KR20090039792A - 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법 - Google Patents

기판 반송 장치 및 기판 반송 방법 Download PDF

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KR20090039792A
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겐스케 히라타
도모오 미즈노
스스무 무라야마
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가부시키가이샤 아이에이치아이
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Abstract

이 기판 반송 장치는, 기판을 매엽 반송하는 메인 컨베이어, 상기 메인 컨베이어로부터 수평으로 분기하는 분기 컨베이어, 상기 메인 컨베이어 상 및 상기 분기 컨베이어 상에서 상기 기판(P)을 부상시켜 지지하는 지지부, 상기 지지부에 의해 부상시켜 지지된 상기 기판을 자세를 변화시키지 않고 상기 메인 컨베이어와 상기 분기 컨베이어의 사이에서 수용전달하는 기판 수용전달부를 구비한다. 이 기판 반송 장치에 의하면, 메인 컨베이어와 분기 컨베이어 사이에서의 기판의 수용전달속도가 향상된다.
Figure P1020097003168
반송, 컨베이어, 분기, 부상, 자세, 수용전달

Description

기판 반송 장치 및 기판 반송 방법{Substrate transfer apparatus and substrate transfer method}
본 발명은, 예를 들면 반도체 웨이퍼나 플랫 패널 디스플레이용 유리 플레이트 등의 기판을 매엽 반송하기 위한 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법에 관한 것이다.
본원은 2006년 9월 11일에 일본에 출원된 특원 2006-246134호에 기초하여 우선권을 주장하고, 그 내용을 여기에 원용한다.
반도체 장치를 제조하는 공장이나, 액정장치, PDP, EL장치 등의 플랫 패널 디스플레이를 제조하는 공장 등에 설치되는 기판 반송 장치에 있어서는, 반도체 웨이퍼나 유리 플레이트 등의 기판을 반송하고, 로더나 로봇 아암 등을 이용하여 박막 형성 장치, 에칭 장치, 시험 장치 등의 각종 처리장치와 반송경로의 사이에서 기판의 수용전달(receiving and transferring)이 행해지고 있다. 이러한 기판 반송 장치에서는, 기판은 기판을 복수매 수용 가능한 카세트에 수용된 상태로 반송되는 것이 일반적이다.
그런데, 최근, 액정 텔레비전 등의 플랫 패널 디스플레이의 대화면화 등에 동반하여 기판이 대형화되고 있다. 이 때문에, 기판을 수용하는 카세트 등도 대형 화·중량화되고, 이에 따라 반송속도가 저하되는 결과, 예를 들면 제작 재고의 증대를 초래하는 등 효율적인 반송이 어렵게 되고 있다.
이 때문에, 기판을 1장씩 고속으로 반송하는 매엽 반송이 주목되고 있다(특허문헌 1 참조).
특허문헌 1: 일본특허공개 평9-58844호 공보
그러나, 기판이 매엽 반송되는 경우에는, 카세트에 의해 반송하는 경우와 비교하여 반송하는 개체수가 증가한다. 이 때문에, 종래와 동등 또는 그 이상의 처리속도를 실현하기 위해서는 보다 기판을 고속 반송할 필요가 있다.
특히, 메인 컨베이어와, 이 메인 컨베이어로부터 수평으로 분기하는 분기 컨베이어의 사이에서의 기판의 수용전달속도는 기판의 고속 반송을 실현시킴에 있어서 매우 중요하게 된다. 이 때문에, 메인 컨베이어와 분기 컨베이어 사이에서의 기판의 수용전달속도를 향상시키는 기술이 요구되고 있다.
