KR101633689B1

KR101633689B1 - 이재 방법, 보유지지 장치 및 이재 시스템

Info

Publication number: KR101633689B1
Application number: KR1020140193648A
Authority: KR
Inventors: 히데오 사카모토; 슈이치 고무로
Original assignee: 히라따기꼬오 가부시키가이샤
Priority date: 2014-01-10
Filing date: 2014-12-30
Publication date: 2016-06-27
Also published as: US20150197405A1; JP2015133391A; CN104780750A; KR20150083780A; TW201529454A; TWI542266B; CN104780750B; JP6383152B2; US9394128B2

Abstract

본 발명은, 기판이 재치되는 재치부와, 상기 재치부 상면에 밀착하여 겹쳐지는 커버를 구비한 캐리어로부터, 상기 재치부와 상기 커버 사이에 보유지지된 상기 기판을 이재하는 이재 방법을 제공한다. 이 이재 방법은, 상기 재치부상의 상기 기판 및 상기 커버를 보유지지 장치에 의해 보유지지하는 보유지지 공정과, 상기 보유지지 장치를 이동시킴으로써 상기 기판 및 상기 커버를 상기 재치부에서 이재처로 이동시키는 이동 공정을 포함한다. 상기 보유지지 공정에서는, 상기 커버와 상기 기판이 평행한 자세로, 상기 커버를 상기 보유지지 장치의 커버 보유지지 유닛에 의해, 상기 기판을 상기 보유지지 장치의 기판 보유지지 유닛에 의해 각각 보유지지한다.

Description

이재 방법, 보유지지 장치 및 이재 시스템 {TRANSFER METHOD, HOLDING APPARATUS, AND TRANSFER SYSTEM}

본 발명은 이재(移載) 방법, 보유지지 장치 및 이재 시스템에 관한 것이다.

처리 장치 등에 기판을 반송할 때 플렉서블 기판과 같이 비교적 얇은 기판은 휨이 발생하여 그 반송이 어려운 경우가 있다. 그래서 기판을 캐리어로 보유지지한 상태로 반송처에 반송하는 것이 제안되어 있다. 이 경우, 캐리어로부터 기판만을 취출하여 처리 장치 등에 이재하는 구조가 필요하다. 일본공개특허 2010-272650호 공보에는, 기판의 커버를 벗기고 기판을 핀으로 밀어올려 취출하는 장치가 개시되어 있다.

일본공개특허 2010-272650호 공보의 장치에서는, 커버를 벗겨 이동하는 공정과 기판을 취출하여 이동하는 공정의 2 공정이 필요하여, 기판 이재의 효율면에서 개선의 여지가 있다.

일본공개특허 2010-272650호 공보

본 발명의 목적은, 기판 이재의 효율을 향상시키는 데 있다.

본 발명에 의하면, 기판이 재치(載置)되는 재치부와, 상기 재치부 상면에 밀착하여 겹쳐지는 커버를 구비한 캐리어로부터, 상기 재치부와 상기 커버 사이에 보유지지된 상기 기판을 이재(移載)하는 이재 방법으로서, 상기 재치부상의 상기 기판 및 상기 커버를 보유지지 장치에 의해 보유지지하는 보유지지 공정과, 상기 보유지지 장치를 이동시킴으로써 상기 기판 및 상기 커버를 상기 재치부에서 이재처(移載處)로 이동시키는 이동 공정을 포함하고, 상기 보유지지 공정에서는, 상기 커버와 상기 기판이 평행한 자세로, 상기 커버를 상기 보유지지 장치의 커버 보유지지 유닛에 의해, 상기 기판을 상기 보유지지 장치의 기판 보유지지 유닛에 의해 각각 보유지지하는 것을 특징으로 하는 이재 방법이 제공된다.

