JP5154852B2 - 基板搬送装置および基板搬送方法 - Google Patents
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Description
特許文献1および特許文献2に記載の浮上搬送手段によれば、高圧エア等の流体を基板下面に供給して基板を浮上させ、基板の一部を把持して搬送軸に沿って基板を強制搬送するようになっている。
本発明は、基板を浮上させるエア浮上ステージと、該エア浮上ステージの基板搬入側から基板搬出側にかけて設置された駆動軸と、該駆動軸に沿って往復移動するスライダと、該スライダに上下機構を介して設けられ、前記エア浮上ステージにより浮上させられた前記基板を保持する複数の基板吸着部と、前記スライダと前記上下機構を制御する制御手段とを備え、該制御手段は、前記スライダが前記基板の受渡し位置となる前記駆動軸のストロークエンドに達したとき、該スライダを停止させた後に前記上下機構を下降させ前記基板に対する前記複数の基板吸着部による吸着保持を解除し、この吸着保持の解除後に前記スライダを前記ストロークエンドより所望の距離だけ後退させ、この後退位置において前記上下機構を上昇させ前記基板に対して前記複数の基板吸着部により吸着保持した後、前記スライダを前記後退位置から前記ストロークエンドまで移動させることを特徴とする基板搬送装置を提供する。
本実施形態に係る基板搬送装置1は、図1〜図6に示すように、基板10を浮上させるエア浮上ステージ(浮上手段)3と、浮上させられた基板10を保持する基板保持機構(保持手段)5と、該基板保持機構5を基板10の搬送方向に移動させる基板搬送機構(駆動手段)7と、浮上状態の基板10を静止状態に固定する基板固定機構(固定手段)9(図7〜図9参照)と、エア浮上ステージ3、基板保持機構5、基板搬送機構7および基板固定機構9を制御する図示しない制御部(制御手段)とを備えている。
本実施形態に係る基板搬送装置1により基板10を搬送するには、まず、エア浮上ステージ3の基板搬入側にスライダ31を移動させて、基板保持機構5を初期位置に待機させる。
例えば、本実施形態においては、基板固定機構9を基板10に接触させて、摩擦力により基板10を静止状態に固定することとしたが、これに代えて、図16に示すように、基板固定機構37の固定パッド部39のほぼ中央を浅い窪み状に形成した吸着パッド41を設け、基板保持機構5と同様に、制御部の作動により、基板10を吸着パッド41に吸着して固定することとしてもよい。
例えば、本実施形態においては、5つの吸着パッド部23を備える基板吸着部21A,21B,21Cにより基板10を保持することとしたが、吸着パッド部23および基板吸着部の数や配置はこれに限定されるものでない。
また、例えば、本実施形態においては、基板保持機構5をエア浮上ステージ3の幅方向の一端に設けることとしたが、これに代えて、基板保持機構5をエア浮上ステージ3の幅方向の他端にも設けて、基板10の幅方向の両端部を保持することとしてもよい。
また、基板保持機構5をエア浮上ステージ3の幅中央に設け、搬送方向における基板10の中央を保持して搬送するセンター搬送方式を採用することとしてもよい。
3 エア浮上ステージ(浮上手段)
5 基板保持機構(保持手段)
7 基板搬送機構(駆動手段)
10 基板
Claims (5)
- 基板を浮上させるエア浮上ステージと、
該エア浮上ステージの基板搬入側から基板搬出側にかけて設置された駆動軸と、
該駆動軸に沿って往復移動するスライダと、
該スライダに上下機構を介して設けられ、前記エア浮上ステージにより浮上させられた前記基板を保持する複数の基板吸着部と、
前記スライダと前記上下機構を制御する制御手段とを備え、
該制御手段は、前記スライダが前記基板の受渡し位置となる前記駆動軸のストロークエンドに達したとき、該スライダを停止させた後に前記上下機構を下降させ前記基板に対する前記複数の基板吸着部による吸着保持を解除し、この吸着保持の解除後に前記スライダを前記ストロークエンドより所望の距離だけ後退させ、この後退位置において前記上下機構を上昇させ前記基板に対して前記複数の基板吸着部により吸着保持した後、前記スライダを前記後退位置から前記ストロークエンドまで移動させることを特徴とする基板搬送装置。 - 前記制御部が、前記スライダを前記ストロークエンドから離れる方向に後退させ、この後退位置で再度前記複数の基板吸着部に前記基板を保持させる際に、複数配列されている前記基板吸着部の一部により前記基板を保持させる請求項1に記載の基板搬送装置。
- 前記エア浮上ステージ上の前記基板搬出側である基板受渡し位置に固定パッド部を出没可能に複数配置し、前記エア浮上ステージにより浮上した状態の基板表面に前記固定パッド部を接触させて前記基板を浮上させた状態で静止させる基板固定手段を更に備え、
前記制御手段が、前記複数の基板吸着部による吸着保持を解除する際に、前記基板固定手段を作動させ前記基板に前記固定パッド部を接触させる請求項1に記載の基板搬送装置。 - 前記制御手段が、前記スライダを前記後退位置から前記ストロークエンドまで移動させる際に、前記基板固定手段を作動させ前記固定パッド部を前記基板より離間させる請求項3に記載の基板搬送装置。
- 基板を浮上させる浮上工程と、
浮上させられた状態の前記基板を複数の基板吸着部で保持し、これらの複数の基板吸着部を支持するスライダを駆動軸に沿って該駆動軸のストロークエンドに移動させる第1の移動工程と、
前記スライダが前記ストロークエンドに達したときに前記複数の基板吸着部による前記基板の保持を解除して、前記スライダを前記ストロークエンドから離れる方向に後退させ、この後退位置で前記基板を前記複数の基板吸着部により再度保持し前記基板に対する保持位置を変更する保持位置変更工程と、
前記スライダを前記後退位置より前記ストロークエンドに移動させる第2の移動工程とを備える基板搬送方法。
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