風部材に形成された隙間の幅よりも広くすることが好ましい。

防風部材に、搬送中のガラス基板を通過させるための隙間（以下、第一の隙間と表記する）が形成されていると、第一の隙間を通じて気流が処理領域へと流れ込むおそれがある。しかしながら、第一の隙間の幅よりも、防風部材の頂部と頂部に対向するチャンバーの内壁との間に形成される隙間（以下、第二の隙間と表記する）の幅を広くすれば、上記のおそれを的確に排除することができる。すなわち、チャンバー内へと流入して防風部材へと到達した気流が、相対的に幅の広い隙間である第二の隙間へと流入するように誘導しやすくなるため、相対的に幅の狭い隙間である第一の隙間への流入を可及的に回避することが可能となる。

上記の方法では、ガラス基板の搬送方向に沿った防風部材の厚みを、１００ｍｍ以上とすることが好ましい。

防風部材の厚みを大きくしていくに従って、チャンバー内へと流入して防風部材へと到達した気流が、防風部材に形成された隙間を通じて処理領域へと流れ込むことを回避しやすくなる。そして、防風部材の厚みを１００ｍｍ以上とすれば、防風部材に形成された隙間への気流の流入を可及的に防止することが可能である。

上記の方法では、ガラス基板の主面に沿ってガラス基板の搬送方向と直交する幅方向において、防風部材の幅方向両端部を、処理領域にあるガラス基板の幅方向両端部よりも外方に位置させることが好ましい。

このようにすれば、搬入口、搬出口を通じてチャンバー内へと流入した気流が、防風部材によって進路を遮られることなく、防風部材の幅方向両端部の外方から直接に処理領域へと流れ込んだり、防風部材の幅方向両端部を迂回して処理領域へと流れ込むことを回避しやすくなる。

上記の方法では、ガラス基板の主面に沿ってガラス基板の搬送方向と直交する幅方向において、防風部材の幅方向両端部を、搬入口及び搬出口の幅方向両端部よりも外方に位置させることが好ましい。

このようにすれば、搬入口、搬出口を通じてチャンバー内へと流入した気流の進路を防風部材によって遮りやすくなる。そのため、気流が直接に処理領域へと流れ込むことを可及的に回避することができる。

上記の方法では、搬入口と処理領域との間に設置される防風部材を、ガラス基板の搬送経路上における搬入口と処理領域との中間地点を基準として処理領域側に設置し、処理領域と搬出口との間に設置される防風部材を、ガラス基板の搬送経路上における処理領域と搬出口との中間地点を基準として処理領域側に設置することが好ましい。

このようにすれば、搬入口と処理領域とのうち、防風部材が処理領域寄りに設置されると共に、処理領域と搬出口とのうち、防風部材が処理領域寄りに設置されることになるため、防風部材を迂回した気流が処理領域へと流れ込むことを回避しやすくなる。

上記の方法では、防風部材として板状部材を用いることが好ましい。

このようにすれば、搬入口と処理領域との間、及び、処理領域と搬出口との間に、それぞれ板状部材を設置するだけで、気流の処理領域への流れ込みを可及的に回避することが可能となる。そのため、気流の処理領域への流れ込みを回避するために要するコストや手間を少なくすることができる。

また、上記の課題を解決するために創案された本発明に係る装置は、搬入口からチャンバー内へと搬入したガラス基板を水平方向に搬送しつつ、チャンバー内でのガラス基板の搬送経路上に設けた処理領域で処理ガスによりエッチング処理を施した後、処理後のガラス基板を搬出口からチャンバー外へと搬出するように構成されたガラス基板の製造装置であって、ガラス基板の搬送経路上における搬入口と処理領域との間、及び、処理領域と搬出口との間の少なくとも一方に、防風部材が設置されていることに特徴付けられる。

