KR102583012B1 - 기판 이송 장치 및 이를 구비한 기판 처리 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 이송 장치 및 이를 구비한 기판 처리 시스템에 관한 것으로, 약액 도포 공정이 처리되는 기판을 이송하는 기판 이송 장치는, 서로 이격되게 배치되며 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판을 부상시키는 복수개의 진동플레이트와, 복수개의 진동플레이트 간의 이격된 경계 영역에 구비되며 경계 영역에서 기판을 부상시키는 부상력을 연속적으로 형성하는 경계진동부를 포함하는 것에 의하여, 기판을 안정적으로 부상시킬 수 있으며, 기판의 부상 높이를 균일하게 유지시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.

Description

기판 이송 장치 및 이를 구비한 기판 처리 시스템{SUBSTRATE TRANSFERING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM HAVING THE SAME}
본 발명은 기판 이송 장치 및 이를 구비한 기판 처리 시스템에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 기판을 안정적으로 부상시킬 수 있으며, 기판의 부상 높이를 균일하게 유지할 수 있는 기판 이송 장치 및 이를 구비한 기판 처리 시스템에 관한 것이다.
LCD 등 플랫 패널 디스플레이를 제조하는 공정에서는 유리 등으로 제작된 피처리 기판의 표면에 레지스트액 등의 약액을 도포하는 코팅 공정이 수반된다. LCD의 크기가 작았던 종래에는 피처리 기판의 중앙부에 약액을 도포하면서 피처리 기판을 회전시키는 것에 의하여 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하는 스핀 코팅 방법이 사용되었다.
그러나, LCD 화면의 크기가 대형화됨에 따라 스핀 코팅 방식은 거의 사용되지 않으며, 피처리 기판의 폭에 대응하는 길이를 갖는 슬릿 형태의 슬릿 노즐과 피처리 기판을 상대 이동시키면서 슬릿 노즐로부터 약액을 피처리 기판의 표면에 도포하는 방식의 코팅 방법이 사용되고 있다.
최근에는 정해진 시간에 보다 많은 수의 피처리 기판의 표면에 약액을 코팅하는 방법의 일환으로서, 일본 공개특허공보 제2005-243670호에는 기판이 반입되고 도포되며 반출되는 방향을 따라 에어를 분출하여 기판을 부상시키는 부상 스테이지가 설치되고, 그 양측에 흡착 패드 등으로 형성된 기판 배출 기구가 구비되어, 정지된 상태의 슬릿 노즐에 의해 연속적으로 공급되는 피처리 기판의 표면에 약액을 공급하여 코팅하는 기술이 개시되어 있다.
한편, 부상식 기판 코터 장치에서는, 기판이 이송되는 동안에 기판의 부상 높이가 불균일하거나 진동과 같은 떨림이 발생하면, 기판의 표면에 약액이 균일한 두께로 도포되기 어렵고, 약액의 불균일한 도포로 인하여 얼룩이 발생하는 문제점이 있기 때문에, 기판이 이송되는 동안에 기판의 부상 높이가 균일하고 안정적으로 유지될 수 있어야 한다.
그러나, 기존 부상식 기판 코터 장치에서는, 기판에 부상력이 연속적으로 작용하지 않는 무부상 구간이 존재함에 따라, 기판이 무부상 구간을 통과하는 동안에 기판에 떨림이 발생하고, 기판의 부상 높이가 일정하게 유지되지 못하는 문제점이 있다.
구체적으로, 기존에는 소정 간격을 두고 이격된 다수의 지점에서 기판에 부상력이 작용하도록 구성됨에 따라, 예를 들어, 부상력이 작용하는 제1지점과, 제1지점과 이격되게 부상력이 작용하는 제2지점 사이의 이격된 사이 구간(무부상 구간)에서는 부상력이 발생하지 않는 문제점이 있고, 기판이 무부상 구간을 통과하는 동안에 기판에 떨림이 발생하고, 기판의 부상 높이가 일정하게 유지되기 어려운 문제점이 있다.
특히, 기판에 부상력이 작용하지 않는 무부상 구간에서 약액이 도포되면, 기판이 무부상 구간을 통과하는 동안 발생하는 진동에 의한 영향에 의하여 약액이 균일하게 도포되지 못하는 현상이 발생되고, 이와 같은 약액의 불균일 도포에 의해 얼룩이 발생하는 문제점이 있다.
이에 따라, 최근에는 기판을 안정적으로 부상시키고, 기판의 부상 높이를 균일하게 유지하기 위한 다양한 검토가 이루어지고 있으나, 아직 미흡하여 이에 대한 개발이 요구되고 있다.
본 발명은 기판을 안정적으로 부상시키고, 기판의 부상 높이를 균일하게 유지할 수 있는 기판 이송 장치 및 이를 구비한 기판 처리 시스템를 제공하는 것을 목적으로 한다.
특히, 본 발명은 기판이 진동플레이트 간의 이격된 경계 영역을 통과하는 동안 부상력의 단절없이 기판을 부상시키는 부상력을 연속적으로 제공할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 기판이 진동플레이트 간의 이격된 경계 영역에서 기판의 부분적인 처짐없이 기판을 평탄하게 부상시킬 수 있으며, 기판과 진동플레이트의 충돌을 방지할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 기판에 약액을 도포하는 과정에서, 약액을 균일하게 도포하여 얼룩의 발생을 억제할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 고품질의 약액 도포층을 형성할 수 있으며, 수율을 향상시킬 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
상술한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 약액 도포 공정이 처리되는 기판을 이송하는 기판 이송 장치는, 서로 이격되게 배치되며 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판을 부상시키는 복수개의 진동플레이트와, 복수개의 진동플레이트 간의 이격된 경계 영역에 구비되며 경계 영역에서 기판을 부상시키는 부상력을 연속적으로 형성하는 경계진동부를 포함한다.
이는, 피처리 기판을 부상시켜 이송함에 있어서, 기판이 진동플레이트 간의 이격된 경계 영역을 통과하는 동안 부상력의 단절없이 기판을 부상시키는 부상력을 연속적으로 형성하기 위함이다.
특히, 제1인접플레이트와 제2인접플레이트 사이의 경계 영역에 제1경계진동부와 제2경계진동부를 형성하고, 제1경계진동부와 제2경계진동부에 의해 경계 영역에서 기판을 부상시키는 부상력이 형성되도록 하는 것에 의하여, 기판이 경계 영역을 통과하는 동안 기판을 떨림을 방지하고, 기판의 부상 높이가 일정하게 유지시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
즉, 기판이 경계 영역을 통과하는 동안 경계 영역에서 부상력이 중단되면, 기판에 떨림이 발생하고, 기판의 부상 높이가 일정하게 유지되기 어려운 문제점이 있다. 이에 본 발명은, 경계진동부를 이용하여 경계 영역에서 기판을 부상시키는 부상력이 형성되도록 하는 것에 의하여, 기판을 안정적으로 부상시키고, 기판의 부상 높이를 균일하게 유지하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 기판이 경계 영역을 통과하는 동안 경계 영역에서 부상력이 중단되면, 기판의 선단(경계 영역에 가장 먼저 도달하는 단부)에는 일시적으로 처짐이 발생할 수 있기 때문에, 기판의 선단이 다음 진동플레이트(경계 영역을 통과한 기판이 도달하는 진동플레이트)의 측벽에 충돌하는 문제점이 있다. 하지만, 본 발명에서는 경계진동부를 이용하여 경계 영역에서 기판을 부상시키는 부상력이 형성되도록 하는 것에 의하여, 경계 영역에서 기판을 처짐없이 평탄하게 부상시키고, 처짐에 따른 기판과 진동플레이트의 충돌을 방지하는 효과를 얻을 수 있다.
