KR101947992B1 - 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로, 피처리 기판에 대한 약액 도포 공정을 처리하는 기판 처리 장치는, 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판을 부상시킨 상태로 이송하는 기판이송부와, 기판의 표면에 약액을 도포하는 약액 도포 유닛과, 약액 도포 유닛과 이격되게 배치되며 기판이 약액 도포 유닛에 도달하기 전에 먼저 기판의 하부에 존재하는 이물질을 제거하는 이물질 제거부를 포함하는 것에 의하여, 기판의 하부에 존재하는 이물질을 제거할 수 있으며, 이물질에 의한 기판 및 장비의 손상을 방지하는 효과를 얻을 수 있다.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE TREATING APPARATUS}
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 기판의 하부에 존재하는 이물질을 제거할 수 있으며, 이물질에 의한 기판 및 장비의 손상을 방지할 수 있는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
LCD 등 플랫 패널 디스플레이를 제조하는 공정에서는 유리 등으로 제작된 피처리 기판의 표면에 레지스트액 등의 약액을 도포하는 코팅 공정이 수반된다. LCD의 크기가 작았던 종래에는 피처리 기판의 중앙부에 약액을 도포하면서 피처리 기판을 회전시키는 것에 의하여 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하는 스핀 코팅 방법이 사용되었다.
그러나, LCD 화면의 크기가 대형화됨에 따라 스핀 코팅 방식은 거의 사용되지 않으며, 피처리 기판의 폭에 대응하는 길이를 갖는 슬릿 형태의 슬릿 노즐과 피처리 기판을 상대 이동시키면서 슬릿 노즐로부터 약액을 피처리 기판의 표면에 도포하는 방식의 코팅 방법이 사용되고 있다.
최근에는 정해진 시간에 보다 많은 수의 피처리 기판의 표면에 약액을 코팅하는 방법의 일환으로서, 일본 공개특허공보 제2005-243670호에는 기판이 반입되고 도포되며 반출되는 방향을 따라 에어를 분출하여 기판을 부상시키는 부상 스테이지가 설치되고, 그 양측에 흡착 패드 등으로 형성된 기판 배출 기구가 구비되어, 정지된 상태의 슬릿 노즐에 의해 연속적으로 공급되는 피처리 기판의 표면에 약액을 공급하여 코팅하는 기술이 개시되어 있다.
한편, 기판이 부상된 상태로 이송되는 동안, 기판의 하부에 이물질이 존재하면, 기판의 표면에 약액이 균일하게 도포되기 어렵고, 이물질에 의해 기판에 스크레치가 발생하거나, 기판에 인접한 장비가 손상될 수 있기 때문에, 기판의 하부의 이물질이 제거될 수 있어야 한다.
다시 말해서, 기판이 부상된 높이(진동플레이트와 기판 사이의 거리)보다 큰 크기의 비고착성(이동 가능한) 이물질이 기판의 하부에 존재하는 상황에서 기판이 이송되면, 이물질이 위치한 부위에서는 이물질에 의해 기판의 부상 높이가 국부적으로 달라(높아)지기 때문에 약액이 균일한 조건으로 도포되기 어려운 문제점이 있다.
또한, 기판의 부상 높이보다 큰 크기의 비고착성 이물질은 기판이 이송됨에 따라 기판에 의해 쓸려지며 이동하게 되는데, 주변 간섭에 의해 이물질의 이동이 정지된 상태에서 기판만이 이송되면, 기판과 이물질 간의 간섭에 의해 기판에 스크레치 및 데미지가 발생하는 문제점이 있다. 뿐만 아니라, 슬릿 노즐의 하부에서 이물질이 정지되면, 이물질에 의해 기판의 배치 높이가 비정상적으로 높아져 기판이 슬릿 노즐에 접촉하는 문제점이 있고, 기판과 슬릿 노즐의 비정상적인 접촉에 의해 슬릿 노즐이 손상되거나 기판이 손상되는 문제점이 있다.
이에 따라, 최근에는 기판 주변의 이물질을 제거할 수 있으며, 이물질에 의한 기판 및 장비의 손상을 방지하기 위한 다양한 검토가 이루어지고 있으나, 아직 미흡하여 이에 대한 개발이 요구되고 있다.
본 발명은 기판 주변의 이물질을 제거할 수 있으며, 이물질에 의한 기판 및 장비의 손상을 방지할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
특히, 본 발명은 기판의 표면에 약액을 도포하기 전에 기판의 하부에 존재하는 이물질을 제거할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 기판에 약액을 도포하는 과정에서, 약액을 균일하게 도포하여 얼룩의 발생을 억제할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 고품질의 약액 도포층을 형성할 수 있으며, 수율을 향상시킬 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
상술한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 피처리 기판에 대한 약액 도포 공정을 처리하는 기판 처리 장치는, 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판을 부상시킨 상태로 이송하는 기판이송부와, 기판의 표면에 약액을 도포하는 약액 도포 유닛과, 약액 도포 유닛과 이격되게 배치되며 기판이 약액 도포 유닛에 도달하기 전에 먼저 기판의 하부에 존재하는 이물질을 제거하는 이물질 제거부를 포함한다.
이는, 기판의 하부에 존재하는 이물질을 제거하는 것에 의하여, 약액의 도포 균일성을 보장하면서, 이물질에 의한 기판 및 기판에 인접한 주변 장비의 손상을 방지하기 위함이다.
즉, 기판이 부상된 높이(진동플레이트와 기판 사이의 거리)보다 큰 크기의 비고착성(이동 가능한) 이물질이 기판의 하부에 존재하는 상황에서 기판이 이송되면, 이물질이 위치한 부위에서는 이물질에 의해 기판의 부상 높이가 국부적으로 달라(높아)지기 때문에 약액이 균일한 조건으로 도포되기 어렵다. 또한, 기판의 부상 높이보다 큰 크기의 비고착성 이물질은 기판이 이송됨에 따라 기판에 의해 쓸려지며 이동하게 되는데, 주변 간섭에 의해 이물질의 이동이 정지된 상태에서 기판만이 이송되면, 기판과 이물질 간의 간섭에 의해 기판에 스크레치 및 데미지가 발생하는 문제점이 있고, 약액도포유닛의 하부에서 이물질이 정지되면, 이물질에 의해 기판의 배치 높이가 비정상적으로 높아져 기판이 약액도포유닛에 접촉하는 문제점이 있고, 기판과 약액도포유닛의 비정상적인 접촉에 의해 약액도포유닛이 손상되거나 기판이 손상되는 문제점이 있다.