このような構成によれば、上記のガラス基板の製造方法に係る説明で既に述べた事項と同一の作用・効果を奏することが可能である。

本発明に係るガラス基板の製造方法、及びガラス基板の製造装置によれば、ガラス基板の搬入口及び搬出口が形成されたチャンバー内で、処理ガスを用いてガラス基板にエッチング処理を施す場合に、その確実な実行が可能となる。

本発明の第一実施形態に係るガラス基板の製造装置を示す概略縦断側面図である。 本発明の第一実施形態に係るガラス基板の製造装置に備えられた開口幅調節部材を示す正面図である。 本発明の第一実施形態に係るガラス基板の製造装置に備えられた供給路の近傍を示す縦断側面図である。 本発明の第一実施形態に係るガラス基板の製造装置に備えられた防風部材を示す斜視図である。 本発明の第二実施形態に係るガラス基板の製造装置を示す概略縦断側面図である。 本発明の他の実施形態に係るガラス基板の製造装置に備えられた防風部材を示す斜視図である。 本発明の他の実施形態に係るガラス基板の製造装置に備えられた防風部材の近傍を示す縦断側面図である。 本発明の他の実施形態に係るガラス基板の製造装置に備えられた防風部材の近傍を示す縦断側面図である。 本発明の他の実施形態に係るガラス基板の製造装置に備えられた防風部材の近傍を示す縦断側面図である。

以下、本発明の実施形態に係るガラス基板の製造方法、及びガラス基板の製造装置について添付の図面を参照して説明する。なお、以下に説明する実施形態は、チャンバーに形成されたガラス基板の搬入口と搬出口との両方からチャンバー内へと気流が流入しやすい環境に適した形態を一例として挙げたものである。

＜第一実施形態＞
はじめに、本発明の第一実施形態に係るガラス基板の製造装置について説明する。

図１に示すように、第一実施形態に係るガラス基板の製造装置１は、搬入口２ａａからチャンバー２内へと搬入したガラス基板３を水平方向に搬送しつつ、チャンバー２内でのガラス基板３の搬送経路上に設けた処理領域４で、処理ガス５としてのフッ化水素によりエッチング処理を施した後、処理後のガラス基板３を搬出口２ａｂからチャンバー２外へと搬出する構成とされている。このガラス基板の製造装置１は、チャンバー２内外に配置された複数のローラー６により、水平に一直線に延びた搬送経路に沿ってガラス基板３を平置き姿勢で搬送することが可能となっている。

チャンバー２は、その外形が直方体状に形成されており、その内部に形成される空間７から処理ガス５がチャンバー２外へと流出することを防止している。このチャンバー２は、ガラス基板３の搬入口２ａａ、搬出口２ａｂ、及び天井孔２ａｃが形成された本体２ａと、天井孔２ａｃを塞ぐための板状の蓋体２ｂとを備えている。なお、本体２ａ及び蓋体２ｂの材質は、処理ガス５（フッ化水素）への耐食性に優れたポリ塩化ビニルとなっている。また、本体２ａ内（空間７内）及び本体２ａ外（チャンバー２外）には、それぞれ気圧計（図示省略）が設置されており、両気圧計によりチャンバー２内外の気圧差を測定することが可能となっている。

搬入口２ａａ及び搬出口２ａｂは、本体２ａの側壁部２ａｄに形成されると共に、ガラス基板３の主面（上面及び下面）に沿って当該ガラス基板３の搬送方向に直交する幅方向（図１において紙面に鉛直な方向であり、以下、単に幅方向と表記する）に長尺な矩形に形成されている。天井孔２ａｃは、本体２ａの天井部２ａｅに三つ形成されている。蓋体２ｂは、天井孔２ａｃの開口全体を塞ぐことが可能であると共に、本体２ａへの取り付け、及び、本体２ａからの取り外しが可能となっている。

