KR101234442B1 - 비접촉 반송 장치에서의 지지플랫폼 - Google Patents

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Abstract

대상물을 비접촉으로 반송할 수 있는 지지플랫폼이 개시된다.
본 발명의 지지플랫폼은 양측에 양력을 발생시키기 위한 제1 및 제2 부재가 형성된다. 제1 및 제2 부재 각각은 측 방향으로 돌출된 라운드형으로 형성된다.
따라서 대상물의 가장자리 부분에 양력이 부가되어 중심 부분보다 상대적으로 약한 가장자리 부분의 공기 압력을 강화시켜 대상물의 전 영역에 걸쳐 균일한 공기 압력을 유지하여 줌으로써, 대상물이 흔들림 없이 안정되게 반송될 수 있다.
비접촉, 반송 장치, 지지플랫폼, 방사상, 양력

Description

비접촉 반송 장치에서의 지지플랫폼{Support platforms of non-contact transfer apparatus}
도 1은 종래의 비접촉 반송 장치의 지지플랫폼을 도시한 도면.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 비접촉 반송 장치의 지지플랫폼에서 흡입 홀을 도시한 평면도 및 단면도.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 비접촉 반송 장치의 지지플랫폼을 개략적으로 도시한 사시도.
도 4는 도 3의 A-A'라인을 따라 절단한 단면도.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 비접촉 반송 장치의 지지플랫폼을 개략적으로 도시한 사시도.
도 6은 도 5의 B-B'라인을 따라 절단한 단면도.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 지지플랫폼을 구비한 반송 장치를 도시한 도면.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1, 16, 36: 흡입 홀 3: 서브 홀
10, 30, 40: 지지플랫폼 12, 32: 에어 패드
14, 34: 더미 패드 18, 38: 슬롯 홀
21, 23, 46: 양력 발생 부재 25, 42: 대상물
44: 롤러
본 발명은 비접촉 반송 장치에 관한 것으로, 특히 대상물(objects)을 비접촉으로 반송할 수 있는 지지플랫폼에 관한 것이다.
반도체 공정 또는 디스플레이 패널 공정에서 대상물(예컨대, 기판)을 대상으로 다수의 공정을 진행하여 소정의 반도체 부품이나 디스플레이 패널이 제조된다.
대상물이 하나의 공정에서 다른 공정으로 진행되기 위해서는 반송되어야 한다. 따라서 각 공정 간에 효율적으로 대상물을 반송하기 위한 반송 장치의 개발이 활발히 연구되고 있다.
반송 장치는 대상물이 소정의 지지플랫폼에 직접 접촉되도록 로딩 되어 반송되는 접촉식 반송 장치와 공기의 압력에 의해 부양되어 접촉되지 않고 반송되는 비접촉식 반송 장치가 있다.
접촉식 반송 장치는 대상물이 직접 접촉되어 반송됨에 따라, 대상물과 지지플랫폼 사이의 마찰로 인한 스크래치나 충격에 의한 깨짐 등이 발생될 수 있으므로, 점차 비접촉식 반송 장치의 연구가 보다 더 활발히 진행되고 있다.
따라서 비접촉식 반송 장치는 대상물과 지지플랫폼 간에 마찰이 없으므로 스크래치가 발생하지 않고, 이물질에 의한 오염의 발생 확률이 낮아지며, 접촉에 따른 정전기(ESD)가 제거되는 등의 장점을 갖는다.
도 1은 종래의 비접촉 반송 장치의 지지플랫폼을 도시한 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 비접촉 반송 장치의 지지플랫폼(100)은 체스 테이블(chess-table) 포맷의 다수의 기본 셀로 이루어진다. 기본 셀에는 복수의 흡입 홀(101)과 복수의 배기 홀(102)이 형성된다. 상기 흡입 홀을 통해 대상물(106) 방향으로 공기가 배출되고, 배출된 공기는 배기 홀(102)을 통해 외부로 배출된다.
활성면(107)과 더 크거나 실질적으로 같거나 또는 더 작을 수 있는 대상물(106)이 상기 플랫폼(100)의 상기 활성면(107)에 근접하여 평행하게 배치될 때, 에어쿠션(104)이 상기 대상물(106)의 저면과 상기 활성면(107) 사이에 형성된다. 상기 에어쿠션(104)이 실질적으로 대상물(106)을 일정하게 부양시키기 위한 압력의 세기를 의미하는데, 흡입 홀(101)을 통해 유입되는 공기의 양과 배기 홀(102)을 통해 배출되는 공기의 양에 의존되게 된다.