본 발명은 상술하는 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 메인 컨베이어와 분기 컨베이어 사이에서의 기판의 수용전달속도를 향상시키는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 기판 반송 장치는, 기판을 매엽 반송하는 메인 컨베이어, 상기 메인 컨베이어로부터 수평으로 분기하는 분기 컨베이어, 상기 메인 컨베이어 상 및 상기 분기 컨베이어 상에서 상기 기판을 부상시켜 지지하는 지지부, 상기 지지부에 의해 부상시켜 지지된 상기 기판을 자세를 변화시키지 않고 상기 메인 컨베이어와 상기 분기 컨베이어의 사이에서 수용전달하는 기판 수용전달부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이 기판 반송 장치에 의하면, 기판이 지지부에 의해 메인 컨베이어 상 및 분기 컨베이어 상에서 부상되어 지지되고, 이 상태에서 자세를 변화시키지 않고 수용전달된다.
따라서, 기판은 마찰저항이 없는 것과 같은 상태로 메인 컨베이어와 분기 컨베이어의 사이에서 수용전달된다.
또한, 본 발명의 기판 반송 장치에서는, 상기 기판 수용전달부가 상기 기판의 외부둘레를 파지함과 동시에 상기 분기 컨베이어에서의 상기 기판의 반송방향으로 이동 가능한 파지부재를 가진다는 구성을 채용할 수 있다.
또한, 본 발명의 기판 반송 장치에서는, 상기 지지부가 압축공기를 이용하여 상기 기판을 부상시켜 지지한다는 구성을 채용할 수 있다.
다음에, 본 발명의 기판 반송 방법은, 메인 컨베이어에 의해 매엽 반송되는 기판이 상기 메인 컨베이어 상에서 부상되면서 지지되고, 상기 메인 컨베이어 상에서 부상하여 지지된 상기 기판이 상기 메인 컨베이어에 대해 수평으로 분기하는 분기 컨베이어에 부상하여 지지된 상태를 유지하면서 자세를 변화시키지 않고 수용전달되는 것을 특징으로 한다.
이 기판 반송 방법에 의하면, 기판이 메인 컨베이어 상에서 부상되면서 지지되고, 이 상태를 유지하면서 자세를 변화시키지 않고 분기 컨베이어에 수용전달된다.
따라서, 기판은 마찰저항이 없는 것과 같은 상태로 메인 컨베이어에서 분기 컨베이어로 수용전달된다.
다음에, 본 발명의 기판 반송 방법은, 메인 컨베이어에 대해 수평으로 분기하는 분기 컨베이어 상에서 부상되면서 지지된 기판이 부상하여 지지된 상태를 유지하면서 자세를 변화시키지 않고 상기 메인 컨베이어로 수용전달되는 것을 특징으로 한다.
이 기판 반송 방법에 의하면, 기판이 분기 컨베이어 상에서 부상되면서 지지되고, 이 상태를 유지하면서 자세를 변화시키지 않고 메인 컨베이어로 수용전달된다.
따라서, 기판은 마찰저항이 없는 것과 같은 상태로 분기 컨베이어에서 메인 컨베이어로 수용전달된다.
본 발명에 의하면, 기판이 마찰저항이 없는 것과 같은 상태로 메인 컨베이어와 분기 컨베이어의 사이에서 수용전달된다. 이 때문에, 수용전달속도를 고속화한 경우라도 충격이 가해지는 것에 의한 기판의 손상이 생기지 않는다.
따라서, 본 발명에 의하면, 메인 컨베이어와 분기 컨베이어 사이에서의 기판의 수용전달속도를 향상시키는 것이 가능하게 된다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 관한 기판 반송 장치를 나타내는 모식도이다.
도 2는 메인 컨베이어의 상세 구성을 나타내는 도면이다.
도 3은 분기 컨베이어의 플레이트 인도부의 구성을 나타내는 도면이다.
<부호의 설명>
P 유리 플레이트(기판)
1 기판 반송 장치
10 메인 컨베이어
12 에어 부상 유닛(지지부)
15 컨베이어부
20 분기 컨베이어
40 플레이트 인도부(기판 수용전달부)
44 파지부재
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 관한 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법의 일실시예에 대해서 설명한다. 또, 이하의 도면에서 각 부재를 인식 가능한 크기로 하기 위해 각 부재의 축척을 적절히 변경하고 있다.
도 1은 본 실시예에 관한 기판 반송 장치(1)를 나타내는 모식도이다.
