KR20090060321A - 기판 반송 장치 - Google Patents

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KR20090060321A
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conveying
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겐스케 히라타
도모오 미즈노
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가부시키가이샤 아이에이치아이
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Abstract

이 기판 처리 장치는 기판을 매엽 반송하는 반송부와, 이 반송부에 의해 형성되는 반송경로의 도중 부위에 설치됨과 동시에 상기 반송부에 의해 반송되는 기판을 일시적으로 모으고 나서 반출하는 버퍼부를 구비하고, 이 버퍼부는 복수의 기판을 수평자세로 수납 가능한 수납부를 다단으로 구비하는 기판 카세트와, 임의의 수납부에 액세스 가능함과 동시에 기판 카세트와 반송부의 사이에서 기판의 교환을 행하는 기판 반입출부를 구비한다. 그 결과, 반송경로 상에서의 기판의 반송 정지가 억제된다.
Figure P1020097006672
기판, 반송, 매엽, 교환

Description

기판 반송 장치{Substrate transfer apparatus}
본 발명은 기판 반송 장치에 관한 것으로, 특히 반도체 웨이퍼나 플랫 패널 디스플레이용 유리 플레이트를 반송하기 위한 기판 반송 장치에 관한 것이다. 본원은 2006년 10월 5일에 일본에 출원된 특원 2006-274360호에 기초하여 우선권을 주장하고, 그 내용을 여기에 원용한다.
반도체 장치를 제조하는 공장이나, 액정 장치, PDP, EL장치 등의 플랫 패널 디스플레이를 제조하는 공장 등에 설치되는 기판 처리 장치에서는, 기판 반송 장치에 의해 형성된 반송경로로 반도체 웨이퍼나 유리 플레이트 등의 기판을 반송하고, 소정의 기판 교환 수단(로더나 로봇 암 등)을 이용하여 박막 형성 장치, 에칭 장치, 시험 장치 등의 각종 처리장치와 반송경로의 사이에서 기판의 교환이 이루어지고 있다. 이러한 기판 처리 장치에서는, 기판은 기판을 복수매 수용 가능한 카세트에 수용된 상태로 반송되는 것이 일반적이다(특허문헌 1 참조).
그런데, 최근에는 액정 텔레비전 등의 플랫 패널 디스플레이의 대화면화 등에 따라 기판이 대형화되고 있다. 이 때문에, 기판을 수용하는 카세트 등도 대형화·중량화되고, 이에 따라 반송속도가 저하되는 결과, 예를 들면 제작 재고(Work in Process)의 증대를 초래하는 등 효율적인 반송이 어려워지고 있다.
그래서, 기판을 한 장씩 고속으로 반송하는 매엽 반송이 주목되고 있다.
특허문헌 1: 일본특허공개 평9-58844호 공보
그런데, 매엽 반송되는 기판은 반송순으로 처리장치에 반입된다고는 할 수 없다. 예를 들면, 상술한 바와 같이 반송경로에 복수의 처리장치가 병설되어 있는 경우에는, 각각의 처리장치에서 행해지는 처리 내용 및 처리 시간이 다른 경우가 많기 때문에, 소정의 처리장치에서 대기시간이 생긴 경우에, 후속으로 반송되어 오는 기판을 다른 처리장치에 반입하도록 먼저 반송하는 것이 바람직한 경우가 있다.
반송되어 오는 기판의 순서를 변경하거나, 반입 대기 중인 기판을 반송경로 상에서의 흐름을 중지시키지 않고 대기시킴으로써, 반송경로 상에서의 기판의 반송이 정지되는 것을 억제할 수 있고, 기판 처리 장치의 처리효율을 향상시킬 수 있다.
특히, 기판이 매엽 반송되는 경우에는, 카세트에 의해 반송하는 경우와 비교하여 반송하는 개체수가 증가하기 때문에, 기판의 순서 변경이나 대기의 요구가 더욱 높아지는 것으로 추측된다.
그러나, 현재 기판을 매엽 반송하는 기판 반송 장치에 있어서, 기판의 반송 순서를 변경하거나, 반입 대기 중인 기판을 반송경로 상에서의 흐름을 중지시키지 않고 대기시키는 기술은 제안되어 있지 않으며, 이러한 기술의 제안이 요망되고 있다.