또 본 발명에 의하면, 기판이 재치되는 재치부와, 상기 재치부 상면에 밀착하여 겹쳐지는 커버를 구비한 캐리어로부터, 상기 재치부와 상기 커버 사이에 보유지지된 상기 기판과 상기 커버를 보유지지하는 보유지지 장치로서, 상기 커버를 보유지지하는 커버 보유지지 유닛과, 상기 기판을 보유지지하는 기판 보유지지 유닛과, 상기 커버 보유지지 유닛 및 상기 기판 보유지지 유닛을 지지하는 지지 유닛을 구비하고, 상기 지지 유닛은 상기 캐리어에 근접·이간시키는 방향으로, 상기 커버 보유지지 유닛이 변위 가능하게 상기 커버 보유지지 유닛을 지지하는 것을 특징으로 하는 보유지지 장치가 제공된다.

또 본 발명에 의하면, 기판이 재치되는 재치부와, 상기 재치부 상면에 밀착하여 겹쳐지는 커버를 구비한 캐리어로부터, 상기 재치부와 상기 커버 사이에 보유지지된 상기 기판을 이재하는 이재 시스템으로서, 상기 캐리어를 위치 결정하여 보유지지하는 위치 결정 유닛과, 상기 위치 결정 유닛에 보유지지되어 있는 상기 캐리어의 상기 재치부로부터 상기 커버를 분리하는 분리 유닛과, 상기 보유지지 장치와, 상기 보유지지 장치를 이동시키는 이동 장치를 구비한 것을 특징으로 하는 이재 시스템이 제공된다.

도 1은, 본 발명의 일실시형태에 관한 이재 시스템을 적용한 기판 처리 설비의 개략도이다.
도 2는, 도 1의 이재 시스템의 개략도이다.
도 3은, 도 1의 이재 시스템이 구비된 캐리어 처리 장치의 개략도이다.
도 4a 및 도 4b는, 도 1의 이재 시스템이 구비된 보유지지 장치의 개략도이다.
도 5a 및 도 5b는, 커버 보유지지 유닛의 개략도이다.
도 6a 및 도 6b는, 기판 보유지지 유닛의 개략도이다.
도 7은, 제어 유닛의 블럭도이다.
도 8a 및 도 8b는, 도 1의 이재 시스템의 동작 설명도이다.
도 9a 및 도 9b는, 도 1의 이재 시스템의 동작 설명도이다.
도 10a 및 도 10b는, 도 1의 이재 시스템의 동작 설명도이다.
도 11a 및 도 11b는, 도 1의 이재 시스템의 동작 설명도이다.
도 12는, 도 1의 이재 시스템의 동작 설명도이다.
도 13a 및 도 13b는, 도 1의 이재 시스템의 동작 설명도이다.
도 14는, 다른 예의 보유지지 장치의 개략도이다.
도 15a 및 도 15b는, 다른 예의 보유지지 장치의 기판 보유지지 유닛의 개략도이다.
도 16a 및 도 16b는, 다른 예의 보유지지 장치의 동작 설명도이다.
도 17a 및 도 17b는, 다른 예의 보유지지 장치의 동작 설명도이다.
도 18은, 다른 예의 보유지지 장치의 동작 설명도이다.

＜제1 실시형태＞

이하, 본 발명의 실시형태에 대해 설명하기로 한다. 각 도면에서 화살표 Y는 상하 방향을 나타내고, 화살표 X 및 Z는 서로 직교하는 수평 방향을 도시한다.

＜기판 처리 설비＞

도 1은 본 발명의 일실시형태에 관한 이재 시스템(1)을 적용한 기판 처리 설비(A)의 개략도이다. 기판 처리 설비(A)는, 이재 시스템(1)과 격납 장치(2)와 처리 장치(3)과 처리 장치(4)를 구비한다.

격납 장치(2)는 후술하는 캐리어(5)를 복수 격납 가능하다. 캐리어(5)는 기판을 보유지지하기 위한 기구이다. 기판은, 예를 들면 FPC(플렉서블 프린트 기판)로 대표되는 가요성(可撓性)을 가진 필름형 기판, 혹은 가요성을 가진 막체, 가요성을 가진 시트체, 및 가요성을 가진 박체(箔體) 등을 들 수 있다. 격납 장치(2)에는, 기판(W)이 보유지지된 캐리어(5) 또는 기판(W)을 취출한 빈 캐리어(5)를 격납 가능하다. 격납 장치(2)는, 이재 시스템(1)에 대한 캐리어(5)의 공급과 이재 시스템(1)으로부터의 캐리어(5)의 회수를 행하는 장치이다.

