WO2008044340A1 - Dispositif de transfert de substrat - Google Patents

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WO2008044340A1
WO2008044340A1 PCT/JP2007/051953 JP2007051953W WO2008044340A1 WO 2008044340 A1 WO2008044340 A1 WO 2008044340A1 JP 2007051953 W JP2007051953 W JP 2007051953W WO 2008044340 A1 WO2008044340 A1 WO 2008044340A1
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transport
cassette
glass plate
unit
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Kensuke Hirata
Tomoo Mizuno
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Ihi Corporation
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    • B65G2249/02—Controlled or contamination-free environments or clean space conditions

Definitions

  • the present invention relates to a substrate transfer device, and more particularly to a substrate transfer device for transferring a semiconductor wafer or a glass plate for a flat panel display.
  • a semiconductor is transferred along a transfer path formed by the substrate transfer device.
  • a substrate such as a wafer or glass plate is transported, and a predetermined substrate delivery means (loader, robot arm, etc.) is used between the various processing apparatuses such as a thin film forming apparatus, an etching apparatus, and a test apparatus, and the transport path.
  • the board is being delivered.
  • a substrate is generally transported in a state in which a cassette that can accommodate a plurality of substrates is accommodated (see Patent Document 1).
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 9-58844
  • the substrates to be transported in single wafers are not always transported into the processing apparatus in the transport order.
  • the processing content and processing time performed in each processing device are often different, and a waiting time occurs in a predetermined processing device.
  • a waiting time occurs in a predetermined processing device.
  • the processing efficiency of the substrate processing apparatus can be improved.
  • the number of individuals to be transported increases compared to the case of transporting by cassettes, and it is assumed that the demand for changing the order of the substrates and waiting is further increased.
  • the present invention has been made in view of the above-described problems, and a substrate transport apparatus capable of realizing a substrate processing apparatus with high processing efficiency by suppressing the stop of the transport of a substrate on the transport path.
  • the purpose is to provide.
  • the present invention provides a transport unit that transports a substrate in a single sheet, and a transport unit that is installed in the middle of a transport path formed by the transport unit and that is transported by the transport unit.
  • a buffer unit for temporarily storing the substrate and carrying out the force, and the buffer unit includes a plurality of storage units capable of storing the plurality of substrates in a horizontal posture in a multi-stage, and the optional storage unit.
  • a substrate carrying-in / out unit that transfers the substrate between the substrate cassette and the carrying unit.
  • the buffer unit including the substrate carry-in / out unit that can access any storage unit of the substrate cassette is installed in the middle of the substrate transport path. For this reason, the board
  • the buffer unit includes a transport roller that can be inserted into and removed from the substrate cassette by reciprocating in a direction perpendicular to the transport direction of the substrate and can transport the substrate.
  • a configuration including a hand unit can be employed.
  • a configuration in which the buffer unit includes a support unit that can support the substrate in a non-contact manner can be employed.
  • the present invention it is possible to temporarily store a substrate transported on the transport path in an arbitrary storage unit of the buffer unit and take it out at an arbitrary timing for each substrate. Therefore, it is possible to change the substrate transfer order or to wait for a substrate waiting to be loaded without stopping the flow on the transfer path, and to suppress the stop of the transfer of the substrate on the transfer path. It becomes possible.
  • FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration of a substrate processing apparatus including a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a block diagram showing a functional configuration of a substrate processing apparatus including a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a plan view showing a main part of the buffer device.
  • FIG. 4 is a front view of the buffer device.
  • FIG. 5 is a side view of the buffer device.
  • FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of a main part of the transport roller.
  • FIG. 7 is a plan view showing a modification of the buffer device.
  • FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration of a substrate processing apparatus S including a substrate transfer apparatus 1 and process apparatuses P1 to P4 according to the present embodiment.
  • the substrate processing apparatus S includes a substrate transport apparatus 1 that transports a glass plate P, process apparatuses P1 to P4 that perform predetermined processing on the glass plate P, a substrate transport apparatus 1 and a process apparatus.
  • FIG. 2 is a block diagram showing a functional configuration of the substrate processing apparatus S.
  • the substrate processing apparatus S includes a control unit C electrically connected to the substrate transfer apparatus 1, process apparatuses P1 to P4, and loaders L1 to L4. The operation of the entire substrate processing apparatus S is controlled by the control unit C.
  • the substrate transport device 1 includes a competitor device 2 (transport unit) that forms a transport path of the glass plate P, and a compressor device 2 (loader) 4A to 4D in the middle of the transport path via loaders (substrate transfer units) 4A to 4D.
  • a plurality of (four in the present embodiment) buffer devices 3 buffer units, 3A to 3D) connected in parallel to the transport path).
  • the buffer device 3 will be described in detail with reference to FIGS.
  • FIG. 3 is a plan view showing the main part of the nother device 3.
  • FIG. 4 is a front view of the buffer device 3.
  • the nother device 3 includes a substrate cassette 31, a transport roller unit 32 including a transport port roller 324 and a node portion 326, and a cassette lifting mechanism 33.
  • the substrate cassette 31 has a glass plate on the front side and the rear side in the substrate transport direction (white arrow in FIG. 3). It has a box shape that serves as a transport inlet 311a and a transport outlet 311b, and a shelf 311 (storage section) for loading and unloading and storing the glass plate P in a horizontal position. Many are formed in the vertical direction.