본 발명은 상술하는 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 반송경로 상에서의 기판의 반송이 정지되는 것을 억제함으로써 처리효율이 높은 기판 처리 장치를 실현 가능한 기판 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 기판을 매엽 반송하는 반송부; 상기 반송부에 의해 형성되는 반송 경로의 도중 부위에 설치됨과 동시에 상기 반송부에 의해 반송되는 상기 기판을 일시적으로 모으고 나서 반출하는 버퍼부;를 구비하고, 상기 버퍼부가 복수의 상기 기판을 수평 자세로 수납 가능한 수납부를 다단으로 구비하는 기판 카세트; 임의의 상기 수납부에 액세스 가능함과 동시에 상기 기판 카세트와 상기 반송부의 사이에서 상기 기판의 교환을 행하는 기판 반입출부;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이러한 특징을 가지는 본 발명에 의하면, 기판 카세트의 임의의 수납부에 액세스 가능한 기판 반입출부를 구비하는 버퍼부가 기판의 반송경로의 도중 부위에 설치되어 있다. 이 때문에, 반송경로로 반송되는 기판을 일시적으로 버퍼부의 임의의 수납부에 수납하고, 기판마다의 임의의 타이밍으로 취출할 수 있다.
또한, 본 발명에서는, 상기 버퍼부가 상기 기판의 반송방향과 직교하는 방향으로의 왕복 운동에 의해 상기 기판 카세트에 대해 빼고넣음과 동시에 상기 기판을 반송 가능한 반송 롤러를 가지는 핸드부를 구비한다는 구성을 채용할 수 있다.
또한, 본 발명에서는, 상기 버퍼부가 상기 기판을 비접촉으로 지지 가능한 지지부를 구비한다는 구성을 채용할 수 있다.
또한, 본 발명에서는, 복수의 상기 버퍼부가 상기 반송경로에 대해 병렬로 접속되어 있다는 구성을 채용할 수 있다.
본 발명에 의하면, 반송경로로 반송되는 기판을 일시적으로 버퍼부의 임의의 수납부에 수납하고, 기판마다의 임의의 타이밍으로 취출할 수 있다. 따라서, 기판의 반송순서를 변경하거나, 반입 대기 중인 기판을 반송경로 상에서의 흐름을 중지시키지 않고 대기시키는 것이 가능하게 되고, 반송경로 상에서의 기판의 반송이 정지되는 것을 억제하는 것이 가능하게 된다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 반송 장치를 구비하는 기판 처리 장치의 개략적인 구성을 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 반송 장치를 구비하는 기판 처리 장치의 기능 구성을 나타내는 블록도이다.
도 3은 버퍼 장치의 주요부를 나타내는 평면도이다.
도 4는 버퍼 장치의 정면도이다.
도 5는 버퍼 장치의 측면도이다.
도 6은 반송 롤러의 주요부의 확대 단면도이다.
도 7은 버퍼 장치의 변형예를 나타내는 평면도이다.
<부호의 설명>
1: 기판 반송 장치
2: 컨베이어 장치(반송부)
3(3A~3D): 버퍼 장치(버퍼부)
31: 기판 카세트
311: 선반단(수납부)
324: 반송 롤러
326: 핸드부(지지부)
33: 카세트 승강기구
4(4A~4D): 로더(기판 교환부)
P: 유리 플레이트(기판)
S: 기판 처리 장치
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 관한 기판 반송 장치의 일실시예에 대해 설명한다. 또, 이하의 도면에서 각각의 부재를 인식 가능한 크기로 하기 위해 각각의 부재의 축척을 적절히 변경하고 있다.
도 1은, 본 실시예의 기판 반송 장치(1)와 프로세스 장치(P1~P4)를 구비하는 기판 처리 장치(S)의 개략적인 구성을 나타내는 평면도이다.
상기 도면에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 장치(S)는 유리 플레이트(P)를 반송하는 기판 반송 장치(1), 유리 플레이트(P)에 대해 소정의 처리를 하는 프로세스 장치(P1~P4), 기판 반송 장치(1)와 프로세스 장치(P1~P4)의 사이에서 유리 플레이트(P)의 교환을 행하는 로더(L1~L4)를 구비하고 있다.