처리 장치(3)는 예를 들면 도포된 땜납의 가열 처리(리플로우)를 행하는 장치로서, 처리 장치(4)는, 예를 들면 냉각이나 세정 처리를 행하는 장치이다. 이재 시스템(1)은, 기판(W)을 보유지지하는 캐리어(5)를 처리 장치(3)로부터 반입하기 위한 반송 장치(10)을 구비한다. 그리고, 캐리어(5)로부터 기판(W)을 취출하고, 취출한 기판을 처리 장치(4)에 반송한다. 기판(W)이 취출된 빈 캐리어(5)는 격납 장치(2)에 반송한다.

＜이재 시스템＞

도 2는 이재 시스템(1)의 개략도이다. 이재 시스템(1)은, 반송 장치(10)와 캐리어 처리 장치(11)와 반송 장치(12)와 보유지지 장치(13)와 이동 장치(14)를 구비한다. 반송 장치(10), 캐리어 처리 장치(11), 반송 장치(12) 및 이동 장치(14)의 지지 구조 및 배치는 특별히 한정되지는 않지만, 본 실시형태에서는 베이스부를 가진 가대(架臺) 위에, 반송 장치(10)와 캐리어 처리 장치(11)와 반송 장치(12)와 이동 장치(14)가 배치된다. 반송 장치(10) 및 반송 장치(12)는 각각의 반송 방향이 평행하게 되도록, 또한 반송 방향과 직교하는 방향으로 이간시켜서 배치된다. 또 캐리어 처리 장치(11)는 반송 장치(10)와 반송 장치(12) 사이에 배치된다. 이동 장치(14)는 반송 장치(10), 캐리어 처리 장치(11) 및 반송 장치(12) 사이에서 보유지지 장치(13)를 이동시킬 수 있도록 배치된다.

반송 장치(10)는, 예를 들면, 반송 방향이 되는 X방향으로 연장되는 벨트 컨베이어 기구를 구비하고, 미도시된 벨트상에 재치된 캐리어(5)를 수평 자세 그대로 반송한다. 동 도면의 예에서는 캐리어(5)가 반송 장치(10)상에 탑재되어 있는 상태를 도시한다. 반송 장치(10)는, 처리 장치(3)로부터의 캐리어(5) 반입과 격납 장치(2)로의 캐리어(5) 반출을 행한다. 처리 장치(3)로부터의 캐리어(5)에는 기판(W)이 보유지지되어 있다. 격납 장치(2)에는 기판(W)을 취출한 후의 빈 캐리어(5)를 반출한다.

캐리어(5)는, 기판(W)이 재치되는 재치부(50)와, 재치부(50)의 상면에 밀착하여 겹쳐지는 커버(51)를 구비한다. 재치부(50)와 커버(51)는 모두 판형의 부재로서, 본 실시형태에서는 사각형상으로 되어 있다. 재치부(50)와 커버(51)는, 여기에서는 자력(磁力)에 의해 서로 흡착(연결)된다. 이 경우, 예를 들면 재치부(50)에 영구자석을 마련하고, 커버(51)는 자석에 들러붙는 금속 재료로 할 수 있다. 재치부(50)와 커버(51)의 밀착, 연결로서는, 자력에 의한 흡착 외에 클램프 부재 등으로 물리적으로 크램핑하도록 해도 좋다.