무엇보다도, 제1인접플레이트와 제1경계진동부에 의한 부상력이 중단되지 않은 상태에서, 제2경계진동부와 제2인접플레이트에 의한 부상력이 연속적으로 기판에 작용하도록 하는 것에 의하여, 기판이 경계 영역을 통과하는 동안 기판의 기판의 부상 높이를 일정하게 유지시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 경계진동부에 의해 경계 영역에서 기판에 부상력이 작용하도록 하는 것에 의하여, 경계 영역을 보다 크게 형성하는 것이 가능하다. 다시 말해서, 제1진동플레이트와 제2진동플레이트를 보다 많이 이격되게(또는 제1진동플레이트와 제2진동플레이트를 보다 작게) 형성하는 것이 가능하기 때문에, 대형 기판이나 다양한 기판에 맞는 진동플레이트를 자유롭게 적용할 수 있는 유리한 효과가 있으며, 진동플레이트와 주변 장비 간의 정렬을 보다 용이하게 수행하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
경계진동부는 경계 영역에서 기판을 부상시키는 부상력을 연속적으로 형성 가능한 다양한 구조로 형성될 수 있다.
일 예로, 진동플레이트는, 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판을 부상시키는 제1인접플레이트와, 제1인접플레이트와 이격되게 배치되며 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판을 부상시키는 제2인접플레이트를 포함하되, 경계진동부는, 제2인접플레이트를 마주하는 제1인접플레이트의 일변에 연장되며 제1인접플레이트와 상기 제2인접플레이트의 사이에 이격된 경계 영역에 배치되는 제1경계진동부와, 제1인접플레이트를 마주하는 제2인접플레이트의 일변에 연장되며 경계 영역에 배치되는 제2경계진동부를 포함한다.
여기서, 제1인접플레이트와 이격되게 배치되는 제2인접플레이트라 함은, 기판이 이송 방향을 따라 제1인접플레이트와 이격되게 배치되는 제2인접플레이트와, 기판(10)이 이송되는 방향에 수직한 방향을 따라 제1인접플레이트와 이격되게 배치되는 제2인접플레이트 중 적어도 어느 하나를 포함하는 개념으로 정의된다.
바람직하게, 경계 영역에서 제1경계진동부와 제2경계진동부에 의한 부상력이 상호 협조적으로 기판에 작용하도록 하는 것에 의하여, 경계 영역에서 기판에 충분한 부상력이 작용될 수 있게 함으로써, 경계 영역에서 기판을 보다 안정적으로 부상시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
더욱 바람직하게, 제1경계진동부와 제2경계진동부를 경계 영역을 따라 교대로 번갈아 배치(alternate)하는 것에 의하여, 경계 영역에서 제1경계진동부에 의한 부상력과, 제2경계진동부에 의한 부상력을 균일하게 유지시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
즉, 제1경계진동부에 의해 기판에 가해하는 진동 에너지와, 제2경계진동부에 의해 기판에 가해지는 진동 에너지를 균일하게 조절하기 어렵기 때문에, 경계 영역에서 제1경계진동부와 제2경계진동부가 불규칙적으로 배치되면, 예를 들어, 경계 영역에서 제1경계진동부와 제2경계진동부가 각각 서로 다른 구간에 군데 군데 몰리도록 배치되면, 경계 영역에서 제1경계진동부가 배치된 구간과, 제2경계진동부가 배치된 구간 간의 진동 편차에 의해 경계 영역을 통과하는 기판이 진동이 발생하는 문제점이 있다. 하지만, 본 발명에서는 제1경계진동부와 제2경계진동부를 경계 영역을 따라 교호적으로 배치(교대로 번갈아 배치)하는 것에 의하여, 제1경계진동부와 제2경계진동부 간의 진동 편차에 의한 영향(진동)을 억제하는 유리한 효과를 얻을 수 있으며, 경계 영역에서 제1경계진동부와 제2경계진동부 간의 진동 편차를 경계 영역을 따라 평균화된 값으로 기판에 작용시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
보다 구체적으로, 제1경계진동부는 경계 영역을 따라 일정한 간격을 두고 이격되게 형성되고, 제2경계진동부는 제1경계진동부 간의 이격된 사이 영역에 배치된다.
또한, 제1경계진동부와 제2경계진동부를 상호 대칭적인 형태로 형성하는 것에 의하여, 경계 영역에서 제1경계진동부와 제2경계진동부 간의 진동 편차에 의한 영향을 보다 저감시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
이때, 제1경계진동부와 제2경계진동부는 곡선형 단면 형태로 형성되거나, 다각형 단면 형태(삼각형 또는 사각형 단면 형태)로 형성되는 것이 가능하다.
그리고, 제1경계진동부와 제2경계진동부를 서로 이격되게 배치하되, 제1경계진동부와 제2경계진동부의 사이 간극을 통해 기판의 하부의 이물질이 배출되도록 하는 것도 가능하다. 이와 같이, 제1경계진동부와 제2경계진동부의 사이 간극을 통해 기판의 하부의 이물질이 배출되도록 하는 것에 의하여, 기판이 이송되는 동안 기판 하부의 이물질에 의한 기판의 부상 높이 편차(기판의 특정 부위의 높이가 높아지는 편차)를 방지하고, 이물질과 기판의 접촉에 의한 기판의 손상을 방지하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 복수개의 진동플레이트는 서로 동일한 형태 및 사이즈로 형성될 수 있으나, 다르게는 복수개의 진동플레이트 중 적어도 하나를 다른 형태 및 사이즈로 형성하는 것도 가능하다.
그리고, 진동플레이트는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양한 조건으로 배치될 수 있다.
일 예로, 진동플레이트는 수평면에 수평하게 배치되고, 기판은 진동플레이트에 평행하게 부상될 수 있다. 이와 같이, 기판이 수평하게 이송되는 상태에서 약액이 도포되도록 하는 것에 의하여, 높은 점도(고점도 1000 cP 이상)의 약액을 사용할 수 있음은 물론이며, 낮은 점도(중점도, 100 cP)의 약액을 사용하더라도 흘러내림 없이 약액을 균일하게 도포할 수 있다.
다른 일 예로, 진동플레이트는 기판의 진행 방향을 따른 일측변을 중심으로 수평면에 경사지게 배치되고, 기판은 진동플레이트에 평행하게 부상된다. 바람직하게 수평면에 대해 경사지게 틸팅된 기판의 일측변을 지지하며 기판을 이송시키는 이송부재를 포함하고, 이송부재에는 기판의 하중이 작용되고, 기판의 하중에 의한 마찰력에 의해 기판은 이송부재에 의해 이송된다.