도 2는 기판 처리 장치(S)의 기능 구성을 나타낸 블록도이다. 이 도면에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 장치(S)는 기판 반송 장치(1), 프로세스 장치(P1~P4) 및 로더(L1~L4)와 전기적으로 접속된 제어부(C)를 구비하고 있다. 그리고, 기판 처 리 장치(S) 전체의 동작이 제어부(C)에 의해 제어된다.
기판 반송 장치(1)는, 유리 플레이트(P)의 반송 경로를 형성하는 컨베이어 장치(2)(반송부)와, 상기 반송 경로의 도중 부위에 로더(기판 교환부)(4A~4D)를 개재하여 컨베이어 장치(2)(반송 경로)에 대해 병렬로 접속되는 복수(본 실시예에서는 4개)의 버퍼 장치(3)(버퍼부, 3A~3D)를 구비하고 있다.
여기서, 도 3 내지 도 6을 참조하여 버퍼 장치(3)에 대해 상세하게 설명한다.
도 3은 버퍼 장치(3)의 주요부를 나타내는 평면도이다. 또한, 도 4는 버퍼 장치(3)의 정면도이다. 상기 도면에 나타내는 바와 같이, 버퍼 장치(3)는 기판 카세트(31), 반송 롤러(324) 및 핸드부(326)를 구비한 반송 롤러 유닛(32)과 카세트 승강기구(33)를 구비하고 있다.
기판 카세트(31)는, 기판 반송 방향(도 3의 흰 화살표)의 앞쪽 및 뒤쪽이 유리 플레이트(P)의 반입구(311a) 및 반출구(311b)가 되는 상자형 형상을 이루고 있고, 그의 내공부에는 유리 플레이트(P)를 수평자세로 반입 또는 반출 및 수납하기 위한 선반단(311)(수납부)이 상하방향으로 복수로 형성되어 있다.
각각의 선반단을 구성하는 기판 지지부(312)는, 기판의 반송 방향과 직교하는 방향(즉, 기판의 폭방향)으로 수평으로 연장되는, 예를 들어 와이어 등으로 구성되어, 하나의 선반단(311)에 대해 복수개(본 실시예에서는 5개)의 기판 지지부(312)가 기판의 반송 방향으로 소정의 간격을 두고 설치되어 있다.
상술한 구성에 의해, 기판 카세트(31)는 유리 플레이트(P)를 기판 지지 부(312)에서 수평 자세로 유지하면서 상하 방향으로 다단에 대하여 수납할 수 있게 되어 있다.
기판 카세트(31)는, 유리 플레이트(P)를 기판 카세트(31) 내의 임의의 선반단에 반입하거나, 기판 카세트(31) 내의 임의의 선반단으로부터 유리 플레이트(P)를 반출할 수 있도록, 상하 방향으로 정위치에서 지지되는 반송 롤러(324) 및 핸드부(326)에 대해 상대적으로 승강할 수 있게 되어 있다. 이를 위한 카세트 승강기구(33)는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 기판 카세트(31)의 저부(311c)를 지지하는 브라켓(331), 서보 구동에 의해 브라켓(331)을 상하로 이동시키는 볼 나사(332), 브라켓(331)의 상하 이동을 안내하는 가이드(333), 기판 카세트(31)의 상하 방향의 위치를 부여하기에 이용되는 센서를 구비하여 구성되어 있다. 또, 도 5에서는 반송 롤러 유닛(32)의 도시는 생략하고 있다.
반송 롤러 유닛(32)은 반송물인 유리 플레이트(P)의 폭방향, 바꿔 말하면 유리 기판의 반송 방향과 직교하는 방향으로 간격을 두고 대향하여 배치된 한 쌍의 베이스(321)를 구비하고, 각각의 베이스(321)에는 기판 반송 방향으로 간격을 두고 복수개(본 실시예에서는 4개)의 컨베이어 프레임(322)이 고정되어 있다.