대상물(106)이 화살표에 의해 정의된 방향으로 반송될 수 있다.
상기 흡입 홀(10)은 압력 저장소(108)에 연결되고, 압력 저장소는 에어 펌프(109)에 연결된다. 압력 저장소(108)에는 동시에 복수의 흡입 홀(10)이 연결된다. 따라서 에어 펌프(109)에 의해 공급된 공기는 압력 저장소에 저장된 다음, 동시에 각 흡입 홀(10)을 통해 배출된다. 이와 같이 배출된 공기에 의해 에어쿠션(104)이 형성되어, 대상물(106)이 플랫폼(100)의 활성면(107)과 일정 간격을 유지한 채 반송될 수 있다.
이와 같은 종래의 비접촉 반송 장치의 지지플랫폼은 공기가 내부로 유입되는 흡입 홀(101)의 소정의 직경을 가지게 됨으로써, 활성면(107) 상에 소정의 에어쿠션(104)을 형성하기 위해서는 더욱 많은 공기의 양이 소모되게 되므로, 비용이 증가하는 문제가 있다.
또한, 종래의 비접촉 반송 장치의 지지플랫폼은 중앙 부분의 압력이 가장 자리 부분의 압력보다 강하게 됨에 따라, 플랫폼 전체에 걸쳐 균일한 압력이 형성되지 않게 되므로, 플랫폼으로부터 부양된 대상물이 불안정하게 흔들리게 되어 자칫 주변과의 충돌에 의해 파손될 우려가 있다.
본 발명은 공기의 소모량을 획기적으로 줄일 수 있는 비접촉 반송 장치의 지지플랫폼을 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 대상물을 안정되게 반송할 수 비접촉 반송 장치의 지지플랫폼을 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제1 실시예에 따르면, 지지플랫폼은, 대상물의 중심 부분에 비해 상대적으로 공기 압력이 낮은 상기 대상물의 가장자리 에 양력을 부가하기 위해 양측에 제1 및 제2 부재가 형성된다.
본 발명의 제2 실시예에 따르면, 지지플랫폼은, 대상물의 중심 부분에 비해 상대적으로 공기 압력이 낮은 상기 대상물의 가장자리에 보다 강한 공기 압력을 부가하기 위해 하부 방향으로 라운드형으로 돌출되도록 형성된다.
본 발명의 제3 실시예에 따르면, 지지플랫폼은, 대상물의 중심 부분에 비해 상대적으로 공기 압력이 낮은 상기 대상물의 상부 가장자리에 양력을 부가하기 위해 상측에 부재가 형성된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 비접촉 반송 장치의 지지플랫폼에서 흡입 홀을 도시한 평면도 및 단면도이다.
도 2a 도시된 바와 같이, 지지플랫폼의 흡입 홀(1)에는 방사상 형태로 배열된 복수의 서브 홀(3)이 형성된다. 즉, 상기 흡입 홀(1)의 중심 부분을 기준으로 서로 동일 위치에 동일 개수의 서브 홀이 대칭적으로 배열된다. 예컨대, 중심 부분의 왼쪽에 2개의 서브 홀이 형성되는 경우, 중심 부분의 오른쪽에도 마찬가지로 2개의 서브 홀이 형성될 수 있다. 상기 서브 홀은 그 저면으로부터 공기가 유입되어 그 상면을 통해 배출된다.
상기 서브 홀은 사각 형상, 타원 형상, 원 형상 등으로 형성될 수 있다.
상기 서브 홀은 상기 흡입 홀의 저면에 대해 소정 각도의 기울기로 형성된다. 예를 들어, 상기 소정 각도는 60°일 수 있다. 이러한 기울기는 반송하기 위한 대상물의 크기, 형태 또는 무게 등에 의해 가변이 가능하다. 이때, 서브 홀은 상기 흡입 홀의 중심을 기준으로 서로 대칭적으로 기울어져 형성된다.
