TWI329607B - - Google Patents

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L329607 ·: 九、發明說明： ·: 【發明所屬之技術領域】 · 本發明係關於一種單片搬送例如半導體晶圓或平面顯 -不器用玻璃板等基板用的基板搬送裝置及基板搬送方法。 本案係根據2006年9月11日在日本提出申請之特願 2006-246134號而主張優先權，且將該内容援用於此。 【先前技術】 在設置於製造半導體裝置之工廠、或製造液晶裝置、 ^)P(電漿顯示器）、EL(電激發光）裝置等平面顯示器之工廠 等的基板搬送裝置中，係搬送半導體晶圓或玻璃板等之基 板，且使用裝載器或機械手臂等，在薄膜形成裝置、钱刻 裝置、試驗裝置等各種處理裝置、與搬送路徑之間進行基 板交接。在該種的基板搬送裝置中，基板一般係在被收ς 於可收容複數片基板之卡匣内的狀態下被搬送。 且說，近年來，基板隨著液晶電視等平面顯示器的大 畫:化等而大型化。因&，收容基板之卡s等亦大型化、 ，量化，隨之也使搬送速度降低，結果例如招來加工 存之增大等，而導致難以進行有效率的搬送。 了注目 ^因此，逐片高速地搬送基板之單片搬送就受到 (麥照專利文獻1 ) -58844號公報 (專利文獻1)曰本專利特開平9 【發明内容】 (發明所欲解決之問題） 與以卡匣進行 然而，在將基板以單片搬送之情形中 318995 5 1329607 搬送之情形相較，所要搬送的個體數會增加。因此，為了 -· 實現與以往同等或其以上之處理速度，就有必要更高速搬 送基板。 . 尤其是，主運送機（main conveyor)、與從該主運送機 呈水平分歧的分歧運送機之間的基板交接速度，在實現基 板之高速搬送上就變得非常重要。因此，期望有一種提高 主運送機與分歧運送機間之基板交接速度的技術。 本發明係有鑒於上面所述之問題點而開發完成者，其 * 目的在於提高主運送機與分歧運送機間之基板交接速度。 (解決問題之手段） 為了達成上述目的’本發明之基板搬送裝置’係具備： 主運送機，係單片搬送基板；分歧運送機，係從上述主運 送機水平地分歧；支撐部，係在上述主運送機上及上述分 歧運送機上使上述基板浮起並予以支撐；及基板交接部， 係使藉由該支撐部而浮起並受到支撐的上述基板，以不使 φ其姿勢產生變化之方式在上述主運送機與上述分歧運送機 之間進行交接。 依據該基板搬送裝置，則基板可藉由該支撐部而在主 運送機上及分歧運送機上浮起並受到支撐，且在該狀態下 以不使其姿勢產生變化之方式進行交接。 因而，基板能以摩擦阻力等於無之狀態在主運送機與 分歧運送機之間進行交接。 又，在本發明之基板運送裝置中，上述基板交接部係 可採用具有固持構件之構成’該固持構件係固持上述基板 6 318995 1329607 之外緣 向移動 同時可朝Jl述分歧運送機中之上述基板之搬送方 入 在本發明之基板運送裝置中 m ^ _ 一〜〜1 ,上迷支撐部係可採 ι，·，β工氣使上述基板浮起並予以支撐之構成。 其-人，本發明之基板搬送方法之特徵在於：使藉由 ，送機以單片方式被搬送之基板在上述主運送機上^同 =予以支撐；在上述主運送機上浮起並受到支樓之狀態的 述基板’係-面維持在從上述主料機水平地分歧之分 歧運送機上浮起並受到支撐的狀態，且 產生變化之方式進行交接。 之，、文勢 依據該基板搬送方法，縣板可在主 起而一面受到支撐，且一面唯持兮^ 面β 囬难if δ哀狀恕而一面以不使立坎 勢產生變化之方式交接至分歧運送機。 因而，基板能以摩擦阻力等於無 接至分歧運送機。 之狀態從主運送機交