컨베이어 프레임(322)에는, 베어링 등의 축 지지부(323)을 개재하여 반송 롤러(324)가 회전이 자유롭도록 지지됨과 동시에, 이러한 반송 롤러(324)보다도 기판 반송 방향과 직교하는 방향(기판의 폭방향)의 중앙부측에는, 평면에서 보아 직사각형상을 이루는 평판 형상의 핸드부(326)가 그의 길이방향을 기판 반송 방향과 직교하는 방향을 따르게 하여 지지되어 있다.
반송 롤러(324)는, 하나의 컨베이어 프레임(322)에 대해 복수개(본 실시예에서는 6개)가 기판 반송 방향으로 간격을 두고 병렬로 설치되어 있다. 핸드부(326)는, 이들 반송 롤러(324)보다도 약간 낮은 위치에 오도록 컨베이어 프레임(322)에 캔틸레버(片持) 상태로 지지되어 있다.
그리고, 반송 롤러(324) 및 핸드부(326)의 기판 카세트(31) 내부로 빼거나 넣는 것은, 각각의 컨베이어 프레임(322)을 일체로 고정하고 있는 베이스(321)를 수평 방향, 또한 기판 반송 방향과 직교하는 방향으로 전진 및 후퇴시키는 롤러 왕복이동기구(도시생략)에 의해 실현된다.
반송 롤러(324)는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 원기둥 축형상의 롤러 본체(324a)와, 그의 선단부 및 기단부에 각각 외삽(外揷)된 기판 반송부(324b) 및 롤러 구동 기어(325)를 구비하고, 구동 모터(도시생략)로부터의 회전 구동력은 롤러 구동 기어(325)를 개재하여 반송 롤러(324)에 전달된다. 이러한 기판 반송력은 반송 롤러(324)의 회전시에 생기는 기판 반송부(324b)와 유리 플레이트(P)의 마찰력에 의해 생기는 것이기 때문에, 기판 반송부(324b)의 재질은 유리 플레이트(P)에 대해 소정의 마찰력을 얻는 것이 선정된다.
또, 기판 반송부(324b)는, 도 6에 나타내는 바와 같은 원통 형상의 것에 한정되지 않고, 축방향으로 간격을 두고 설치된 오링(O-ring) 등의 탄성체이어도 된다.
도 3 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 핸드부(326)의 내부에는 그의 상면(326A)에 개구된 복수의 취출(吹出)홀(327a)과, 이들 취출홀(327a)에 연결되어 통과하는 에어 통로(327b)가 형성되어 있다. 취출홀(327a)은, 상면(326A)의 길이 방향(기판 반송 방향과 직교하는 방향)을 따른 대략 전체길이에 걸쳐 등간격으로 다수 형성됨과 동시에, 상기 길이 방향을 따르는 1열의 취출홀의 군이 상면(326A)의 폭방향(기판 반송 방향)으로 복수열(본 실시예에서는 5열) 나열되어 있다.
핸드부(326)의 기단에는, 송기 블로워 또는 컴프레서와 접속된 관로가 커플러 등의 연결수단을 개재하여 접속되어 있다.
그리고, 상기 송기 블로워를 운전하면, 상기 관로 및 상기 커플러를 거쳐 각각의 핸드부(326)에 공급된 압축공기가 취출홀(327a)을 통과하여 위쪽으로 향하여 분사되고, 기판 카세트(31) 내에 반입 또는 반출된 유리 플레이트(P)의 하면 양 측연부(Pa, Pb), 즉 반송 롤러(324)로 지지되는 부분보다도 기판 중앙 근처의 부분(Pc)이 비접촉으로 지지된다.
또, 복수의 핸드부(326)의 어느 하나에 상기 커플러 등의 연결수단을 설치하고, 다른 핸드부(326)에는 상기 커플러에서 연장되는 분배관을 개재하여 상기 송기 블로워로부터의 상기 압축공기를 분배하도록 해도 된다.
다음에, 이상과 같이 구성된 버퍼 장치(3)에 있어서, 유리 플레이트(P)를 기판 카세트(31)의 임의의 선반단에 반입할 때의 일순서에 대해 설명한다.
또, 기판 카세트(31)는 가장 상승한 위치에 있고, 반송 롤러(324) 및 핸드부(326)는 기판 카세트(31) 밖으로 나온 위치에 있는 것으로 한다.