搬入口２ａａ及び搬出口２ａｂの各々について、上下方向（ガラス基板３の主面に直交する高さ方向）に沿った開口幅は、本体２ａの側壁部２ａｄに沿って上下動させることが可能な開口幅調節部材８によって調節できるようになっている。この開口幅調節部材８による搬入口２ａａ及び搬出口の開口幅の調節は、本体２ａから蓋体２ｂを取り外すことにより、天井孔２ａｃを介して作業者が行うことが可能となっている。この搬入口２ａａ及び搬出口２ａｂの開口幅の調節は、上記の両気圧計によって測定されたチャンバー２内外の気圧差に基づいて行われる。これにより、チャンバー２内外の気圧差に起因して発生し、搬入口２ａａ、搬出口２ａｂを通じてチャンバー２内へと流入する気流９の流速を調節することが可能となっている。

図２に示すように、開口幅調節部材８は一対の板状部材８ａ，８ｂを備えている。一対の板状部材８ａ，８ｂの各々には、ボルト８ｃを貫通させるための上下方向に長尺な一対の長孔８ａａ（８ｂａ）が形成されている。なお、一対の板状部材８ａ，８ｂ及びボルト８ｃの材質は、ポリ塩化ビニルとなっている。そして、長孔８ａａ（８ｂａ）と当該長孔８ａａ（８ｂａ）を貫通したボルト８ｃとの相対的な位置関係を調節すると共に、当該ボルト８ｃを本体２ａの側壁部２ａｄに形成されたネジ穴（図示省略）に固定し、一対の板状部材８ａ，８ｂの各々の上下方向における位置を位置決めすることで、搬入口２ａａ及び搬出口２ａｂの上下方向に沿った開口幅を調節することが可能となっている。

図１に示すように、処理領域４には、チャンバー２内に設置された複数のローラー６によって搬送されるガラス基板３に処理ガス５を噴き付けることでエッチング処理を施すための処理器１０が配置されている。処理器１０は、処理領域４へと搬入されたガラス基板３の下面と対向するように配置された本体部１０ａと、ガラス基板３の上面と対向するように配置された天板部１０ｂとを備えている。これら本体部１０ａと天板部１０ｂとの相互間には、ガラス基板３にエッチング処理を施すための処理空間１０ｃが形成される。処理空間１０ｃの幅方向に沿った長さは、ガラス基板３の全幅（幅方向に沿った長さ）よりも長くなっている。なお、本体部１０ａ及び天板部１０ｂの材質は、ポリ塩化ビニルとなっている。

本体部１０ａは、ガラス基板３の下面に噴き付ける処理ガス５を処理空間１０ｃに供給し、且つ相対的にガラス基板３の搬送経路の上流側に設けられた供給路１０ａａと、処理空間１０ｃから処理ガス５を回収し、且つ相対的にガラス基板３の搬送経路の下流側に設けられた回収路１０ａｂとを有している。これにより、供給路１０ａａから処理空間１０ｃに供給された処理ガス５は、ガラス基板３の下面へと噴き付けられた後、ガラス基板３の搬送経路の下流側へと向かって流れ、回収路１０ａｂによって処理空間１０ｃから回収されるようになっている。また、本体部１０ａには、処理ガス５による結露の発生を防止するために、本体部１０ａの加熱が可能な加熱部材１０ａｃ（例えば、ヒーター等）が内蔵されている。

供給路１０ａａにおける処理ガス５の流出口、及び、回収路１０ａｂにおける処理ガス５の流入口は、いずれも幅方向に長尺なスリット状に形成されている。これら流出口及び流入口の幅方向に沿った全幅は、ガラス基板３の幅方向の全幅よりも長くなっている。さらに、図３に示すように、供給路１０ａａにおける処理ガス５の流出口は、そのガラス基板３の搬送方向に沿った開口幅が、当該供給路１０ａａ内に設置されたスペーサー１１によって一定の幅となるように調節されている。スペーサー１１は、相互に離間した状態で幅方向に沿って複数が設置されている。