其次’本發明之基板搬送方法之特徵在於：使在相對 於主運送機水平地分歧之分歧運送機上浮起同時受到支撐 的基板，維持浮起並受到切之狀態同時以不使姿勢產生 變化之方式交接至上述主運送機。 〜依據該基板搬送方法，則基板可在分歧運送機上一面 Ή而-面㈣支稽’且—面維持該狀態而—面以不使盆 安勢產生變化之方式交接至主運送機。 '、 因而，基板能以摩擦阻力等於無 交接至主運送機。 之狀態從分歧運送機 318995 7 (發明效果） 依據本發明’則基板能以摩擦阻力等於無之狀態，在 =機與分歧運送機之間進行交接1此，即使在使交 、度南速化的情況’亦不會因施加衝擊而發生基板損傷。 因❿，依據本發明，則可提高主運送機與分歧運送機 4之基板交接速度。 【實施方式】 • ^以下，茶照圖式，就本發明之基板搬送裝置及基板搬 :法之声' 知方式加以說明。另外，以下之圖式中，為 了將^構件形成可認識之大小，而適當變更各構件之縮尺。 第1圖係顯示本實施方式之基板搬送裝置丨的示意圖。 、，基板搬送裝置1係在製造液晶裝置、PDP、EL裝置等 平面顯示器之工廠中，逐片單月搬送玻璃板p的裝置，其 具備主運送機10、相對於主運送機10而在水平面内分歧 的複數個分歧運送機2 〇、及統括性控制該等運送機之未圖 _示的控制部等。 主運送機10係一面水平載置玻璃板p，而一面朝沿著 其表面之方向以固定速度進行搬送的裝置，其構成包含以 空氣使玻璃板P浮起並以非接觸方式支撐的空氣浮起單元 12(支撐部）及運送機部15等（參照第2及3圖）。亦即，本 貫施方式中’本發明之支撐部的功能被組入於主運送機1〇 之一部分中。 、~ 主運送機10係在工廠之無塵室（clean r〇〇m)内之地板 面上配置成大致直線狀。然後，在主運送機1〇之複數部位 318995 8 1329607 端係相對於主運送機】0連結成大 上，分歧運送機20之 致正交且水平。 •,=支運送機20與主運送機】〇同樣地1 置玻璃板卜而—面朝 =也h-面水平載 等。亦即，本實施ΐ =二Μ單元12、及運送機部15 分歧運送機20之一部^令。發明之支樓的功能被組入於 更且，分歧運送機20，係為 上之玻璃板Ρ收納於分歧以機了主運送機10 歧運送機20上之破璃板p六 或反之將破搬送於分 工運运機10與分歧運送機2 敌-備在 交接部40(基板交接部）。 s W力板P交接的板 穿置機20之另一端側，配置1連結有薄膜形成 裝置5姓刻裝置6、試驗》罟7璧々#a 形成h S 各種處理裝置。在薄膜 工、 11裝置6、試驗裝置7等各種處理裝置，分 別平行配置有二個分歧運送機2〇。 例如’連結於薄膜形成裝置5的分歧運送機21、22(分 7機20)之中’分歧運送機21係將玻璃板p搬入薄膜 形成裴置5用的運送機’分歧運送機22係將玻璃板p從薄 膜形成裝置5搬出用的運送機。 同樣地，分歧運送機23、25(分歧運送機20)係對蝕刻 裝置6、試驗裝置7搬入玻璃板p用的運送機，而分歧運 送機24、26(分歧運送機2〇)係從蝕刻裝置6、試驗裝置了 搬出玻璃板P用的運送機。 3IS995 9 ijzyou/ 另外對各種處理梦罢你v丄 .”、⑸係相對於搬：二玻璃板…分歧運送機 ^置在…㈣二^之分歧運送機22、24、 二不主運送機1()之詳細構成的示意圖。 浮起，而一二主面運上送機10係一面以空氣使玻璃板p 儀複數個進行搬送的裝置，其具 干凡以及運运機部15等。 上表係具備平面狀之上表面的構件，在該 的複數個流體喷出之密度設有喷出麗縮空氣用 矩形狀，且設===單元12係形成俯視呈 致。又，空氣浮起單元;玻璃板P之搬送方向一 玻璃板P之寬度方向（與搬送(寬度方向）f形成比 然後，藉由從未圓示之壓n方向）稍窄。 單元12供給_空氣，心?；；^以射氣浮起 η出。藉此，可使載置於體喷出孔13 錯由從各流體喷出孔13脅出之 2玻璃板ρ 觸方式予以支撐。 、'工軋而汙起，並以非接 係具備複數個較子(·_、及被安裝 =該硬數⑽子16周圍的皮帶17。又 女裝 有複數個突起18以均等之間 皮▼ 17之表面， 運送機W送方向）上 4皮帶17之長邊方向（主 ρ之15係在空氣浮起單幻2之兩側沿著玻璃板 方向配置。然後，—對運送機部15之配置間隔（距 318995 1329607 離），係與玻璃板p之寬度大致相同。 