이 상태에서, 먼저, 카세트 승강기구(33)를 구동하고, 반송 롤러(324) 및 핸드부(326)의 전진 이동처에 유리 플레이트(P)를 반입하고자 하는 선반단(이하, 반 입 예정단)이 위치하도록 기판 카세트(31)를 승강시킨다. 이 때, 상기 반입 예정단에 대응하는 기판 지지부(312)는 반송 롤러(324)보다도 약간 낮은 위치로 결정된다.
다음에, 상기 롤러 왕복이동기구를 구동하고, 반송 롤러(324) 및 핸드부(326)를 전진시켜 기판 카세트(31) 내에 끼워 넣는다.
그리고, 상기 송기 블로워에서 상기 관로 및 상기 커플러를 거쳐 핸드부(326)로 압축공기를 송기하면, 상기 압축공기는 핸드부(326)의 상면(326A)에 개구된 취출홀(327a)에서 위쪽으로 향하여 분사된다. 이에 의해, 반입된 유리 플레이트(P)와 핸드부(326)의 상면(326A)의 사이에 에어 부상층을 형성할 수 있게 되고, 반입된 유리 플레이트(P) 중에서 반송 롤러(324)에 지지되는 하면 양 측연부(Pa, Pb)보다도 기판 중앙 근처의 부분(Pc)을 상기 에어 부상층을 개재하여 비접촉으로 지지하는 것이 가능하게 된다.
그 후, 상기 구동 모터를 구동하고, 그의 회전 구동력을 롤러 구동 기어(325)를 개재하여 반송 롤러(324)에 전달하며, 반송 롤러(324)를 그의 축방향으로 회전시킨다.
그러면, 기판 카세트(31)의 상류측으로 이송된 유리 플레이트(P)는, 그의 하면 양 측연부(Pa, Pb)에 대한 반송 롤러(324)와의 접촉에 의해 생기는 마찰력에 의해, 반송 방향의 전방으로 향하는 반송력을 부여하여 기판 카세트(31) 내에 반입된다.
이 때, 유리 플레이트(P)의 하면 양 측연부(Pa, Pb)는, 그것에 회전 가능하 게 접촉하고 있는 반송 롤러(324)에 의해 아래쪽으로부터 직접 지지되어 있다.
이에 대해, 반송 롤러(324)와 하면 양 측연부(Pa, Pb)의 접촉부분보다도 기판 중앙 근처의 부분(Pc)은, 핸드부(326)에 공급된 상기 압축공기가 취출홀(327a)로부터 분사됨으로써, 반송 롤러(324)의 꼭대기부와 그에 비해 약간 낮은 위치에 설치된 핸드부(326)의 상면(326A)의 단차에 생기는 간극에 형성된 상기 에어 부상층을 개재하여 비접촉으로 지지되어 있다.
유리 플레이트(P)가 기판 카세트(31) 내에 완전히 반입되면, 카세트 승강기구(33)를 구동하여 기판 카세트(31)를 상승시키고, 반입된 유리 플레이트(P)를 기판 카세트(31)의 기판 지지부(312)에 맡김과 동시에, 상기 송기 블로워에서 핸드부(326)로의 송기를 차단한다.
그리고, 유리 플레이트(P)가 반송 롤러(324)로부터 이격되므로, 즉 유리 플레이트(P)를 기판 지지부(312)에 완전히 맡겨지므로, 상기 롤러 왕복이동기구를 구동하고, 반송 롤러(324) 및 핸드부(326)를 후퇴시켜 기판 카세트(31)에서 뽑아낸다. 이상이 반입 동작의 일례이다.
다음에, 기판 카세트(31) 내에 저장되어 있는 임의의 선반단의 유리 플레이트(P)를 반출할 때의 일순서에 대해 설명한다.
먼저, 카세트 승강기구(33)를 구동하고, 반송 롤러(324) 및 핸드부(326)의 전진 이동처에 반출 예정의 유리 플레이트(P)를 저장하고 있는 선반단(이하, 반출 예정단)이 위치하도록 기판 카세트(31)를 승강시킨다. 이 때, 상기 반출 예정단에 대응하는 기판 지지부(312)는 반송 롤러(324)보다도 보다도 약간 높은 위치로 결정 된다.
