JP2009023804A - 基板搬送装置および基板搬送方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板搬送装置1は、基板10を浮上させるエア浮上ステージ3と、エア浮上ステージ3により浮上させられた状態の基板10を保持する基板保持機構と、基板保持機構を搬送方向に移動させる基板搬送機構7と、基板保持機構と基板搬送機構7を制御する制御部とを備え、該制御部は、基板搬送機構7の搬送方向のストロークエンド近傍において、基板保持機構による基板10の保持を解除して、基板保持機構をストロークエンドから離れる方向に戻し、戻した位置で再度基板保持機構に基板10を保持させて、再び基板搬送機構7を駆動させる。
【選択図】図1
Description
特許文献1および特許文献2に記載の浮上搬送手段によれば、高圧エア等の流体を基板下面に供給して基板を浮上させ、基板の一部を把持して搬送軸に沿って基板を強制搬送するようになっている。
本発明は、基板を浮上させる浮上手段と、該浮上手段により浮上させられた状態の前記基板を保持する保持手段と、該保持手段を搬送方向に移動させる駆動手段と、前記保持手段と前記駆動手段を制御する制御手段とを備え、該制御手段は、前記駆動手段の搬送方向のストロークエンド近傍において、前記保持手段による前記基板の保持を解除して、前記保持手段をストロークエンドから離れる方向に戻し、戻した位置で再度前記保持手段に前記基板を保持させて、再び前記駆動手段を駆動させる基板搬送装置を提供する。
このように構成することで、駆動手段のストロークエンドにおいて、基板をストロークエンドに残して保持手段をストロークエンドから離れる方向に戻しても、搬送方向に複数配列された任意の保持手段に再度基板を保持させることができる。
このように構成することで、保持手段による基板の保持を解除しても、基板が移動してしまうのを防ぐことができる。
このように構成することで、保持手段による基板の保持を解除しても、固定手段が基板に接触することによる摩擦力によって基板が静止状態に固定されるので、基板が移動してしまったり、基板の姿勢がずれたりするのを防ぎ、基板の姿勢を保ったまま保持手段の保持位置を変えることができる。
このように構成することで、固定手段は、吸着手段の作動により基板を吸着しながら基板を静止状態に固定するので、基板の姿勢を精度よく保ったまま保持手段の保持位置を変えることができる。
本実施形態に係る基板搬送装置1は、図1〜図6に示すように、基板10を浮上させるエア浮上ステージ(浮上手段)3と、浮上させられた基板10を保持する基板保持機構(保持手段)5と、該基板保持機構5を基板10の搬送方向に移動させる基板搬送機構(駆動手段)7と、浮上状態の基板10を静止状態に固定する基板固定機構(固定手段)9(図7〜図9参照)と、エア浮上ステージ3、基板保持機構5、基板搬送機構7および基板固定機構9を制御する図示しない制御部(制御手段)とを備えている。
本実施形態に係る基板搬送装置1により基板10を搬送するには、まず、エア浮上ステージ3の基板搬入側にスライダ31を移動させて、基板保持機構5を初期位置に待機させる。
例えば、本実施形態においては、基板固定機構9を基板10に接触させて、摩擦力により基板10を静止状態に固定することとしたが、これに代えて、図16に示すように、基板固定機構37の固定パッド部39のほぼ中央を浅い窪み状に形成した吸着パッド41を設け、基板保持機構5と同様に、制御部の作動により、基板10を吸着パッド41に吸着して固定することとしてもよい。
例えば、本実施形態においては、5つの吸着パッド部23を備える基板吸着部21A,21B,21Cにより基板10を保持することとしたが、吸着パッド部23および基板吸着部の数や配置はこれに限定されるものでない。
また、例えば、本実施形態においては、基板保持機構5をエア浮上ステージ3の幅方向の一端に設けることとしたが、これに代えて、基板保持機構5をエア浮上ステージ3の幅方向の他端にも設けて、基板10の幅方向の両端部を保持することとしてもよい。
また、基板保持機構5をエア浮上ステージ3の幅中央に設け、搬送方向における基板10の中央を保持して搬送するセンター搬送方式を採用することとしてもよい。
3 エア浮上ステージ(浮上手段)
5 基板保持機構(保持手段)
7 基板搬送機構(駆動手段)
10 基板
Claims (6)
- 基板を浮上させる浮上手段と、
該浮上手段により浮上させられた状態の前記基板を保持する保持手段と、
該保持手段を搬送方向に移動させる駆動手段と、
前記保持手段と前記駆動手段を制御する制御手段とを備え、
該制御手段は、前記駆動手段の搬送方向のストロークエンド近傍において、前記保持手段による前記基板の保持を解除して、前記保持手段をストロークエンドから離れる方向に戻し、戻した位置で再度前記保持手段に前記基板を保持させて、再び前記駆動手段を駆動させる基板搬送装置。 - 前記保持手段が、前記搬送方向に複数配列されている請求項1に記載の基板搬送装置。
- 前記制御手段が、前記浮上手段による前記基板の浮上を停止して、前記保持手段による前記基板の保持を解除する請求項1または請求項2に記載の基板搬送装置。
- 前記浮上手段により浮上した状態の基板表面に接触・離間させられる固定手段を備え、
前記制御手段が、前記保持手段による前記基板の保持を解除する際に、前記固定手段に前記基板を接触させる請求項1から請求項3のいずれかに記載の基板搬送装置。 - 前記固定手段が、前記基板を吸着する吸着手段を備える請求項4に記載の基板搬送装置。
- 基板を浮上させる浮上工程と、
浮上させられた状態の前記基板を保持して搬送方向に移動させる第1の移動工程と、
搬送方向のストロークエンド近傍において、前記基板の保持を解除して、保持位置をストロークエンドから離れる方向に変更して再度前記基板を保持する保持位置変更工程と、
保持位置を変更した前記基板を再度搬送方向に移動させる第2の移動工程と
を備える基板搬送方法。
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