ここで、供給路１０ａａにおける処理ガス５の流出口からスペーサー１１が設置された位置までの深さ寸法Ｄは、１０ｍｍ〜１００ｍｍの範囲内とすることが好ましい。この深さ寸法Ｄが小さすぎると、スペーサー１１によって供給路１０ａａ内の処理ガス５の流れに乱れが生じ、エッチング処理によるガラス基板３の下面の粗化にむらが生じるおそれがある。一方、深さ寸法Ｄが大きすぎると、供給路１０ａａにおける処理ガス５の流出口について、そのガラス基板３の搬送方向に沿った開口幅を所望の幅に調節することが困難となる。そのため、流出口から処理空間１０ｃへの処理ガス５の供給量が過大、或いは、過少となってガラス基板３の下面を所望の表面粗さに粗化できないおそれがある。

図１に示すように、天板部１０ｂは単一の板状部材からなると共に、処理領域４へと搬入されたガラス基板３の上面と対向する平坦面を有している。また、天板部１０ｂには、本体部１０ａと同様にして、処理ガス５による結露の発生を防止するために、天板部１０ｂの加熱が可能な加熱部材１０ｂａ（例えば、ヒーター等）が内蔵されている。

ガラス基板３の搬送経路上における搬入口２ａａと処理領域４との間、及び、処理領域４と搬出口２ａｂとの間には、チャンバー２内へと流入した気流９の処理領域４への流れ込みを防止するための防風部材１２が、それぞれ一つずつ設置されている。搬入口２ａａと処理領域４との間に設置された防風部材１２は、搬入口２ａａと処理領域４との中間地点を基準として処理領域４側に設置されている。同様にして、処理領域４と搬出口２ａｂとの間に設置された防風部材１２は、処理領域４と搬出口２ａｂとの中間地点を基準として処理領域４側に設置されている。

ここで、本実施形態では、搬入口２ａａと処理領域４との間、及び、処理領域４と搬出口２ａｂとの間に、それぞれ一つずつ防風部材１２が設置されているが、これに限定されるものではない。搬入口２ａａと処理領域４との間、及び、処理領域４と搬出口２ａｂとの間に、それぞれ複数の防風部材１２を設置してもよい。また、搬入口２ａａと処理領域４との間と、処理領域４と搬出口２ａｂとの間とで、設置される防風部材１２の数が異なっていてもよい。さらに、本実施形態では、搬入口２ａａと処理領域４との間に設置された防風部材１２が、搬入口２ａａと処理領域４との中間地点を基準として処理領域４側に設置されているが、この限りではない。防風部材１２は、搬入口２ａａと処理領域４との間であれば、任意の位置に設置してよい（処理領域４と搬出口２ａｂとの間に設置された防風部材１２についても同様）。

図４に示すように、防風部材１２は単一の板状部材でなると共に、搬送中のガラス基板３を通過させるための隙間としての開口１２ａが形成されている。この開口１２ａは矩形に形成されており、その幅方向に沿った開口幅Ｗ、上下方向に沿った開口幅Ｈは、それぞれガラス基板３の幅方向に沿った全幅、ガラス基板３の厚みよりも大きくなっている。また、防風部材１２のガラス基板３の搬送方向に沿った厚みＴは、チャンバー２内へと流入して防風部材１２へと到達した気流９が、開口１２ａを通じて処理領域４へと流れ込むことを防止するために、１００ｍｍ以上とすることが好ましく、１５０ｍｍ以上とすることが更に好ましい。なお、厚みＴの上限は、３００ｍｍとすることが好ましい。

ここで、本実施形態では、防風部材１２として板状部材を用いているが、この限りではなく、種々の形状のものを防風部材１２として用いてよい。また、本実施形態では、防風部材１２に矩形の開口１２ａが形成されているが、この限りではなく、搬送中のガラス基板３を通過させることが可能な形状であれば、開口１２ａの形状は任意の形状としてよい。