기판(W)은 재치부(50)와 커버(51) 사이에 끼워져 보유지지된다. 커버(51)는 복수의 노치(51a)와 개구부(51b)와 위치 결정용 구멍(51c)을 가진다. 노치(51a)는 커버(51)의 네 귀퉁이 근방에 형성되어 있으며 후술하는 캐리어 처리 장치(11)가 재치부(50)를 보유지지할 때에 커버(51)와의 간섭을 방지하기 위해 형성되어 있다. 개구부(51b)는 기판(W)과 커버(51)가 겹치지 않는 노출부를 형성한다. 본 실시형태의 경우, 커버(51)의 중앙에 개구부(51b)를 형성하였으나, 개구부(51b)의 부위는 어디여도 좋고, 또 개구부(51b) 대신에 노치로 해도 좋다. 또한 커버(51)의 사이즈를 기판(W)보다 작게 하여 커버(51)의 주연(周緣) 외방에 기판(W)이 노출되도록 해도 좋다. 구멍(51c)은, 커버(51)의 네 귀퉁이에 마련된 관통공이다. 재치부(50)의 네 귀퉁이에는, 구멍(51c)과 겹치는 위치에 구멍(50a)이 형성되어 있다(도 3에 도시).

반송 장치(12)는, 처리 장치(4)로의 기판(W)의 반출을 행한다. 반송 장치(12)는, 예를 들면 X방향으로 연장되는 벨트 컨베이어 기구를 구비하고 미도시된 벨트상에 직접 재치된 기판(W)을 수평 자세 그대로 반송한다.

반송 장치(10)와 반송 장치(12) 사이에는 캐리어 처리 장치(11)가 마련되어 있다. 도 2 및 도 3을 참조하여 캐리어 처리 장치(11)에 대해 설명하기로 한다. 도 3은 캐리어 처리 장치(11)의 개략도이다. 캐리어 처리 장치(11)는, 위치 결정 유닛(110)과 분리 유닛(111)을 구비한다. 도 3은 재치부(50)가 위치 결정 유닛(110)에 보유지지된 상태를 도시한다.

위치 결정 유닛(110)은, 캐리어(5)를 위치 결정하여 보유지지하는 유닛으로서, 본 실시형태의 경우, 재치부(50)를 파지하여 그 위치결정을 행한다. 위치 결정 유닛(110)은, 베이스 부재(1100)와 복수의 재치 핀(1101)과 복수의 액추에이터(1102)와 복수의 위치 결정 부재(1103)를 구비한다.

베이스 부재(1100)는 판형의 부재로서, 상술한 각 구성을 탑재하고 있다. 베이스 부재(1100)의 중앙부에는, 후술하는 분리 유닛(111)의 핀 지지 테이블(1113)이나 맞닿음 부재(1114)가 통과 가능한 개구부가 형성되어 있다. 맞닿음 부재(1114)는 본 실시형태에서는 핀이다. 따라서 맞닿음 부재(1114)를 핀(1114)으로 칭하는 경우가 있다.

재치 핀(1101)은 베이스 부재(1100)상에 세워지며 선단부가 원뿔형으로 형성된 가이드부(1101a)와 재치부(50)의 하면을 지지하는 지지면(1101b)이 마련되어 있으며, 본 실시형태의 경우 2곳 마련되어 있다. 재치부(50)의 하면에는 재치 핀(1101)이 유동 가능하게 삽입되는 구멍이 형성되어 있으며, 재치부(50)는 가이드되면서 재치 핀(1101)상에 마련된 지지면에 지지되어 탑재된다.

액추에이터(1102)는, 예를 들면 전동 실린더로서, 위치 결정 부재(1103)를 Z방향으로 왕복 이동한다. 본 실시형태의 경우, 1개의 위치 결정 부재(1103)에 대해 1개의 액추에이터(1102)가 할당되어 있다.

위치 결정 부재(1103)는 수직부 및 수평부가 마련된 L자형을 이루고 있으며, 재치부(50)의 주연에 상부 및 측부부터 맞닿아 재치부(50)의 위치 결정과 재치부(50)의 보유지지를 행한다. 본 실시형태의 경우, 재치부(50)의 대향하는 두 변에 대해 각각 2개의 위치 결정 부재(1103)가 할당되어 있다. 각 액추에이터(1102)의 구동에 의해, 재치부(50)는, 대향하는 두 변에 위치 결정 부재(1103)의 수직부 및 수평부가 각각 맞닿음으로써 끼워지도록 하여 위치 결정되고, 또한 수평 자세로 보유지지된다.