이와 같이, 틸팅된 기판의 하중이 이송부재에 작용하고, 기판의 하중에 의한 마찰력에 의해 기판이 이송부재에 의해 이송되게 하는 것에 의하여, 진공흡착수단과 같은 복잡한 장비없이 기판의 자중을 이용하여 기판을 이송시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
더욱이, 본 발명에서는 기판의 하중을 이용하여 기판을 이송부재에 구속(마찰력을 이용하여 상대 이동 구속)하기 때문에, 다시 말해서, 복잡한 제어 공정(예를 들어, 진공 압력 조절 공정)을 거치지 않고 기판의 일측변을 이송부재에 지지시키는 것에 의하여 이송부재와 기판을 구속할 수 있기 때문에, 구조 및 처리 공정을 간소화하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
본 발명의 바람직한 다른 분야에 따르면, 피처리 기판에 대한 약액 도포 공정을 처리하는 기판 처리 시스템은, 서로 이격되게 배치되며 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판을 부상시키는 복수개의 진동플레이트와, 복수개의 진동플레이트 간의 이격된 경계 영역에 구비되며 경계 영역에서 기판을 부상시키는 부상력을 연속적으로 형성하는 경계진동부를 포함하는 기판이송부와; 기판의 표면에 약액을 도포하는 약액 도포 유닛을; 포함한다.
이와 같이, 경계진동부를 이용하여 경계 영역에서 기판을 부상시키는 부상력이 형성되도록 하는 것에 의하여, 기판을 안정적으로 부상시키고, 기판의 부상 높이를 균일하게 유지하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 경계진동부를 이용하여 경계 영역에서 기판을 부상시키는 부상력이 형성되도록 하는 것에 의하여, 경계 영역에서 기판을 처짐없이 평탄하게 부상시키고, 처짐에 따른 기판과 진동플레이트의 충돌을 방지하는 효과를 얻을 수 있다.
무엇보다도, 제1인접플레이트와 제1경계진동부에 의한 부상력이 중단되지 않은 상태에서, 제2경계진동부와 제2인접플레이트에 의한 부상력이 연속적으로 기판에 작용하도록 하는 것에 의하여, 기판이 경계 영역을 통과하는 동안 기판의 기판의 부상 높이를 일정하게 유지시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 경계진동부에 의해 경계 영역에서 기판에 부상력이 작용하도록 하는 것에 의하여, 경계 영역을 보다 크게 형성하는 것이 가능하다. 다시 말해서, 제1진동플레이트와 제2진동플레이트를 보다 많이 이격되게(또는 제1진동플레이트와 제2진동플레이트를 보다 작게) 형성하는 것이 가능하기 때문에, 대형 기판이나 다양한 기판에 맞는 진동플레이트를 자유롭게 적용할 수 있는 유리한 효과가 있으며, 진동플레이트와 주변 장비 간의 정렬을 보다 용이하게 수행하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 경계진동부를 이용하여 경계 영역에서 기판을 부상시키는 부상력이 형성되도록 하는 것에 의하여, 기판을 안정적으로 부상시키고, 기판의 부상 높이를 균일하게 유지하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
즉, 기판이 경계 영역을 통과하는 동안 경계 영역에서 부상력이 중단되면, 기판에 떨림이 발생하고, 기판의 부상 높이가 일정하게 유지되기 어려운 문제점이 있다. 하지만, 본 발명에 따르면, 경계진동부를 이용하여 경계 영역에서 기판을 부상시키는 부상력이 형성되도록 하는 것에 의하여, 기판을 안정적으로 부상시키고, 기판의 부상 높이를 균일하게 유지하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 경계진동부를 이용하여 경계 영역에서 기판을 부상시키는 부상력이 형성되도록 하는 것에 의하여, 경계 영역에서 기판을 처짐없이 평탄하게 부상시키고, 처짐에 따른 기판과 진동플레이트의 충돌을 방지하는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 경계진동부에 의해 경계 영역에서 기판에 부상력이 작용하도록 하는 것에 의하여, 경계 영역을 보다 크게 형성하는 것이 가능하다. 다시 말해서, 제1진동플레이트와 제2진동플레이트를 보다 많이 이격되게(또는 제1진동플레이트와 제2진동플레이트를 보다 작게) 형성하는 것이 가능하기 때문에, 대형 기판이나 다양한 기판에 맞는 진동플레이트를 자유롭게 적용할 수 있는 유리한 효과가 있으며, 진동플레이트와 주변 장비 간의 정렬을 보다 용이하게 수행하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 제1경계진동부와 제2경계진동부를 경계 영역을 따라 교대로 번갈아 배치하는 것에 의하여, 제1경계진동부와 제2경계진동부 간의 진동 편차에 의한 영향(진동)을 억제하는 유리한 효과를 얻을 수 있으며, 경계 영역에서 제1경계진동부와 제2경계진동부 간의 진동 편차를 경계 영역을 따라 평균화된 값으로 기판에 작용시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 기판이 수평하게 부상된 상태에서 약액이 도포되도록 하는 것에 의하여, 높은 점도(고점도 1000 cP 이상)의 약액을 사용할 수 있음은 물론이며, 낮은 점도(중점도, 100 cP)의 약액을 사용하더라도 흘러내림 없이 약액을 균일하게 도포하는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 틸팅된 기판의 하중이 이송부재에 작용하고, 기판의 하중에 의한 마찰력에 의해 기판이 이송부재에 의해 이송되게 하는 것에 의하여, 진공흡착수단과 같은 복잡한 장비없이 기판의 자중을 이용하여 기판을 이송시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 고품질의 약액 도포층을 형성할 수 있으며, 수율을 향상시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 기판 처리 시스템을 설명하기 위한 도면,
도 3 및 도 4는 도 1의 경계진동부를 설명하기 위한 도면,
도 5는 도 1의 경계진동부를 기판이 통과하는 과정을 설명하기 위한 도면,
도 6은 도 1의 경계진동부의 사이 영역을 통해 이물질이 배출되는 과정을 설명하기 위한 도면,
도 7 내지 도 9는 도 1의 경계진동부의 변형예를 설명하기 위한 도면,
도 10 및 도 11은 도 1의 진동플레이트에 의한 기판의 부상 과정을 설명하기 위한 도면이다.