기판 반송 장치(1)는 액정장치, PDP, EL장치 등의 플랫 패널 디스플레이를 제조하는 공장에서 유리 플레이트(P)를 1장씩 매엽 반송하는 장치로서, 메인 컨베이어(10), 메인 컨베이어(10)에 대해 수평면 내에서 분기하는 복수의 분기 컨베이어(20), 이들을 통괄적으로 제어하는 제어부(도시생략) 등을 구비하고 있다.
메인 컨베이어(1O)는, 유리 플레이트(P)를 수평으로 안착하면서 그 표면에 따른 방향으로 일정 속도로 반송하는 장치로서, 유리 플레이트(P)를 공기에 의해 부상시켜 비접촉 지지하는 에어 부상 유닛(12)(지지부)과 컨베이어부(15) 등으로 구성된다(도 2 및 도 3 참조). 즉, 본 실시예에서는, 본 발명에서의 지지부의 기능이 메인 컨베이어(10)의 일부에 내장되어 있다.
메인 컨베이어(10)는 공장의 클린룸 내의 상(床)면에 대략 직선형상으로 배치된다. 그리고, 메인 컨베이어(10)의 복수개소에는 분기 컨베이어(20)의 일단이 메인 컨베이어(10)에 대해 대략 직교하면서 수평으로 연결된다.
분기 컨베이어(20)는, 메인 컨베이어(10)와 같이 유리 플레이트(P)를 수평으로 안착하면서 그 표면에 따른 방향으로 일정 속도로 반송하는 장치로서, 에어 부상 유닛(12)과 컨베이어부(15) 등으로 구성된다. 즉, 본 실시예에서는, 본 발명에서의 지지수단의 기능이 분기 컨베이어(10)의 일부에도 내장되어 있다.
또, 분기 컨베이어(20)는 메인 컨베이어(10) 상에 반송되는 유리 플레이트(P)를 분기 컨베이어(20)에 받아들이거나, 반대로 분기 컨베이어(20) 상에 반송되는 유리 플레이트(P)를 메인 컨베이어(10)에 수용전달하기 위해, 메인 컨베이어(10)와 분기 컨베이어(20)의 사이에서 유리 플레이트(P)의 수용전달을 행하는 플레이트 수용전달부(40)(기판 수용전달부)를 구비하고 있다.
분기 컨베이어(20)의 타단측에는 박막 형성 장치(5), 에칭 장치(6), 시험 장치(7) 등의 각종 처리장치가 배치·연결되어 있다. 박막 형성 장치(5), 에칭 장치(6), 시험 장치(7) 등의 각종 처리장치에는 각각 2개의 분기 컨베이어(20)가 평행하게 배치되어 있다.
예를 들면, 박막 형성 장치(5)에 연결하는 분기 컨베이어(21, 22)(분기 컨베이어(20)) 중에서, 분기 컨베이어(21)는 유리 플레이트(P)를 박막 형성 장치(5)에 반입하기 위한 컨베이어이고, 분기 컨베이어(22)는 유리 플레이트(P)를 박막 형성 장치(5)로부터 반출하기 위한 컨베이어이다.
마찬가지로, 분기 컨베이어(23, 25)(분기 컨베이어(20))는 에칭 장치(6), 시험 장치(7)에 유리 플레이트(P)를 반입하기 위한 컨베이어이고, 분기 컨베이어(24, 26)(분기 컨베이어(20))는 에칭 장치(6), 시험 장치(7)로부터 유리 플레이트(P)를 반출하기 위한 컨베이어이다.
또, 각종 처리장치에 유리 플레이트(P)를 반입하는 분기 컨베이어(21, 23, 25)는, 유리 플레이트(P)를 반출하는 분기 컨베이어(22, 24, 26)에 대해 메인 컨베이어(10)의 상류측에 배치된다.
도 2는 메인 컨베이어(10)의 상세 구성을 나타내는 도면이다.
