TWI331124B - Substrate transmission apparatus - Google Patents

Description

⑶ 1124 九、發明說明： .【發明所屬之技術領域】 -、、，本發明係有關-種基板搬送H尤其有關—種用以 、搬送半導體晶圓或平板面板顯示器用玻璃板之基板搬送裳 置。本申請案係依據2006年10月5日所申請之日本專利 特願襲-27436〇號主張優先權，並在此援用其内容。 【先前技術】 於製造半導體裝置之工薇，及製造液晶裝置、pdp、el •裝置等之平板面板顯示器之工薇等所設置之基板搬送裝 置’係在藉由基板搬送裝置形成之搬送路徑來搬送半導體 晶圓或玻璃板等之基板，而使用預定之基板交接手段（裝载 .、及機器人臂等）’在薄膜形成装置、鍅刻裳置、試驗裝置 •等各種處理裝置與搬送路徑之間進行基板之交接。在如上 述之基板處理裝置中，基板一般係以收容在可收容複數張 基板之匣盒之狀態被搬送（參照專利文獻i)。 φ 而近年來，伴卩現液晶電視等之平板面板顯示器之大晝 面化等，基板亦大型化。因此，用以收容基板之匣盒等亦 大型化、重量化’而隨之產生搬送速度下降之結果，且招 致例如在製品庫存（workinPr〇cess)之增大等，而使有效 率的搬送變得固難。 因此，將基板一張一張地高速進行搬送之單片式搬送 係受到矚目。 > ' (專利文獻1)日本特開平9-58844號公報 【發明内容】 318984 5 1331124 人處::置二送之基板係不限於依搬送順序搬 it ^ , 上述所不在搬送路徑併設複數個 時間不同白I情況=處理裝置中所進行之處理内容及處理 待時間時，會有較ΐ:::在Γ之處理裝置中產生等 理裝置者先予《搬:=搬送來之基板且欲搬入另-處 上之=變更搬送而來之基板的順序、或未停止搬送路徑 之其I:使等待搬入之基板待機，能抑制在搬送路徑上 之基板的搬送停正，且能提高基板處理裝置之處理效率。 尤其，將基板進行單片式搬送之情況， =般送之情況相比較，由於搬送之個體數增加；因= 基板之順序變更及待機之要求會進—步的提^。 -更=目前為止，將基板單片式搬送二送裝置中， "更基板之搬送順序、或未停正搬送路徑上之流動而使等 待搬入之基板待機之技術係尚未 . 技術之提案。技術係山未私案，而期望有如上述 —本發明係有鑑於上述問題點而研創者，其目的在提供 在搬送路徑上之基板搬送停止’藉此可謀求處理 效率較咼的基板處理裝置之基板搬送裝置。 [解決課題的手段] 為達成上述目的，本發明且借· 、,， —μ』 夺知L、備.搬迗部，係將基板進 :丁早片式搬送；以及緩衝部，係設置在藉由該搬 路徑之中途部位，並且將藉由上述搬送部所搬送之 以基板暫時累積後予以搬出，上述緩衝部具備：基板g 318984 6 1331124 多段之方式具備可將複數片上述基板以水平姿勢 收，..内之收納部；以及基板搬出 收纳邱、，η Λ 係可存取任意之上述 收洎邛，亚且於上述基板匣盒與 基板之交接。 攻搬运部之間進行上述 根據具有如上述特徵之本發明， 具傷有可存取於基板 ι之任思收納部之基板搬出入部的緩衝部，係設 板搬送路徑之中I令jijj a , “ 土 板暫^將搌送於搬送路徑之基 任音1=在緩衝部之任意的收納部，且能在每一基板之 4心、的％間點予以取出。 