運送機部15之各輕子16的上端細位 内之方式而配置，Μ 士工 < 丄 十面 且稭此而設於皮帶17之表面的突起18 以位於比空氣浮起單元 大〜Μ如 „㈣ 12之上表面稍微上方的方式而配 置。然後’突起係頂接於被載置於空氣浮起單元^ 之玻璃板P下面的外緣（寬度方向之兩端側）。 之旋之各輕子16係依未圖示之馬達等以相同 =向旋轉。藉此，可-面藉由空氣浮起 早7L Μ非接觸方式切玻璃板 15沿著空氣浮起單元12而進行搬送。㈣由運-機部 又，運送機部15俦龚ώ _ 朝上下方向移動。错由未θ不之升降裝置而構成為可 在藉由升降裝置而使運 起！8係位於比空氣 5上升的情形中，各突 情形中，運送機部15之==:面稍微上方。在該 面，而可搬送破璃板Ρ。 0了、於破璃板Ρ之下表 方面’在使運送機部15下降 心位於比空氣浮起單元12之上表=各犬起 運送機部15 f久办i 1 更下方。在該情況’ 會變成在空氣..二)會從玻璃板p離開，而玻璃板p 狀態。因：：：早疋12上完全以非接觸方式被支撑的 在空氣浮對玻璃板？施加外力，破璃板P就會 然:= 停止的狀態受到保持。 運送機部料結複數個空㈣起單幻2與 所構成。亦即’各空氣浮起單元12與各運送 318995 1329607 機部15係相互接近’並排配置於水平$向。 浮起單元12之上表面（載置面） 了各空氣 内。 欠成位於同一水平面 第3圖係顯示分歧運送機2〇之構成的示音圖 如該圖所示，分歧運送機2〇 備空氣浮起單元12盥、重…地 〇王連运機1〇同樣具 顶工乱汙匙早兀1 2與運廷機部丨5， 峨p在主運送機1。與分歧運送機二行::: 板交接部40。 仃乂接的 :又接P 40之構成’係包含一對線性致動器 以線性致動器42所連結驅動而往復移動的固 寻…對線性致動H 42係在分歧運送機2()之 元12與運送機部15之間，沿 及，于I早 又，板交接部40係構成為：各固持構件44係在 送機2〇之空氣浮起單元12上表面大致相同高度的水平面 内，可從分歧運送機2G之—端朝向另—端侧可於分歧運送 機20中之玻璃板P的搬送方向(玻璃板？之寬度方向)移動 達與玻璃板P之寬度方向相同的長度份。 。。然後’-對固持構件44係在分歧運送機2〇之空氣浮 起單7012之長邊方向（玻璃板p之搬送方向）被控制為恒常 地位於相同位置。 固持構件44係、構成為可固持玻璃板p之外緣部分，具 體而言’係構成為可固持玻璃板p之寬度方向的一邊附 迎。亦可藉由吸附保持破璃板p之側面而固持玻璃板p， 或可藉由挾持玻璃板p之上面與下面而固持玻璃板p。 318995 1329607 错由該種構成，板交接部4G可藉由—面以—對固持構 件44固持玻璃板P之外緣，而一面在分歧運送機20之一 端附近往復移動，以不使玻璃板P之姿勢產生變化之方式 將玻璃板P在主運送機10與分歧運送機2〇之間進行交接。 部40=2本實施方式巾，本發明之基板交接部（板交接 邻40)係被組入於分歧運送機2〇中。 說明其次’就基板搬送裝置！之動作（基板搬送方法）加以 機1G上之玻接至分歧運送 機= 情況（分歧運送機2卜23、25之動作）加以說明。 單元;2供二主運达機10及分歧運送機2〇之各空氣浮起 〜空氣’並使I縮空氣從各流體噴出孔13 噴出。又，驅動運送機部15,以便使各輥子16:: 奴轉逮度旋轉。此時，事先使各運送 升降裝置而上升。 ΰ精由未圖7F之 然後’在主運送機.1G之上游側，藉由 卜即可單片搬送玻璃板P。另外， 載置玻璃板 邊方向與搬送方向一致的方式，被載置於主運如I以其長 執置瓦主運送機10上。 虽被載置於主運送機J 0上之 送機20之分歧邛八β± ^ 多動至與分歧運 5 ν Ρ刀守，板父接部4〇之固持構件44合穸叙 至分歧運送機2。之一端，而固 ：：二私動 的外緣。