図１に示すように、上下方向において、防風部材１２の頂部１２ｂと、この頂部１２ｂに対向する本体２ａの天井部２ａｅとの間に形成される隙間の幅ＨＨは、防風部材１２に形成された開口１２ａの開口幅Ｈよりも広くなっている。また、防風部材１２の頂部１２ｂは、処理器１０の天板部１０ｂよりも上方に位置している。さらに、幅方向において、防風部材１２の幅方向両端部１２ｃは、処理領域４にあるガラス基板３の幅方向両端部よりも外方に位置すると共に、搬入口２ａａ及び搬出口２ａｂの幅方向両端部よりも外方に位置するようになっている。

以下、上記のガラス基板の製造装置１を用いた本発明の第一実施形態に係るガラス基板の製造方法について説明する。

まず、ガラス基板の製造装置１を稼働させ、複数のローラー６によるガラス基板３の搬送を開始し、搬入口２ａａからチャンバー２内へとガラス基板３を搬入する。その後、搬入口２ａａと処理領域４との間に設置された防風部材１２の開口１２ａをガラス基板３に通過させ、ガラス基板３を処理領域４へと搬入する。

ガラス基板３の処理領域４への搬入が完了すると、処理器１０に形成された処理空間１０ｃ内でガラス基板３を搬送しつつ、供給路１０ａａから処理空間１０ｃに供給された処理ガス５をガラス基板３に噴き付けてエッチング処理を施すと共に、回収路１０ａｂから処理空間１０ｃ内の処理ガス５を回収する。このとき、搬入口２ａａ、搬出口２ａｂを通じてチャンバー２内へと流入した気流９の処理領域４への流れ込みが防風部材１２によって回避される。

ガラス基板３へのエッチング処理が完了すると、処理領域４からガラス基板３を搬出する。その後、処理領域４と搬出口２ａｂとの間に設置された防風部材１２の開口１２ａをガラス基板３に通過させる。更にその後、搬出口２ａｂからチャンバー２外へとガラス基板３を搬出する。以上により、エッチング処理が施されたガラス基板３が得られる。

なお、ガラス基板の製造装置１の稼働中には、チャンバー２の本体２ａ内（空間７内）及び本体２ａ外（チャンバー２外）にそれぞれ設置された両気圧計によってチャンバー２内外の気圧差を測定する。そして、測定された気圧差に基づいてガラス基板３の搬入口２ａａ、及び搬出口２ａｂの上下方向に沿った開口幅を調節する場合には、ガラス基板の製造装置１の稼働を一旦停止させた上で、開口幅の調節を行う。

以下、上記のガラス基板の製造装置１、及びガラス基板の製造方法を用いた場合の主たる作用・効果について説明する。

上記のガラス基板の製造装置１、及びガラス基板の製造方法によれば、チャンバー２内外の気圧差に起因して、搬入口２ａａ、搬出口２ａｂを通じてチャンバー２内へと流入する気流９が発生した場合であっても、ガラス基板３の搬送経路上における搬入口２ａａと処理領域４との間、及び、処理領域４と搬出口２ａｂとの間に、それぞれ防風部材１２が設置されているため、発生した気流９が処理領域４へと流れ込むことを防風部材１２によって可及的に回避することができる。これにより、気流９によってガラス基板３に噴き付けられるべき処理ガス５が吹き飛ばされるような事態の発生が防止され、ガラス基板３に対するエッチング処理を確実に実行することが可能となる。

＜第二実施形態＞
以下、本発明の第二実施形態に係るガラス基板の製造装置、及びガラス基板の製造方法について説明する。なお、この第二実施形態の説明において、上記の第一実施形態で既に説明した事項については、第二実施形態の説明で参照する図面に同一の符号を付すことで、重複する説明を省略し、第一実施形態との相違点についてのみ説明する。