이에, 본 발명은, 기판의 하부에 배치된 이물질이 약액 도포 유닛에 도달하기 전에 먼저 이물질 제거부에 의해 제거되도록 하는 것에 의하여, 약액이 도포되는 약액 도포 유닛의 하부에서 기판의 부상 높이를 일정하게 유지시킴으로써, 약액을 균일하게 도포하는 효과를 얻을 수 있다.
더욱이, 본 발명은, 기판 하부의 이물질이 먼저 제거된 후 소정 시간차를 두고 기판이 약액 도포 유닛의 하부에 도달하도록 하는 것에 의하여, 기판의 부상 높이보다 큰 크기의 비고착성 이물질이 약액 도포 유닛의 하부에 정지됨에 따른 기판 및 장비(약액 도포 유닛)의 손상을 방지하는 효과를 얻을 수 있다.
여기서, 이물질이라 함은, 기판의 하부에 존재하는 비고착성을 이물질, 다시 말해서 기판의 하부에 고착(고정)되지 않고 이동할 수 있는 이물질을 의미한다. 무엇보다도, 이물질 제거부는, 기판의 부상 높이보다 큰 크기를 가지며, 기판이 이송됨에 따라 기판에 의해 쓸려 이동 가능한 이물질을 제거하는 것을 목적으로 한다.
이물질 제거부는 기판 하부의 이물질을 제거 가능한 다양한 구조로 형성될 수 있다. 일 예로, 이물질 제거부는 진동플레이트에 형성되며 이물질이 배출되는 배출홀(또는 배출홈)일 수 있다.
아울러, 배출홀은 기판 하부의 이물질을 배출할 수 있는 다양한 형태로 형성될 수 있다.
일 예로, 배출홀을 기판이 이송되는 방향에 수직한 방향을 따라 연속적인 슬릿 형태로 형성하는 것에 의하여, 기판의 하부에 존재하는 이물질을 빠짐없이 효과적으로 제거하는 효과를 얻을 수 있다.
다른 일 예로, 기판이 이송되는 방향에 수직한 방향을 따라 이격되게 복수개의 배출홀을 형성하는 것도 가능하다. 바람직하게, 배출홀은, 기판이 이송되는 방향에 수직한 방향을 따라 제1열을 이루도록 이격되게 배치되는 복수개의 제1배출홀과, 제1열로부터 이격된 제2열을 이루도록 배치되되 기판이 이송되는 방향에 수직한 방향을 따라 제1배출홀과 교호적으로 배치되는 복수개의 제2배출홀을 포함하는 것에 의하여, 기판의 하부에 존재하는 이물질을 빠짐없이 효과적으로 제거하는 효과를 얻을 수 있다.
그리고, 기판이송부는, 기판이 로딩되는 로딩영역과, 약액 도포 유닛에 의해 약액이 도포되는 약액도포영역과, 약액이 도포된 기판이 언로딩되는 언로딩영역을 포함한다.
이물질 제거부(배출홀)는 기판이 약액 도포 유닛에 도달하기 전에 먼저 기판의 하부에 존재하는 이물질을 제거할 수 있는 다양한 위치에 형성될 수 있다.
일 예로, 이물질 제거부(배출홀)는 로딩영역과 약액도포영역의 경계에 형성될 수 있다. 다른 일 예로, 이물질 제거부(배출홀)는 로딩영역 상에 형성될 수 있다. 바람직하게, 배출홀을 약액도포영역에 최대한 인접하게 로딩영역의 단부에 형성하는 것에 의하여, 배출홀과 약액도포영역의 사이에 이물질이 잔류하는 것을 방지하는 효과를 얻을 수 있다. 또 다른 일 예로, 이물질 제거부(배출홀)는 약액도포영역에 형성되되, 약액 도포 유닛보다 먼저 기판에 근접하도록 약액 도포 유닛에 이격되게 배치될 수 있다.
또한, 진동플레이트에 형성되어 이물질을 배출하는 배출홀에 흡입압을 인가하는 흡입압 형성부를 포함하는 것에 의하여, 기판에 의해 쓸려진 이물질이 보다 효과적으로 배출홀로 배출되게 하는 효과를 얻을 수 있다.
더욱이, 배출홀에 흡입압을 인가하는 것에 의하여, 기판이 진동플레이트를 따라 이송되는 동안 기판에 흡입압을 인가할 수 있기 때문에, 기판의 떨림 및 요동을 억제하는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 기판의 하부에서 이물질을 감지하는 감지센서를 포함할 수 있다. 이와 같이, 감지센서를 이용하여 기판의 하부에 이물질이 남아 있는지 여부를 감지하고, 이물질의 감지 여부에 따라 선택적으로 약액도포유닛의 작동을 정지(이물질이 감지되면 작동 정지)시키는 것에 의하여, 이물질에 의한 기판 및 약액도포유닛의 손상을 방지하는 효과를 얻을 수 있다.
바람직하게, 감지센서가 약액 도포 유닛과 이격되게 배치되어, 이물질이 약액 도포 유닛에 도달하기 전에 먼저 이물질을 감지하도록 하는 것에 의하여, 이물질에 의한 기판 및 약액도포유닛의 손상을 효과적으로 방지하는 효과를 얻을 수 있다.
아울러, 기판이 이송되는 방향에 수직한 진동플레이트의 제1폭(수직 방향 폭)은 기판이 이송되는 방향에 수직한 기판의 제2폭(수직 방향 폭)보다 크거나 같게 형성된다.
이와 같이, 진동플레이트(진동플레이트)의 제1폭을 기판의 제2폭보다 크거나 같게 형성하는 것에 의하여, 진동플레이트(진동플레이트)에 의해 기판에 작용하는 진동 에너지를 보다 균일하게 조절하고, 기판의 부상력을 보다 정교하게 조절하는 효과를 얻을 수 있다.