2 ’於本發明中，能採用上述緩衝部係具備手部之構 成，该手部係藉由往與上述基板之搬送方向正交之方向之 =運動’相對上述基板g盒進行插人/拔出，並且具有可 、上述基板之搬送滾輪。 又’於本發明中，能採用於上述緩衝部具備可將上述 ^以非接觸方式支持之支持部的構成。 、又’於本發明，能採用複數個上述緩衝部相對上述搬 延路杈並聯連接之構成。 [發明效果] 根據本發明，能將搬送於搬送路徑之基板 緩，部之任意的收納部，且能在每一基板之任意的時= 予/以取出。因而，可變更基板之搬送順序，或未停止搬送 路k上之流動而使等待搬人之基板待機，且可抑制在 路徑上之基板之搬送停止。 【實施方式】 318984 7 丄 ’參照圖式說明本發明基板搬送裂置之一 此外’於以下之圖式，為了使各構件作為可辨識之大 小，而適當變更各構件之比例尺寸。 八 第1圖係顯示具備本實施形態之基板搬送裝置i盘制 私裝之基板處縣置s之概略構造的俯視圖: 如第1圖所示，基板處理裝置 P之基板搬送裝置1;對玻璃板？進行二：：··搬送破璃扳 ηι 双r連仃預定處理之製程笋罟 至P4’·以及在基板搬送裝置i與製程裝置至以之、間 進仃玻璃板P之交接之裝載器L1至。 如第係顯:理裝置1之機能構造的方塊圖。 至，ΡΓ 置8係具備基板搬送裝置卜 .二又=與裝载器LliL4電性連接之控制 .口丨L 又’基板處理襞置s全躺^ ‘ 以控制。 王體之動作係藉由控制部C加 基板搬送裝置1係具備：輪 •形成破璃板P之搬送路徑；以置_送部），係 個）缓衝裝置3(緩衝部3A至3D ^固（本貫施形態為4 位隔介裝載器（基板交接部）糸:搬达路徑之中途部 2(搬送路徑）成並聯連接。至4D而相對於輸送帶裝置 此處，參照第3圖至第 ， 第3圖係顯示緩衝梦罟广細說明緩衝裳置3。 4圖係緩衝裝置之要部的俯視圖。此外，第 夂w衣且d之則視圖。如 一 係具備基板£盒31 ;具有 ^寺圖式所示，缓衝裝置3 之搬送滾輪單元32;以及 2 324及手（hand)部326 及匣I升降機構33。 318984 搬送方向正交之方向隔著 # ^ Λ ^ ^ ^ η, ^ ㈣稍對向配置，在各基座321 k於基板拖运方向隔著間隔固定有 4個）輸送帶框架322。 〔本見她形心、為 在輸送▼框架322係透過轴承| # 自如地支㈣送滾輪324, ^承寺轴支持具323而旋轉 ,A ^ 亚且在此該等搬送滾輪324更 偏向與基板搬送方向正交 Αβ/0Ι ^ 又之方向（基板之寬度方向）的中央 ::广平面看來呈長方形狀之板狀手部⑽以令其長 ^向沿伸於與基板搬送方向正交之方向之方式加以支 得0 滾輪324係對於每—個輸送帶框架322於基板搬 :向隔著間隔並設有複數個（本實施形態為6個）。手部 係以-端支持之狀’態被支持於輸送帶框架奶，以使前 述手部326位於比該等搬送滾輪咖猶微低的位置。 又’搬送滾輪324及手部326往基板_31内之插入 /技出，係藉由使一體固定於各輸送帶框架犯2之基座3d 朝水平方向且與基板搬送方向正交之方向前進及後退之滾 輪往復動機構（省略圖示）來達成。 如第6圖所示，搬送滾輪324係具備：圓柱轴狀滚輪 ^體324a;以及分別外插於其前端部及基端部之基板搬送 邛324b與滾輪驅動齒輪325,來自驅動馬達（省略圖示）之 旋拎驅動力，係透過該滾輪驅動齒輪325傳達至搬送滾輪 324。