이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 참고로, 본 설명에서 동일한 번호는 실질적으로 동일한 요소를 지칭하며, 이러한 규칙 하에서 다른 도면에 기재된 내용을 인용하여 설명할 수 있고, 당업자에게 자명하다고 판단되거나 반복되는 내용은 생략될 수 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 기판 처리 시스템을 설명하기 위한 도면이고, 도 3 및 도 4는 도 1의 경계진동부를 설명하기 위한 도면이다. 또한, 도 5는 도 1의 경계진동부를 기판이 통과하는 과정을 설명하기 위한 도면이고, 도 6은 도 1의 경계진동부의 사이 영역을 통해 이물질이 배출되는 과정을 설명하기 위한 도면이다. 그리고, 도 7 내지 도 9는 도 1의 경계진동부의 변형예를 설명하기 위한 도면이고, 도 10 및 도 11은 도 1의 진동플레이트에 의한 기판의 부상 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 1 내지 도 11을 참조하면, 본 발명에 따른 피처리 기판(10)에 대한 약액 도포 공정을 처리하는 기판 처리 시스템(1)은, 서로 이격되게 배치되며 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판을 부상시키는 복수개의 진동플레이트(112,122,132)와, 복수개의 진동플레이트(112,122,132) 간의 이격된 경계 영역(Z1)에 구비되며 경계 영역(Z1)에서 기판(10)을 부상시키는 부상력을 연속적으로 형성하는 경계진동부(140)를 포함하는 기판이송부(100)와; 기판(100)의 표면에 약액을 도포하는 약액 도포 유닛(300)을; 포함한다.
기판이송부(100)는 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판(10)을 부상시킨 상태로 이송시키기 위해 마련된다.
기판이송부(100)는 서로 이격되게 배치되도록 독립적으로 분할된 복수개의 진동플레이트를 포함한다.
여기서, 복수개의 진동플레이트(112,122,132)가 독립적으로 분할된다 함은, 복수개의 진동플레이(112,122,132)가 서로 이격되게 배치되며, 복수개의 진동플레이트(112,122,132)에 의한 부상력이 기판(10)에 각각 개별적으로 작용하는 것을 의미한다.
이하에서는 기판이송부(100)가, 기판(10)이 로딩되는 로딩이송부(110)는, 기판(10)의 표면에 약액이 도포되는 프로세싱이송부(120)와, 약액이 도포된 기판(10)이 언로딩되는 언로딩이송부(130)를 포함하여 구성된 예를 들어 설명하기로 한다.
참고로, 세정 처리 유닛에서 세정 공정이 완료된 기판(10)은 로딩이송부(110)를 따라 프로세싱이송부(120)로 이송되고, 프로세싱이송부(120)로 이송된 기판(10)의 표면에는 약액이 도포된다. 그 후, 약액이 도포된 기판(10)은 언로딩이송부(130)을 따라 이송되는 동안 가열 건조 유닛에 의해 가열됨에 따라 약액이 건조된다.
보다 구체적으로, 도 1 및 도 2를 참조하면, 로딩이송부(110)는 서로 이격되게 배치되는 복수개의 제1진동플레이트(112)를 포함한다.
복수개의 제1진동플레이트(112)는 기판(10)의 이송 경로를 따라 소정 간격을 두고 서로 이격되게 배치되며, 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 상호 협조적으로 기판(10)을 부상시킨다.
여기서, 기판(10)이 부상된다 함은, 기판(10)이 소정 간격을 두고 공중에 띄워진 상태를 의미하며, 제1진동플레이트(112)의 상부에 부상된 기판(10)은 이송 레일(102a)을 따라 직선 이동하는 이송부재(102)에 흡착된 상태로 이송된다.
아울러, 복수개의 제1진동플레이트(112)가 상호 협조적으로 기판(10)을 부상시킨다 함은, 적어도 2개 이상의 제1진동플레이트(112)에 의한 부상력이 기판(10)에 동시에 작용하는 것으로 정의된다.
제1진동플레이트(112)는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양한 형태 및 사이즈를 갖도록 형성될 수 있으며, 제1진동플레이트(112)의 형태 및 사이즈에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
일 예로, 복수개의 제1진동플레이트(112)는 서로 동일한 사각 플레이트 형상 및 사이즈로 형성되어 소정 간격을 두고 이격되게 배치되며, 각 제1진동플레이트(112)의 저면에는 초음파를 발진하여 제1진동플레이트(112)를 가진시키는 제1가진기가 하나씩 장착된다.
이와 같이, 각 제1진동플레이트(112)가 단 하나의 제1가진기에 의해 각각 개별적으로 가진되도록 하는 것에 의하여, 각 제1진동플레이트(112)의 부상력을 정확하게 제어하는 유리한 효과를 얻을 수 있다. 물론, 하나의 제1진동플레이트에 복수개의 가진기를 장착하는 것도 가능하나, 하나의 제1진동플레이트에 복수의 가진 신호가 입력되면 서로 다른 가진 신호 간의 간섭에 의해 제1진동플레이트에 의한 부상력을 정확하게 조절하기 어려운 문제점이 있다. 하지만, 본 발명에서는 각 제1진동플레이트(112)가 단 하나의 제1가진기에 의해 가진되도록 하는 것에 의하여, 가진 신호의 왜곡 및 교란없이 부상력을 정확하게 제어하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
참고로, 본 발명의 실시예에서는 복수개의 제1진동플레이트(112)가 서로 동일한 형태 및 사이즈로 형성된 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 복수개의 제1진동플레이트를 서로 다른 형태 및 사이즈로 형성하는 것도 가능하다.
아울러, 복수개의 제1진동플레이트(112)는 기판(10)의 이송 경로를 따라 일차원(one-dimension) 또는 2차원(two dimension)적으로 이격되게 배치될 수 있다.
구체적으로, 복수개의 제1진동플레이트(112)는 1*n1(여기서 n1은 자연수)의 1차원 배열을 갖도록 배치되거나, (n2+1)*(n2+1)(여기서 n2는 1 이상(n2≥1)의 자연수)의 2차원 배열을 갖도록 배치될 수 있다. 이때, 복수개의 제1진동플레이트(112)의 행(行)(기판이 이송되는 방향)과 열(列)(기판이 이송되는 방향에 수직한 방향)의 개수는 제1진동플레이트(112)의 사이즈 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 경우에 따라서는 복수개의 제1진동플레이트가 여타 다른 배열로 배치되는 것이 가능하며, 제1진동플레이트의 배열에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
이송부재(102)는 이송 레일(102a)을 따라 직선 이동하도록 구성될 수 있다. 가령, 이송 레일은 N극과 S극의 영구 자석이 교대로 배열되고, 이송부재(120')의 코일에 인가되는 전류 제어에 의하여 정교한 위치 제어가 가능한 리니어 모터의 원리로 구동될 수 있다.
다시, 도 1 및 도 2를 참조하면, 프로세싱이송부(120)는 제2진동플레이트(122)를 포함한다.
제2진동플레이트(122)는 약액 도포 유닛(300)의 하부에 배치되며, 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판(10)을 부상시킨다.
참고로, 본 발명의 실시예에서는 프로세싱이송부(120)가 단 하나의 제2진동플레이트(122)로 구성된 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 프로세싱이송부가 소정 간격을 두고 서로 이격되게 분할된 복수개의 제2진동플레이트를 포함하여 구성되는 것도 가능하다.
제2진동플레이트(122)는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양한 형태 및 사이즈를 갖도록 형성될 수 있으며, 제2진동플레이트(122)의 형태 및 사이즈에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
일 예로, 제2진동플레이트(122)는 사각 플레이트 형상으로 형성되며, 제2진동플레이트(122)의 저면에는 초음파를 발진하여 제2진동플레이트(122)를 가진시키는 제2가진기가 장착된다.
