KR20040105325A - 판상부재의 반송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 판상부재에 먼지나 상처를 발생시키지 않고, LCD, PDP, 유기 EL 등의 얇고 큰 판상부재를 반송하는 반송장치를 제공하고자 하는 것으로서, 본 출원인의 특허등록 제0339716호 "판상부재의 반송 및 세정장치 "의 반송장치의 성능을, 본 출원인이 2003년 04월 12일 출원한 특허출원 접수번호 1-1-2003-5071167-93"판상부재의 반송장치"의 기술을 적용하여, 개선하고 사용용도를 확대시키고자 하는 것이다.

본 발명의 판상부재의 반송장치는 압력유체를 송입하는 본체의 상부에 평면부를 가지는 다공재를 취부하고, 취부된 다수개의 다공질재간의 공간을 수평판재로 밀폐시켜 다공질체를 통하여 분출되는 압력유체 층과, 밀폐된 수평판재와 판상부재와의 사이에도 압력유체 층을 형성하여, 판상부재의 무게를 넓은 면적에서 균일하게 받게하여, 부상된 상태에서 수직 또는 경사로 무접촉 상태로 지지하여, 판상부재의 하단을 반송지지하며 반송하는 컨베이어를 구비하였다.

Description

판상부재의 반송장치{CONVEYOR FOR PLATE-SHAPED MEMBERS}

본 발명은 예를 들어 반도체 웨이퍼(Wafer)나 LCD, PDP, 유기EL 등의 유리 패널(Glass Panel)의 판상부재의 반송장치에 관한 것이다.

종래의 반도체 웨이퍼나 액정표시장치의 유리 패널 등의 제조공정에 있어서 사용되는 판상부재의 반송장치는 예를 들면 일본 특허출원공개 평성 10년 제158866호 공보에 기재된 바와 같이 유리 패널을 롤러 콘베이어 반송장치에서 지지하면서 반송하도록 하고 있다.

반도체 웨이퍼나 액정표시장치의 유리 패널 등의 판상부재는 아주 작은 먼지가 부착되더라도 중대한 불량이 되는 바, 상기와 같은 종래의 판상부재의 반송장치는 유리 패널을 롤러 컨베이어(Roller Conveyor)로 반송하고 있기 때문에 롤러 컨베이어의 표면에 먼지가 부착되어 있으면 그 먼지가 유리 패널의 표면에 부착할 가능성이 있다.

또한 롤러 컨베이어에 의해 유리 패널 등이 반송될 경우 유리 패널 등의 끝 부분이 하나의 롤러로부터 다음의 롤러에 이동할 때에 충격을 받게 된다. 따라서 유리 패널 등의 반송속도를 어느 정도 이상으로 하는 것이 불가능하다. 이로 인해 생산성을 어느 수준 이상 올리는 것이 곤란하게 된다.

특히 액정표시장치는 정세도가 매년 향상되고 있고 정세도를 올리기 위해서는 유리 패널을 얇게 하지 않으면 안 된다. 그러나 유리 패널을 얇게 하게 되면 충격에 대해 약하게 되어 반송 중에 파손 등이 많이 발생하며 점점 더 생산성을 올릴 수가 없게 된다.

최근의 액정표시장치의 유리 패널의 두께는 0.4mm-0.7mm이고 길이 2200mm, 폭 1850mm인 것도 사용 될 예정이다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하는 것으로서, 판상부재에 먼지나 손상을 발생시키지 않고 생산성이 높은 판상부재의 반송장치를 제공하려는 것이다.

도 1은 본 발명의 판상부재의 반송장치의 실시 예1을 나타내는 단면도이다.

도 2는 본 발명의 판상부재의 반송장치의 실시 예1을 나타내는 사시도이다.

도 3은 본 발명의 판상부재의 반송장치의 실시 예2를 나타내는 단면도이다.

도 4는 본 발명의 판상부재의 반송장치의 실시 예3을 나타내는 단면도이다.

(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)

1 : 판상부재 2 : 컨베이어(Conveyor)

3 : 컨베이어 벨트

4 : 판상부재의 하단부

5: 컨베이어 프레임 6: 롤러 컨베이어

7 : 부상장치 8 : 개체 유닛(Unit)

9 : 본체 10 : 다공재

11 : 압력유체 공급 파이프(Pipe) 12 : 압력유체층

14 : 밀폐용 수평판재.