메인 컨베이어(10)는, 상술한 바와 같이 유리 플레이트(P)를 공기에 의해 부상시키면서 수평면상의 일방향으로 반송하는 장치로서, 에어 부상 유닛(12)과 컨베이어부(15) 등을 복수 구비하고 있다.
에어 부상 유닛(12)은 평면형상의 상면을 구비한 부재로서, 이 상면(안착면)에는 압축공기를 분출하는 복수의 유체 분출홀(13)이 대략 균등한 밀도로 설치되어 있다. 에어 부상 유닛(12)은 평면에서 보아 사각형상으로 형성되고, 그 길이방향이 유리 플레이트(P)의 반송방향으로 일치하도록 설치되어 있다. 또한, 에어 부상 유닛(12)의 단수방향(폭방향)은 유리 플레이트(P)의 폭방향(반송방향으로 직교하는 방향)보다도 약간 좁게 형성되어 있다.
그리고, 압축공기 공급장치(도시생략)에서 에어 부상 유닛(12)으로 압축공기 가 공급됨으로써, 압축공기가 각 유체 분출홀(13)에서 분출하게 되어 있다. 이에 의해, 에어 부상 유닛(12) 상에 안착된 유리 플레이트(P)를 각 유체 분출홀(13)에서 분출하는 압축공기에 의해 부상시켜 비접촉으로 지지 가능하게 되어 있다.
컨베이어부(15)는 복수의 롤러(16)와, 이 복수의 롤러(16)의 주위에 장착된 벨트(17)를 구비하고 있다. 또한, 벨트(17)의 표면에는 복수의 돌기(18)가 벨트(17)의 길이방향(메인 컨베이어(10)의 반송방향)으로 균등한 간격으로 설치되어 있다.
컨베이어부(15)는 에어 부상 유닛(12)의 양측에 유리 플레이트(P)의 반송방향을 따라 배치되어 있다. 그리고, 한 쌍의 컨베이어부(15)의 배치간격(거리)은 유리 플레이트(P)의 폭과 대략 동일하게 되어 있다.
컨베이어부(15)의 각 롤러(16)의 상단은 동일 수평면 내에 위치하도록 배치되고, 이에 의해 벨트(17)의 표면에 설치된 돌기(18)가 에어 부상 유닛(12)의 상면보다도 약간 상방에 위치하도록 배치된다. 그리고, 돌기(18)가 에어 부상 유닛(12) 상에 안착된 유리 플레이트(P)의 하면의 외부둘레(폭방향의 양단측)에 당접하게 되어 있다.
컨베이어부(15)의 각 롤러(16)는, 모터(도시생략) 등에 의해 동일한 회전속도로 동일 방향으로 회전하게 되어 있다. 이에 의해, 유리 플레이트(P)를 에어 부상 유닛(12)에 의해 비접촉으로 지지하면서, 컨베이어부(15)에 의해 에어 부상 유닛(12)을 따라 반송하는 것이 가능하게 되어 있다.
또한, 컨베이어부(15)는 승강장치(도시생략)에 의해 상하방향으로 이동 가능 하게 구성되어 있다.
컨베이어부(15)를 승강장치에 의해 상승시킨 경우에는, 각 돌기(18)가 에어 부상 유닛(12)의 상면보다도 약간 상방에 위치하게 된다. 이 경우에는, 컨베이어부(15)의 돌기(18)가 유리 플레이트(P)의 하면에 당접하고, 유리 플레이트(P)를 반송할 수 있다.
한편, 컨베이어부(15)를 하강시킨 경우에는, 각 돌기(18)가 에어 부상 유닛(12)의 상면보다도 하방에 위치하게 된다. 이 경우에는, 컨베이어부(15)(각 돌기(18))가 유리 플레이트(P)로부터 이간하여 유리 플레이트(P)는 에어 부상 유닛(12) 상에서 완전히 비접촉 지지된 상태가 된다. 따라서, 유리 플레이트(P)에 외력이 가해지지 않는 한, 유리 플레이트(P)는 에어 부상 유닛(12) 상에서 정지한 상태로 유지된다.