또한, 도 1 및 도 2를 참조하면, 언로딩이송부(130)는 서로 이격되게 배치되는 복수개의 제3진동플레이트(132)를 포함한다.
복수개의 제3진동플레이트(132)는 기판(10)의 이송 경로를 따라 소정 간격을 두고 서로 이격되게 배치되며, 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 상호 협조적으로 기판(10)을 부상시킨다.
여기서, 기판(10)이 부상된다 함은, 기판(10)이 소정 간격을 두고 공중에 띄워진 상태를 의미하며, 제3진동플레이트(132)의 상부에 부상된 기판(10)은 이송 레일(102a)을 따라 직선 이동하는 이송부재(102)에 의해 이송된다.
아울러, 복수개의 제3진동플레이트(132)가 상호 협조적으로 기판(10)을 부상시킨다 함은, 적어도 2개 이상의 제3진동플레이트(132)에 의한 부상력이 기판(10)에 동시에 작용하는 것으로 정의된다.
제3진동플레이트(132)는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양한 형태 및 사이즈를 갖도록 형성될 수 있으며, 제3진동플레이트(132)의 형태 및 사이즈에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
일 예로, 복수개의 제3진동플레이트(132)는 서로 동일한 사각 플레이트 형상 및 사이즈로 형성되어 소정 간격을 두고 이격되게 배치되며, 각 제3진동플레이트(132)의 저면에는 초음파를 발진하여 제1진동플레이트(112)를 가진시키는 제3가진기가 하나씩 장착된다.
참고로, 본 발명의 실시예에서는 복수개의 제3진동플레이트(132)가 서로 동일한 형태 및 사이즈로 형성된 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 복수개의 제3진동플레이트를 서로 다른 형태 및 사이즈로 형성하는 것도 가능하다.
아울러, 복수개의 제3진동플레이트(132)는 기판(10)의 이송 경로를 따라 일차원(one-dimension) 또는 2차원(two dimension)적으로 이격되게 배치될 수 있다.
구체적으로, 복수개의 제3진동플레이트(132)는 1*n1(여기서 n1은 자연수)의 1차원 배열을 갖도록 배치되거나, (n2+1)*(n2+1)(여기서 n2는 1 이상(n2≥1)의 자연수)의 2차원 배열을 갖도록 배치될 수 있다. 이때, 복수개의 제3진동플레이트(132)의 행(行)(기판이 이송되는 방향)과 열(列)(기판이 이송되는 방향에 수직한 방향)의 개수는 제1진동플레이트(112)의 사이즈 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 경우에 따라서는 복수개의 제3진동플레이트가 여타 다른 배열로 배치되는 것이 가능하며, 제3진동플레이트의 배열에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
한편, 제1진동플레이트(112) 내지 제3진동플레이트(132)는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양한 조건으로 배치될 수 있다.
일 예로, 도 10을 참조하면, 제1진동플레이트(112) 내지 제3진동플레이트(132)는 수평면에 수평하게 배치되고, 기판(10)은 제1진동플레이트(112) 내지 제3진동플레이트(132)에 평행하게 부상될 수 있다.
여기서, 수평면(horizontal plane)이라 함은, 중력 방향에 대해 수직인 평면(또는 지평면)을 의미한다.
특히, 제2진동플레이트(122)는 약액 도포 공정중에 약액의 흘러 내림을 방지하고, 약액이 균일하게 도포될 수 있도록 기판(10)을 수평하게 부상시킨다. 이와 같이, 기판(10)은 수평하게 부상되기 때문에, 기판(10)의 표면에 중점도 또는 저점도 약액을 도포하는 것이 가능하다. 일 예로, 기판(10)에는 100 cP(centi-poise)의 중점도 특성을 갖는 약액이 도포될 수 있다.
다시 말해서, 기판(10)이 수평면에 대해 경사지게 부상된 상태에서 기판(10)의 표면에 중점도(100 cP) 약액을 도포하면 약액이 흘러내려 기판(10)의 표면에 약액이 균일하게 도포되기 어려운 문제점이 있다. 하지만, 본 발명에서는 기판(10)이 수평하게 부상되기 때문에, 중점도 약액을 사용하더라도 약액이 흘러내림 없이 균일하게 도포될 수 있다.
참고로, 본 발명의 실시예에서는 중점도(100 cP) 약액이 사용되는 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 100 cP보다 낮은 점도의 저점도 약액을 사용하거나, 1000 cP 이상의 고점도 특성을 갖는 약액을 사용하는 것이 가능하며, 고점도 약액을 사용하는 조건에서는 기판(10)을 수평면에 대해 경사지게 부상시킨 상태에서 약액을 균일하게 도포할 수 있다.
다른 일 예로, 도 11을 참조하면, 제1진동플레이트(112) 내지 제3진동플레이트(132)는 기판(10)의 진행 방향을 따른 일측변(진행 방향을 따른 좌측변 또는 우측변)을 중심으로 수평면에 경사지게 배치되고, 기판(10)은 제1진동플레이트(112) 내지 제3진동플레이트(132)에 평행하게 부상된다.
수평면에 대한 제1진동플레이트(112) 내지 제3진동플레이트(132)의 틸팅(tilting) 각도(경사지게 부상된 기판의 틸팅 각도)는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 적절히 변경될 수 있으며, 제1진동플레이트(112) 내지 제3진동플레이트(132)의 틸팅 각도에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
아울러, 기판(10)의 틸팅 각도는 약액(예를 들어, 1000 cP 이상의 고점도 약액)의 흘러 내림을 방지할 수 있는 범위 내에서 자유롭게 설정될 수 있다. 일 예로, 제1진동플레이트(112) 내지 제3진동플레이트(132)에 의한 기판(10)의 틸팅 각도(θ)는 2°로 설정될 수 있다.
또한, 기판(10) 처리 장치(1)는, 수평면에 대해 경사지게 틸팅된 기판(10)의 일측변을 지지하며 기판(10)을 이송시키는 이송부재(102')를 포함할 수 있으며, 제1진동플레이트(112) 내지 제3진동플레이트(132)로부터 부상된 기판(10)은 일측변이 이송부재(102')에 의해 지지(접촉)된 상태로 이송부재(102')가 이동함에 따라 이송될 수 있다.
여기서, 틸팅된 상태의 기판(10)의 일측변이 이송부재(102')에 지지(접촉)된다 함은, 기판(10)의 하중(W)이 기판(10)의 일측변을 통해 이송부재(102')에 작용하는 것으로 정의된다.
이송부재(102')는 틸팅된 기판(10)의 일측변을 지지 가능한 다양한 구조로 형성될 수 있다. 참고로, 본 발명의 실시예에서는 이송부재(102')가 틸팅된 기판(10)의 일측변에 면접촉하는 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 이송부재가 기판(10)의 일측변에 선접촉하거나 국부적으로 접촉하도록 구성되는 것도 가능하다.