이와 같이 흡입 홀에 복수의 서브 홀을 형성하여 각 서브 홀의 직경을 최소화된다. 따라서 상기 서브 홀로 유입된 공기는 최소화된 직경으로 인해 상기 서브 홀을 통과하면서 유속이 증가하게 된다. 그러므로 적은 공기량이 상기 서브 홀에 유입되더라도, 상기 서브 홀로부터 배출된 공기의 유속은 증가하기 때문에 원하는 공기 압력을 유지할 수 있다. 결국, 직경을 최소화한 복수의 서브 홀로 이루어진 흡입 홀 구조에 의해 원하는 공기 압력을 보다 적은 공기량으로 구현할 수 있으므로, 공기량에 따른 비용이 획기적으로 절감될 수 있다.
또한, 서브 홀이 서로 대칭적으로 소정 각도의 기울기를 가지게 되어, 각 흡입 홀당 공기를 사방으로 균형 있게 퍼지게 함으로써, 공기 압력이 지지플랫폼의 중심에 집중되는 것을 방지할 수 있다.
이하에서 설명되는 흡입 홀은 상술한 바와 동일한 흡입 홀 구조를 갖는 것에 유의해야 한다.
이하에서 설명되지 않은 구성 요소는 앞서 설명된 종래 기술을 참조하면 용이하게 이해될 수 있을 것이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 비접촉 반송 장치의 지지플랫폼을 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 4는 도 3의 A-A'라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 지지플랫폼(10)은 복수의 에어 패드(12)와 복수의 더미 패드(14)가 교대로 배열되어 이루어진다. 에어 패드(12)와 더미 패드(14) 각각은 직사각형의 장방형 형태로 형성된다. 상기 에어 패드(12)와 더미 패드(14)는 동일한 크기 또는 면적을 가질 수 있다. 이러한 경우, 에어 패드(12)와 더미 패드(14)는 나사 결합이나 본드에 의한 결합에 의해 체결될 수 있다. 이러한 결합은 일반적으로 널리 공지된 기술이므로, 더 이상의 설명은 생략한다.
각 에어 패드(12)에는 예컨대, 공기 저장소(미도시)로부터 공기를 유입시키기 위한 복수의 흡입 홀(16)이 일렬로 관통 형성된다. 각 흡입 홀(16)은 방사상 형태로 배열된 복수의 서브 홀(도 2a의 3)로 이루어진다. 또한, 각 서브 홀은 소정의 기울기를 갖도록 형성된다. 상기 흡입 홀(16)의 보다 상세한 설명은 앞서 설명한 내용을 기반으로 충분히 이해될 수 있을 것이다.
각 더미 패드(14)에는 공기를 외부로 배출시키기 위한 장방형의 슬롯 홀(18)이 형성된다. 물론, 경우에 따라서는 상기 더미 패드(14)에 복수의 배기 홀이 형성될 수도 있지만, 배기를 용이하게 하는 측면에서는 배기 홀보다는 슬롯 홀(18)이 더욱 효과적이다.
상기 에어 패드(12)와 더미 패드(14)가 교대로 배열되어 체결된 지지플랫폼(10)의 양측에는 제1 및 제2 양력 발생 부재(31, 33)가 부착 또는 체결되어 있다. 예컨대, 상기 제1 및 제2 양력 발생 부재(31, 33)는 교대로 배열된 에어 패드(12)와 더미 패드(14)의 각 측면에 본드에 의해 부착되거나 나사에 의해 체결될 수 있다. 상기 제1 및 제2 양력 발생 부재(31, 33)는 에어 패드(12)와 더미 패드(14)의 측 상면으로부터 측방향으로 돌출된 라운드형으로 형성된다.
통상, 지지플랫폼상의 대상물은 그 중심 부분이 가장자리 부분보다 강한 공기 압력을 받게 된다. 따라서 지지플랫폼상에서 반송되는 대상물은 중심 부분과 가 장 자리 부분의 공기 압력의 불균일에 의해 흔들리게 된다. 또한, 대상물이 대면적인 경우에는 중심 부분에 비해 가장자리 부분에서 공기 압력이 상대적으로 약하게 받게 되므로, 가장자리 부분에서 대상물이 아래 방향으로 처지게 되어, 자칫 대상물의 파손될 우려가 있다.