與此同時，主運 之麵板Ρ 機部15係藉由未圖示之升降裝置而^運送機心運送 然後，藉由使固㈣件44沿Μ❹ 31S995 13 1J29607 P可將玻璃板p從主運送機i Q上搬送至分歧運送機2〇上。 虽玻璃板P被搬送至分歧運送機2〇上 .10及分歧運送機2。之運送㈣15,會再次 運、機 升降裝置而上升。與此同時，藉由板交:再 I4:玻璃板P所進行之固持被解除，玻璃板P就可藉由 歧運送機20朝離開主運送機10之方向被搬送。错由刀 接至可藉由分歧運送機20而被搬送，並交 齡理裝γ形成裝置5、_裝置6、試驗裝置7等之各種處 試驗處理裝置（薄膜形成裝置5、糾裝置6、 "f之玻璃板ρ，在各處理裝置中被施予指定處 里之後，會被搬出至各處理裝置之外部。 如此’在將被搬送於主運送機1G上 ::；!送機2°時’玻璃…在主_。上浮 之方式交接至分歧運送to sw不使其姿勢產生變化 因而’玻璃板Μ以摩擦阻力等於無之 機10父接至分歧運送機20。 崎、 其次，就將玻料ρ從分歧運送機2G交接至主運 的：況(分歧運送機22、24、26之動作)加以說明。 作，=璃板P從分歧運送機2()交接至主運送機μ的動 係使將玻璃板Ρ從主運送機1〇 的動作大致反轉者。 X接至分歧運达機20 首先，對主運送機1〇及分歧運送機2〇之各空氣浮起 Μ 31S995 丄 / 單元12供給壓縮空υ 虱亚使壓縮空氣從各流體噴出孔13 ，出。又’驅動運送拖 ,,,,^ ^ 、機。Ρ 15，以便使各輥子16以固定之 方疋轉速度旋轉。此時，畜 升降裝置而上升。先使各運送機部15藉由未圖示之 筆置^各2板Ρ從薄膜形成裝置5、姓刻裝置6、試驗 装置7荨各種處理n筈六拉s、， 由分歧運送機2〇所搬^並；?運送機20。玻璃板p係 、亚被私動至分歧運送機20之端 板P的外緣（與搬送方向相反側之側面附 攻）。 其次’將固持構件Μ、VL:^八 私叙*八+&者分歧運送機20移動，藉由 夕動至刀歧運送機2〇之一端，祐殖 2〇上搬送至主運送機1〇上。璃板P即可攸分歧運送機 主運然=除固持構件44對破璃板？之固持。與此同時， 主運达機10及分歧運送播川 、 之升降裝置而上升—卩15係藉由未圖示 破續=之主二送機^之運送機部15的突起⑺會頂接於 m 表面的見度方向兩端，而玻璃板p會被交接、 且早片搬送至主運送機1〇。 二此’在將玻魏？從分歧運送㈣交接至主 形中’玻璃板Μ在分歧運送機2Q上料並受: 牙’且-面維持該狀態而—面以不使其姿勢產生々 万式被交接至主運送機10。 〜 因而，玻墙板P能以摩擦阻力等於無之狀態從分歧運 3J8995 )5 U29607 — 送機20交接至主運送機I 〇。 ..如以上說明般，本實施方式之基板搬送裝置係具備·· ' 運C機〗其以單月方式搬送玻璃板Ρ;分歧運送機 •其相對於主運送機〗〇呈水平分歧，·空氣浮起單元12，其 在主運送機10上及分歧運送機20上使玻縣Ρ浮起並’予 x支撐，及板父接部4〇，其對藉由該空氣浮起單元〗2而 斤起亚受到支撐的玻璃板p以不使其姿勢產生變化之方式 _在主運送機10與分歧運送機20之間進行交接。 〜、依據該種本實施方式之基板搬送裝置卜則玻璃板p =以摩擦阻力等於無之狀態在主運送機ι〇與分歧運送機 、、之間進行交接。因此，即使在使交接速度高速化的情 况，亦不會因施加衝擊而發生玻璃板p之損傷。 因而，依據本實施方式之基板搬送裝置丨，可提高主 運送機10與分歧運送機2G間之玻璃板p的交接速度。 ft 上面所述之實施方式中所示的各構成構件之諸 明1 或是動作順序等係為其一例，在未脫離本發 主旨的範圍内仍可根據設計要求等而做各種變更。 =如、，上述實施方式中，雖已就使用壓縮空氣使玻璃 ’于起亚予以支撐的情況加以說明’但是並不限於此。 妙’亦可藉由將傳播於空間之振動波賦予玻璃板P而使 =，上述實施方式中’運送機部15係構成為藉由未圖 升降裝置而下降，藉此在主運送機10及分歧運送機 之間交接玻璃板P時，可防止麵板p與運送機部15 31S995 16 1329607 j 接觸。