15 : 회전 가이드 롤러

상기 과제를 해결하기 위해 본 발명의 판상부재의 반송장치는 부상장치(7)를 고정할 수 있는 컨베이어 프래임(5)과; 상기 컨베이어 프레임(5)의 하부에 수직길이 방향으로 취부되어 컨베이어 프레임(5)의 길이 방향으로 판상부재(1)를 벨트상에서 반송하는 컨베이어(2)와; 상기 컨베이어(2)가 설치되어 있는 측의 컨베이어 프레임(5) 평면부에 다수개의 개체 유닛(8)과, 다수개의 개체 유닛(8) 사이의 공간을 밀폐시키는 밀폐용 수평판재(14)가 부상장치(7)로서 배치되어 압력유체를 상기 판상부재(1)의 측면을 향하여 분출하여 상기 판상부재(1)를 세우고 판상부재(1)와 부상장치(7)는 무 접촉 상태에서 판상부재(1)의 하단만을 접촉상태로 지지하여 반송하도록 하여구성된다.

본 발명의 청구항 1에 기재한 발명은 적어도 하나의 평면부를 가지는 다공질체를 설치하고, 압력유체를 송입하는 본체의 상부에 다공재를 평면부가 위를 향하도록 취부하고, 다공재들의 상부 평면보다 약간 높은 위치에 밀폐용 수평판재를 취부하고, 다공재를 통하여 압력유체가 분출되도록 함과 동시에 다공재 및 수평판재의 평면부가 경사 또는 수직이 되도록 하여 다공재로부터 분출되는 압력유체에 의해 지지되는 판상부재의 하단부를 지지 반송하는 컨베이어를 구비한 것으로, 부상장치의 평면부와 판상부재의 사이에 압력유체의 막이 형성되어 판상부재가 넘어지지 않고 부상지지 되면서 판상부재의 하단이 컨베이어로 지지 반송되는 작용을 가진다.

본 출원인의 특허등록 제0339716호 "판상부재 반송 및 세정장치"의 압력유체 소요량의 10분의1 이하의 압력유체 양으로도 판상부재를 부상시키면서 컨베이어로 지지 반송시키는 작용을 가진다. 또한 본 발명에서 판상부재를 반송시키는데는 벨트 컨베이어를 사용하고 있으나, 반송수단으로서 롤러 콘베이어, 마그네트 롤러컨베이어 등 판상부재를 이송할 수 있는 어떠한 이송용 콘베이어라도 이용할 수 있다.

이하, 본 발명의 판상부재의 반송장치의 실시례에 대해 도면에 따라 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 판상부재의 반송장치의 평면도이다. 도 1에 있어서 1은 피반송물인 판상부재이다. 2는 컨베이어이며, 이 컨베이어(2)에는 컨베이어 벨트(3)가 설치되어 있다. 그리고 컨베이어 벨트(3)에는 판상부재(1)의 하단부(4)만 접하도록 설치되어 있다.

7은 개체유닛(8)과 밀폐용 수평판재(14)로 구성된 부상장치로서, 상기의 컨베이어 프레임(5)에 물떼새모양으로 다수 배치된 개체유닛(8)과 다수개의 개체유닛(8)들 간의 공간을 밀폐시켜주는 밀폐용 수평판재(14)가 개체유닛(8)들의 상면보다 약간 높은위치에 수평으로 취부된다. 각 개체유닛(8)은 컵모양의 본체(9)와, 상기 본체(9) 내부로 압력유체를 공급하는 압력유체 공급 파이프(11)와, 상기 본체(9)의 상단 개구부에 설치되어 상기 압력유체 공급 파이프(11)에 의해 본체(9)로 공급된 압력유체가 분출되는 다공재(10)로 이루어진다. 다공재(10)는 평판상으로 그 상면이 판상부재(1)와 수평이 되도록 취부된다.

또, 밀폐용 수평판재(14)는 판상부재의 주재료인 유리보다 경도가 낮은 플라스틱이나 아크릴판 등을 사용하여, 유리와 접촉하는 일이 발생하더라도 유리에 손상을 주지 않도록 되어있다.

상기 압력유체로는 공기, 물, 특수세정액 등이 사용될 수 있으며, 펌프(도시되지 않음)에 의해 압력유체 공급파이프(11)로 압송된다.

부상장치(7)은 반송하고자하는 판상부재(1)의 크기 사용용도에 따라 1개 또는 다수개를 사용할 수 있고, 그 폭(W)도 필요에 따라 크기를 조정할 수 있다.

도 2는 본 발명의 판상부재의 반송장치의 실시 예1을 나타내는 사시도이다.