하지만, 본 발명의 제1 실시예와 같이, 지지플랫폼(10)의 양측에 라운드형을 갖는 제1 및 제2 양력 발생 부재(21, 23)를 연결함으로써, 가장자리 부분에서 유입된 공기가 라운드형의 제1 및 제2 양력 발생 부재(21, 23)의 내면을 따라 흐르게 됨으로써, 상기 제1 및 제2 양력 발생 부재(21, 23)와 대상물(25)의 가장자리 부분 사이에 양력이 발생하게 된다. 이러한 양력에 의해 대상물(25)의 가장자리가 보다 강한 공기 압력을 받게 된다. 그러므로 종래에 대상물의 가장자리 부분의 약한 공기 압력이 본 발명의 제1 및 제2 양력 발생 부재(21, 23)에 의한 양력에 의해 보상되어 보다 강한 공기 압력이 형성됨으로써, 대상물(25)이 흔들림 없이 반송될 수 있을 뿐만 아니라 대상물의 가장자리 부분의 처짐 현상도 방지할 수 있다. 또한, 에어 패드(12) 상에 형성된 흡입 홀(16)에 직경을 최소화한 복수의 서브 홀이 형성됨으로써, 보다 적은 공기량에 의해 에어쿠션이 발생되므로, 공기의 소모를 줄일 수 있다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 비접촉 반송 장치의 지지플랫폼을 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 6은 도 5의 B-B'라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 지지플랫폼(30)은 복수의 에어 패드(32)와 복수의 더미 패드(34)가 교대로 배열되어 이루어진다. 에어 패드(32)와 더미 패드(34) 각각은 직사각형의 장방형 형태로 형성된다. 상기 에어 패드(32)와 더미 패드(34)는 동일한 크기 또는 면적을 가질 수 있다. 이러한 경우, 에어 패드(32)와 더미 패드(34)는 나사 결합이나 본드에 의한 결합에 의해 체결될 수 있다. 이러한 결합은 일반적으로 널리 공지된 기술이므로, 더 이상의 설명은 생략한다.
각 에어 패드(32)에는 예컨대, 공기 저장소로부터 공기를 유입시키기 위한 복수의 흡입 홀(36)이 일렬로 관통 형성된다. 각 흡입 홀(36)은 방사상 형태로 배열된 복수의 서브 홀로 이루어진다. 또한, 각 서브 홀은 소정의 기울기를 갖도록 형성된다. 상기 흡입 홀(36)의 보다 상세한 설명은 앞서 설명한 내용을 기반으로 충분히 이해될 수 있을 것이다.
각 더미 패드(34)에는 공기를 외부로 배출시키기 위한 장방형의 슬롯 홀(38)이 형성된다. 물론, 경우에 따라서는 상기 더미 패드(34)에 복수의 배기 홀이 형성될 수도 있지만, 배기를 용이하게 하는 측면에서는 배기 홀보다는 슬롯 홀(38)이 더욱 효과적이다.
교대로 배열된 에어 패드(32)와 더미 패드(3)는 하부 방향으로 돌출된 라운드형으로 형성된다. 이때, 라운드형의 곡률 반경은 대상물(25)의 무게나 크기에 따른 다양한 실험이나 시뮬레이션에 의해 최적화될 수 있을 것이다.
상기 지지 플랫폼(30) 상에서 대상물(25)이 부상되어 반송되게 된다. 이러한 경우, 지지플랫폼(30)이 라운드형으로 형성되므로, 상기 지지플랫폼(30)과 상기 대상물(25) 간의 거리가 대상물의 중심 부분에 비해 가장자리 부분에 작아지게 된다.
각 흡입 홀(36)에서 동일한 공기량이 유입된다고 가정하면, 대상물(25)의 가 장자리 부분은 지지플랫폼(30)과 대상물(25) 간의 거리가 작기 때문에 대상물(25)에 미치는 공기 압력은 강해지게 되고, 대상물(25)의 중심 부분은 지지플랫폼(30)과 대상물(25) 간의 거리가 크기 때문에 대상물에 미치는 공기 압력이 약해지게 된다. 하지만, 통상 대상물의 중심 부분에서 공기 압력이 강하므로, 상술한 바와 같이, 지지플랫폼(30)을 라운드형으로 형성하는 경우, 대상물(25)의 중심 부분에서는 공기 압력이 상대적으로 약해지고 대상물(25)의 가장자리 부분에서는 공기 압력이 상대적으로 강해지게 되어, 결국 대상물(25) 전체에 걸쳐서 균일한 공기 압력이 미치게 되어 대상물이 흔들림 없이 반송될 수 있다. 또한, 대상물(25) 가장자리 부분에서의 공기 압력이 강해지므로, 대상물 가장자리 부분의 처짐 현상이 방지될 수 있다.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 지지플랫폼을 구비한 반송 장치를 도시한 도면이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 지지플랫폼(40)이 소정의 기울기를 가지고 설치된다. 상기 지지플랫폼(40)의 상세한 구조는 앞서 설명한 본 발명의 제1 또는 제2 실시에의 지지플랫폼(10, 30)을 참조하면 용이하게 이해될 수 있을 것이다.