일 예로, 이송부재(102')는 이송 레일(102a)을 따라 직선 이동하도록 구성될 수 있다. 가령, 이송 레일(112)은 N극과 S극의 영구 자석이 교대로 배열되고, 이송부재(102')의 코일에 인가되는 전류 제어에 의하여 정교한 위치 제어가 가능한 리니어 모터의 원리로 구동될 수 있다.
이와 같이, 본 발명은 틸팅된 기판(10)의 하중(W)이 이송부재(102')에 작용하고, 기판(10)의 하중(W)에 의한 마찰력에 의해 기판(10)이 이송부재(102')에 의해 이송되게 하는 것에 의하여, 진공흡착수단과 같은 복잡한 장비없이 기판(10)의 자중(W)을 이용하여 기판(10)을 이송시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
더욱이, 본 발명에서는 기판(10)의 하중(W)을 이용하여 기판(10)을 이송부재(102')에 구속(마찰력을 이용하여 상대 이동 구속)하기 때문에, 다시 말해서, 복잡한 제어 공정(예를 들어, 진공 압력 조절 공정)을 거치지 않고 기판(10)의 일측변을 이송부재(102')에 지지시키는 것에 의하여 이송부재(102')와 기판(10)을 구속할 수 있기 때문에, 구조 및 처리 공정을 간소화하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
도 3 내지 도 9를 참조하면, 경계진동부(140)는 복수개의 진동플레이트(112,122,132) 간의 이격된 경계 영역(Z1)에 구비되며, 경계 영역(Z1)에서 기판(10)을 부상시키는 부상력을 연속적으로 형성한다.
여기서, 경계진동부(140)가 복수개의 진동플레이트(112,122,132) 간의 이격된 경계 영역(Z1)에 구비된다 함은, 경계진동부(140)가 제1진동플레이트(112) 간의 이격된 경계 영역(Z1)과, 제1진동플레이트(112)와 제2진동플레이트(122) 사이의 이격된 경계 영역(Z1)과, 제2진동플레이트(122)와 제3진동플레이트(132) 사이의 이격된 경계 영역(Z1)과, 제3진동플레이트(132) 간의 이격된 경계 영역(Z1) 중 적어도 어느 하나에 구비되는 것으로 정의된다.
보다 구체적으로, 진동플레이트(112,122,132)는, 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판(10)을 부상시키는 제1인접플레이트(112a)와, 제1인접플레이트(112a)와 이격되게 배치되며 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판(10)을 부상시키는 제2인접플레이트(112b)를 포함한다. 여기서, 제1인접플레이트(112a)와 제2인접플레이트(112b)는, 모두 제1진동플레이트(112)이거나, 제1진동플레이트(112)와 제2진동플레이트(122)이거나, 제2진동플레이트(122)와 제3진동플레이트(132)이거나, 모두 제3진동플레이트(132)(또는 모두 제2진동플레이트)일 수 있다.
또한, 본 발명에서 경계진동부(140)가 경계 영역(Z1)에서 기판(10)을 부상시키는 부상력을 연속적으로 형성한다 함은, 기판(10)이 경계 영역(Z1)을 통과하는 동안 부상력의 단절없이(부상력이 중단되지 않고) 기판(10)을 부상시키는 부상력이 연속적으로 형성되는 것으로 이해된다.
경계진동부(140)는 경계 영역(Z1)에서 기판(10)을 부상시키는 부상력을 연속적으로 형성 가능한 다양한 구조로 형성될 수 있다.
일 예로, 진동플레이트는, 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판(10)을 부상시키는 제1인접플레이트(112a)와, 제1인접플레이트(112a)와 이격되게 배치되며 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판(10)을 부상시키는 제2인접플레이트(112b)를 포함하되, 경계진동부(140)는, 제2인접플레이트(112b)를 마주하는 제1인접플레이트(112a)의 일변에 연장되며 제1인접플레이트(112a)와 상기 제2인접플레이트(112b)의 사이에 이격된 경계 영역(Z1)에 배치되는 제1경계진동부(141)와, 제1인접플레이트(112a)를 마주하는 제2인접플레이트(112b)의 일변에 연장되며 경계 영역(Z1)에 배치되는 제2경계진동부(142)를 포함한다.
여기서, 제1인접플레이트(112a)와 이격되게 배치되는 제2인접플레이트(112b)라 함은, 기판(10)이 이송 방향을 따라 제1인접플레이트(112a)와 이격되게 배치되는 제2인접플레이트(112b)와, 기판(10)이 이송되는 방향에 수직한 방향을 따라 제1인접플레이트(112a)와 이격되게 배치되는 제2인접플레이트(112b') 중 적어도 어느 하나를 포함하는 개념으로 정의된다.
제1경계진동부(141)는 제1인접플레이트(112a)의 일변에 돌출되는 형태로 연장되어 제1인접플레이트(112a)와 제2인접플레이트(112b) 사이의 경계 영역(Z1)에 배치되고, 제2경계진동부(142)는 제2인접플레이트(112b)의 일변에 돌출되는 형태로 연장되어 제1인접플레이트(112a)와 제2인접플레이트(112b) 사이의 경계 영역(Z1)에 배치된다.
이와 같이, 제1인접플레이트(112a)와 제2인접플레이트(112b) 사이의 경계 영역(Z1)에 제1경계진동부(141)와 제2경계진동부(142)를 형성하고, 제1경계진동부(141)와 제2경계진동부(142)에 의해 경계 영역(Z1)에서 기판(10)을 부상시키는 부상력이 형성되도록 하는 것에 의하여, 기판(10)이 경계 영역(Z1)을 통과하는 동안 기판(10)을 떨림을 방지하고, 기판(10)의 부상 높이가 일정하게 유지시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
즉, 기판(10)이 경계 영역(Z1)을 통과하는 동안 경계 영역(Z1)에서 부상력이 중단되면, 기판(10)에 떨림이 발생하고, 기판(10)의 부상 높이가 일정하게 유지되기 어려운 문제점이 있다. 이에 본 발명은, 경계진동부(140)를 이용하여 경계 영역(Z1)에서 기판(10)을 부상시키는 부상력이 형성되도록 하는 것에 의하여, 기판(10)을 안정적으로 부상시키고, 기판(10)의 부상 높이를 균일하게 유지하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 기판(10)이 경계 영역(Z1)을 통과하는 동안 경계 영역(Z1)에서 부상력이 중단되면, 기판(10)의 선단(경계 영역(Z1)에 가장 먼저 도달하는 단부)에는 일시적으로 처짐이 발생할 수 있기 때문에, 기판(10)의 선단이 다음 진동플레이트(경계 영역(Z1)을 통과한 기판(10)이 도달하는 진동플레이트)의 측벽에 충돌하는 문제점이 있다. 하지만, 본 발명에서는 경계진동부(140)를 이용하여 경계 영역(Z1)에서 기판(10)을 부상시키는 부상력이 형성되도록 하는 것에 의하여, 경계 영역(Z1)에서 기판(10)을 처짐없이 평탄하게 부상시키고, 처짐에 따른 기판(10)과 진동플레이트의 충돌을 방지하는 효과를 얻을 수 있다.