그리고, 메인 컨베이어(10)는 에어 부상 유닛(12)과 컨베이어부(15)를 복수 연결하여 구성되어 있다. 즉, 각 에어 부상 유닛(12)과 각 컨베이어부(15)가 서로 근접하여 수평방향으로 나란히 배치된다. 이 때, 각 에어 부상 유닛(12)의 상면(안착면)은 동일 수평면 내에 위치하도록 조정된다.
도 3은 분기 컨베이어(20)의 구성을 나타내는 도면이다.
이 도면에 나타내는 바와 같이, 분기 컨베이어(20)는, 메인 컨베이어(10)와 같이 에어 부상 유닛(12)과 컨베이어부(15)를 구비함과 동시에, 상술한 바와 같이 유리 플레이트(P)를 메인 컨베이어(10)와 분기 컨베이어(20)의 사이에서 수용전달하는 플레이트 수용전달부(40)를 구비하고 있다.
플레이트 수용전달부(40)는 한 쌍의 리니어 액추에이터(42)와, 각 리니어 액추에이터(42)에 연결 구동되어 왕복 이동하는 파지부재(44) 등으로 구성된다. 한 쌍의 리니어 액추에이터(42)는, 분기 컨베이어(20)의 에어 부상 유닛(12)과 컨베이어부(15)의 사이에 컨베이어부(15)를 따라 평행하게 배치된다. 또한, 플레이트 수용전달부(40)는, 각 파지부재(44)가 분기 컨베이어(20)의 에어 부상 유닛(12)의 상면과 대략 동일한 높이의 수평면 내에서 분기 컨베이어(20)의 일단에서 타단측으로 향하여 유리 플레이트(P)의 폭방향과 동일 길이분만큼 분기 컨베이어(20)에서의 유리 플레이트(P)의 반송방향(유리 플레이트(P)의 폭방향)으로 이동 가능하게 되어 있다.
그리고, 한 쌍의 파지부재(44)는, 분기 컨베이어(20)의 에어 부상 유닛(12)의 길이방향(유리 플레이트(P)의 반송방향)에 있어서 항상 동일 위치에 있도록 제어된다.
파지부재(44)는 유리 플레이트(P)의 외부둘레부분, 구체적으로는 유리 플레이트(P)의 폭방향의 일변 부근을 파지 가능하게 구성되어 있다. 유리 플레이트(P)의 측면을 흡착 유지함으로써 유리 플레이트(P)를 파지해도 되고, 유리 플레이트(P)의 상면과 하면을 협지(挾持)함으로써 유리 플레이트(P)를 파지해도 된다.
이러한 구성에 의해, 플레이트 수용전달부(40)는 한 쌍의 파지부재(44)에 의해 유리 플레이트(P)의 외부둘레를 파지하면서, 분기 컨베이어(20)의 일단 부근에서 왕복 이동함으로써, 자세를 변화시키지 않고 유리 플레이트(P)를 메인 컨베이어(10)와 분기 컨베이어(20)의 사이에서 수용전달하는 것이 가능하게 되어 있다.
이와 같이, 본 실시예에서는, 본 발명의 기판 수용전달부(플레이트 수용전달부(40))가 분기 컨베이어(20)에 내장되어 있다.
다음에, 기판 반송 장치(1)의 동작(기판 반송 방법)에 대해서 설명한다.
메인 컨베이어(10) 상에 반송되는 유리 플레이트(P)를 분기 컨베이어(20)로 수용전달하는 경우(분기 컨베이어(21, 23, 25)의 동작)에 대해서 설명한다.
우선, 메인 컨베이어(10) 및 분기 컨베이어(20)의 각 에어 부상 유닛(12)에 압축공기를 공급하여 각 유체 분출홀(13)에서 압축공기를 분출시킨다. 또한, 컨베이어부(15)를 구동하여 각 롤러(16)를 일정한 회전속도로 회전시킨다. 이 때, 각 컨베이어부(15)를 승강장치(도시생략)에 의해 상승시켜 둔다.