다음에, 상기 롤러 왕복이동기구를 구동하고, 반송 롤러(324) 및 핸드부(326)를 전진시켜 기판 카세트(31) 내에 끼워넣은 후, 송기를 개시하고, 카세트 승강기구(33)를 구동하여 기판 카세트(31)를 하강시키며, 반출 예정의 유리 플레이트(P)의 하면 양 측연부(Pa, Pb)를 반송 롤러(324)에 맡긴다.
상기 송기 블로워에서 상기 관로 및 상기 커플러를 거쳐 핸드부(326)에 압축공기를 송기하면, 상기 압축공기는 핸드부(326)의 상면(326A)에 개구된 취출홀(327a)로부터 위쪽으로 향하여 분사된다. 이에 의해, 반출 예정의 유리 플레이트(P)와 핸드부(326)의 상면(326A)의 사이에 에어 부상층이 형성되므로, 반송 롤러(324)에 지지된 하면 양 측연부(Pa, Pb)보다도 기판 중앙 근처의 부분(Pc)은 상기 에어 부상층을 개재하여 핸드부(326)에 비접촉으로 지지된다.
그 후, 상기 구동 모터를 구동하여 반송 롤러(324)를 그의 축방향으로 회전시키면, 기판 카세트(31) 내에 저장되어 있던 반출 예정의 유리 플레이트(P)는, 그의 하면 양 측연부(Pa, Pb)에 대한 반송 롤러(324)와의 접촉에 의해 생기는 마찰력에 의해, 반송 방향의 전방으로 향하는 반송력을 부여하여 기판 카세트(31) 밖으로 반출된다. 이 때, 유리 플레이트(P)의 하면 양 측연부(Pa, Pb)는 그것에 굴러 접촉하고 있는 반송 롤러(324)에 의해 아래쪽으로부터 직접 지지되어 있는데, 반송 롤러(324)와 하면 양 측연부(Pa, Pb)의 접촉부분보다도 기판 중앙 근처의 부분(Pc)은, 핸드부(326)에 공급된 상기 압축공기가 취출홀(327a)로부터 분사됨으로써 상기 에어 부상층을 개재하여 비접촉으로 지지되어 있다.
유리 플레이트(P)가 기판 카세트(31) 밖으로 완전히 반출되면, 상기 송기 블로워에서 핸드부(326)로의 송기를 차단함과 동시에, 상기 롤러 왕복이동기구를 구동하고, 반송 롤러(324) 및 핸드부(326)를 후퇴시켜 기판 카세트(31)로부터 뽑아낸다. 이상이 반출 동작의 일례이다.
이러한 버퍼 장치(3)에 의하면, 유리 플레이트(P)를 반입출하고자 하는 선반단에 반송 롤러(324) 및 핸드부(326)를 빼고넣을 수 있도록 카세트 승강기구(33)를 이용하여 기판 카세트(31)와 반송 롤러(324)의 높이의 위치를 맞춘 후, 반송 롤러(324)를 기판 카세트(31) 내외로 수평 방향으로 빼고넣음으로써, 다관절 로봇을 이용하지 않고도 기판 수납 피치가 좁은 기판 카세트(31)에 대해 유리 플레이트(P)를 임의로 반입출할 수 있다.
게다가, 이러한 반입출 중에는 시작부터 종료까지 유리 플레이트(P)의 기판 중앙 근처의 부분(Pc)을 핸드부(326)에서 에어로서 부상시켜 비접촉으로 지지하고 있으므로, 유리 플레이트(P)에의 접촉은, 반송 롤러(324)가 끼워 넣어지는 하면, 양 측연부(Pa, Pb)만이 된다. 또, 유리 플레이트(P)가 반송 롤러(324)뿐만 아니라, 그것보다도 긴 핸드부(326)에 의해서도 비접촉으로 지지되므로, 유리 플레이트(P)에 직접 접촉하는 반송 롤러(324)의 길이를 최대한 짧게 할 수도 있다.