  • the substrate support portions 312 that constitute each shelf stage extend horizontally in the direction orthogonal to the substrate transport direction (that is, the substrate width direction). For example, a wire equal force is also configured. In the embodiment, five substrate support portions 312 are arranged at a predetermined interval in the substrate transport direction.
  • the substrate cassette 31 can be accommodated in multiple stages in the vertical direction while holding the glass plate P in the horizontal position by the substrate support portion 312.
  • the substrate cassette 31 has a fixed position in the vertical direction so that the glass plate P can be carried into an arbitrary shelf in the substrate cassette 31 or an arbitrary shelf force in the substrate cassette 31 can be carried out. It is possible to move up and down relatively with respect to the conveying roller 324 and the node portion 326 supported by the roller.
  • the cassette lifting mechanism 33 for this purpose includes a bracket 331 that supports the bottom 311c of the substrate cassette 31, a ball screw 332 that moves the bracket 331 up and down by servo drive, and a vertical movement of the bracket 331.
  • a guide 333 for guiding and a sensor used for positioning the substrate cassette 31 in the vertical direction are provided. In FIG. 5, the conveyance roller unit 32 is not shown.
  • the transport roller unit 32 includes a pair of bases 321 arranged to face each other at an interval in the width direction of the glass plate P that is a transport object, in other words, the direction orthogonal to the transport direction of the glass substrate.
  • a plurality of (four in this embodiment) competitor frames 322 are fixed to the base 321 at intervals in the substrate transfer direction.
  • the conveyor frame 322 supports a conveying roller 324 rotatably through a shaft support 323 such as a bearing, and also has a direction (a width of the substrate) perpendicular to the substrate conveying direction from the conveying roller 324.
  • a plate-like hand portion 326 having a rectangular shape in plan view is supported on the center side of the direction) along the direction perpendicular to the substrate transport direction.
  • Conveying rollers 324 are arranged on a single compare frame 322, and a plurality (six in this embodiment) are arranged in parallel in the substrate conveying direction.
  • the hand unit 326 has these transfer ports.
  • the conveyor frame 322 is supported in a cantilever state so that it is slightly lower than the roller 324.
  • the base 321 that integrally fixes the respective compressor frames 322 is moved in the horizontal direction and in the direction perpendicular to the substrate transport direction. This is realized by a roller reciprocating mechanism (not shown) that moves forward and backward.
  • the transport roller 324 includes a cylindrical shaft-shaped roller main body 324a, and a substrate transport section 324b and a roller drive gear 325 that are extrapolated to the front end and the base end, respectively.
  • the rotational driving force from a drive motor (not shown) is transmitted to the transport roller 324 via the roller drive gear 325.
  • the substrate transport force is generated by the frictional force between the substrate transport unit 324b and the glass plate P generated when the transport roller 324 is rotated. Therefore, the material of the substrate transport unit 324b is a predetermined friction force against the glass plate P.
  • the substrate transport unit 324b is not limited to the cylindrical shape as shown in FIG. 6, and is an elastic body such as an O-ring arranged with a gap in the axial direction. Moyo.
  • blowing holes 327a that open to the upper surface 326A, and an air passage 327b that communicates with these blowing holes 327a are formed.
  • the blowout holes 327a are formed at regular intervals over substantially the entire length along the length direction of the upper surface 326A (the direction orthogonal to the substrate transport direction), and one row of blowout hole groups along the length direction is formed on the upper surface.
  • a plurality of rows (5 rows in this embodiment) are arranged in the width direction (substrate transport direction) of 326A.
  • a pipe line connected to an air supply blower or a compressor is connected to the proximal end of the hand portion 326 via a connecting means such as a cabra.
  • a connecting means such as a force bra is provided in any one of the plurality of hand portions 326, and the other hand.
  • the compressed air from the air supply blower should be distributed to the pipe section 326 through a distribution pipe that also extends this force bra force.
  • the cassette raising / lowering mechanism 33 is driven, and a shelf stage (hereinafter referred to as a planned carry-in stage) where the glass plate P is to be carried into the forward movement destination of the transport roller 324 and the node part 326 is formed.
  • the substrate cassette 31 is moved up and down so that it is positioned.
  • the substrate support portion 312 corresponding to the planned carry-in stage is positioned slightly lower than the transport roller 324.
  • the roller reciprocating mechanism is driven, and the conveying roller 324 and the node portion 326 are advanced and inserted into the substrate cassette 31.
  • the drive motor is driven, the rotational drive force is transmitted to the transport roller 324 via the roller drive gear 325, and the transport roller 324 is rotated about its axis.
  • the glass plate P transferred to the upstream side of the substrate cassette 31 imparts a counter force conveyance force forward in the conveyance direction due to the frictional force generated by the contact with the conveyance roller 324 with respect to the edge Pa and Pb on both lower surfaces thereof. And is carried into the substrate cassette 31.
  • the portion Pc closer to the center of the substrate than the contact portion between the transport roller 324 and the lower side edge portions Pa and Pb is caused by the compressed air supplied to the hand portion 326 being injected from the blowout hole 327a.
  • the top of the transport roller 324, and the end of the roller 32 located slightly lower than that 6 is supported in a non-contact manner through an air floating layer formed in a gap generated at a step with respect to the upper surface 326A.
  • the cassette lifting mechanism 33 is driven to raise the substrate cassette 31, and the loaded glass plate P is transferred to the substrate support 312 of the substrate cassette 31.
  • the air supply pro-waka also blocks air supply to the hand unit 326.
  • the roller reciprocating mechanism is driven to move the transport roller 324 and the node portion 326 backward. And pull out from the substrate cassette 31.