基板搬送力係藉由該搬送滾輪324旋轉時所產生之基 ，搬送部324b與玻璃板P之摩擦力而產生，因此基板搬= 部324b之材質係選定相對於玻璃板ρ可獲得預定之摩擦力 318984 10 1331124 -滾輪324及手部326係位在拔出基板匣盒31外之位置。 . 從該狀態起，首先，驅動匣盒升降機構33而升降基板 匣孤31以使4人搬入玻璃板p之架段（以下稱搬送預定段） .位在搬送滾輪324及手部326之前進移動目的地。此時， 對應搬入預定段之基板支持部312，係定位成比搬送滾輪 324稍低。 二繼之，驅動滾輪往復機構，使搬送滾輪324及手部326 前進以插入基板匣盒31内。 鲁严，然後，自达氣鼓風機經過管路及搞合器將屢縮空氣送 氣至手部326時’該壓縮空氣係自開口於手部挪上面 6A之▲出孔327a朝上方噴射。藉此，被搬入之玻璃板p .與手部326上面遞之間形成有空氣浮上層，被搬入之玻 .璃板P之中’比被搬送滾輪324所支持之下面兩側緣部

Pa、Pb更靠近基板中央之部分pe，即可透過該空氣浮上層 而以非接觸的方式被支持。 θ 籲之後，驅動驅動馬達，將該旋轉驅動力透過滾輪驅動 =輪325傳達至搬送滾輪324，使搬送滾輪324繞著其轴 如此，移送至基板£盒31之上流側之玻璃板ρ，俜夢 由搬达滾輪324對於玻璃之下面兩側緣部^、此之^ 2產生之摩擦力’而被賦予朝搬送方向前方之搬送力並 被搬入基板E盒31内。 —此時，玻璃板p之下面兩側緣部Pa、pb，係藉 方疋轉自如地接觸之搬送滾輪324而由下方直接予以支持。 318984 12 1331124 相對於此，比搬送滾輪324與下面兩側緣部 •，接蝎部分更靠近基板中央之部分Pc，係藉由將供應至手 部^26之壓縮空氣從喷出孔327a予以喷射，而隔著形成在 搬U滾輪324之頂部與設在比其稍低位置之手部326之上 面326Α之間的段差所產生之間隙裡的空氣浮上層而以非 接觸的方式被支持。 當玻璃板Ρ完全搬入基板匠盒31時，驅動匿盒升降機 =33以使基板匿盒31上升，將業已被搬入之玻璃板ρ放 且至基板S盒31之基板支持部312，並且遮斷自送氣鼓風 機至手部326之送氣。 然後，在玻璃板Ρ自搬送滾輪324分離時，（亦即將玻 -璃板Ρ完全放置至基板支持部312時）驅動滾輪往復動機 •構，使搬送滾輪324及手部326後退以自基板匡盒31拔 出。以上為搬入動作之一例。 接者，說明將儲存在基板匣盒31内之任意架段的玻璃 馨板Ρ予以搬出時之順序。 首先，驅動匣盒升降機構33而升降基板匣盒31，以 使儲存有預定搬出之玻璃板ρ之架段（以下稱搬出預定段） 位在搬送滾輪324及手部326之前進移動目的地。此時， 對應於搬出預定段之基板支持部312係定位成比搬送滾輪 324稍高。 接著，驅動滾輪往復動機構，使搬送滾輪324及手部 326前進以插入基板匣盒31内後，開始送氣，並驅動匣盒 升降機構33以使基板匣盒31下降，而將預定搬出之玻璃 318984 13 1331124 用升降機構33對合基板e盒31與搬送滾輪324之高产位 置後，將搬送滾輪324往基㈣盒31之外内以水平方=拔 出/插入，藉此，即使不使用多關節機器人，亦能相對於兵 板I納節距較窄的基板Μ盒將玻璃板p任意地搬出入。、土 土.並且，該搬出入中’係始終以手部326使玻璃板p之 罪k 土板中央之。P分pc藉空氣浮上而以非接觸的方式予 =支持’因此對於玻璃板p之接觸係形成為僅限於插入有 "•送滾輪324的下面兩側緣部pa ' pb。 