다시 말해서, 진동플레이트가 일정 이상 큰 크기(예를 들어, 기판보다 큰 면적)로 형성되면, 진동플레이트의 전면에 걸쳐 진동 에너지를 균일하게 유지하기 어렵기 때문에 기판의 부상력을 정교하게 조절하기 어렵다. 반면, 진동플레이트가 작은 크기로 형성되면, 진동플레이트의 전면에 걸쳐 진동 에너지를 균일하게 유지시키는데 유리하지만, 각 진동플레이트의 진동 조건을 서로 완벽하게 일치시키기 어렵기 때문에, 기판이 각 진동플레이트의 사이 간극을 통과하는 동안 각 진동플레이트의 진동 편차에 의해 미세한 떨림(terminal effect)이 발생하는 문제가 있다.
이에 본 발명은, 기판이 이송되는 방향에 수직한 진동플레이트의 제1폭(수직 방향 폭)을 기판이 이송되는 방향에 수직한 기판의 제2폭(수직 방향 폭)보다 크거나 같게 형성하고, 진동플레이트를 기판이 이송되는 방향을 따라 횡대로 이격되게 배치하는 것에 의하여, 기판이 이송되는 동안 기판의 제2폭 방향을 따라서 기판에는 단 하나의 진동플레이트에 의한 진동에너지만이 작용되게 함으로써, 기판에 작용하는 진동 에너지를 균일하게 조절할 수 있고, 기판의 부상 높이를 정교하게 제어하는 효과를 얻을 수 있다.
진동플레이트는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양한 조건으로 배치될 수 있다.
일 예로, 진동플레이트는 수평면에 수평하게 배치되고, 기판은 진동플레이트에 평행하게 부상될 수 있다. 이와 같이, 기판이 수평하게 이송되는 상태에서 약액이 도포되도록 하는 것에 의하여, 높은 점도(고점도 1000 cP 이상)의 약액을 사용할 수 있음은 물론이며, 낮은 점도(중점도, 100 cP)의 약액을 사용하더라도 흘러내림 없이 약액을 균일하게 도포할 수 있다.
다른 일 예로, 진동플레이트는 기판의 진행 방향을 따른 일측변을 중심으로 수평면에 경사지게 배치되고, 기판은 진동플레이트에 평행하게 부상된다. 바람직하게 수평면에 대해 경사지게 틸팅된 기판의 일측변을 지지하며 기판을 이송시키는 이송부재를 포함하고, 이송부재에는 기판의 하중이 작용되고, 기판의 하중에 의한 마찰력에 의해 기판은 이송부재에 의해 이송된다.
이와 같이, 틸팅된 기판의 하중이 이송부재에 작용하고, 기판의 하중에 의한 마찰력에 의해 기판이 이송부재에 의해 이송되게 하는 것에 의하여, 진공흡착수단과 같은 복잡한 장비없이 기판의 자중을 이용하여 기판을 이송시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
더욱이, 본 발명에서는 기판의 하중을 이용하여 기판을 이송부재에 구속(마찰력을 이용하여 상대 이동 구속)하기 때문에, 다시 말해서, 복잡한 제어 공정(예를 들어, 진공 압력 조절 공정)을 거치지 않고 기판의 일측변을 이송부재에 지지시키는 것에 의하여 이송부재와 기판을 구속할 수 있기 때문에, 구조 및 처리 공정을 간소화하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 기판의 하부에 존재하는 이물질을 제거하는 것에 의하여, 약액의 도포 균일성을 보장하면서, 이물질에 의한 기판 및 기판에 인접한 주변 장비의 손상을 방지하는 효과를 얻을 수 있다.
즉, 기판이 부상된 높이(진동플레이트와 기판 사이의 거리)보다 큰 크기의 비고착성(이동 가능한) 이물질이 기판의 하부에 존재하는 상황에서 기판이 이송되면, 이물질이 위치한 부위에서는 이물질에 의해 기판의 부상 높이가 국부적으로 달라(높아)지기 때문에 약액이 균일한 조건으로 도포되기 어렵다. 또한, 기판의 부상 높이보다 큰 크기의 비고착성 이물질은 기판이 이송됨에 따라 기판에 의해 쓸려지며 이동하게 되는데, 주변 간섭에 의해 이물질의 이동이 정지된 상태에서 기판만이 이송되면, 기판과 이물질 간의 간섭에 의해 기판에 스크레치 및 데미지가 발생하는 문제점이 있고, 약액도포유닛의 하부에서 이물질이 정지되면, 이물질에 의해 기판의 배치 높이가 비정상적으로 높아져 기판이 약액도포유닛에 접촉하는 문제점이 있고, 기판과 약액도포유닛의 비정상적인 접촉에 의해 약액도포유닛이 손상되거나 기판이 손상되는 문제점이 있다.
하지만, 본 발명에 따르면, 기판의 하부에 배치된 이물질이 약액 도포 유닛에 도달하기 전에 먼저 이물질 제거부에 의해 제거되도록 하는 것에 의하여, 약액이 도포되는 약액 도포 유닛의 하부에서 기판의 부상 높이를 일정하게 유지시킴으로써, 약액을 균일하게 도포하는 효과를 얻을 수 있다.
더욱이, 본 발명은, 기판 하부의 이물질이 먼저 제거된 후 소정 시간차를 두고 기판이 약액 도포 유닛의 하부에 도달하도록 하는 것에 의하여, 기판의 부상 높이보다 큰 크기의 비고착성 이물질이 약액 도포 유닛의 하부에 정지됨에 따른 기판 및 장비(약액 도포 유닛)의 손상을 방지하는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 배출홀에 흡입압을 인가하는 것에 의하여, 이물질의 배출 특성을 향상시킴과 동시에, 기판이 이송되는 동안 기판에 흡입압을 인가하여 기판의 떨림 및 요동을 억제하는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 진동 에너지에 의해 기판이 부상되도록 하는 것에 의하여, 기판의 부상력을 정밀하게 제어하되, 부상유닛을 구성하는 진동플레이트를 기판이 이송되는 방향을 따라 횡대로 이격되게 배치하는 것에 의하여, 기판에 작용하는 진동 에너지를 균일하게 조절할 수 있고, 기판의 부상 높이를 정교하게 제어하는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 기판이 수평하게 부상된 상태에서 약액이 도포되도록 하는 것에 의하여, 높은 점도(고점도 1000 cP 이상)의 약액을 사용할 수 있음은 물론이며, 낮은 점도(중점도, 100 cP)의 약액을 사용하더라도 흘러내림 없이 약액을 균일하게 도포하는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 틸팅된 기판의 하중이 이송부재에 작용하고, 기판의 하중에 의한 마찰력에 의해 기판이 이송부재에 의해 이송되게 하는 것에 의하여, 진공흡착수단과 같은 복잡한 장비없이 기판의 자중을 이용하여 기판을 이송시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 고품질의 약액 도포층을 형성할 수 있으며, 수율을 향상시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면,
도 2 내지 도 4는 도 1의 기판 처리 장치의 이물질 제거부의 구조 및 이물질 제거 공정을 설명하기 위한 도면,
도 5 내지 도 8은 도 1의 기판 처리 장치의 이물질 제거부의 변형예를 설명하기 위한 도면,
도 9 및 도 10은 도 1의 진동플레이트에 의한 기판의 부상 과정을 설명하기 위한 도면,
도 11 및 도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면이다.