무엇보다도, 본 발명은 제1인접플레이트(112a)와 제1경계진동부(141)에 의한 부상력이 중단되지 않은 상태에서, 제2경계진동부(142)와 제2인접플레이트(112b)에 의한 부상력이 연속적으로 기판(10)에 작용하도록 하는 것에 의하여, 기판(10)이 경계 영역(Z1)을 통과하는 동안 기판(10)의 기판(10)의 부상 높이를 일정하게 유지시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면 경계진동부(140)에 의해 경계 영역(Z1)에서 기판(10)에 부상력이 작용하도록 하는 것에 의하여, 경계 영역(Z1)을 보다 크게 형성하는 것이 가능하다. 다시 말해서, 제1인접플레이트(112a)와 제2인접플레이트(112b)를 보다 많이 이격되게(또는 제1진동플레이트와 제2진동플레이트를 보다 작게) 형성하는 것이 가능하기 때문에, 대형 기판(10)이나 다양한 기판(10)에 맞는 진동플레이트를 자유롭게 적용할 수 있는 유리한 효과가 있으며, 진동플레이트(112,122,132)와 주변 장비(예를 들어, 리프트 핀 홀, 홀 센서 등) 간의 정렬을 보다 용이하게 수행하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
바람직하게, 제1경계진동부(141)와 제2경계진동부(142)는 경계 영역(Z1)에서 상호 협조적으로 기판(10)을 부상시킨다.
여기서, 제1경계진동부(141)와 제2경계진동부(142)가 경계 영역(Z1)에서 상호 협조적으로 기판(10)을 부상시킨다 함은, 도 5와 같이, 경계 영역(Z1)에서 제1경계진동부(141)와 제2경계진동부(142)에 의한 부상력이 기판(10)에 함께 작용하는 것으로 정의된다. 바람직하게, 경계 영역(Z1)의 정중간(P1)에서 제1경계진동부(141)와 제2경계진동부(142)에 의한 부상력이 서로 균일하게 형성되도록 하는 것에 의하여, 경계 영역(Z1)을 통과하는 기판(10)의 부상 높이를 유동없이 일정하게 유지하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
아울러, 경계 영역(Z1)에서 제1경계진동부(141)와 제2경계진동부(142)에 의한 부상력은 기판(10)에 동시에 작용하거나, 소정 시간차를 두고 작용하도록 구성하는 것이 가능하다.
이와 같이, 경계 영역(Z1)에서 제1경계진동부(141)와 제2경계진동부(142)에 의한 부상력이 기판(10)에 함께 작용하도록 하는 것에 의하여, 경계 영역(Z1)에서 기판(10)에 충분한 부상력이 작용될 수 있게 함으로써, 경계 영역(Z1)에서 기판(10)을 보다 안정적으로 부상시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
아울러, 제1경계진동부(141)와 제2경계진동부(142) 중 적어도 어느 하나는 경계 영역(Z1)을 따라 복수개가 형성될 수 있다. 일 예로, 제1경계진동부(141)는 경계 영역(Z1)을 따라 제1인접플레이트(112a)의 일변에 복수개가 형성될 수 있고, 제2경계진동부(142)는 경계 영역(Z1)을 따라 제2인접플레이트(112b)의 일변에 복수개가 형성될 수 있다.
더욱 바람직하게, 제1경계진동부(141)와 제2경계진동부(142)를 경계 영역(Z1)을 따라 교호적으로 배치(교대로 번갈아 배치)하는 것에 의하여, 경계 영역(Z1)에서 제1경계진동부(141)에 의한 부상력과, 제2경계진동부(142)에 의한 부상력을 균일하게 유지시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
즉, 제1경계진동부(141)에 의해 기판(10)에 가해하는 진동 에너지와, 제2경계진동부(142)에 의해 기판(10)에 가해지는 진동 에너지를 균일하게 조절하기 어렵기 때문에, 경계 영역(Z1)에서 제1경계진동부(141)와 제2경계진동부(142)가 불규칙적으로 배치되면, 예를 들어, 경계 영역(Z1)에서 제1경계진동부(141)와 제2경계진동부(142)가 각각 서로 다른 구간에 군데 군데 몰리도록 배치되면, 경계 영역(Z1)에서 제1경계진동부(141)가 배치된 구간과, 제2경계진동부(142)가 배치된 구간 간의 진동 편차에 의해 경계 영역(Z1)을 통과하는 기판(10)이 진동이 발생하는 문제점이 있다. 하지만, 본 발명에서는 제1경계진동부(141)와 제2경계진동부(142)를 경계 영역(Z1)을 따라 교호적으로 배치하는 것에 의하여, 제1경계진동부(141)와 제2경계진동부(142) 간의 진동 편차에 의한 영향(진동)을 억제하는 유리한 효과를 얻을 수 있으며, 경계 영역(Z1)에서 제1경계진동부(141)와 제2경계진동부(142) 간의 진동 편차를 경계 영역(Z1)을 따라 평균화된 값으로 기판(10)에 작용시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
보다 구체적으로, 제1경계진동부(141)는 경계 영역(Z1)을 따라 일정한 간격을 두고 이격되게 형성되고, 제2경계진동부(142)는 제1경계진동부(141) 간의 이격된 사이 영역에 배치된다.
또한, 제1경계진동부(141)와 제2경계진동부(142)를 상호 대칭적인 형태로 형성하는 것에 의하여, 경계 영역(Z1)에서 제1경계진동부(141)와 제2경계진동부(142) 간의 진동 편차에 의한 영향을 보다 저감시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다. 경우에 따라서는 제1경계진동부와 제2경계진동부를 상호 비대칭적인 형태 또는 사이즈로 형성하는 것도 가능하다.
한편, 제1경계진동부(141)와 제2경계진동부(142)는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양한 형태로 형성될 수 있다.
일 예로, 도 3을 참조하면, 제1경계진동부(141)와 제2경계진동부(142)는 곡선형 단면 형태(예를 들어, 연속적인 물결 무늬 형태)로 형성될 수 있다. 다른 일 예로, 도 7 및 도 8과 같이, 제1경계진동부(141)와 제2경계진동부(142)는 삼각형 단면 형태(예를 들어, 연속적인 톱니 형태)로 형성될 수 있다. 경우에 따라서는 도 9와 같이, 제1경계진동부(141)와 제2경계진동부(142)를 사각형 단면 형태로 형성하는 것이 가능하다. 다르게는, 제1경계진동부와 제2경계진동부가 사다리꼴 형태와 같은 여타 다른 다각형 형태 또는 기하학적 형태로 형성되는 것이 가능하다.
또한, 도 6과 같이, 제1경계진동부(141)와 제2경계진동부(142)를 서로 이격되게 배치하되, 제1경계진동부(141)와 제2경계진동부(142)의 사이 간극(Z2)을 통해 기판(10)의 하부의 이물질이 배출되도록 하는 것도 가능하다.