非僅藉由搬送滾輪324予以支 反並 纟接觸的方式T以支持，因此亦能極力縮短直接接 觸於玻璃板P之搬送滾輪324之長度。 接 33、： = 於本實施形態中，藉由11盒升降機構 搬送滾輪324及年·*[? —ρ . 之架段且可存取，並亦；於其：將玻璃板？收納於任意 之門透 、亦Τ於基板匣盒31與輸送帶裝置2 笋：二Ϊ ⑷至40)將玻璃板？進行交接。亦即， 猎由匣盖升降機構33、搬 發明之基板搬出入部。輪324及手部326，構成本 璃板係亦具有可作為以非接觸之方式支持玻 碉板F之支持部的功能。 回到弟1圖，樂I芽g駐里η， 形成裝置、卿置及二至P 4係為洗淨裝置、薄膜 各製程裝置N至；置#種處理装置。該等之 板p搬人之基板搬/各在同一南度具有將處理前之玻璃 板搬出口二與將處理後之玻璃板P搬出之基 各製程裝置P1至Μ之基板搬入口及基板 318984 15 搬出口係透過裝載哭τ 1 3 τ 此外，各與輪送帶裝置2相連接。 各基板搬入口與基板 可，為不同亦可。不士 王1马冋—鬲度亦 由未圖示之升降機^^^载⑽至⑽為可藉 …基板=ί而::之構成，藉此能在各基板搬 再者，裝置2之間交接麵板Ρ。 再者基板故入口與基板搬出 係因應各高度而將輪送帶裳置於複數段上；’ 置，藉此亦能提高搬送效率。 下側輸送帶裝置之間，▲ 側輪廷f裝置與 可。 D 了乂接破璃板P之升降輸送帶亦 外’在製程裝置P1至P4設置兼具基板搬入口盘基 板搬出口之基板搬出入口亦可。 兮望/、基 為全部同-高度亦可，不為同一亦可/寺基板搬出入口 置P1H上職成之基板處理裝置s中，根據各製程裝 ^要求及預先自外部取得之玻璃板資訊，控制 > Ρ Ί斷疋否將緩衝裝置3之上流側搬送而來之破璃板 收納在任一緩衝裝置3A至3D之任-的架段311，且 根據該判斷將玻璃板以文納在緩衝褒置^至3])。又，控 制部C係因應各製程裝置pup4之要求，將收納在架段 3:1之玻璃板p搬出，並自基板搬入口透過裝載器u至w ^至預疋之衣私裝置至H。此外，於各製程裝置pi 至P4處理後之玻璃板p，係自基板搬出口透過裝載器li 至L4交接至輸送帶裝置2後，予以搬送至外部。 根據如上述本實施形態之基板搬送裝置i，能將搬送 318984 16 1331124 ^輸运帶裝置2之玻璃板p，暫時收納在緩衝裝置3之任 ^=川，且能將每-玻璃板P在任意的時點（由各製程 f至P4所要求之時點）取出。因而，可變更玻璃板P 之搬达順序，或不停止搬送路徑 L動而使等待搬入之 玻璃板P待機’而可抑制在搬送職上之麵w 止。 了 又，根據本發明之基板搬送裝置丨，複數個緩衝裝 相對於輪送帶裝置2而並列連接。因&，& 按因此，例如因應所搬入 衣王、置P1至P4的種類來分配玻璃板p等能更有彈性 的進行玻璃板P之搬送。此外，藉由具備複數個緩衝裝置 3’可暫時堆積更多之玻璃板p，且可更抑制在搬送路徑上 之玻璃板P搬送停止。 以亡，雖一面參照圖式一面說明了本發明之基板搬送 、置之敉佳的實施形態，但本發明當然並未限定於上述實 施形態。於上述實施形態所示之各構成構件之諸形狀及二 合等係為一例，於未脫離本發 求等可為各種變更。 月主日之㈤圍而根據設計要 :如，於上述實施形態中，說明了手部咖係構成為 /、有作為可將玻璃板P非接觸地支持的支持部之功能。