이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 참고로, 본 설명에서 동일한 번호는 실질적으로 동일한 요소를 지칭하며, 이러한 규칙 하에서 다른 도면에 기재된 내용을 인용하여 설명할 수 있고, 당업자에게 자명하다고 판단되거나 반복되는 내용은 생략될 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면이고, 도 2 내지 도 4는 도 1의 기판 처리 장치의 이물질 제거부의 구조 및 이물질 제거 공정을 설명하기 위한 도면이다. 또한, 도 5 내지 도 8은 도 1의 기판 처리 장치의 이물질 제거부의 변형예를 설명하기 위한 도면이고, 도 9 및 도 10은 도 1의 진동플레이트에 의한 기판의 부상 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 1 내지 도 9를 참조하면, 본 발명에 따른 피처리 기판(10)에 대한 약액 도포 공정을 처리하는 기판 처리 장치(1)는, 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판을 부상시킨 상태로 이송하는 기판이송부(100)와, 기판의 표면에 약액을 도포하는 약액 도포 유닛(300)과, 약액 도포 유닛(300)과 이격되게 배치되며 기판이 약액 도포 유닛(300)에 도달하기 전에 먼저 기판의 하부에 존재하는 이물질(G)을 제거하는 이물질 제거부(200)를 포함한다.
기판이송부(100)는 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판을 부상시킨 상태로 이송시킨다.
보다 구체적으로, 기판이송부(100)는, 기판이 로딩되는 로딩영역(102)과, 약액 도포 유닛(300)에 의해 약액이 도포되는 약액도포영역(104)과, 약액이 도포된 기판이 언로딩되는 언로딩영역(106)을 포함한다.
세정 처리 유닛에서 세정 공정이 완료된 기판(10)은 로딩영역(102)을 따라 약액도포영역(104)으로 이송되고, 약액도포영역(104)으로 이송된 기판의 표면에는 약액이 도포된다. 그 후, 약액이 도포된 기판은 언로딩영역(106)을 따라 이송되는 동안 가열 건조 유닛에 의해 가열됨에 따라 약액이 건조된다.
기판이송부(100)는 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판을 부상시킨 상태로 이송시킬 수 있는 다양한 구조로 제공될 수 있다. 일 예로, 기판이송부(100)는, 기판의 이송 경로를 따라 배치되는 진동플레이트(110)와, 진동플레이트(110)에 의해 부상된 기판을 이송시키는 이송부재를 포함한다.
진동플레이트(110)는 기판(10)의 이송 경로를 따라 배치되며, 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판(10)을 부상시키기 위해 마련된다.
여기서, 기판(10)이 부상된다 함은, 기판(10)이 소정 간격을 두고 공중에 띄워진 상태를 의미하며, 진동플레이트(110)의 상부에 부상된 기판(10)은 이송 레일(122)을 따라 직선 이동하는 이송부재(120)에 의해 이송된다.
진동플레이트(110)는 사각 플레이트 형상으로 형성되며, 진동플레이트(110)의 저면에는 초음파를 발진하여 진동플레이트(110)를 가진시키는 가진기가 장착된다.
이송부재(120')는 이송 레일(122)을 따라 직선 이동하도록 구성될 수 있다. 가령, 이송 레일(122)은 N극과 S극의 영구 자석이 교대로 배열되고, 이송부재(120')의 코일에 인가되는 전류 제어에 의하여 정교한 위치 제어가 가능한 리니어 모터의 원리로 구동될 수 있다.
약액 도포 유닛(300)은, 기판(10)이 진동플레이트(110)의 상부에 부상된 상태로 이동하는 동안, 기판(10)의 표면에 약액(PR)을 도포하도록 마련된다.
여기서, 약액 도포 유닛(300)에 의해 약액이 도포되는 영역은 피처리 기판(10)의 전체 표면일 수도 있고, 다수의 셀 영역으로 분할된 부분일 수도 있다.
구체적으로, 약액 도포 유닛(300)은 기판(10)의 이송 경로 양측에 설치되는 겐트리에 결합되어 기판(10)의 표면에 약액을 도포하도록 구비되되, 중간위치영역(Z3)에 배치되어 중간위치영역(Z3) 상에서 기판(10)의 표면에 약액을 도포한다.
약액 도포 유닛(300)의 저단부에는 기판(10)의 너비와 대응하는 길이의 슬릿 노즐이 형성되며, 슬릿 노즐의 노즐 립(lip)(310)은 기판이송부(100)의 약액도포영역(104) 상에 배치되어, 약액도포영역(104) 상에서 기판(10)의 표면에 약액을 도포한다.
아울러, 약액 도포 유닛(300)에는 예비토출장치(미도시)가 구비되며, 예비토출장치는 슬릿 노즐을 통해 기판(10)상에 약액을 도포하기 직전에 슬릿 노즐 토출구 측에 잔류되어 있는 도포액을 탈락시킴과 아울러 차후 양호한 도포를 위해 토출구를 따라 약액 비드층을 미리 형성할 수 있다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 이물질 제거부(200)는 약액 도포 유닛(300)과 소정 거리(L1)만큼 이격되게 배치되며, 기판이 약액 도포 유닛(300)에 도달하기 전에 먼저 기판의 하부에 존재하는 이물질(G)을 제거하기 위해 마련된다.