분리 유닛(111)은, 재치부(50)에 흡착된 커버(51)를 재치부(50)로부터 분리하는 유닛이다. 분리 유닛(111)은, 구동 유닛(1110)과 승강체(1111)와 가이드부(1112)와 핀 지지 테이블(1113)과 복수의 핀(1114)을 구비한다. 구동 유닛(1110)은, 모터 등의 구동원(1110a)과, 구동원(1110a)의 구동력을 승강체(1111)에 전달하는 전달 기구(1110b)를 구비한다. 전달 기구(1110b)는, 예를 들면 볼스크류 기구로서, 구동원(1110a)의 구동력에 의해 승강체(1111)를 승강시킨다. 가이드부(1112)는 승강체(1111)의 승강을 안내한다. 가이드부(1112)는, 본 실시형태의 경우, 승강 방향이 되는 Y방향으로 연장되는 레일(1112a)을 구비하고, 이 레일(1112a)에 승강체(1111)에 연결된 슬라이더(1111a)가 걸어맞추어진다.

핀 지지 테이블(1113)은 승강체(1111)에 연결되어 승강체(1111)와 함께 승강하는 판형의 부재이다. 복수의 핀(1114)은 지지부측 선단이 수평면 형태로 형성되어 핀 지지 테이블(1113)에 세워져 있다. 재치부(50)에는, 핀(1114)이 삽입 통과 가능한 관통공 또는 노치가 형성되어 있으며, 핀 지지 테이블(1113)의 승강에 따라 핀(1114)은 상방의 위치에 설정된 작동 위치(도 3의 위치)와 재치부(50)의 하방 위치에 설정된 퇴피 위치와의 사이에서 이동 가능하도록 되어 있다. 작동 위치에서는, 핀(1114)은 재치부(50)의 상면으로부터 돌출된다.

위치 결정 유닛(110)에 보유지지되어 있는 재치부(50)로부터, 커버(51)를 분리할 때 핀(1114)을 퇴피 위치로부터 작동 위치로 상승시킴으로써 커버(51)의 하면에 핀(1114)을 맞닿게 하여 커버(51)를 밀어올린다. 이로써 커버(51)가 재치부(50)로부터 분리되어 재치부(50)의 상방으로 들어올려진다.

도 2를 참조하여 이동 장치(14)에 대해 설명하기로 한다. 이동 장치(14)는, 보유지지 장치(13)를 Y방향 및 Z방향으로 이동시킬 수 있으며, 반송 장치(10)와 캐리어 처리 장치(11) 사이, 및 캐리어 처리 장치(11)와 반송 장치(12) 사이, 그리고 보유지지 장치(13)를 상하 방향 및 수평 방향으로 이동시킨다.

이동 장치(14)는, 이재 방향이 되는 Z방향으로 이간되고, Y방향으로 연장 설치된 1쌍의 지지기둥(140)과, 1쌍의 지지기둥(140) 사이에 가설된 안내 유닛(141)과, 안내 유닛(141)을 따라 Z방향으로 이동 가능하게 지지된 수평 이동체(141a)와, 수평 이동체(141a)에 마련된 승강 유닛(142)과, 승강 유닛(142)에 의해 승강되는 승강체(144)와, 승강체(144)에 마련된 회동 유닛(143)을 구비한다. 승강체(144)는 회동 유닛(143)을 지지한다. 회동 유닛(143)은 보유지지 장치(13)에 접속되며, 보유지지 장치(13)에 의해 보유지지된 기판(W) 및 커버(51)의 면이 XZ면(수평면)과 평행한 상태로 회동시켜, 보유지지한 기판(W) 또는 커버(51)의 XZ면에서의 각도의 조정을 행한다. 안내 유닛(141)이 승강 유닛(142)을 이동시키는 기구, 및 승강 유닛(142)이 승강체(144)를 승강시키는 기구는 공지의 기구를 채용할 수 있으며, 예를 들면 모터 등의 구동원과, 구동원의 구동력을 전달하는 전달 기구(예를 들면 벨트 전달 기구, 볼스크류 기구, 랙-피니언 기구 등)로 구성할 수 있다. 또 안내 유닛(141) 및 승강 유닛(142)에 수평 이동체(141a) 및 승강체(144)의 각 위치를 검출하는 인코더 등의 센서를 마련함으로써 각 센서의 검출 결과에 기초하여 보유지지 장치(13)의 이동을 제어할 수 있다. 본 실시형태에서는, 보유지지 장치(13)를 직선형으로 이동시키는 직교 이동 기구를 채용하였으나, 수직 다관절을 가진 로봇 등 다양한 이동 기구의 선단에 보유지지 장치(13)를 장착해도 좋다.