상술한 바와 같이, 본 실시예에서는, 카세트 승강기구(33), 반송 롤러(324) 및 핸드부(326)에 의해 임의의 선반단(311)에의 수납된 것에 대하여 액세스가 가능함과 동시에 기판 카세트(31)와 컨베이어 장치(2)의 사이에서 유리 플레이트(P)를 로더(4(4A~4D))를 개재하여 교환 가능하게 되어 있다. 즉, 카세트 승강기구(33), 반송 롤러(324) 및 핸드부(326)에 의해 본 발명의 기판 반입출부가 구성되어 있다.
또한, 핸드부(326)는 유리 플레이트(P)를 비접촉으로 지지 가능한 지지부로서의 기능도 가지고 있다.
도 1로 되돌아가서, 프로세스 장치(P1~P4)는 세정 장치, 박막 형성 장치, 에칭 장치, 시험 장치 등의 각종 처리장치이다. 이러한 각각의 프로세스 장치(P1~P4)는, 처리 전의 유리 플레이트(P)가 반입되는 기판 반입구와 처리 후의 유리 플레이트(P)가 반출되는 기판 반출구를 동일 높이로 가지고 있다. 그리고, 각각의 프로세스 장치(P1~P4)의 상기 기판 반입구 및 상기 기판 반출구는 로더(L1~L4)를 개재하여 컨베이어 장치(2)와 접속되어 있다.
또, 각각의 상기 기판 반입구와 상기 기판 반출구는 전부 동일한 높이이어도 되고, 동일하지 않아도 된다. 동일하지 않은 경우에는, 로더(L1~L4)가 도시하지 않은 승강기구에 의해 승강 가능한 구성으로 함으로써, 각각의 상기 기판 반입구 및 상기 기판 반출구와 컨베이어 장치(2)의 사이에서 유리 플레이트(P)를 교환할 수 있다.
또, 상기 기판 반입구와 상기 기판 반출구의 높이가 동일하지 않은 경우에는, 각각의 높이에 따라 상기 컨베이어 장치를 복수 개의 단을 상하 방향으로 어긋나게 설치하고, 이에 따라 반송효율을 높일 수도 있다. 이 경우에는, 상측의 컨베이어 장치와 하측의 컨베이어 장치의 사이에서 유리 플레이트(P)를 교환 가능한 승강 컨베이어를 설치하면 된다.
또한, 프로세스 장치(P1~P4)에 기판 반입구와 기판 반출구를 겸한 기판 반입 출구를 설치해도 된다. 이 경우, 이러한 기판 반입출구가 전부 동일한 높이이어도 되고, 동일하지 않아도 된다.
이러한 구성을 가지는 기판 처리 장치(S)에서는, 각각의 프로세스 장치(P1~P4)로부터의 요구나 미리 외부에서 취득한 유리 플레이트 정보에 기초하여, 제어부(C)가 버퍼 장치(3)의 상류측에서 반송되어 오는 유리 플레이트(P)를 어느 버퍼 장치(3A~3D)의 어느 선반단(311)에 수납할지를 판단하고, 이러한 판단에 기초하여 유리 플레이트(P)가 버퍼 장치(3A~3D)에 수납된다. 그리고, 제어부(C)는, 각각의 프로세스 장치(P1~P4)로부터의 요구에 따라 선반단(311)에 수납한 유리 플레이트(P)를 반출하여, 상기 기판 반입구에서 로더(L1~L4)를 개재하여 소정의 프로세스 장치(P1~P4)로 반입한다. 또, 각각의 프로세스 장치(P1~P4)에서 처리된 유리 플레이트(P)는, 상기 기판 반출구에서 로더(L1~L4)를 개재하여 컨베이어 장치(2)로 건네받은 후, 외부로 반송된다.
이러한 본 실시예의 기판 반송 장치(1)에 의하면, 컨베이어 장치(2)가 반송되는 유리 플레이트(P)를 일시적으로 버퍼 장치(3)의 임의의 선반단(311)에 수납하고, 유리 플레이트(P)마다의 임의의 타이밍(각 프로세스 장치(P1~P4)로부터 요구된 타이밍)으로 취출할 수 있다. 따라서, 유리 플레이트(P)의 반송순서를 변경하거나, 반입 대기 중인 유리 플레이트(P)를 반송경로 상의 흐름을 중지시키지 않고 대기시키는 것이 가능하게 되고, 반송경로 상에서의 유리 플레이트(P)의 반송이 정지되는 것을 억제하는 것이 가능하게 된다.