반송 장치는 대상물을 지면에 평행하게 반송하기도 하지만, 도 7에 도시된 바와 같이, 지면에 수직으로 반송되기도 한다.
지지플랫폼(40)이 동작되지 않는 동안, 즉 지지플랫폼(40)의 흡입 홀에서 공기가 유입되는 동시에 슬롯 홀에서 배출되어 에어쿠션이 형성되지 않는 동안, 지지플랫폼(40)의 상부에는 대상물(42)이 기대어져 있다. 하지만, 지지플랫폼(40)이 동 작되는 경우, 상기 에어쿠션에 의해 대상물(42)이 밀쳐지게 되므로, 상기 지지플랫폼(40)으로부터 소정 간격 이격되어 대상물(42)이 반송되게 된다.
상기 대상물(42)의 저면은 롤러(44)에 안착되어 있다. 따라서 상기 롤러(44)의 회전에 따라 상기 대상물(42)이 진행 방향으로 반송될 수 있다.
다시 말해, 상기 롤러(44)의 회전에 의해 상기 대상물(42)이 반송되는 경우, 상기 지지플랫폼(40) 상에 에어쿠션이 형성되어, 상기 대상물(42)이 상기 지지플랫폼(40)의 상부로부터 소정 간격으로 부상되게 된다.
상기 지지플랫폼(40)의 상측에는 양력 발생 부재(46)가 형성된다. 상기 양력 발생 부재(46)는 라운드형으로 형성될 수 있다. 이러한 양력 발생 부재(46)는 나사 결합이나 본드 부착에 의해 상기 지지플랫폼(40)의 상측에 연결될 수 있다.
따라서 상기 지지플랫폼(40) 상으로 공기가 유입되는 경우, 상기 지지플랫폼(40)의 상부 가장자리 부분으로 유입된 공기는 상기 라운드형의 양력 발생 부재(46)의 내면을 따라 진행됨에 따라, 상기 양력 발생 부재(46) 근처에서 이러한 공기에 의해 양력이 발생되고, 이러한 양력에 의해 상기 지지플랫폼(40)의 상측에 대응된 대상물(42)이 용이하게 부상될 수 있다.
앞서 설명한 바와 같이, 통상 지지플랫폼의 가장자리 부분에 비해 중심 부분에서 공기 압력이 강하므로, 지지플랫폼(40)의 상측 가장자리 부분에 양력을 발생시켜 상기 대상물(42)에 상기 지지플랫폼(40)의 상측 가장자리 부분으로 유입된 공기의 압력에 양력이 더해져서 궁극적으로 보다 강한 공기 압력이 발생시켜, 대상물(42)의 중심 부분과 상측 가장자리 부분 모두 거의 비슷한 공기 압력을 유지할 수 있다.
이상의 설명에서는 지지플랫폼이 에어 패드와 더미 패드가 교대로 결합하여 형성되고 에어 패드에 흡입 홀이 형성되고 더미 패드에 슬롯 홀이 형성되지만, 지지플랫폼에 에어 패드와 더미 패드 없이 그 자체로 일체로 형성되고 일체로 형성된 지지플랫폼에 라인별로 흡입 홀과 슬롯 홀이 형성될 수도 있다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 의하면, 지지플랫폼의 양단에 양력 발생 부재를 구비하여 작은 공기 압력에 직면한 대상물의 가장자리 부분에 양력을 부가함으로써, 대상물의 전체에 걸쳐 균일한 공기 압력이 가해지도록 하여 대상물이 안정되게 반송될 수 있다.