铁 而’本發明係並未限定於此，㈣，如第7圖所示，作成 將構成各架段311之基板支持部312構成為板狀，自形成 在基板支持部312之喷出孔327aofr射壓縮空氣之構成亦 可。如上述之情況，係變成基板支持部312係作為可將玻 璃板p非接觸地支持的支持部而作用。此外，如上述之情 318984 17 1331124 況，如第7圖所示，未設置手部326而將搬送滾輪固 定在輸送帶框架亦可。 又，上述實施形態中，說明了使用玻璃板作為基板之 例。然而，本發明係並非限定於此者，例如亦能使用半導 體晶圓作為基板。 又’所設置之緩衝裝置3數量係並非限定為4個，而 為1至3或4個以上亦可。 [產業上之可利用性] 根據本發明，將基板單片式搬送之基板搬送裝置中， 可變更基板之搬送順序，或未停止搬送路徑上之流動而使 搬入等待之基板待機。結果，可抑制在搬送路徑上之基板 搬送停止，且提高基板處理装置之處理效率。 【圖式簡單說明】 第1圖係顯示具備本發明一實施形態之基板搬送裝置 之基板處理裝置之概略構造的俯視圖。 第2圖係顯示具備本發明一實施形態之基板搬送裝置 之基板處理裝置之功能構造的方塊圖。 第3圖係顯示緩衝裝置之要部的俯視圖。 第4圖係緩衝裝置之前視圖。 第5圖係緩衝裝置之側視圖。 第6圖係搬送滾輪之要部放大剖視圖。 第7圖係顯示緩衝裝置之變形例的俯視圖。 【主要元件符號說明】 1 &板搬&裝1 2輸送帶裝置（輸送部） 318984 1331124 3(3A至3D)緩衝裝置（緩衝部） 4(4A至4D)滾輪（基板交接部） • 31 基板匣盒 -33 匣盒升降機構 311a 搬入口 311c 底部 321 基座 323 軸支持具 • 324a滾輪本體 325 滾輪驅動齒輪 326A握部之上面 327b 空氣通路 332 滾珠螺桿 C 控制部 32 搬送滾輪單元 311 架段（收納部） 311b 搬出口 312 基板支持部 322 輸送帶框架 324 搬送滾輪 324b 基板搬送部 326 手部 327a 喷出孔 331 托架 333 導執 L1至L4裝載器

Pb下面兩側緣部 基板處理裝置 p 玻璃板

Pc 靠近基板中央之部分 P1至P4製程裝置 318984 】9

Claims (1)

1. Ϊ331124 9|081g 號專#1 十、申請專利齡 l 一種基板搬送裝置，係具備： 搬送部，係將基板進行單片式搬送；以及 緩衝部，係設置在藉由該搬送部形成之搬送路徑之 位’並且將藉由該搬送部所搬送之該基板暫時堆 積後予以搬出； 該緩衝部係具備： 、基板厘盒，係以多段之方式具備可將複數片該基板 以水平姿勢收納之收納部；以及 基板搬出入部，係可存取於任意之該收納部並且 於該基板S盒與該搬送部之間進行該基板之交接； 並且’該緩衝部係相對該搬送路徑並聯連接。 2. 如申請專利範圍第1項之基板搬送裝置，其中，該緩衝 部具備手部，該手部係藉由往與該基板之搬送方向正交 之方向之往復運動而相對於該基板匡盒插入/拔出並 且具有可搬送該基板之搬送滾輪。 3. 如申請專利範圍第1項或第2項之基板搬送裝置，其 中’該緩衝部係具備可將該基板予以非接觸支持之支持 部。 4. 如申請專利範圍第1項或第2項之基板搬送裝置，其 中’複數個該緩衝部係相對該搬送路控並聯連接。 5. 如申請專利範圍第3項之基板搬送裝置，其中，複數個 該緩衝部係相對於該搬送路徑並聯連接。 20 (修正本）318984