  • the cassette raising / lowering mechanism 33 is driven so that the shelf stage (hereinafter referred to as the unloading stage) storing the glass plate P to be unloaded is positioned at the forward movement destination of the transport roller 324 and the end portion 326.
  • the substrate cassette 31 is moved up and down.
  • the substrate support portion 312 corresponding to the planned carry-out stage is positioned slightly higher than the transport roller 324.
  • the roller reciprocating mechanism is driven, the conveying roller 324 and the nozzle 326 are advanced and inserted into the substrate cassette 31, and then air feeding is started, and the cassette lifting mechanism 33 is driven.
  • the base plate cassette 31 is lowered, and the lower side edges Pa and Pb of the glass plate P to be unloaded are deposited on the transport roller 324.
  • the driving motor is driven to rotate the transport roller 324 about its axis, and the glass plate P to be unloaded stored in the substrate cassette 31 has both side edges Pa on its lower surface.
  • Pb in front of the conveyance direction due to friction generated by contact with conveyance roller 324 Is carried out of the substrate cassette 31 with a transfer force applied to the substrate cassette 31.
  • the lower side edges Pa and Pb of the lower surface of the glass plate P are directly supported from the lower side by the conveying roller 324 which is in rolling contact with the lower side edge Pa and Pb between the conveying roller 324 and the lower side edges Pa and Pb.
  • the portion Pc closer to the center of the substrate than the contact portion is supported in a non-contact manner through the air floating layer by the compressed air supplied to the hand portion 326 being jetted from the blowout hole 327a.
  • the cassette cassette 31 is used for the substrate cassette 31 so that the transport roller 324 and the node portion 326 can be inserted into and removed from the shelf where the glass plate P is to be loaded and unloaded. After aligning the height position of the transfer roller 324, the transfer roller 324 is inserted into and removed from the substrate cassette 31 in the horizontal direction, so that the substrate cassette 31 with a narrow substrate storage pitch can be used without using an articulated robot. Glass plate P can be taken in and out arbitrarily.
  • the portion Pc near the center of the substrate of the glass plate P is air-lifted by the node portion 326 and supported in a non-contact manner from time to time. Is only the lower edge Pa and Pb on both sides of the lower surface where the transport roller 324 is inserted. Furthermore, since the glass plate P is supported in a non-contact manner by the hand portion 326 which is longer than the conveyance roller 324 alone, the length of the conveyance roller 324 that directly contacts the glass plate P is minimized. Do it with a word.
  • the cassette lifting mechanism 33, the transport roller 324, and the hand unit 326 are accessible by being stored in an arbitrary shelf 311 and the base plate cassette 31 and the compressor device 2 are accessible.
  • the glass plate P can be delivered to and from the loader 4 (4A to 4D). That is, the cassette lifting / lowering mechanism 33, the transport roller 324, and the node portion 326 constitute a substrate carry-in / out portion of the present invention.
  • the hand portion 326 also has a function as a support portion that can support the glass plate P in a non-contact manner.
  • the process apparatuses P1 to P4 are various processing apparatuses such as a cleaning apparatus, a thin film forming apparatus, an etching apparatus, and a test apparatus. Each of these process apparatuses P1 to P4 has a substrate carry-in port where the untreated glass plate P is carried in and a substrate carry-out port where the treated glass plate P is carried out at the same height. Yes.
  • the substrate carry-in port and the substrate carry-out port of each of the process devices P1 to P4 are connected to the competitor device 2 via loaders L1 to L4.
  • the substrate carry-in port and the substrate carry-out port may all be the same height or may not be the same. If they are not the same, loaders L1 to L4 can be moved up and down by a lifting mechanism (not shown), so that the glass plate P Can be handed over.
  • the conveyor device can be shifted in multiple vertical directions according to each height, thereby improving the transfer efficiency.
  • a substrate loading / unloading port serving as both a substrate loading / unloading port and a substrate loading / unloading port may be provided in the process apparatuses P1 to P4. In this case, all of these substrate loading / unloading ports may or may not have the same height.
  • the control unit C unloads the glass plate P stored in the shelf 311 in response to a request from each of the process devices P1 to P4, and passes through the loader L1 to L4 from the substrate carry-in port to the predetermined process device P1. Carry in to P4.
  • the glass plate P processed in each of the process apparatuses P1 to P4 is transferred from the substrate carry-out port to the conveyor apparatus 2 via the loaders L1 to L4, and then transferred to the outside.
  • the glass plate P transported by the competitor apparatus 2 is temporarily stored in an arbitrary shelf 311 of the buffer apparatus 3, and the glass plate P Can be taken out at an arbitrary timing (requested from each process equipment PI to P4). Therefore, it is possible to change the transfer order of the glass plates P or to wait for the glass plates P waiting to be loaded without stopping the flow on the transfer path, and the transfer of the glass plates P on the transfer path is stopped. It becomes possible to suppress
  • the plurality of buffer apparatuses 3 are connected in parallel to the competitor apparatus 2. For this reason, for example, the glass plate P can be conveyed more flexibly, such as sorting the glass plates P according to the types of the process apparatuses P1 to P4 that are carried in. Further, by providing a plurality of nother devices 3, it becomes possible to temporarily store a larger number of glass plates P, and it is possible to further stop the conveyance of the glass plates P on the conveyance path. It becomes possible to suppress.
  • the configuration has been described in which the hand portion 326 has a function as a support portion capable of supporting the glass plate P in a non-contact manner.
  • the present invention is not limited to this.