그리고, 메인 컨베이어(10)의 상류측에서 유리 플레이트(P)를 1장씩 안착함으로써, 유리 플레이트(P)가 매엽 반송된다. 또, 유리 플레이트(P)는, 예를 들면 그 길이방향이 반송방향에 일치하도록 메인 컨베이어(10) 상에 안착된다.
메인 컨베이어(10) 상에 안착된 유리 플레이트(P)가 분기 컨베이어(2O)와의 분기부분까지 이동하면, 플레이트 수용전달부(40)의 파지부재(44)가 분기 컨베이어(20)의 일단까지 이동하여 메인 컨베이어(10) 상의 유리 플레이트(P)의 외부둘레를 파지한다. 이와 동시에, 메인 컨베이어(10) 및 분기 컨베이어(20)의 컨베이어부(15)는 승강장치(도시생략)에 의해 하강한다.
그리고, 파지부재(44)를 분기 컨베이어(20)를 따라 이동시킴으로써, 유리 플레이트(P)는 메인 컨베이어(10) 상에서 분기 컨베이어(20) 상으로 반송된다.
유리 플레이트(P)가 분기 컨베이어(20) 상에 반송되면, 다시 메인 컨베이 어(10) 및 분기 컨베이어(20)의 컨베이어부(15)는 승강장치(도시생략)에 의해 상승한다. 이와 동시에, 플레이트 수용전달부(40)의 파지부재(44)에 의한 유리 플레이트(P)의 파지가 해제됨으로써, 유리 플레이트(P)는 분기 컨베이어(20)에 의해 메인 컨베이어(10)로부터 이격하는 방향으로 반송된다.
그리고, 유리 플레이트(P)는 분기 컨베이어(20)에 의해 반송되어 박막 형성 장치(5), 에칭 장치(6), 시험 장치(7) 등의 각종 처리장치에 수용전달된다.
각 처리장치(박막 형성 장치(5), 에칭 장치(6), 시험 장치(7) 등)에 수용전달된 유리 플레이트(P)는, 각 처리장치에서 소정의 처리가 행해진 후에 각 처리장치의 외부로 반출된다.
이와 같이 메인 컨베이어(10) 상에 반송되는 유리 플레이트(P)를 분기 컨베이어(20)에 수용전달하는 경우에는, 유리 플레이트(P)가 메인 컨베이어(10) 상에 부상되어 지지되고, 이 상태를 유지하면서 자세를 변화시키지 않고 분기 컨베이어(20)에 수용전달된다.
따라서, 유리 플레이트(P)는, 마찰저항이 없는 것과 같은 상태로 메인 컨베이어(10)에서 분기 컨베이어(20)로 수용전달된다.
다음에, 유리 플레이트(P)를 분기 컨베이어(2O)에서 메인 컨베이어(1O)로 수용전달하는 경우(분기 컨베이어(22, 24, 26)의 동작)에 대해서 설명한다.
유리 플레이트(P)를 분기 컨베이어(20)에서 메인 컨베이어(10)로 수용전달하는 동작은, 유리 플레이트(P)를 메인 컨베이어(10)에서 분기 컨베이어(20)로 수용전달하는 동작을 대략 반전시킨 것이다.
우선, 메인 컨베이어(10) 및 분기 컨베이어(20)의 각 에어 부상 유닛(12)에 압축공기를 공급하여 각 유체 분출홀(13)에서 압축공기를 분출시킨다. 또한, 컨베이어부(15)를 구동하여 각 롤러(16)를 일정한 회전속도로 회전시킨다. 이 때, 컨베이어부(15)를 승강장치(도시생략)에 의해 상승시켜 둔다.
다음에, 유리 플레이트(P)가 박막 형성 장치(5), 에칭 장치(6), 시험 장치(7) 등의 각종 처리장치에서 분기 컨베이어(20)로 수용전달된다. 유리 플레이트(P)는 분기 컨베이어(20)에 의해 반송되어 분기 컨베이어(20)의 단부까지 이동한다. 이와 동시에, 플레이트 수용전달부(40)의 파지부재(44)가 분기 컨베이어(20) 상의 유리 플레이트(P)의 외부둘레(반송방향과는 반대쪽의 측면 부근)를 파지한다.