참고로, 본 발명에서 기판이 약액 도포 유닛(300)에 도달하기 전에 먼저 기판의 하부에 존재하는 이물질(G)을 제거한다 함은, 기판이 약액 도포 유닛(300)의 하부(약약 도포 시작 지점)까지 이동하기 전에 기판의 하부에 존재하는 이물질(G)이 제거하는 것으로, 다시 말해서, 이물질(G)이 먼저 제거된 후 소정 시간차를 두고 기판이 약액 도포 유닛(300)의 하부에 도달하는 것으로 정의된다.
또한, 본 발명에서 이물질(G)이라 함은, 기판의 하부에 존재하는 비고착성을 이물질(G), 다시 말해서 기판의 하부에 고착(고정)되지 않고 이동할 수 있는 이물질(G)을 의미한다. 특히, 도 4와 같이, 이물질 제거부(200)는, 기판의 부상 높이(H1)보다 큰 크기(H2)를 가지며, 기판이 이송됨에 따라 기판에 의해 쓸려 이동 가능한 이물질(G)을 제거하는 것을 목적으로 한다. 일 예로, 기판은 초음파 진동 에너지에 의해 진동플레이트(110)의 상부에 30~50㎛의 부상 높이(H1)로 부상될 수 있는 바, 기판의 부상 높이(H1)가 30㎛인 경우에는, 이물질 제거부(200)가 30㎛보다 큰 크기의 이물질(G)을 제거하도록 구성된다.
이와 같이, 본 발명은 기판의 하부에 배치된 이물질(G)이 약액 도포 유닛(300)에 도달하기 전에 먼저 이물질 제거부(200)에 의해 제거되도록 하는 것에 의하여, 약액이 도포되는 약액 도포 유닛(300)의 하부에서 기판의 부상 높이를 일정하게 유지시킴으로써, 약액을 균일하게 도포하는 효과를 얻을 수 있다.
더욱이, 기판의 부상 높이보다 큰 크기의 비고착성 이물질(G)은 기판이 이송됨에 따라 기판에 의해 쓸려지며 이동하게 되는데, 약액 도포 유닛(300)의 하부에서 이물질(G)이 주변 간섭(이물질(G)의 크기만큼 비정상적으로 높게 부상된 기판이 약액 도포 유닛(300)의 노즐 립에 접촉됨에 따른 간섭)에 의해 정지되면, 고정된 이물질(G)에 대해 기판이 접촉된 상태로 이동함에 따라 기판에 스크레치 및 데미지가 발생할 뿐만 아니라, 기판과 약액 도포 유닛(300)의 비정상적인 접촉에 의해 약액 도포 유닛(300)의 노즐 립이 손상되는 문제점이 있다. 하지만, 본 발명에서는 기판 하부의 이물질(G)이 약액 도포 유닛(300)에 도달하기 전에 먼저 이물질 제거부(200)에 의해 제거되도록 하는 것에 의하여, 이물질(G)에 의한 기판 및 장비(약액 도포 유닛)의 손상을 방지하는 효과를 얻을 수 있다.
이물질 제거부(200)는 기판 하부의 이물질(G)을 제거 가능한 다양한 구조로 형성될 수 있다. 일 예로, 이물질 제거부(200)는 진동플레이트(110)에 형성되며 이물질(G)이 배출되는 배출홀(202)(또는 배출홈)일 수 있다. 바람직하게 배출홀(202)은 제거하고자 하는 제거 대상 이물질(G)의 크기보다 큰 크기(직경 또는 폭)을 갖도록 형성된다.
아울러, 배출홀(202)은 기판 하부의 이물질(G)을 배출할 수 있는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 바람직하게, 배출홀(202)을 기판이 이송되는 방향에 수직한 방향을 따라 연속적인 슬릿 형태로 형성하는 것에 의하여, 기판의 하부에 존재하는 이물질(G)을 빠짐없이 효과적으로 제거하는 효과를 얻을 수 있다. 참고로, 배출홀(202)이 연속적인 슬릿 형태로 형성된다 함은, 배출홀(202)이 직선 슬릿 형태 또는 곡선 슬릿 형태로 형성되는 것을 모두 포함하는 개념으로 이해된다.
배출홀(202)은, 기판이 약액 도포 유닛(300)에 도달하기 전에 먼저 기판의 하부에 존재하는 이물질(G)을 제거할 수 있는 다양한 위치에 형성될 수 있다.
일 예로, 도 3을 참조하면, 이물질 제거부(200)(배출홀)는 로딩영역(102)과 약액도포영역(104)의 경계에 형성된다. 기판이 로딩영역(102)을 거쳐 약액도포영역(104)으로 이송되는 동안 기판 하부에 존재하는 이물질(G)은 기판에 의해 쓸려 이동하면서, 로딩영역(102)과 약액도포영역(104)의 경계에 형성된 배출홀(202)을 통해 배출된다.
다른 일 예로, 도 5를 참조하면, 배출홀(202)은 로딩영역(102) 상에 형성될 수 있다. 배출홀(202)은 로딩영역(102) 상에 배치되는 복수개의 진동플레이트(110) 중 어느 하나에 형성될 수 있다. 기판이 로딩영역(102)을 따라 이송되는 동안 기판 하부에 존재하는 이물질(G)은 기판에 의해 쓸려 이동하면서, 로딩영역(102)에 형성된 배출홀(202)을 통해 배출된다.
바람직하게, 배출홀(202)을 약액도포영역(104)에 최대한 인접하게 로딩영역(102)의 단부에 형성하는 것에 의하여, 배출홀(202)과 약액도포영역(104)의 사이에 이물질(G)이 잔류하는 것을 방지하는 효과를 얻을 수 있다.
참고로, 본 발명의 실시예에서는 로딩영역(102)에 배치된 복수개의 진동플레이트(110) 중 어느 하나에만 배출홀(202)이 형성된 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 로딩영역에 배치된 복수개의 진동플레이트 중 2개 이상의 진동플레이트에 각각 배출홀을 형성하는 것도 가능하다.
또 다른 일 예로, 도 6을 참조하면, 배출홀(202)은 약액도포영역(104)에 구비되되, 약액 도포 유닛(300)보다 먼저 기판에 근접하도록 약액 도포 유닛(300)에 이격되게 배치된다. 기판이 로딩영역(102)을 거쳐 약액도포영역(104)으로 이송되는 동안 기판 하부에 존재하는 이물질(G)은 기판에 의해 쓸려 이동하면서, 약액도포영역(104)의 경계에 형성된 배출홀(202)을 통해 배출된다.