  • the substrate support portions 312 constituting each shelf 311 are formed in a plate shape and formed on the substrate support portions 312.
  • the compressed air may be jetted from the blowout holes 327a.
  • the substrate support portion 312 functions as a support portion means capable of supporting the glass plate P in a non-contact manner.
  • the conveying roller 324 may be fixed to the conveyor frame without installing the arm portion 326.
  • the above embodiment has been described with respect to an example in which a glass plate is used as a substrate.
  • the present invention is not limited to this.
  • a semiconductor wafer can be used as the substrate.
  • the number of buffer devices 3 to be installed is not limited to four. Can be more than four.
  • the present invention it is possible to change the substrate transfer order or to allow a substrate waiting to be loaded to stand by without stopping the flow on the transfer path in a substrate transfer apparatus that transfers a substrate one by one. Become. As a result, it is possible to suppress the stop of the transport of the substrate on the transport path, and the processing efficiency of the substrate processing apparatus is improved.

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Description

基板搬送装置
技術分野
[0001] 本発明は、基板搬送装置に関し、特に半導体ウェハやフラットパネルディスプレイ 用ガラスプレートを搬送するための基板搬送装置に関する。本願は、 2006年 10月 5 日に日本に出願された特願 2006— 274360号に基づき優先権を主張し、その内容 をここに援用する。
背景技術
[0002] 半導体装置を製造する工場や、液晶装置、 PDP、 EL装置等のフラットパネルディ スプレイを製造する工場等に設置される基板処理装置においては、基板搬送装置に よって形成された搬送経路で半導体ウェハやガラスプレート等の基板を搬送し、所 定の基板受渡手段 (ローダやロボットアーム等)を用いて、薄膜形成装置、エッチング 装置、試験装置等の各種処理装置と、搬送経路との間で基板の受け渡しが行われ ている。このような基板処理装置では、基板は、基板を複数枚収容可能なカセット〖こ 収容された状態で搬送されるのが一般的である (特許文献 1参照)。
[0003] さて、近年は、液晶テレビ等のフラットパネルディスプレイの大画面化等に伴って、 基板が大型化している。このため、基板を収容するカセット等も大型化'重量ィ匕し、そ れに伴い搬送速度が低下する結果、例えば仕掛在庫 (Work in Process)の増大を招 く等、効率的な搬送が困難になりつつある。
そこで、基板を一枚づっ高速に搬送する枚葉搬送が注目されて!/ヽる。
特許文献 1：特開平 9— 58844号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0004] ところが、枚葉搬送される基板は、搬送順に処理装置に搬入されるとは限らない。
例えば、上述のように搬送経路に複数の処理装置が併設されている場合には、各処 理装置において行われる処理内容及び処理時間が異なる場合が多いため、所定の 処理装置において待ち時間が生じた場合に、後から搬送されてくる基板で他の処理 装置に搬入されるものを先に搬送することが好ましい場合がある。
搬送されてくる基板の順序を変更したり、搬入待ちの基板を搬送経路上の流れを 止めることなく待機させることによって、搬送経路上における基板の搬送が停止され ることを抑制することができ、基板処理装置の処理効率を向上させることができる。 特に、基板が枚葉搬送される場合には、カセットによって搬送する場合と比較して 搬送する個体数が増加するため、基板の順序変更や待機の要求がさらに高まるもの と推測される。
しカゝしながら、現在のところ、基板を枚葉搬送する基板搬送装置において、基板の 搬送順序を変更したり、搬入待ちの基板を搬送経路上の流れを止めることなく待機さ せる技術は提案されておらず、このような技術の提案が要望されて 、る。
[0005] 本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、搬送経路上における基板の 搬送が停止されることを抑制することで処理効率の高い基板処理装置を実現可能な 基板搬送装置を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