이와 같이, 제1경계진동부(141)와 제2경계진동부(142)의 사이 간극(Z2)을 통해 기판(10)의 하부의 이물질이 배출되도록 하는 것에 의하여, 기판(10)이 이송되는 동안 기판(10) 하부의 이물질에 의한 기판(10)의 부상 높이 편차(기판(10)의 특정 부위의 높이가 높아지는 편차)를 방지하고, 이물질과 기판(10)의 접촉에 의한 기판(10)의 손상을 방지하는 유리한 효과를 얻을 수 있다. 경우에 따라서는 제1경계진동부와 제2경계진동부의 사이 간극에 흡입압을 인가하여, 이물질이 사이 간극에 흡입되도록 구성하는 것도 가능하다.
약액 도포 유닛(300)은, 기판(10)이 프로세싱이송부(120)의 상부에 부상된 상태로 이동하는 동안, 기판(10)의 표면에 약액(PR)을 도포하도록 구비된다.
여기서, 약액 도포 유닛(300)에 의해 약액이 도포되는 영역은 피처리 기판(10)의 전체 표면일 수도 있고, 다수의 셀 영역으로 분할된 부분일 수도 있다.
보다 구체적으로, 약액 도포 유닛(300)의 저단부에는 기판(10)의 너비와 대응하는 길이의 슬릿 노즐이 형성되며, 슬릿 노즐의 노즐 립(lip)(310)은 제2진동플레이트(122)의 상부에 배치되어, 기판(10)의 표면에 약액을 도포한다.
아울러, 약액 도포 유닛(300)에는 예비토출장치(미도시)가 구비되며, 예비토출장치는 슬릿 노즐을 통해 기판(10)상에 약액을 도포하기 직전에 슬릿 노즐 토출구 측에 잔류되어 있는 도포액을 탈락시킴과 아울러 차후 양호한 도포를 위해 토출구를 따라 약액 비드층을 미리 형성할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
1 : 기판 처리 시스템 10 : 기판
100 : 기판이송부 110 : 로딩이송부
112 : 제1진동플레이트 120 : 프로세싱이송부
122 : 제2진동플레이트 130 : 언로딩이송부
132 : 제3진동플레이트 140 : 경계진동부
141 : 제1경계진동부 142 : 제2경계진동부
200 : 제어부 300 : 약액 도포 유닛
310 : 노즐 립

Claims (17)

  1. 약액 도포 공정이 처리되는 기판을 이송하는 기판 이송 장치에 있어서,
    서로 이격되게 배치되며, 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판을 부상시키는 복수개의 진동플레이트와;
    상기 복수개의 진동플레이트 간의 이격된 경계 영역에 구비되며, 상기 경계 영역에서 상기 기판을 부상시키는 부상력을 연속적으로 형성하는 경계진동부를;
    포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 진동플레이트는,
    초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판을 부상시키는 제1인접플레이트와; 상기 제1인접플레이트와 이격되게 배치되며, 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판을 부상시키는 제2인접플레이트를; 포함하고,
    상기 경계진동부는,
    상기 제2인접플레이트를 마주하는 상기 제1인접플레이트의 일변에 연장되며, 상기 제1인접플레이트와 상기 제2인접플레이트의 사이에 이격된 경계 영역에 배치되는 제1경계진동부와; 상기 제1인접플레이트를 마주하는 상기 제2인접플레이트의 일변에 연장되며, 상기 경계 영역에 배치되는 제2경계진동부를; 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1경계진동부와 상기 제2경계진동부는 상기 경계 영역에서 상호 협조적으로 상기 기판을 부상시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제1경계진동부와 상기 제2경계진동부 중 적어도 어느 하나는 상기 경계 영역을 따라 복수개가 형성된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 제1경계진동부와 상기 제2경계진동부는 상기 경계 영역을 따라 교대로 번갈아 배치된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1경계진동부는 상기 경계 영역을 따라 일정한 간격을 두고 이격되게 형성되고, 상기 제2경계진동부는 상기 제1경계진동부 간의 이격된 사이 영역에 배치된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 제1경계진동부와 상기 제2경계진동부는 상호 대칭적인 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 제1경계진동부와 상기 제2경계진동부는 서로 이격되게 배치되며,
    상기 제1경계진동부와 상기 제2경계진동부의 사이 간극을 통해 상기 기판의 하부의 이물질이 배출 가능한 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 복수개의 진동플레이트는 상기 기판이 이송되는 방향과, 상기 기판이 이송되는 방향에 수직한 방향 중 적어도 어느 하나를 따라 이격되게 배치된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 진동플레이트는 수평면에 수평하게 배치되고,
    상기 기판은 상기 진동플레이트에 평행하게 부상되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  11. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 진동플레이트는 상기 기판의 진행 방향을 따른 일측변을 중심으로 수평면에 경사지게 배치되고,
    상기 기판은 상기 진동플레이트에 평행하게 부상되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    수평면에 대해 경사지게 틸팅된 상기 기판의 일측변을 지지하며, 상기 기판을 이송시키는 이송부재를 포함하되,
    상기 이송부재에는 상기 기판의 하중이 작용되고, 상기 기판의 하중에 의한 마찰력에 의해 상기 기판은 상기 이송부재에 의해 이송되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  13. 피처리 기판에 대한 약액 도포 공정을 처리하는 기판 처리 시스템에 있어서,
    서로 이격되게 배치되며 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판을 부상시키는 복수개의 진동플레이트와, 상기 복수개의 진동플레이트 간의 이격된 경계 영역에 구비되며 상기 경계 영역에서 상기 기판을 부상시키는 부상력을 연속적으로 형성하는 경계진동부를 포함하는 기판이송부와;
    상기 기판의 표면에 약액을 도포하는 약액 도포 유닛을;
    포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 기판이송부는,
    상기 기판이 로딩되는 로딩이송부와;
    상기 기판의 표면에 상기 약액이 도포되는 프로세싱이송부와;
    상기 약액이 도포된 상기 기판이 언로딩되는 언로딩이송부를; 포함하며,
    상기 로딩이송부와, 상기 프로세싱이송부와, 상기 언로딩이송부 중 적어도 하나는 상기 복수개의 진동플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 진동플레이트는,
    초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판을 부상시키는 제1인접플레이트와; 상기 제1인접플레이트와 이격되게 배치되며, 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판을 부상시키는 제2인접플레이트를; 포함하고,
    상기 경계진동부는,
    상기 제2인접플레이트를 마주하는 상기 제1인접플레이트의 일변에 연장되며, 상기 제1인접플레이트와 상기 제2인접플레이트의 사이에 이격된 경계 영역에 배치되는 제1경계진동부와; 상기 제1인접플레이트를 마주하는 상기 제2인접플레이트의 일변에 연장되며, 상기 경계 영역에 배치되는 제2경계진동부를; 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 제1경계진동부와 상기 제2경계진동부는 상기 경계 영역에서 상호 협조적으로 상기 기판을 부상시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  17. 제15항에 있어서,
    상기 제1경계진동부와 상기 제2경계진동부는 상기 경계 영역을 따라 교대로 번갈아 배치된 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
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