はじめに、本発明の第二実施形態に係るガラス基板の製造装置について説明する。

図５に示すように、第二実施形態に係るガラス基板の製造装置１が、上記の第一実施形態に係るガラス基板の製造装置１と相違している点は、以下の（１）、（２）の二点である。（１）処理器１０の天板部１０ｂ上にＨ鋼１７が設置されている点。（２）処理器１０と同一な外形を有し、且つ、ガラス基板３に対するエッチング処理を実行しないダミー処理器１８と、ダミー処理器１８上に設置されたＨ鋼１９との両者により、防風部材１２が構成されている点。

天板部１０ｂ上のＨ鋼１７は、ガラス基板３の幅方向に沿って延びており、天板部１０ｂの全幅に沿って設置されている。Ｈ鋼１７は、処理空間１０ｃ内を搬送中のガラス基板３の上面と、上面に対向する天板部１０ｂの平坦面との接触を回避するために、天板部１０ｂの自重による撓みを防止するための補強部材としての機能を有する。

ダミー処理器１８は、上端に開口１８ａａが形成された箱状の本体部１８ａと、単一の板状部材でなる天板部１８ｂとを備えており、両者１８ａ，１８ｂがガラス基板３の搬送経路を上下に挟んで対向するように配置されている。

本体部１８ａは直方体状に形成されており、本体部１８ａの開口１８ａａは矩形に形成されている。開口１８ａａの幅方向に沿った長さは、ガラス基板３の全幅よりも長くなっている。また、本体部１８ａの底部には貫通孔１８ａｂが形成されており、貫通孔１８ａｂは、図示省略の洗浄集塵装置（スクラバー）と接続されている。そして、ガラス基板３の搬送に伴って処理空間１０ｃから流出した処理ガス５を開口１８ａａおよび貫通孔１８ａｂを介して排気し、洗浄集塵装置に送ることが可能となっている。

天板部１８ｂは、ダミー処理器１８を通過するガラス基板３の上面と対向する平坦面を有する。また、天板部１８ｂ上に設置されたＨ鋼１９は、天板部１０ｂ上のＨ鋼１７と同様に、ガラス基板３の幅方向に沿って延びており、天板部１８ｂの全幅に沿って設置されている。そして、Ｈ鋼１９は、ダミー処理器１８を通過中のガラス基板３の上面と、上面に対向する天板部１８ｂの平坦面との接触を回避するために、天板部１８ｂの自重による撓みを防止するための補強部材としての機能を有する。

なお、上記のガラス基板の製造装置１を用いて、本発明の第二実施形態に係るガラス基板の製造方法を実行する態様は、ダミー処理器１８の開口１８ａａおよび貫通孔１８ａｂを介して処理空間１０ｃから流出した処理ガス５の排気を行う点以外は、上記の第一実施形態と同様であるので、重複する説明を省略する。

ここで、本発明に係るガラス基板の製造装置、及びガラス基板の製造方法は、上記の実施形態で説明した構成や態様に限定されるものではない。例えば、上記の第一実施形態においては、防風部材が単一の板状部材からなっているが、この限りではない。図６に示すように、ガラス基板を通過させるための隙間１３を介して上下に分割された二枚の板状部材１４，１５で防風部材を構成してもよい。

また、チャンバー内へと流入した気流が防風部材に形成された開口（隙間）を通じて処理領域へと流れ込むことを回避しやすくするため、図７ａ〜図７ｃに示すように、防風部材１２に形成された開口１２ａ（隙間１３）は、隙間開閉部材としてのシャッター１６の上下動によって開閉するようにしてもよい。この場合、同図に示すように、ガラス基板３が防風部材１２を通過する際のみ、開口１２ａ（隙間１３）が開いた状態とすることが好ましい。ここで、シャッター１６の動作方向は、必ずしも上下方向とする必要はなく、防風部材１２に形成された開口１２ａ（隙間１３）を開閉できさえすれば、その動作方向は任意の方向としてよい。

