CN107316834A - 基板传送装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种基板传送装置，通过将需要传送的基板浮于所述气浮垫上，以通过所述气浮垫支撑所述基板。使得所述基板与所述气浮垫并不进行直接接触，因此，不会在所述基板上产生印迹，从而保证所述基板的品质。并且，由于所述基板一侧通过所述固定件固定。因此，在所述基板的传送过程中，不会产生基板的偏移而破片的情况产生，从而安全有效的保证所述基板的传送，降低生产成本。

Description

基板传送装置

技术领域

本发明涉及一种显示技术领域，尤其涉及一种基板传送装置。

背景技术

目前，在显示面板的制作工艺中，所述显示面板的基板需要经过多次制成工艺制成，因此，需要将基板在各制成设备间进行传送。现有技术中，所述基板的传送过程中一般都通过机械臂进行传送，以完成基板的制作。如图1所示，现有技术中的所述机械臂一般包括支撑件10，所述支撑件10包括多个间隔设置的支撑齿牙11，传送所述基板20时，将所述基板20放在多个所述支撑齿牙11上，通过所述机械臂的移动完成所述基板20的传送。但是，所述机械臂与所述基板进行接触，容易在所述基板上产生印迹，从而进一步影响所述基板的品质。并且，所述机械臂在运动过程中会由于精度异常或偏转而不可避免的产生一定的震颤，从而使得支撑于所述机械臂上的基板产生位置偏移而破片，从而影响机台的产能，增加生产成本。

发明内容

本发明的提供一种基板传送装置，可以能够安全有效的保证所述基板的传送，降低生产成本，并保证所述基板的品质。

所述基板传送装置包括传送件、气浮垫及固定件，所述气浮垫设于所述传送件上并随所述传送件的传动而移动，所述基板浮于所述气浮垫上，所述固定件用于固定所述基板并使所述基板沿所述传送件的传动方向进行传送。

其中，所述气浮垫上设有多个间隔阵列设置的气孔，气体从所述气孔溢出，以使设于所述气浮垫上的基板浮起。

其中，所述气浮垫为多孔碳纤维垫。

其中，所述基板传送装置还包括鼓气件，所述鼓气件设于所述气浮垫朝向所述传送件的一侧，所述鼓气件向所述气浮垫鼓气，所述鼓气件鼓出的气体从所述气孔溢出，且所述气流方向为所述气浮垫朝向所述传送件的一侧至所述气浮垫背离所述传送件的一侧。

其中，所述基板传送装置包括一联动杆，所述联动杆一端与所述固定件固定连接，以控制所述固定件的移动。

其中，所述联动杆为三轴联动杆，以控制所述固定件的X、Y、Z轴三个方向的移动。

其中，所述固定件包括固定板及间隔固定于所述固定板上的多个固定部，所述联动杆的一端与所述固定件的固定板进行固定连接。

其中，所述固定部为真空吸附垫或者固定夹。

其中，所述基板包括有效区及围绕所述有效区边缘并与所述有效区连接的无效区，所述固定件固定所述基板时固定于所述基板的无效区。

其中，所述传送件包括驱动部及与所述驱动部连接的承载部，所述驱动部驱动所述承载部传动，所述气浮垫设于所述承载部上或将所述气浮垫作为所述承载部。

本发明提供的所述基板传送装置，通过将需要传送的所述基板浮于所述气浮垫上，通过所述气浮垫支撑所述基板。使得所述基板与所述气浮垫并不进行直接接触，因此，不会在所述基板上产生印迹，从而保证所述基板的品质。并且，由于所述基板一侧通过所述固定件固定。因此，在所述基板的传送过程中，不会产生基板的偏移而破片的情况产生，从而安全有效的保证所述基板的传送，降低生产成本。

附图说明

为更清楚地阐述本发明的构造特征和功效，下面结合附图与具体实施例来对其进行详细说明。

图1是现有技术中所述基板传送装置的结构图；

图2是本发明实施例的所述基板传送装置的结构示意图；

图3是本发明实施例的所述基板传送装置进行基板传动时的截面示意图；

图4是本发明另一实施例的所述基板传送装置进行基板传动时的截面示意图。

具体实施例

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，不能理解为对本专利的限制。

请一并参阅图2及图3，本发明提供一种基板传送装置100，所述基板传送装置100可以用于显示面板的制造工艺中实现需要传送的基板20的传送。所述显示面板可以为液晶面板或者有机发光二极管显示面板、高分子发光二极管显示面板。