然而，本發明並不限於此，亦可取代運送機邱邝 下降，而藉由空氣浮起單元12上升，防止破璃板？與 機部15接觸。在該情況，交接側之運送機㈣氣浮适 12上表面，係位於與被上升後之空氣浮起單元a 疋 面成同一平面的位置。 ’表 以』述式中，雖已就單片搬送破璃板Ρ之情況加 =月，但疋搬送之對象並不限於此。例如 導體晶圓等較薄的板狀構件則均可搬送。 晋，、為+ =面所述之實施方式中，雖已就在分歧 -端側’配置連結薄膜形成裝置5 = 7等各種處理裝置的情況加以說明，但是二= 亚不限於此。例如，亦可為 ： 一竭，更連結有分歧運送機2Q的情^之下游側（另 又二除了缚膜形成裝置5、蝕 等各種處理裝置以外，介π# $ 夏t)忒驗裝置7 板"基板的倉儲(:二^ 上面所述之實祐古a W置6、試驗裝置;：已二在:膜形成裝置5、 璃板p用之分歧運送機2】^種處理震置中，配置搬入玻 歧運送機22、24、26 n 25與搬出玻璃板P用之分 置並不限於此。例如，亦:'兄加以5兒明，但是上述裝置之配 p進行搬入及搬出的情'況可為一個分歧運送機20對玻璃板 (產業上可利用性） .. 依據本發明，在 片孤送例如半導體晶圓或平面顯示 3J8995 17 !329607 盗用玻璃板等基板的情形中’可將基板以摩擦阻力等於無 之狀態在主運送機與分歧運送機之間進行交接。因此，即 使在使交接速度高速化的情況，亦不會因施加衝擊而發生 基板損傷。因而，可提高主運送機與分歧運送機間之基板 交接速度。 【圖式簡單說明】 第1圖係顯示本發明一實施方式之基板搬送裝置的示 意圖。 第2圖係顯示主運送機之詳細構成的示意圖。 第3圖係顯示分歧運送機之板提交部之構成的示意 主要元件符號說明】 玻璃板（基板） 1 基板搬送裝置 薄膜形成裝置 6 姓刻裝置 試驗裝置 10 主運送機 空氣浮起單元（支標部） 各流體噴出孔 15 運送機部 輥子 17 皮帶 突起 、2卜 22 、 23 、 24 、 25 '26 分歧運送機 板提交部（基板交接部） 線性致動器 44 固持構件

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Claims (1)

1329607 1329607 第 051 申Ift (条漓4 S修嫂|正替換頁 :十、申請專利範圍·· -1 · 一種基板搬送裝置，具備： ' 纟運送機，係單片搬送基板； -· 分歧運送機，#你I·、+、+ m 支撐部，係在上述主、軍% 水平地分歧； # I- 'f A - 主運迗機上及上述分歧運送機上 吏处基板淨起並予以支撐；及 的上Ϊ美拓接°P係使藉由該支撐部而浮起並受到支撐 卜十.U 土以不使上述基板之姿勢產生變化之方式在 上述十主=送機與上❹歧運送機之㈣行錢； 上诚H 部係具有固持構件，該固持構件係固持 餘土之至少—側面的外緣，同時可朝上述分歧運送 機搬送上述基板之方向移動。 2·如申請專利範圍帛！之基板運送裝置，其中，上述支撐 部:使用壓縮空氣使上述基板浮起益予以支撐。牙 3. —種基板搬送方法，包括： 使藉由主運送機以單片方式被搬送之基板在上述 主運送機上浮起同時予以支撐； 攸在上述 使固持上述基板之至少—侧面外緣的固持構件朝 從上述主運送機水平地分歧之分歧運送機搬送上述基 板之方向移動，藉此使在上述主運送機上 ^ 掠之狀態的上述基板維持在分歧運送機上浮起^受到 支撐的狀態，且同時以不使姿勢產生變化之方式進行六 接。 4. 一種基板搬送方法，包括： (修正本)318995 19 1329607 厂_ ； 冗1，9:離雙興替换頁 • · 在相對於主運送機水平地分歧之分歧運i機上i . 基板浮起並予以支撐； . 使固持上述基板之至少一側面外緣的固持構件朝 上述分歧運送機搬送上述基板之方向移動，藉此使在上 述分歧運送機上呈浮起狀態之上述基板維持浮起並受 到支撐之狀態且同時以不使姿勢產生變化之方式被交 接至上述主運送機。 20 (修正本)318995