また、上記の実施形態で説明したガラス基板の製造装置、及びガラス基板の製造方法は、チャンバーに形成されたガラス基板の搬入口と搬出口との両方からチャンバー内へと気流が流入しやすい環境に適した構成、及び態様を一例として挙げたものである。そして、本発明に係るガラス基板の製造装置、及びガラス基板の製造方法は、これ以外の環境の下でも適用することが可能である。例えば、搬入口のみから気流がチャンバー内へと流入しやすい環境では、ガラス基板の搬送経路上における搬入口と処理領域との間にのみ、防風部材を設置してもよい。同様に、搬出口のみから気流がチャンバー内へと流入しやすい環境では、ガラス基板の搬送経路上における処理領域と搬出口との間にのみ、防風部材を設置してもよい。

１ ガラス基板の製造装置
２ チャンバー
２ａ 本体
２ａａ 搬入口
２ａｂ 搬出口
２ａｃ 天井孔
２ａｄ 側壁部
２ａｅ 天井部
２ｂ 蓋体
３ ガラス基板
４ 処理領域
５ 処理ガス
９ 気流
１２ 防風部材
１２ａ 開口
１２ｂ 頂部
１２ｃ 幅方向両端部
１３ 隙間
１４ 板状部材
１５ 板状部材
１６ シャッター
１８ ダミー処理器
１９ Ｈ鋼
Ｈ 開口幅
ＨＨ 隙間の幅
Ｔ 厚み

Claims (17)