본 발명에 의하면, 지지플랫폼을 하부 방향으로 돌출되도록 라운드형으로 형성하여 지지플랫폼의 가장자리와 대상물의 가장자리 간의 거리를 작아지게 함으로써, 대상물의 가장자리에서 상대적으로 강한 공기 압력이 발생되도록 하여 대상물이 안정되게 반송될 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims (9)

  1. 지면에 평행하게 배치된 지지플랫폼과 접촉 없이 대상물을 반송하기 위한 비접촉식 반송 장치에 있어서,
    상기 지지플랫폼은,
    서로 교대로 결합하여 형성된 복수의 에어 패드 및 복수의 더미 패드; 및
    상기 대상물의 중심 부분에 비해 상대적으로 공기 압력이 낮은 상기 대상물의 가장자리에 양력을 부가하기 위해 상기 지지플랫폼의 양측에 배치된 제1 및 제2 부재를 포함하고,
    상기 에어 패드에는 복수의 흡입 홀이 형성되고 상기 더미 패드에는 복수의 슬롯 홀이 형성되며,
    상기 흡입 홀은 상기 흡입 홀의 중심 부분을 중심으로 방사상 형태로 대칭적으로 배열된 복수의 서브 홀을 포함하고,
    상기 복수의 서브 홀은 서로 동일한 간격으로 이격되며,
    상기 복수의 서브 홀은 상기 지지 플랫폼의 하면으로부터 일정 각도의 기울기로 경사지도록 배치되며,
    상기 복수의 서브 홀은 상기 지지 플랫폼의 상면으로부터 상기 지지 플랫폼의 하면을 관통하여 형성되는 것을 특징으로 하는 지지플랫폼.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 부재 각각은 측방향으로 돌출된 라운드형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 지지플랫폼.
  3. 지면에 평행하게 배치된 지지플랫폼과 접촉 없이 대상물을 반송하기 위한 비접촉식 반송 장치에 있어서,
    상기 지지플랫폼은,
    서로 교대로 결합하여 형성된 복수의 에어 패드 및 복수의 더미 패드를 포함하고, 상기 지지플랫폼은 상기 대상물의 중심 부분에 비해 상대적으로 공기 압력이 낮은 상기 대상물의 가장자리에 보다 강한 공기 압력을 부가하기 위해 하부 방향으로 라운드형으로 돌출되도록 형성되고,
    상기 에어 패드에는 복수의 흡입 홀이 형성되고 상기 더미 패드에는 복수의 슬롯 홀이 형성되며,
    상기 흡입 홀은 상기 흡입 홀의 중심 부분을 중심으로 방사상 형태로 대칭적으로 배열된 복수의 서브 홀을 포함하고,
    상기 복수의 서브 홀은 서로 동일한 간격으로 이격되며,
    상기 복수의 서브 홀은 상기 지지 플랫폼의 하면으로부터 일정 각도의 기울기로 경사지도록 배치되며,
    상기 복수의 서브 홀은 상기 지지 플랫폼의 상면으로부터 상기 지지 플랫폼의 하면을 관통하여 형성되는 것을 특징으로 하는 지지플랫폼.
  4. 제3항에 있어서, 상기 지지플랫폼과 상기 대상물 간의 거리는 중심 부분에서 가장자리 부분으로 갈수록 작아지고, 이에 반비례하여 공기 압력은 강해지는 것을 특징으로 하는 지지플랫폼.
  5. 지면에 기울어지도록 배치된 지지플랫폼과 접촉 없이 대상물을 반송하기 위한 비접촉식 반송 장치에 있어서,
    상기 지지플랫폼은,
    서로 교대로 결합하여 형성된 복수의 에어 패드 및 복수의 더미 패드; 및
    상기 대상물의 중심 부분에 비해 상대적으로 공기 압력이 낮은 상기 대상물의 상부 가장자리에 양력을 부가하기 위해 상기 지지플랫폼의 상측에 배치된 부재를 포함하고,
    상기 에어 패드에는 복수의 흡입 홀이 형성되고 상기 더미 패드에는 복수의 슬롯 홀이 형성되며,
    상기 흡입 홀은 상기 흡입 홀의 중심 부분을 중심으로 방사상 형태로 대칭적으로 배열된 복수의 서브 홀을 포함하고,
    상기 복수의 서브 홀은 서로 동일한 간격으로 이격되며,
    상기 복수의 서브 홀은 상기 지지 플랫폼의 하면으로부터 일정 각도의 기울기로 경사지도록 배치되며,
    상기 복수의 서브 홀은 상기 지지 플랫폼의 상면으로부터 상기 지지 플랫폼의 하면을 관통하여 형성되는 것을 특징으로 하는 지지플랫폼.
  6. 제5항에 있어서, 상기 부재는 상 방향으로 돌출된 라운드형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 지지플랫폼.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제1항, 제3항 및 제5항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 복수의 서브 홀은 상기 서브 홀의 중심 부분을 기준으로 상기 흡입 홀의 저면에 대해 서로 대칭적으로 기울어지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 지지플랫폼.
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