所述基板传送装置100包括传送件30、气浮垫40及固定件50。所述气浮垫40设于所述传送件30上并随所述传送件30的传动而移动。所述基板20浮于所述气浮垫40上，通过所述气浮垫40支撑所述基板20。所述固定件50用于固定所述基板20并使所述基板20沿所述传送件30的传动方向进行传送。

所述传送件30为传送带或者传送导轨。所述传送件30连接于所述基板20相邻的两个制成工序的制成设备之间，从而通过所述传送件30将所述基板20从一个制成工序移动至另一制成工序中。所述传送件30包括驱动部及与所述驱动部连接的承载部，所述驱动部驱动所述承载部传动。本实施例中，所述气浮垫40层叠于所述传送件30的承载部的上方，并随所述承载部的传动而进行传动。可以理解的是，所述气浮垫40可以作为所述承载部，与所述驱动部进行连接。本实施例中，所述传送件30为传送带，所述驱动部为驱动轮，所述承载部为传动皮带，所述传动皮带连接与所述驱动轮上并通过所述驱动轮驱动，所述气浮垫40层叠于所述传动皮带的上方并随所述传动皮带的传动进行传动。可以理解的是，可以将所述气浮垫40作为所述传动皮带传动皮带。

本实施例中，所述气浮垫40为长方形片状结构。片状结构的所述气浮垫40固定于所述传送件30上。所述气浮垫40在所述传送件30运动时，在所述传送件30的带动下沿所述传送件30的传动方向进行运动。所述气浮垫40上还包括多个间隔阵列设置的气孔41。所述气浮垫40朝向所述传送件30的一侧设有鼓气件(图中未示出)，所述鼓气件向所述气浮垫40侧进行鼓气，鼓出的气体从所述气孔41中溢出，从而形成从所述气浮垫40背离所述传动件30的表面向远离该表面流动的气流。所述基板20设于所述气浮垫40上时，所述气流支撑所述基板20，使所述基板20远离所述气浮垫40，从而使所述基板20浮于所述气浮垫40上。所述气孔41为上大下小的圆锥台结构，从而使得所述鼓气件鼓出的气体能够均匀的分布于所述气浮垫40上，从而使得所述基板20各个位置能够得到均匀的支撑，防止所述基板20的损坏。并且，为了进一步保证所述基板20的各个位置能够得到均匀的支撑，所述起伏垫40的大小大于或等于所述基板20的大小。本实施例中，所述气浮垫40为多孔碳纤维垫。所述多孔碳纤维垫由多孔碳纤维材料制成，所述多孔碳纤维材料具体多孔结构，从而不需要人工在所述气浮垫40设置所述气孔41，从而降低生产成本。进一步的，所述多孔碳纤维材料具有强度高、质量轻的特点，因此，能够在保证使用强度的同时尽量实现所述气浮垫40的轻薄化，从而进一步的降低传送成本。

所述固定件50包括固定板51及间隔设于所述固定板51上的多个固定部52。所述固定板51为长条状，长条状的所述固定板51的长度与所述气浮垫40垂直所述传送件30的传送方向的两条平行边的长度相同，从而保证能够对浮于所述气浮垫40上的所述基板20实现均匀的固定。

所述固定部52一端与所述固定板51固定连接，所述固定部52另一端可拆卸固定于所述基板20的一侧，从而实现所述固定件50对所述基板20的固定，进而防止所述基板20刚设于所述气浮件40上方时，所述气浮垫40各部分的气流不均匀而可能导致所述基板20位置偏移甚至破片的情况产生。所述基板20还包括有效区及围绕所述有效区边缘并与所述有效区连接的无效区，在所述基板20制作完成以后，所述无效区需要被去除。因此，本发明中，多个所述固定部52间隔固定于所述基板20一侧的无效区，从而防止所述固定件固定所述基板20时，在所述基板20上留下痕迹，从而影响所述基板20的品质。并通过多个所述固定部52间隔固定于所述基板20一侧，使得所述基板20的一侧受力均匀，防止所述基板20受力不均产生破裂。

所述固定部52可以为真空吸附垫或者固定夹。本实施例中，所述固定部52为真空吸附垫。所述真空吸附垫包括一吸盘53，所述吸盘53由橡胶材料制成。所述吸盘53底部设有一气孔(图中未示出)。所述吸盘53接触所述基板20时，通过所述气孔将所述吸盘53抽真空，从而使得所述吸盘53与所述基板20固定。