다음에, 파지부재(44)를 분기 컨베이어(20)를 따라 이동하여 분기 컨베이어(20)의 일단까지 이동함으로써, 유리 플레이트(P)는 분기 컨베이어(20) 상에서 메인 컨베이어(10) 상으로 반송된다.
그리고, 파지부재(44)에 의한 유리 플레이트(P)의 파지를 해제한다. 이와 동시에, 메인 컨베이어(10) 및 분기 컨베이어(20)의 컨베이어부(15)는 승강장치(도시생략)에 의해 상승한다.
이에 의해, 메인 컨베이어(10)의 컨베이어부(15)의 돌기(18)가 유리 플레이트(P)의 하면의 폭방향 양단에 당접하여, 유리 플레이트(P)가 메인 컨베이어(10)에 수용전달되고 매엽 반송된다.
이와 같이 유리 플레이트(P)를 분기 컨베이어(20)에서 메인 컨베이어(10)로 수용전달하는 경우에는, 유리 플레이트(P)가 분기 컨베이어(20) 상에서 부상되어 지지되고, 이 상태를 유지하면서 자세를 변화시키지 않고 메인 컨베이어(10)에 수용전달된다.
따라서, 유리 플레이트(P)는 마찰저항이 없는 것과 같은 상태로 분기 컨베이어(20)에서 메인 컨베이어(10)로 수용전달된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에 관한 기판 반송 장치(1)는, 유리 플레이트(P)를 매엽 반송하는 메인 컨베이어(10), 상기 메인 컨베이어(10)에 대해 수평으로 분기하는 분기 컨베이어(20), 메인 컨베이어(10) 상 및 분기 컨베이어(20) 상에서 유리 플레이트(P)를 부상시켜 지지하는 에어 부상 유닛(12), 상기 에어 부상 유닛(12)에 의해 부상되면서 지지된 유리 플레이트(P)를 자세를 변화시키지 않고 메인 컨베이어(10)와 분기 컨베이어(20)의 사이에서 수용전달하는 플레이트 수용전달부(40)를 구비한다.
이러한 본 실시예에 관한 기판 반송 장치(1)에 의하면, 유리 플레이트(P)가 마찰저항이 없는 것과 같은 상태로 메인 컨베이어(10)와 분기 컨베이어(20)의 사이에서 수용전달된다. 이 때문에, 수용전달속도를 고속화한 경우라도 충격이 가해지는 것에 의한 유리 플레이트(P)의 손상이 생기지 않는다.
따라서, 본 실시예의 기판 반송 장치(1)에 의하면, 메인 컨베이어(10)와 분기 컨베이어(20) 사이에서의 유리 플레이트(P)의 수용전달속도를 향상시키는 것이 가능하게 된다.
또, 상술한 실시예에서 나타낸 각 구성부재의 여러가지 형상이나 조합 또는 동작순서 등은 일례로서, 본 발명의 사상에서 벗어나지 않는 범위에서 설계요구 등 에 기초하여 다양하게 변경 가능하다.
예를 들면, 상기 실시예에서는, 압축공기를 이용하여 유리 플레이트(P)를 부상시켜 지지하는 경우에 대해서 설명하였지만, 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 공간을 전파하는 진동파를 유리 플레이트(P)에 부여함으로써 유리 플레이트(P)를 부상시켜 지지해도 된다.
또한, 상기 실시예에서는, 컨베이어부(15)가 승강장치(도시생략)에 의해 하강함으로써, 메인 컨베이어(10)와 분기 컨베이어(20)의 사이에서 유리 플레이트(P)를 수용전달하는 경우에, 유리 플레이트(P)가 컨베이어부(15)와 접촉하는 것을 방지할 수 있는 구성으로 하였다. 그러나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고, 컨베이어부(15)가 하강하는 대신에 에어 부상 유닛(12)이 상승함으로써, 유리 플레이트(P)와 컨베이어부(15)가 접촉하는 것을 방지해도 된다. 이 경우에는, 수용전달측의 컨베이어의 에어 부상 유닛(12)의 상면은 상승된 후의 에어 부상 유닛(12)의 상면과 면 일치하게 되도록 위치되어 있다.