또한, 본 실시예의 기판 반송 장치(1)에 의하면, 복수의 버퍼 장치(3)가 컨 베이어 장치(2)에 대해 병렬로 접속되어 있다. 이 때문에, 예를 들어 반입되는 프로세스 장치(P1~P4)의 종류에 따라 유리 플레이트(P)를 나누는 등 보다 유연하게 유리 플레이트(P)의 반송을 행할 수 있다. 또한, 복수의 버퍼 장치(3)를 구비함으로써, 보다 많은 유리 플레이트(P)를 일시적으로 모아 두는 것이 가능하게 되고, 반송경로 상에서의 유리 플레이트(P)의 반송이 정지되는 것을 보다 억제하는 것이 가능하게 된다.
이상, 도면을 참조하면서 본 발명에 관한 기판 반송 장치의 적합한 실시예에 대해 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않는 것은 물론이다. 상술한 실시예에서 나타낸 각각의 구성부재의 여러가지 형상이나 조합 등은 일례로서, 본 발명의 주지에서 벗어나지 않는 범위에서 설계요구 등에 기초하여 다양하게 변경 가능하다.
예를 들면, 상기 실시예에서는, 핸드부(326)는 유리 플레이트(P)를 비접촉으로 지지 가능한 지지부로서의 기능을 가지고 있는 구성에 대해 설명하였다. 그러나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 도 7에 나타내는 바와 같이, 각각의 선반단(311)을 구성하는 기판 지지부(312)를 판형상으로 구성하고, 기판 지지부(312)에 형성된 취출홀(327a)로부터 압축공기를 분사하는 구성으로 해도 된다. 이러한 경우에는, 기판 지지부(312)가 유리 플레이트(P)를 비접촉으로 지지 가능한 지지부 수단으로서 기능하게 된다. 또한, 이러한 경우에는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 아암부(326)를 설치하지 않고 반송 롤러(324)를 컨베이어 프레임에 고정해도 된다.
또한, 상기 실시예에서는, 기판으로서 유리 플레이트를 이용하는 예에 대해 설명하였다. 그러나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 기판으로서 반도체 웨이퍼를 이용할 수도 있다.
또한, 설치되는 버퍼 장치(3)의 수는 4개로 한정되는 것은 아니고, 1~3 혹은 4개 이상이어도 된다.
본 발명에 의하면, 기판을 매엽 반송하는 기판 반송 장치에 있어서, 기판의 반송순서를 변경하거나, 반입 대기의 기판을 반송경로 상의 흐름을 중지시키지 않고 대기시키는 것이 가능하게 된다. 그 결과, 반송경로 상에서의 기판의 반송 정지를 억제하는 것이 가능하게 되고, 기판 처리 장치의 처리효율이 향상된다.

Claims (5)

  1. 기판을 매엽 반송하는 반송부;
    상기 반송부에 의해 형성되는 반송경로의 도중 부위에 설치됨과 동시에 상기 반송부에 의해 반송되는 상기 기판을 일시적으로 모으고 나서 반출하는 버퍼부;를 구비하고,
    상기 버퍼부는,
    복수의 상기 기판을 수평 자세로 수납 가능한 수납부를 다단으로 구비하는 기판 카세트;
    임의의 상기 수납부에 액세스 가능함과 동시에 상기 기판 카세트와 상기 반송부의 사이에서 상기 기판의 교환을 행하는 기판 반입출부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 버퍼부는, 상기 기판의 반송 방향과 직교하는 방향으로의 왕복 운동에 의해 상기 기판 카세트에 대해 빼고넣음과 동시에 상기 기판을 반송 가능한 반송 롤러를 가지는 핸드부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 버퍼부는, 상기 기판을 비접촉으로 지지 가능한 지지부를 구비하는 것 을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    복수의 상기 버퍼부가 상기 반송경로에 대해 병렬로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    복수의 상기 버퍼부가 상기 반송경로에 대해 병렬로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
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