[0006] 上記目的を達成するために、本発明は、基板を枚葉搬送する搬送部と、該搬送部 によって形成される搬送経路の途中部位に設置されるとともに上記搬送部によって 搬送される上記基板を一時的に溜めて力も搬出するバッファ部とを備え、上記バッフ ァ部が、 複数の上記基板を水平姿勢にて収納可能な収納部を多段に備える基板力 セットと、任意の上記収納部にアクセス可能であるとともに上記基板カセットと上記搬 送部との間において上記基板の受け渡しを行う基板搬入出部と、を備えることを特徴 とする。
[0007] このような特徴を有する本発明によれば、基板カセットの任意の収納部にアクセス 可能な基板搬入出部を備えるバッファ部が、基板の搬送経路の途中部位に設置され ている。このため、搬送経路を搬送される基板を一時的にバッファ部の任意の収納部 に収納し、基板ごとの任意のタイミングで取り出すことができる。
[0008] また、本発明においては、上記バッファ部が、上記基板の搬送方向と直交する方向 への往復運動により上記基板カセットに対して抜き差しされるとともに上記基板を搬 送可能な搬送ローラを有するハンド部を備えるという構成を採用することができる。 [0009] また、本発明にお 、ては、上記バッファ部が、上記基板を非接触で支持可能な支 持部を備えるという構成を採用することができる。
[0010] また、本発明においては、複数の上記バッファ部が、上記搬送経路に対して並列に 接続されて ヽると ヽぅ構成を採用することができる。
発明の効果
[0011] 本発明によれば、搬送経路を搬送される基板を一時的にバッファ部の任意の収納 部に収納し、基板ごとの任意のタイミングで取り出すことができる。したがって、基板の 搬送順序を変更したり、搬入待ちの基板を搬送経路上の流れを止めることなく待機さ せることが可能となり、搬送経路上における基板の搬送が停止されることを抑制する ことが可能となる。
図面の簡単な説明
[0012] [図 1]本発明の一実施形態の基板搬送装置を備える基板処理装置の概略構成を示 す平面図である。
[図 2]本発明の一実施形態の基板搬送装置を備える基板処理装置の機能構成を示 すブロック図である。
[図 3]バッファ装置の要部を示す平面図である。
[図 4]バッファ装置の正面図である。
[図 5]バッファ装置の側面図である。
[図 6]搬送ローラの要部拡大断面図である。
[図 7]バッファ装置の変形例を示す平面図である。
符号の説明
[0013] 1 基板搬送装置
2 コンペャ装置 (搬送部）
3 (3A〜3D) バッファ装置（バッファ部）
31 基板カセット
311 棚段 (収納部）
324 搬送ローラ
326 ハンド部（支持部） 33 カセット昇降機構
4 (4A〜4D) ローダ (基板受渡部）
P ガラスプレート (基板）
s 基板処理装置
発明を実施するための最良の形態
[0014] 以下、図面を参照して、本発明に係る基板搬送装置の一実施形態について説明 する。なお、以下の図面において、各部材を認識可能な大きさとするために、各部材 の縮尺を適宜変更して 、る。
[0015] 図 1は、本実施形態の基板搬送装置 1とプロセス装置 P1〜P4とを備える基板処理 装置 Sの概略構成を示す平面図である。
この図に示すように、基板処理装置 Sは、ガラスプレート Pを搬送する基板搬送装置 1と、ガラスプレート Pに対して所定の処理を行うプロセス装置 P1〜P4と、基板搬送 装置 1とプロセス装置 P1〜P4との間でガラスプレート Pの受け渡しを行うローダ Ll〜 L4とを備えている。
図 2は、基板処理装置 Sの機能構成を示したブロック図である。この図に示すように 、基板処理装置 Sは、基板搬送装置 1、プロセス装置 P1〜P4及びローダ L1〜L4と 電気的に接続された制御部 Cを備えている。そして、基板処理装置 S全体の動作が、 制御部 Cによって制御される。
[0016] 基板搬送装置 1は、ガラスプレート Pの搬送経路を形成するコンペャ装置 2 (搬送部 )と、搬送経路の途中部位に、ローダ (基板受渡部) 4A〜4Dを介してコンペャ装置 2 (搬送経路）に対して並列に接続される複数 (本実施形態においては 4つ）のバッファ 装置 3 (バッファ部、 3A〜3D)とを備えている。
[0017] ここで、図 3〜図 6を参照して、バッファ装置 3について詳説する。
図 3は、ノ ッファ装置 3の要部を示す平面図である。また、図 4は、バッファ装置 3の 正面図である。これらの図に示すように、ノ ッファ装置 3は、基板カセット 31と、搬送口 ーラ 324及びノヽンド部 326を備えた搬送ローラユニット 32と、カセット昇降機構 33とを 備えている。
[0018] 基板カセット 31は、基板搬送方向（図 3の白抜矢印）の前側及び後側がガラスプレ ート Pの搬入口 311a及び搬出口 311bとなる箱形形状をなしており、その内空部に は、ガラスプレート Pを水平姿勢にて搬入出及び収納するための棚段 311 (収納部） が上下方向に多数形成されて 、る。
各棚段を構成する基板支持部 312は、基板搬送方向と直交する方向（すなわち、 基板幅方向）に水平に延びる、例えばワイヤ等力も構成されていて、 1つの棚段 311 にっき複数個 (本実施形態では 5つ）の基板支持部 312が基板搬送方向に所定の間 隔をおいて配設されている。
以上の構成により、基板カセット 31は、ガラスプレート Pを基板支持部 312で水平姿 勢に保持しつつ上下方向に多段にわたり収納できるようになって!/、る。