请参阅图4，本发明另一实施例中，所述固定部52为固定夹。所述基板20与所述固定部52接触时，所述固定夹夹紧所述基板20，从而实现所述固定夹与所述基板20的固定。进一步的所述固定夹与所述基板20接触的一面上还包覆有缓冲件54。本实施例中，所述缓冲件54为橡胶，通过所述缓冲件54防止所述固定夹对所述基板20的损伤。

进一步的，请重新参阅图2，所述基板传送装置100还包括一联动杆60。所述联动杆60一端与所述固定件50的固定板51固定连接，另一端可以根据实际需要固定于所述传送件的任意位置。例如，固定于所述传送件的上方，或者固定所述传送件的两侧等。通过所述联动杆60与所述固定件50的固定板51固定连接，以控制所述固定件50的移动，并通过所述固定件50的移动进一步控制所述基板20的移动。本实施例中，所述联动杆60为三轴联动杆，即通过所述联动杆60能够实现所述固定件50的X、Y、Z轴三个方向移动的控制。其中，定义所述X轴方向为所述传送件30的传送方向；所述Y轴方向为水平面上垂直所述传送件30的传送方向；所述Z轴方向为竖直面上垂直所述传送件30的传送方向。当所述基板20位于所述气浮垫40上方时，所述联动杆60控制所述固定件50沿Z轴进行移动至所述基板20所在平面，并进一步控制所述固定件50沿X、Y轴进行移动至所述所述固定件50的固定部52均匀分布并固定于所述基板20一侧。并通过控制所述固定件50沿X轴方向的移动，使所述固定件50相对所述气浮垫40静止，从而实现所述基板20得到所述气浮垫40的稳定支撑。可以理解的是，所述联动杆60还可以为双轴联动杆、四轴联动杆等，保证所述联动杆60能够方便的实现所述固定件50各个方向运动的控制。或者，所述联动杆60还可以滑动固定于一沿所述传动件30传动方向设置的滑轨上，以实现对所述固定件50沿X方向运动的控制。

本发明提供的所述基板传送装100，通过将需要传送的所述基板20浮于所述气浮垫40上，通过所述气浮垫40支撑所述基板20。使得所述基板20与所述气浮垫40并不进行直接接触，因此，不会在所述基板20上产生印迹，从而保证所述基板20的品质。并且，由于所述基板20一侧通过所述固定件50固定，因此，在所述基板20的传送过程中，不会使所述基板20的产生偏移而破片的情况产生，从而安全有效的保证所述基板20的传送，降低生产成本。

以上所述为本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种基板传送装置，其特征在于，包括传送件、气浮垫及固定件，所述气浮垫设于所述传送件上并随所述传送件的传动而移动，所述基板浮于所述气浮垫上，所述固定件用于固定所述基板并使所述基板沿所述传送件的传动方向进行传送。

2.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述气浮垫上设有多个间隔阵列设置的气孔，气体从所述气孔溢出，以使设于所述气浮垫上的基板浮起。

3.如权利要求2所述的基板传送装置，其特征在于，所述气浮垫为多孔碳纤维垫。

4.如权利要求2所述的基板传送装置，其特征在于，所述基板传送装置还包括鼓气件，所述鼓气件设于所述气浮垫朝向所述传送件的一侧，所述鼓气件向所述气浮垫鼓气，所述鼓气件鼓出的气体从所述气孔溢出，且所述气流方向为所述气浮垫朝向所述传送件的一侧至所述气浮垫背离所述传送件的一侧。

5.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述基板传送装置包括一联动杆，所述联动杆一端与所述固定件固定连接，以控制所述固定件的移动。

6.如权利要求5所述的基板传送装置，其特征在于，所述联动杆为三轴联动杆，以控制所述固定件的X、Y、Z轴三个方向的移动。

7.如权利要求5所述的基板传送装置，其特征在于，所述固定件包括固定板及间隔固定于所述固定板上的多个固定部，所述联动杆的一端与所述固定件的固定板进行固定连接。

8.如权利要求7所述的基板传送装置，其特征在于，所述固定部为真空吸附垫或者固定夹。

9.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述基板包括有效区及围绕所述有效区边缘并与所述有效区连接的无效区，所述固定件固定所述基板时固定于所述基板的无效区。

10.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述传送件包括驱动部及与所述驱动部连接的承载部，所述驱动部驱动所述承载部传动，所述气浮垫设于所述承载部上或将所述气浮垫作为所述承载部。