도 3은 본 발명의 판상부재의 반송장치의 실시 예2를 나타내는 단면도로써 도 1에서와 같이 판상부재(1)이 직각인 상태로 반송시에는 판상부재(1)이 부상장치(7)의 반대편으로 넘어질 우려가 있으므로 안정감 있게 판상부재(1)을 반송하기위해 부상장치(7)을 θ도만큼 경사시켜 반송한다. 이 때 경사각도 θ는 0도에서 90도 내에서 임으로 조정가능하나 실용상에서는 2도에서 30도 범위가 주로 사용된다.

도 4는 반송 컨베이어(2)를 벨트 컨베이어로 사용하지 않고 롤러 컨베이어(6)를 사용하고 또한 상부에는 판상부재(1)를 안정성있게 반송하기 위한회전가이드 롤러(15)를 설치하여 구성되어 있다.

본 발명의 판상부재의 반송장치는 이상과 같이 구성되며, 이하 그 작동에 대해 설명한다.

우선, 압력유체 공급 파이프(11)로부터 압력유체를 공급하면, 본체(9) 내부에 압력유체가 가득 차게 되고, 이어서 다공재(10)를 압력유체가 통과하여 다공재(10)의 상면으로부터 판상부재(1)의 하면을 향해 상향 분출된다.

이때에 다공재(10)의 위에 판상부재(1)가 위치되어 있으면 다공재(10) 및 밀폐용 수평판재(14)와 판상부재(1)와의 사이에 압력유체층(12)이 형성된다. 즉 판상부재(1)가 압력유체층(12)의 위에 떠있는 상태가 된다.

따라서 판상부재(1)는 무접촉 상태로 다공성 세라믹재인 다공재(10) 및 밀폐용 수평판재(14)의 위에 부유하여 극히 마찰이 적은 상태로 된다. 또한 이 상태에서 판상부재(1)의 하단부(4)만 컨베이어벨트(3)와 접촉하도록 하면 컨베이어벨트(3)의 회전과 동시에 판상부재(1)는 컨베이어벨트(3)의 이동방향으로 이동한다. 컨베이어벨트(3)의 회전을 정지하면 판상부재의 이동도 정지한다.

이 판상부재(1)는 부상 상태에서는 마찰이 극히 적기 때문에 판상부재(1)는 판상부재의 하중만이 벨트 컨베이어의 벨트(3)에 올라탄 상태로 반송되는 것이다.

본 발명의 판상부재의 반송장치는 상기와 같이 구성된 것으로서, 대형 판상부재를 수직 또는 경사 상태에서 무 접촉 상태로 판상부재를 부상시켜 적은 힘으로 반송하는 것이 가능하고, 먼지나 상처를 발생시키지 않고, 생산성이 높은 판상부재의 반송장치를 제공할 수 있도록 한 것이다.

또한 본 발명의 판상부재의 반송장치는 초대형 판상부재의 반송에 있어 수평반송장치에 비해 좁은 면적에서 반송을 가능하게 하여 고가의 크린품의 공장의 비용을 절감하는 것도 가능하다.

Claims (4)

1. 부상장치(7)를 고정할 수 있는 컨베이어 프레임(5)과: 상기 컨베이어 프레임(5)의 하부에 수직 길이 방향으로 취부되어 컨베이어 프레임(5)의 길이 방향으로 판상부재(1)를 벨트상에서 반송하는 컨베이어(2)와; 상기 컨베이어(2)가 설치되어 있는 측의 컨베이어 프레임(5) 평면부에 다수개의 개체 유닛(8)과, 다수개의 개체 유닛(8) 사이의 공간을 밀폐시키는 밀폐용 수평판재(14)가 부상장치(7)로서 배치되어 압력유체를 상기 판상부재(1)의 측면을 향하여 분출하여 상기 판상부재(1)를 세우고 판상부재(1)와 부상장치(7)는 무 접촉 상태에서 판상부재(1)의 하단만을 접측상태로 지지하여 반송하도록 하여 구성됨을 특징으로 하는 판상부재의 반송장치.
2. 제 1항에 있어서 판상부재(1)를 θ각도만클 경사시켜서 안정감 있게 판상부재(1)를 반송할 수 있도록 경사 설치되어 구성됨을 특징으로 하는 판상부재의 반송장치.
3. 제 1항에 있어서 판상부재(1)의 반송 컨베이어(2)를 벨트 컨베이어를 사용하지 않고 롤러 컨베이어(6)를 설치하여 구성됨을 특징으로 하는 판상부재의 반송장치.
4. 제 2항과 제 3항에 있어서 판상부재(1)를 더욱 안정감 있게 반송하기 위해 판상부재(1)의 최상부를 지지해주는 회전가이드 롤러(15)를 설치하여 구성됨을 특징으로 하는 판상부재의 반송장치.