[0019] 基板カセット 31は、ガラスプレート Pを基板カセット 31内の任意の棚段に搬入したり 、基板カセット 31内の任意の棚段力もガラスプレート Pを搬出できるように、上下方向 に定位置に支持された搬送ローラ 324及びノヽンド部 326に対し、相対的に昇降でき るようになっている。そのためのカセット昇降機構 33は、図 5に示すように、基板カセ ット 31の底部 311cを支持するブラケット 331と、サーボ駆動によりブラケット 331を上 下動させるボールネジ 332と、ブラケット 331の上下動を案内するガイド 333と、基板 カセット 31の上下方向の位置出しに用いられるセンサとを備えて構成されている。な お、図 5では、搬送ローラユニット 32の図示は省略している。
[0020] 搬送ローラユニット 32は、搬送物であるガラスプレート Pの幅方向、言い換えればガ ラス基板の搬送方向と直交する方向に間隔をおいて対向配置された一対のベース 3 21を備え、各ベース 321には基板搬送方向に間隔をお 、て複数 (本実施形態では 4 つ）のコンペャフレーム 322が固定されている。
[0021] コンペャフレーム 322には、ベアリング等の軸サポート 323を介して搬送ローラ 324 が回転自在に支持されていると共に、これら搬送ローラ 324よりも基板搬送方向と直 交する方向（基板の幅方向）の中央部側には、平面視して長方形状をなす板状のハ ンド部 326が、その長手方向を基板搬送方向と直交する方向に沿わせて支持されて いる。
[0022] 搬送ローラ 324は、 1つのコンペャフレーム 322にっき、複数個（本実施形態では 6 つ）が基板搬送方向に間隔をおいて並設されている。ハンド部 326は、これら搬送口 ーラ 324よりも若干低い位置にくるよう、コンペャフレーム 322に片持ち状態に支持さ れている。
[0023] そして、搬送ローラ 324及びノヽンド部 326の基板カセット 31内への抜き差しは、各 コンペャフレーム 322を一体に固定しているベース 321を水平方向、かつ基板搬送 方向と直交する方向に前進及び後退させるローラ往復動機構（図示略）により実現さ れる。
[0024] 搬送ローラ 324は、図 6に示すように、円柱軸状のローラ本体 324aと、その先端部 及び基端部にそれぞれ外挿された基板搬送部 324b及びローラ駆動ギヤ 325とを備 えてなり、駆動モータ（図示略)からの回転駆動力は、このローラ駆動ギヤ 325を介し て搬送ローラ 324に伝達される。基板搬送力は、この搬送ローラ 324の回転時に生じ る基板搬送部 324bとガラスプレート Pとの摩擦力により生まれるものであるから、基板 搬送部 324bの材質はガラスプレート Pに対し所定の摩擦力を得るものが選定される なお、基板搬送部 324bは、図 6に示すような円筒状のものに限らず、軸方向に間 隔をお ヽて配設された Oリング等の弾性体であってもよ 、。
[0025] 図 3及び図 6に示すように、ハンド部 326の内部には、その上面 326Aに開口する 複数の吹出孔 327aと、これら吹出孔 327aに連通するエア通路 327bが形成されて いる。吹出孔 327aは、上面 326Aの長さ方向（基板搬送方向と直交する方向）に沿 つた略全長にわたって等間隔に多数形成されていると共に、この長さ方向に沿う 1列 の吹出孔群が上面 326Aの幅方向（基板搬送方向）に複数列 (本実施形態では 5列 )並んでいる。
ハンド部 326の基端には、送気ブロワ又はコンプレッサと接続された管路がカブラ 等の連結手段を介して接続されて ヽる。
[0026] そして、送気ブロワを運転すると、管路及び力ブラを経て各ハンド部 326に供給され た圧縮空気が吹出孔 327aを通って上方に向力つて噴射され、基板カセット 31内に 搬入出されたガラスプレート Pの下面両側縁部 Pa, Pbすなわち搬送ローラ 324で支 持される部分よりも基板中央寄りの部分 Pcが非接触に支持される。
なお、複数のハンド部 326のいずれか 1つに力ブラ等の連結手段を設け、他のハン ド部 326にはこの力ブラ力も延びる分配管を介して送気ブロワからの圧縮空気を分配 するようにしてちょい。
[0027] 次に、以上の如く構成されたバッファ装置 3において、ガラスプレート Pを基板カセッ ト 31の任意の棚段に搬入する際の一手順について説明する。
なお、基板カセット 31は最も上昇した位置にあり、また、搬送ローラ 324及びノヽンド 部 326は基板カセット 31外に抜き出された位置にあるものとする。
[0028] この状態から、まず、カセット昇降機構 33を駆動し、搬送ローラ 324及びノヽンド部 3 26の前進移動先に、ガラスプレート Pを搬入しょうとする棚段 (以下、搬入予定段）が 位置するように基板カセット 31を昇降させる。このとき、搬入予定段に対応する基板 支持部 312は、搬送ローラ 324よりも若干低めに位置決めされる。
次いで、ローラ往復動機構を駆動し、搬送ローラ 324及びノヽンド部 326を前進させ て基板カセット 31内に差し込む。
[0029] そして、送気ブロワから管路，及び力ブラを経てハンド部 326に圧縮空気を送気す ると、この圧縮空気はハンド部 326の上面 326Aに開口する吹出孔 327aから上方に 向けて噴射される。これにより、搬入されたガラスプレート Pとハンド部 326の上面 326 Aとの間にエア浮上層を形成し得るようになり、搬入されたガラスプレート Pのうち、搬 送ローラ 324に支持される下面両側縁部 Pa, Pbよりも基板中央寄りの部分 Pcを、こ のエア浮上層を介して非接触に支持することが可能になる。
[0030] し力る後、駆動モータを駆動し、その回転駆動力をローラ駆動ギヤ 325を介して搬 送ローラ 324に伝達し、搬送ローラ 324をその軸回りに回転させる。
すると、基板カセット 31の上流側に移送されてきたガラスプレート Pは、その下面両 側縁部 Pa, Pbに対する搬送ローラ 324との接触によって生じる摩擦力により、搬送 方向前方に向力 搬送力を付与されて基板カセット 31内に搬入される。
[0031] このとき、ガラスプレート Pの下面両側縁部 Pa, Pbは、それに回転可能に接触して V、る搬送ローラ 324によって下方より直接支持されて 、る。