다르게는, 도 7 및 도 8과 같이, 기판(10)이 이송되는 방향에 수직한 방향을 따라 이격되게 복수개의 배출홀(202')을 형성하는 것도 가능하다.
일 예로, 도 7을 참조하면, 기판(10)이 약액 도포 유닛(300)에 도달하기 전에 먼저 기판(10)의 하부에 존재하는 이물질(G)을 제거할 수 있는 위치(로딩영역과 약액도포영역의 경계, 로딩영역, 약액도포영역)에는, 기판(10)이 이송되는 방향에 수직한 방향을 따라 이격되게 복수개의 배출홀(202')이 1열 구조를 이루도록 형성될 수 있다.
다른 일 예로, 도 8을 참조하면, 기판(10)이 약액 도포 유닛(300)에 도달하기 전에 먼저 기판(10)의 하부에 존재하는 이물질(G)을 제거할 수 있는 위치에는, 기판(10)이 이송되는 방향에 수직한 방향을 따라 이격되게 복수개의 배출홀(202')이 2열 구조를 이루도록 형성될 수 있다. 구체적으로, 배출홀(202')은, 기판(10)이 이송되는 방향에 수직한 방향을 따라 제1열을 이루도록 이격되게 배치되는 복수개의 제1배출홀(202a')과, 제1열로부터 이격된 제2열을 이루도록 배치되되 기판(10)이 이송되는 방향에 수직한 방향을 따라 제1배출홀(202a')과 교호적으로 배치되는 복수개의 제2배출홀(202b')을 포함하는 것에 의하여, 기판(10)의 하부에 존재하는 이물질(G)을 빠짐없이 효과적으로 제거하는 효과를 얻을 수 있다.
한편, 기판(10)이 이송되는 방향에 수직한 진동플레이트(110)의 제1폭(수직 방향 폭)(W1)은 기판(10)이 이송되는 방향에 수직한 기판(10)의 제2폭(수직 방향 폭)(W2)보다 크거나 같게 형성되며, 기판(10)의 제2폭(W2)은 진동플레이트(110)의 제1폭(W1)의 영역 내에 위치한다.
이와 같이, 진동플레이트(110)의 제1폭(W1)을 기판(10)의 제2폭(W2)보다 크거나 같게 형성하는 것에 의하여, 진동플레이트(110)에 의해 기판(10)에 작용하는 진동 에너지를 보다 균일하게 조절하고, 기판(10)의 부상력을 보다 정교하게 조절하는 효과를 얻을 수 있다.
다시 설명하면, 진동플레이트(110)가 일정 이상 큰 크기(예를 들어, 기판(10)보다 큰 면적)로 형성되면, 진동플레이트(110)의 전면에 걸쳐 진동 에너지를 균일하게 유지하기 어렵기 때문에 기판(10)의 부상력을 정교하게 조절하기 어렵다. 반면, 진동플레이트(110)가 작은 크기로 형성되면, 진동플레이트(110)의 전면에 걸쳐 진동 에너지를 균일하게 유지시키는데 유리하지만, 각 진동플레이트(110)의 진동 조건을 서로 완벽하게 일치시키기 어렵기 때문에, 기판(10)이 각 진동플레이트(110)의 사이 간극을 통과하는 동안 각 진동플레이트(110)의 진동 편차에 의해 미세한 떨림(terminal effect)이 발생하는 문제가 있다.
이에 본 발명은, 기판(10)이 이송되는 방향에 수직한 진동플레이트(110)의 제1폭(수직 방향 폭)(W1)을 기판(10)이 이송되는 방향에 수직한 기판(10)의 제2폭(수직 방향 폭)(W2)보다 크거나 같게 형성하고, 진동플레이트(110)를 기판(10)이 이송되는 방향을 따라 횡대로 이격되게 배치하는 것에 의하여, 기판(10)이 이송되는 동안 기판(10)의 제2폭(W2) 방향을 따라서 기판(10)에는 단 하나의 진동플레이트(110)에 의한 진동에너지만이 작용되게 함으로써, 기판(10)에 작용하는 진동 에너지를 균일하게 조절할 수 있고, 기판(10)의 부상 높이를 정교하게 제어하는 효과를 얻을 수 있다.
물론, 진동플레이트(110)의 제1폭(수직 방향 폭)을 기판(10)의 제2폭(수직 방향 폭)보다 작게 형성하고 복수개의 진동플레이트(110)를 기판(10)이 이송되는 방향에 수직한 종대로 이격되게 배치하는 것도 가능하지만, 이 경우에는 기판(10)의 제2폭(수직 방향 폭)(W2) 방향을 따른 진동 편차에 의한 떨림(terminal effect)과, 기판(10)의 제1폭(수평 방향 폭)(W2') 방향을 따른 진동 편차에 의한 떨림이 모두 기판(10)에 작용하기 때문에, 기판(10)에 가해하는 진동 에너지를 균일하게 조절하기 어려울 수 있다. 하지만, 본 발명에서는 기판(10)의 제2폭 방향(W2)을 따라서 기판(10)에는 단 하나의 진동플레이트(110)에 의한 진동에너지만이 작용되도록 하는 것에 의하여, 기판(10)의 제2폭(수직 방향 폭) 방향을 따른 진동 편차에 의한 떨림을 방지하고, 기판(10)에 가해하는 진동 에너지를 균일하게 조절하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 기판(10)의 제1폭(W2') 방향을 따라서는 각 진동플레이트(110)의 사이 간극에 의해 터미널 이펙트(terminal effect)가 발생할 수 있으나, 기판(10)의 제1폭(W2') 방향(이송 방향)을 따른 터미널 이펙트는 기판(10)의 제1폭(W2') 방향을 따라 규칙적으로 발생되기 때문에 기판(10) 표면 전체에 평균화된 터미널 이펙트로 적용하는 것이 가능하다.
한편, 진동플레이트(110)는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양한 조건으로 배치될 수 있다.
일 예로, 도 9를 참조하면, 진동플레이트(110)는 수평면에 수평하게 배치되고, 기판(10)은 진동플레이트(110)에 평행하게 부상될 수 있다.
