JP6383152B2 - 移載方法、保持装置及び移載システム - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施形態について説明する。各図において、矢印Yは上下方向を示し、矢印X及びZは互いに直交する水平方向を示す。
図1は本発明の一実施形態に係る移載システム1を適用した基板処理設備Aの概略図である。基板処理設備Aは、移載システム1と、格納装置2と、処理装置3と、処理装置4とを備える。
図2は移載システム1の概略図である。移載システム1は、搬送装置10と、キャリア処理装置11と、搬送装置12と、保持装置13と、移動装置14と、を備える。搬送装置10、キャリア処理装置11、搬送装置12および移動装置14の支持構造及び配置は、特に限定されないが、本実施形態においては、ベース部を有する架台上に、搬送装置10と、キャリア処理装置11と、搬送装置12と、移動装置14とが配置される。搬送装置10および搬送装置12は、それぞれの搬送方向が平行になるように、かつ、搬送方向と直交する方向に離間させて配置される。また、キャリア処理装置11は、搬送装置10と搬送装置12との間に配置される。移動装置14は、搬送装置10、キャリア処理装置11および搬送装置12の間で保持装置13を移動可能に配置される。
図7は移載システム1の制御ユニット6のブロック図である。制御ユニット6は移載システム1全体の制御を行う。
移載システム1の制御例について図8(A)〜図13(B)を参照して説明する。ここでは、基板Wの移載動作について説明する。具体的には、搬送装置10上に搬入された基板Wを保持するキャリア5から基板Wを取りだし、その基板Wを移載先へ移載する例について説明する。この例では基板Wの移載先は搬送装置12である。
第1実施形態では、基板保持ユニット131の吸着部1311による負圧吸引により、基板Wと接触吸着して基板Wを保持したが、ベルヌーイチャック方式による非接触吸着としてもよい。
Claims (10)
- 基板が載置される載置部と、前記載置部上面に密着して重ねられるカバーとを備えるキャリアから、前記載置部と前記カバーとの間に保持された前記基板を保持装置により移載する移載方法であって、
前記保持装置は、
前記カバーを保持するカバー保持ユニットと、
前記基板を保持する基板保持ユニットと、
前記カバー保持ユニット及び前記基板保持ユニットを支持する支持ユニットと、を備え、
前記支持ユニットは、前記キャリアに近接・離間する方向に、前記カバー保持ユニットが変位可能に前記カバー保持ユニットを支持し、
前記移載方法は、
前記カバーを前記載置部から突き上げて前記載置部から前記カバーを分離する工程と、
前記載置部上の前記基板及び前記カバーを前記保持装置によって保持する工程であって、前記カバーと前記基板とが平行な姿勢で、前記カバーを前記カバー保持ユニットにより、前記基板を前記基板保持ユニットにより、それぞれ保持する保持工程と、
前記保持装置を移動することにより、前記基板及び前記カバーを前記載置部から移載先に移動する移動工程と、
前記移動工程により前記移載先に移動された前記基板及び前記カバーの内、前記基板の保持を解除して移載先に前記基板を載置する基板載置工程と、
前記カバーのみを保持する前記保持装置を、移載元の前記載置部に移動させる工程と、
移載元の前記載置部上面に前記カバーを重ねる工程と、を含み、
前記基板載置工程は、前記保持装置を降下させる一方、前記カバー保持ユニットの降下を規制して前記カバーの降下を前記基板よりも先に停止させ、前記カバーと前記基板とを離間させる工程を含む、
ことを特徴とする移載方法。 - 請求項1記載の移載方法であって、
前記保持工程において、
前記カバー保持ユニットは、前記カバーを吸着し、
前記基板保持ユニットは、前記基板を吸着すると共に、規定部材により基板の位置決めを行う、
ことを特徴とする移載方法。 - 請求項1記載の移載方法であって、
前記保持工程において、
前記カバー保持ユニットは、前記カバーを吸着し、
前記基板保持ユニットは、前記基板を非接触吸着すると共に、非接触吸着された前記基板の基板面方向への自由移動を規制する、
ことを特徴とする移載方法。 - 請求項1記載の移載方法であって、
移載元の前記載置部と前記載置部に重ねられた前記カバーを搬出し、新たな前記キャリアを搬入する搬入出工程と、を更に含む、
ことを特徴とする移載方法。 - 基板が載置される載置部と、前記載置部上面に密着して重ねられるカバーとを備えるキャリアから、前記載置部と前記カバーとの間に保持された前記基板と前記カバーとを保持する保持装置であって、
前記カバーを保持するカバー保持ユニットと、
前記基板を保持する基板保持ユニットと、
前記カバー保持ユニット及び前記基板保持ユニットを支持する支持ユニットと、を備え、
前記カバーと前記基板とが平行な姿勢で、前記カバーが前記カバー保持ユニットにより、前記基板が前記基板保持ユニットにより、それぞれ保持され、
前記支持ユニットは、
前記カバー保持ユニットを前記キャリアに近接・離間する方向にフローティング支持するフローティング機構を備える一方、前記基板保持ユニットを変位不能に支持する、
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項5記載の保持装置であって、
前記カバー保持ユニットは、
前記カバーを吸着する吸着部と、
前記カバーに当接して前記カバーの吸着方向の位置を規定するカバー規定部材と、を備える、
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項5記載の保持装置であって、
前記カバー保持ユニットは、
前記カバーを吸着する吸着部と、
前記載置部と係合して前記キャリアに対して前記カバー保持ユニットを位置決めする位置決め部材と、を備える、
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項5記載の保持装置であって、
前記基板保持ユニットは、
前記基板を非接触吸着する吸着部と、
非接触吸着された前記基板の基板面方向への自由移動を規制する規制ユニットと、を備える、
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項8記載の保持装置であって、
前記支持ユニットは、前記基板保持ユニットを支持する支持部を備え、
前記規制ユニットは、前記基板面方向と直交する方向に伸縮自在に突出する規制部を備える、
ことを特徴とする保持装置。 - 基板が載置される載置部と、前記載置部上面に密着して重ねられるカバーとを備えるキャリアから、前記載置部と前記カバーとの間に保持された前記基板を移載する移載システムであって、
前記キャリアを位置決めして保持する位置決めユニットと、
前記位置決めユニットに保持されている前記キャリアの前記載置部から、前記カバーを分離する分離ユニットと、
請求項5〜9のいずれか1項記載の保持装置と、
前記保持装置を移動する移動装置と、
を備える、
ことを特徴とする移載システム。
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