1. 搬入口からチャンバー内へと搬入したガラス基板を水平方向に搬送しつつ、前記チャンバー内での前記ガラス基板の搬送経路上に設けた処理領域で処理ガスによりエッチング処理を施した後、処理後の前記ガラス基板を搬出口から前記チャンバー外へと搬出するガラス基板の製造方法であって、
   前記ガラス基板の搬送経路上における前記搬入口と前記処理領域との間、及び、前記処理領域と前記搬出口との間の少なくとも一方に、防風部材を設置し、
   前記防風部材に、搬送中の前記ガラス基板を通過させるための隙間が形成されており、
   前記ガラス基板の主面に直交する高さ方向において、前記防風部材の頂部と該頂部に対向する前記チャンバーの内壁との間に形成される隙間の幅を、前記防風部材に形成された前記隙間の幅よりも広くすることを特徴とするガラス基板の製造方法。
2. 前記ガラス基板の搬送経路上における前記搬入口と前記処理領域との間、及び、前記処理領域と前記搬出口との間の双方に、それぞれ防風部材を設置したことを特徴とする請求項１に記載のガラス基板の製造方法。
3. 前記ガラス基板の搬送経路が一直線に延びていることを特徴とする請求項１又は２に記載のガラス基板の製造方法。
4. 前記ガラス基板の搬送方向に沿った前記防風部材の厚みを、１００ｍｍ以上とすることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のガラス基板の製造方法。
5. 前記ガラス基板の主面に沿って該ガラス基板の搬送方向と直交する幅方向において、前記防風部材の幅方向両端部を、前記処理領域にある前記ガラス基板の幅方向両端部よりも外方に位置させることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のガラス基板の製造方法。
6. 前記ガラス基板の主面に沿って該ガラス基板の搬送方向と直交する幅方向において、前記防風部材の幅方向両端部を、前記搬入口及び前記搬出口の幅方向両端部よりも外方に位置させることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のガラス基板の製造方法。
7. 前記搬入口と前記処理領域との間に設置される前記防風部材を、前記ガラス基板の搬送経路上における前記搬入口と前記処理領域との中間地点を基準として前記処理領域側に設置し、
   前記処理領域と前記搬出口との間に設置される前記防風部材を、前記ガラス基板の搬送経路上における前記処理領域と前記搬出口との中間地点を基準として前記処理領域側に設置したことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のガラス基板の製造方法。
8. 前記防風部材として板状部材を用いることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のガラス基板の製造方法。
9. 搬入口からチャンバー内へと搬入したガラス基板を水平方向に搬送しつつ、前記チャンバー内での前記ガラス基板の搬送経路上に設けた処理領域で処理ガスによりエッチング処理を施した後、処理後の前記ガラス基板を搬出口から前記チャンバー外へと搬出するガラス基板の製造方法であって、
   前記ガラス基板の搬送経路上における前記搬入口と前記処理領域との間、及び、前記処理領域と前記搬出口との間の少なくとも一方に、防風部材を設置し、
   前記ガラス基板の搬送方向に沿った前記防風部材の厚みを、１００ｍｍ以上とすることを特徴とするガラス基板の製造方法。
10. 前記ガラス基板の搬送経路上における前記搬入口と前記処理領域との間、及び、前記処理領域と前記搬出口との間の双方に、それぞれ防風部材を設置したことを特徴とする請求項９に記載のガラス基板の製造方法。
11. 前記ガラス基板の搬送経路が一直線に延びていることを特徴とする請求項９又は１０に記載のガラス基板の製造方法。
12. 前記防風部材に、搬送中の前記ガラス基板を通過させるための隙間が形成されていることを特徴とする請求項９〜１１のいずれかに記載のガラス基板の製造方法。
13. 前記ガラス基板の主面に沿って該ガラス基板の搬送方向と直交する幅方向において、前記防風部材の幅方向両端部を、前記処理領域にある前記ガラス基板の幅方向両端部よりも外方に位置させることを特徴とする請求項９〜１２のいずれかに記載のガラス基板の製造方法。
14. 前記ガラス基板の主面に沿って該ガラス基板の搬送方向と直交する幅方向において、前記防風部材の幅方向両端部を、前記搬入口及び前記搬出口の幅方向両端部よりも外方に位置させることを特徴とする請求項９〜１３のいずれかに記載のガラス基板の製造方法。
15. 前記搬入口と前記処理領域との間に設置される前記防風部材を、前記ガラス基板の搬送経路上における前記搬入口と前記処理領域との中間地点を基準として前記処理領域側に設置し、
    前記処理領域と前記搬出口との間に設置される前記防風部材を、前記ガラス基板の搬送経路上における前記処理領域と前記搬出口との中間地点を基準として前記処理領域側に設置したことを特徴とする請求項９〜１４のいずれかに記載のガラス基板の製造方法。
16. 搬入口からチャンバー内へと搬入したガラス基板を水平方向に搬送しつつ、前記チャンバー内での前記ガラス基板の搬送経路上に設けた処理領域で処理ガスによりエッチング処理を施した後、処理後の前記ガラス基板を搬出口から前記チャンバー外へと搬出するように構成されたガラス基板の製造装置であって、
    前記ガラス基板の搬送経路上における前記搬入口と前記処理領域との間、及び、前記処理領域と前記搬出口との間の少なくとも一方に、防風部材が設置されており、
    前記防風部材に、搬送中の前記ガラス基板を通過させるための隙間が形成されており、
    前記ガラス基板の主面に直交する高さ方向において、前記防風部材の頂部と該頂部に対向する前記チャンバーの内壁との間に形成される隙間の幅を、前記防風部材に形成された前記隙間の幅よりも広くされていることを特徴とするガラス基板の製造装置。
17. 搬入口からチャンバー内へと搬入したガラス基板を水平方向に搬送しつつ、前記チャンバー内での前記ガラス基板の搬送経路上に設けた処理領域で処理ガスによりエッチング処理を施した後、処理後の前記ガラス基板を搬出口から前記チャンバー外へと搬出するように構成されたガラス基板の製造装置であって、
    前記ガラス基板の搬送経路上における前記搬入口と前記処理領域との間、及び、前記処理領域と前記搬出口との間の少なくとも一方に、防風部材が設置されており、
    前記ガラス基板の搬送方向に沿った前記防風部材の厚みを、１００ｍｍ以上とすることを特徴とするガラス基板の製造装置。

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