여기서, 수평면(horizontal plane)이라 함은, 중력 방향에 대해 수직인 평면(또는 지평면)을 의미한다.
진동플레이트(110)는 약액 도포 공정중에 약액의 흘러 내림을 방지하고, 약액이 균일하게 도포될 수 있도록 기판(10)을 수평하게 부상시킨다. 이와 같이, 기판(10)은 수평하게 부상되기 때문에, 기판(10)의 표면에 중점도 또는 저점도 약액을 도포하는 것이 가능하다. 일 예로, 기판(10)에는 100 cP(centi-poise)의 중점도 특성을 갖는 약액이 도포될 수 있다.
다시 말해서, 기판(10)이 수평면에 대해 경사지게 부상된 상태에서 기판(10)의 표면에 중점도(100 cP) 약액을 도포하면 약액이 흘러내려 기판(10)의 표면에 약액이 균일하게 도포되기 어려운 문제점이 있다. 하지만, 본 발명에서는 기판(10)이 수평하게 부상되기 때문에, 중점도 약액을 사용하더라도 약액이 흘러내림 없이 균일하게 도포될 수 있다.
참고로, 본 발명의 실시예에서는 중점도(100 cP) 약액이 사용되는 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 100 cP보다 낮은 점도의 저점도 약액을 사용하거나, 1000 cP 이상의 고점도 특성을 갖는 약액을 사용하는 것이 가능하며, 고점도 약액을 사용하는 조건에서는 기판을 수평면에 대해 경사지게 부상시킨 상태에서 약액을 균일하게 도포할 수 있다.
다른 일 예로, 도 10을 참조하면, 진동플레이트(110)는 기판(10)의 진행 방향을 따른 일측변(진행 방향을 따른 좌측변 또는 우측변)을 중심으로 수평면에 경사지게 배치되고, 기판(10)은 진동플레이트(110)에 평행하게 부상된다.
수평면에 대한 진동플레이트(110)의 틸팅(tilting) 각도(경사지게 부상된 기판(10)의 틸팅 각도)는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 적절히 변경될 수 있으며, 진동플레이트(110)의 틸팅 각도에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
아울러, 기판(10)의 틸팅 각도는 약액(예를 들어, 1000 cP 이상의 고점도 약액)의 흘러 내림을 방지할 수 있는 범위 내에서 자유롭게 설정될 수 있다. 일 예로, 진동플레이트(110)에 의한 기판(10)의 틸팅 각도(θ)는 2°로 설정될 수 있다.
또한, 기판 처리 장치(1)는, 수평면에 대해 경사지게 틸팅된 기판(10)의 일측변을 지지하며 기판(10)을 이송시키는 이송부재(120')를 포함할 수 있으며, 진동플레이트(110)로부터 부상된 기판(10)은 일측변이 이송부재(120')에 의해 지지(접촉)된 상태로 이송부재(120')가 이동함에 따라 이송될 수 있다.
여기서, 틸팅된 상태의 기판(10)의 일측변이 이송부재(120')에 지지(접촉)된다 함은, 기판(10)의 하중(W)이 기판(10)의 일측변을 통해 이송부재(120')에 작용하는 것으로 정의된다.
이송부재(120')는 틸팅된 기판(10)의 일측변을 지지 가능한 다양한 구조로 형성될 수 있다. 참고로, 본 발명의 실시예에서는 이송부재(120')가 틸팅된 기판(10)의 일측변에 면접촉하는 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 이송부재가 기판의 일측변에 선접촉하거나 국부적으로 접촉하도록 구성되는 것도 가능하다.
일 예로, 이송부재(120')는 이송 레일(122)을 따라 직선 이동하도록 구성될 수 있다. 가령, 이송 레일(122)은 N극과 S극의 영구 자석이 교대로 배열되고, 이송부재(120')의 코일에 인가되는 전류 제어에 의하여 정교한 위치 제어가 가능한 리니어 모터의 원리로 구동될 수 있다.
이와 같이, 본 발명은 틸팅된 기판(10)의 하중(W)이 이송부재(120')에 작용하고, 기판(10)의 하중(W)에 의한 마찰력에 의해 기판(10)이 이송부재(120')에 의해 이송되게 하는 것에 의하여, 진공흡착수단과 같은 복잡한 장비없이 기판(10)의 자중(W)을 이용하여 기판(10)을 이송시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
더욱이, 본 발명에서는 기판(10)의 하중(W)을 이용하여 기판(10)을 이송부재(120')에 구속(마찰력을 이용하여 상대 이동 구속)하기 때문에, 다시 말해서, 복잡한 제어 공정(예를 들어, 진공 압력 조절 공정)을 거치지 않고 기판(10)의 일측변을 이송부재(120')에 지지시키는 것에 의하여 이송부재(120')와 기판(10)을 구속할 수 있기 때문에, 구조 및 처리 공정을 간소화하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
한편, 도 11 및 도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면이다. 아울러, 전술한 구성과 동일 및 동일 상당 부분에 대해서는 동일 또는 동일 상당한 참조 부호를 부여하고, 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 11을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 처리 장치(1)는, 진동플레이트(110)에 형성되어 이물질(G)을 배출하는 배출홀(202)에 흡입압을 인가하는 흡입압 형성부(210)를 포함할 수 있다.
흡입압 형성부(210)는 배출홀(202)에 흡입압을 인가하여, 이물질(G)이 배출홀(202)에 흡입될 수 있게 함으로써, 기판에 의해 쓸려진 이물질(G)이 보다 효과적으로 배출홀(202)로 배출되게 하는 효과를 얻을 수 있다.
더욱이, 배출홀(202)에 흡입압을 인가하는 것에 의하여, 이물질(G)의 배출 특성을 향상 시킬 뿐만 아니라, 기판(10)이 진동플레이트(110)를 따라 이송되는 동안 기판(10)에 흡입압을 인가할 수 있기 때문에, 기판(10)의 떨림 및 요동을 억제하는 효과를 얻을 수 있다.
여기서, 기판(10)에 흡입압이 인가된다 함은, 기판(10)의 표면을 빨아들이는 흡입압(부압)에 의해 기판(10)이 지지(움직이지 않게 구속)되는 상태를 의미하고, 기판(10)에 흡입압이 인가된 상태에서는 흡입압에 의한 지지력에 의해 기판(10)의 떨림 및 요동이 최대한 억제될 수 있다.