これに対し、搬送ローラ 324と下面両側縁部 Pa, Pbとの接触部分よりも基板中央寄 りの部分 Pcは、ハンド部 326に供給された圧縮空気が吹出孔 327aより噴射されるこ とにより、搬送ローラ 324の頂部と、それよりも若干低い位置に設けられたノ、ンド部 32 6の上面 326Aとの段差に生ずる隙間に形成されたエア浮上層を介して、非接触に 支持されている。
[0032] ガラスプレート Pが基板カセット 31内に完全に搬入されると、カセット昇降機構 33を 駆動して基板カセット 31を上昇させ、搬入されたガラスプレート Pを基板カセット 31の 基板支持部 312に預けると共に、送気プロワカもハンド部 326への送気を遮断する。 そして、ガラスプレート Pが搬送ローラ 324から離間したところで、つまり、ガラスプレ ート Pを基板支持部 312に完全に預けたところで、ローラ往復動機構を駆動し、搬送 ローラ 324及びノヽンド部 326を後退させて基板カセット 31から抜き出す。以上が搬入 動作の一例である。
[0033] 次に、基板カセット 31内に格納されている任意の棚段のガラスプレート Pを搬出す る際の一手順について説明する。
まず、カセット昇降機構 33を駆動し、搬送ローラ 324及びノ、ンド部 326の前進移動 先に、搬出予定のガラスプレート Pを格納している棚段 (以下、搬出予定段）が位置 するように基板カセット 31を昇降させる。このとき、搬出予定段に対応する基板支持 部 312は、搬送ローラ 324よりも若干高めに位置決めされる。
[0034] 次に、ローラ往復動機構を駆動し、搬送ローラ 324及びノ、ンド部 326を前進させて 基板カセット 31内に差し込んだ後、送気を開始し、カセット昇降機構 33を駆動して基 板カセット 31を下降させ、搬出予定のガラスプレート Pの下面両側縁部 Pa, Pbを搬 送ローラ 324に預ける。
[0035] 送気ブロワから管路，及び力ブラを経てハンド部 326に圧縮空気を送気すると、こ の圧縮空気はハンド部 326の上面 326Aに開口する吹出孔 327aから上方に向けて 噴射される。これにより、搬出予定のガラスプレート Pとハンド部 326の上面 326Aとの 間にエア浮上層が形成されるので、搬送ローラ 324に支持された下面両側縁部 Pa, Pbよりも基板中央寄りの部分 Pcは、このエア浮上層を介してハンド部 326に非接触 に支持される。
[0036] し力る後、駆動モータを駆動して搬送ローラ 324をその軸回りに回転させると、基板 カセット 31内に格納されていた搬出予定のガラスプレート Pは、その下面両側縁部 P a, Pbに対する搬送ローラ 324との接触によって生じる摩擦力により、搬送方向前方 に向力う搬送力を付与されて基板カセット 31外に搬出される。このとき、ガラスプレー ト Pの下面両側縁部 Pa, Pbは、それに転がり接触している搬送ローラ 324によって下 方より直接支持されているが、搬送ローラ 324と下面両側縁部 Pa, Pbとの接触部分 よりも基板中央寄りの部分 Pcは、ハンド部 326に供給された圧縮空気が吹出孔 327a より噴射されることにより、エア浮上層を介して非接触に支持されて ヽる。
[0037] ガラスプレート Pが基板カセット 31外に完全に搬出されると、送気ブロワからハンド 部 326への送気を遮断すると共に、ローラ往復動機構を駆動し、搬送ローラ 324及 びノ、ンド部 326を後退させて基板カセット 31から抜き出す。以上が搬出動作の一例 である。
[0038] このようなバッファ装置 3によれば、ガラスプレート Pを搬入出したい棚段に搬送ロー ラ 324及びノヽンド部 326を抜き差しできるよう、カセット昇降機構 33を用いて基板カセ ット 31と搬送ローラ 324の高さ位置を合わせた後、搬送ローラ 324を基板カセット 31 の外内へ水平方向に抜き差しすることにより、多関節ロボットを用いずとも、基板収納 ピッチの狭い基板カセット 31に対し、ガラスプレート Pを任意に搬入出することができ る。
[0039] し力も、この搬入出中は、終始、ガラスプレート Pの基板中央寄りの部分 Pcをノヽンド 部 326でエア浮上させて非接触に支持して 、るので、ガラスプレート Pへの接触は搬 送ローラ 324が差し込まれる下面両側縁部 Pa, Pbだけとなる。さら〖こ、ガラスプレート Pが搬送ローラ 324だけでなぐそれよりも長尺なハンド部 326によっても非接触に支 持されるので、ガラスプレート Pに直接接触する搬送ローラ 324の長さを極力短くする ことちでさる。
[0040] 上述のように、本実施形態においては、カセット昇降機構 33、搬送ローラ 324及び ハンド部 326によって、任意の棚段 311に収納されたアクセス可能であるとともに基 板カセット 31とコンペャ装置 2との間においてガラスプレート Pをローダ 4 (4A〜4D) を介して受け渡し可能とされている。すなわち、カセット昇降機構 33、搬送ローラ 324 及びノヽンド部 326によって、本発明の基板搬入出部が構成されている。
また、ハンド部 326は、ガラスプレート Pを非接触支持可能な支持部としての機能も 有している。 [0041] 図 1に戻り、プロセス装置 P1〜P4は、洗浄装置、薄膜形成装置、エッチング装置、 試験装置等の各種処理装置である。これらの各プロセス装置 P1〜P4は、各々が、 処理前のガラスプレート Pが搬入される基板搬入口と、処理後のガラスプレート Pが搬 出される基板搬出口とを同一高さに有している。そして、各プロセス装置 P1〜P4の 基板搬入口及び基板搬出口がローダ L1〜L4を介してコンペャ装置 2と接続されて いる。
なお、各基板搬入口と基板搬出口とは、全て同一高さであってもよいし、同一でなく てもよい。同一でない場合には、ローダ L1〜L4が不図示の昇降機構によって昇降 可能な構成とすることで、各基板搬入口及び基板搬出口と、コンペャ装置 2との間に お!、てガラスプレート Pを受け渡すことができる。