상기 실시예에서는, 유리 플레이트(P)를 매엽 반송하는 경우에 대해서 설명하였지만, 반송의 대상은 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 반도체 웨이퍼 등의 얇은 판형상 부재이면 반송 가능하다.
상술한 실시예에서는, 분기 컨베이어(20)의 타단측에 박막 형성 장치(5), 에칭 장치(6), 시험 장치(7) 등의 각종 처리장치를 배치·연결하는 경우에 대해서 설명하였지만, 각종 장치의 배치는 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 분기 컨베이어(20)의 하류측(타단측)에 분기 컨베이어(20)가 더 연결되는 경우이어도 된다.
또한, 박막 형성 장치(5), 에칭 장치(6), 시험 장치(7) 등의 각종 처리장치 이외에 유리 플레이트(P) 등의 기판을 복수 일시적으로 저장하는 스토커를 배치해도 된다.
상술한 실시예에서는, 박막 형성 장치(5), 에칭 장치(6), 시험 장치(7) 등의 각종 처리장치에 유리 플레이트(P)를 반입하는 분기 컨베이어(21, 23, 25)와 유리 플레이트(P)를 반출하는 분기 컨베이어(22, 24, 26)를 배치하는 경우에 대해서 설명하였지만, 상기 장치의 배치는 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 하나의 분기 컨베이어(20)가 유리 플레이트(P)를 반입·반출하는 경우이어도 된다.
본 발명에 의하면, 예를 들면 반도체 웨이퍼나 플랫 패널 디스플레이용 유리 플레이트 등의 기판을 매엽 반송하는 경우, 기판이 마찰저항이 없는 것과 같은 상태로 메인 컨베이어와 분기 컨베이어의 사이에서 수용전달된다. 이 때문에, 수용전달속도를 고속화한 경우라도 충격이 가해지는 것에 의한 기판의 손상이 생기지 않는다. 따라서, 메인 컨베이어와 분기 컨베이어 사이에서의 기판의 수용전달속도를 향상시키는 것이 가능하게 된다.

Claims (5)

  1. 기판을 매엽 반송하는 메인 컨베이어;
    상기 메인 컨베이어로부터 수평으로 분기하는 분기 컨베이어;
    상기 메인 컨베이어 상 및 상기 분기 컨베이어 상에서 상기 기판을 부상시켜 지지하는 지지부; 및
    상기 지지부에 의해 부상시켜 지지된 상기 기판을 자세를 변화시키지 않고 상기 메인 컨베이어와 상기 분기 컨베이어의 사이에서 수용전달하는 기판 수용전달부;를 구비하는 기판 반송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 기판 수용전달부는, 상기 기판의 외부둘레를 파지함과 동시에 상기 분기 컨베이어에서의 상기 기판의 반송방향으로 이동 가능한 파지부재를 가지는 기판 반송 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 지지부는 압축공기를 이용하여 상기 기판을 부상시켜 지지하는 기판 반송 장치.
  4. 메인 컨베이어에 의해 매엽 반송되는 기판이 상기 메인 컨베이어 상에서 부상되면서 지지되고,
    상기 메인 컨베이어 상에서 부상하여 지지된 상태의 상기 기판이 상기 메인 컨베이어로부터 수평으로 분기하는 분기 컨베이어에 부상하여 지지된 상태를 유지하면서 자세를 변화시키지 않고 수용전달되는 기판 반송 방법.
  5. 메인 컨베이어에 대해 수평으로 분기하는 분기 컨베이어 상에서 기판이 부상되면서 지지되고,
    상기 분기 컨베이어 상에서 부상상태의 상기 기판이 부상하여 지지된 상태를 유지하면서 자세를 변화시키지 않고 상기 메인 컨베이어에 수용전달되는 기판 반송 방법.
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