경우에 따라서는, 기판이 이송되는 방향을 따른 약액 도포 유닛의 전방에 형성된 배출홀을 통해 흡입압을 인가하고, 기판이 이송되는 방향을 따른 약액 도포 유닛의 후방에 흡입압을 인가하는 흡입홀을 형성하는 것에 의하여, 기판에서 약액이 도포되는 지점(노즐 립의 하부)에 인접한 양단 부위가 흡입압에 의해 각각 지지될 수 있게 함으로써, 진동 및 떨림을 보다 효과적으로 억제하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
도 12를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 처리 장치(1)는, 기판의 하부에서 이물질(G)을 감지하는 감지센서(220)를 포함할 수 있다.
감지센서(220)는 이물질 제거부(200)를 통해 제거되지 못한 이물질(G)이 남아 있는지 여부를 감지하고, 이물질(G)의 감지 여부에 따라 선택적으로 약액도포유닛의 작동을 정지(이물질이 감지되면 작동 정지)시키는 것에 의하여, 이물질(G)에 의한 기판 및 약액도포유닛의 손상을 방지하는 효과를 얻을 수 있다.
감지센서(220)로서는 통상의 센서가 사용될 수 있으며, 감지센서(220)의 종류 및 특성에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
바람직하게, 감지센서(220)는 약액 도포 유닛(300)과 이격되게 배치되어, 이물질(G)이 약액 도포 유닛(300)에 도달하기 전에 먼저 이물질(G)을 감지한다. 이와 같이, 이물질(G)이 약액 도포 유닛(300)에 도달하기 전에 먼저 이물질(G)을 감지하고, 이물질(G)이 감지되면, 약액도포유닛의 작동을 정지시키는 것에 의하여, 이물질(G)에 의한 기판 및 약액도포유닛의 손상을 효과적으로 방지하는 효과를 얻을 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
1 : 기판 처리 장치 100 : 기판이송부
102 : 로딩영역 104 : 약액도포영역
106 : 언로딩영역 110 : 진동플레이트
120 : 이송부재 200 : 이물질 제거부
202 : 배출홀 210 : 흡입압 형성부
220 : 감지센서 300 : 약액 도포 유닛

Claims (20)

  1. 피처리 기판에 대한 약액 도포 공정을 처리하는 기판 처리 장치에 있어서,
    초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판을 부상시킨 상태로 이송하는 기판이송부와;
    상기 기판의 표면에 약액을 도포하는 약액 도포 유닛과;
    상기 약액 도포 유닛과 이격되게 배치되며, 상기 기판이 상기 약액 도포 유닛에 도달하기 전에 먼저, 상기 기판의 부상 높이보다 큰 크기를 가지며 상기 기판에 의해 쓸려 이동 가능한 이물질을 상기 기판의 하부에서 제거하는 이물질 제거부를;
    포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기판이송부는,
    상기 기판이 로딩되는 로딩영역과;
    상기 약액 도포 유닛에 의해 상기 약액이 도포되는 약액도포영역과;
    상기 약액이 도포된 상기 기판이 언로딩되는 언로딩영역을;
    포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 이물질 제거부는 상기 로딩영역과 상기 약액도포영역의 경계에 구비된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 이물질 제거부는 상기 로딩영역에 구비된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 이물질 제거부는 상기 약액도포영역에 인접하게 상기 로딩영역의 단부에 형성된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 이물질 제거부는 상기 약액도포영역에 구비되되, 상기 약액 도포 유닛보다 먼저 상기 기판에 근접하도록 상기 약액 도포 유닛에 이격되게 배치된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 기판이송부는,
    상기 기판의 이송 경로를 따라 배치되는 진동플레이트와;
    상기 진동플레이트에 의해 부상된 상기 기판을 이송시키는 이송부재를; 포함하고,
    상기 이물질 제거부는 상기 진동플레이트에 구비된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 이물질 제거부는 상기 진동플레이트에 형성되며 상기 이물질이 배출되는 배출홀인 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 배출홀은 상기 기판이 이송되는 방향에 수직한 방향을 따라 연속적인 슬릿 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 배출홀은 상기 기판이 이송되는 방향에 수직한 방향을 따라 이격되게 복수개가 형성된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 배출홀은,
    상기 기판이 이송되는 방향에 수직한 방향을 따라 제1열을 이루도록 이격되게 배치되는 복수개의 제1배출홀과;
    상기 제1열로부터 이격된 제2열을 이루도록 배치되되, 상기 기판이 이송되는 방향에 수직한 방향을 따라 상기 제1배출홀과 교호적으로 배치되는 복수개의 제2배출홀을;
    포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  12. 제8항에 있어서,
    상기 배출홀에 흡입압을 인가하는 흡입압 형성부를 더 포함하고,
    상기 배출홀에 형성되는 상기 흡입압에 의해 상기 기판이 지지 가능한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 기판의 하부에서 상기 이물질을 감지하는 감지센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 감지센서는 상기 약액 도포 유닛과 이격되게 배치되며, 상기 이물질이 상기 약액 도포 유닛에 도달하기 전에 먼저 상기 이물질을 감지하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  15. 제7항에 있어서,
    상기 기판이 이송되는 방향에 수직한 상기 진동플레이트의 제1폭은 상기 기판이 이송되는 방향에 수직한 상기 기판의 제2폭보다 크거나 같게 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  16. 제7항에 있어서,
    상기 진동플레이트는 수평면에 수평하게 배치되고,
    상기 기판은 상기 진동플레이트에 평행하게 부상되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  17. 제7항에 있어서,
    상기 진동플레이트는 상기 기판의 진행 방향을 따른 일측변을 중심으로 수평면에 경사지게 배치되고,
    상기 기판은 상기 진동플레이트에 평행하게 부상되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  18. 제17항에 있어서,
    수평면에 대해 경사지게 틸팅된 상기 기판의 일측변을 지지하며, 상기 기판을 이송시키는 이송부재를 포함하되,
    상기 이송부재에는 상기 기판의 하중이 작용되고, 상기 기판의 하중에 의한 마찰력에 의해 상기 기판은 상기 이송부재에 의해 이송되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  19. 삭제
  20. 삭제
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