さらに、基板搬入口と基板搬出口との高さが同一でない場合には、各高さに応じて コンベア装置を複数段上下方向にずらして設置し、これによつて搬送効率を高めるこ ともできる。この場合には、上側のコンベア装置と下側のコンベア装置との間でガラス プレート Pを受け渡し可能な昇降コンベアを設けるとよい。
また、プロセス装置 P1〜P4に基板搬入口と基板搬出口とを兼ねた基板搬入出口 を設けても良い。この場合、これらの基板搬入出口が全て同一高さであってもよいし 、同一でなくてもよい。
[0042] このような構成を有する基板処理装置 Sにおいては、各プロセス装置 P1〜P4から の要求や予め外部から取得したガラスプレート情報に基づいて、制御部 C力 バッフ ァ装置 3の上流側から搬送されてくるガラスプレート Pを、 V、ずれのバッファ装置 3A〜 3Dの 、ずれかの棚段 311に収納するかを判断し、当該判断に基づ 、てガラスプレ ート Pがバッファ装置 3A〜3Dに収納される。そして、制御部 Cは、各プロセス装置 P1 〜P4からの要求に応じて、棚段 311に収納したガラスプレート Pを搬出して、基板搬 入口からローダ L1〜L4を介して所定のプロセス装置 P1〜P4に搬入する。なお、各 プロセス装置 P1〜P4において処理されたガラスプレート Pは、基板搬出口からロー ダ L 1〜L4を介してコンべャ装置 2に受け渡された後、外部に搬送される。
[0043] このような本実施形態の基板搬送装置 1によれば、コンペャ装置 2を搬送されるガラ スプレート Pを一時的にバッファ装置 3の任意の棚段 311に収納し、ガラスプレート P ごとの任意のタイミング (各プロセス装置 PI〜P4から要求されたタイミング)で取り出 すことができる。したがって、ガラスプレート Pの搬送順序を変更したり、搬入待ちのガ ラスプレート Pを搬送経路上の流れを止めることなく待機させることが可能となり、搬送 経路上におけるガラスプレート Pの搬送が停止されることを抑制することが可能となる
[0044] また、本実施形態の基板搬送装置 1によれば、複数のバッファ装置 3がコンペャ装 置 2に対して並列に接続されている。このため、例えば、搬入されるプロセス装置 P1 〜P4の種類に応じてガラスプレート Pを振り分ける等の、よりフレキシブルにガラスプ レート Pの搬送を行うことができる。また、複数のノ ッファ装置 3を備えることによって、 より多くのガラスプレート Pを一時的に溜めておくことが可能となり、搬送経路上にお けるガラスプレート Pの搬送が停止されることを、より抑制することが可能となる。
[0045] 以上、図面を参照しながら本発明に係る基板搬送装置の好適な実施形態につい て説明したが、本発明は上記実施形態に限定されないことは言うまでもない。上述し た実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、 本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能であ る。
[0046] 例えば、上記実施形態にお!、ては、ハンド部 326は、ガラスプレート Pを非接触支 持可能な支持部としての機能を有している構成について説明した。し力しながら、本 発明はこれに限定されるものではなぐ例えば、図 7に示すように、各棚段 311を構成 する基板支持部 312を板状に構成し、基板支持部 312に形成された吹出孔 327aか ら圧縮空気を噴射する構成としても良い。このような場合には、基板支持部 312がガ ラスプレート Pを非接触支持可能な支持部手段としての機能することとなる。また、こ のような場合には、図 7に示すように、アーム部 326を設置せずに搬送ローラ 324をコ ンべャフレームに固定しても良い。
[0047] また、上記実施形態にお!、ては、基板としてガラスプレートを用いる例にっ ヽて説 明した。し力しながら、本発明はこれに限定されるものではなぐ例えば、基板として 半導体ウェハを用いることもできる。
[0048] また、設置されるバッファ装置 3の数は、 4つに限定されるものではなぐ 1〜3あるい は 4つ以上であっても構わな 、。
産業上の利用可能性
本発明によれば、基板を枚葉搬送する基板搬送装置にお!ヽて、基板の搬送順序 を変更したり、搬入待ちの基板を搬送経路上の流れを止めることなく待機させること が可能となる。その結果、搬送経路上における基板の搬送の停止を抑制することが 可能となり、基板処理装置の処理効率が向上する。

Claims

請求の範囲
[1] 基板を枚葉搬送する搬送部と、
該搬送部によって形成される搬送経路の途中部位に設置されるとともに前記搬送 部によって搬送される前記基板を一時的に溜めて力も搬出するバッファ部とを備え、 前記バッファ部は、
複数の前記基板を水平姿勢にて収納可能な収納部を多段に備える基板カセットと 任意の前記収納部にアクセス可能であるとともに前記基板カセットと前記搬送部と の間において前記基板の受け渡しを行う基板搬入出部と、
を備える基板搬送装置。
[2] 前記バッファ部は、前記基板の搬送方向と直交する方向への往復運動により前記 基板カセットに対して抜き差しされるとともに前記基板を搬送可能な搬送ローラを有 するハンド部を備える請求項 1記載の基板搬送装置。
[3] 前記バッファ部は、前記基板を非接触支持可能な支持部を備える請求項 1または 2 記載の基板搬送装置。
[4] 複数の前記バッファ部が、前記搬送経路に対して並列に接続されている請求項 1ま たは 2に記載の基板搬送装置。
[5] 複数の前記バッファ部が、前記搬送経路に対して並列に接続されている請求項 3 に記載の基板搬送装置。
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