다음으로 도 4a∼도 6b를 참조하여 보유지지 장치(13)에 대해 설명하기로 한다. 도 4a 및 도 4b는 보유지지 장치(13)의 개략도로서, 도 4a는 보유지지 장치(13)의 사시도를, 도 4b는 보유지지 장치(13)의 분해 사시도를 각각 도시한다. 도 5a 및 도 5b는 커버 보유지지 유닛(130)의 개략도이다. 도 6a 및 도 6b는 기판 보유지지 유닛(131)의 개략도이다.

보유지지 장치(13)는, 커버 보유지지 유닛(130)과 기판 보유지지 유닛(131)과 이들을 지지하는 지지 유닛(132)을 구비한다.

커버 보유지지 유닛(130)은, 캐리어(5)의 커버(51)를 해제 가능하게 보유지지하는 유닛이다. 커버 보유지지 유닛(130)은, 베이스 부재(1300)와 흡착부(1301)와 커버 규정 부재(1302)와 위치 결정 부재(1303)를 구비한다.

베이스 부재(1300)는 판형의 부재로서, 후술하는 지지 유닛(132)의 지지부(1323)가 삽입 통과되는 개구부(1300a)(본 실시형태에서는 2개를 도시)를 구비한다. 개구부(1300a)는 지지부(1323)에 대응하여 형성되는 것으로서, 그 수는 1개 또는 3개 이상이어도 좋다.

흡착부(1301)는 커버(51)를 흡착한다. 흡착부(1301)는 베이스 부재(1300)의 하방에 돌출되도록 베이스 부재(1300)에 지지되어 있으며 그 선단부에 공기를 흡인하는 흡착 패드가 마련되어 있다. 흡착 패드의 흡인 구멍을 통해 미도시된 펌프에 의해 공기를 흡인함으로써, 커버(51)를 진공압 흡인하여 보유지지할 수 있다. 흡인을 정지하고 대기압 해방함으로써 커버(51)의 보유지지가 해제된다. 본 실시형태의 경우, 흡착부(1301)는 4개 마련되어 있으며 흡착부(1301)가 커버(51)의 상면에 대해 4곳을 흡착함으로써 커버 규정 부재(1302)와 함께 커버(51)를 수평 자세로 보유지지한다.

커버 규정 부재(1302)는, 커버 보유지지 유닛(130)에서의 커버(51)의 보유지지 위치(보유지지 높이)를 규정하는 부재로서, 커버(51)의 자세를 안정적으로 유지할 수 있다. 커버 규정 부재(1302)는 베이스 부재(1300)의 하방에 돌출되도록 베이스 부재(1300)에 지지되어 있으며, 그 선단부에 수평인 위치 결정면을 가지고 있다. 커버(51)의 흡착시, 이 위치 결정면에 커버(51)의 상면이 맞닿고, 커버 규정 부재(1302)는 커버(51)의 흡착 방향(Y방향)의 위치를 규정함으로써 커버(51)의 수평 자세를 유지한다. 본 실시형태의 경우, 커버 규정 부재(1302)는 4개 마련되어 있으며 커버 규정 부재(1302)가 커버(51)의 상면에 대해 4곳 맞닿음으로써 그 흡착 방향의 위치를 규정한다.

위치 결정 부재(1303)는, 캐리어(5)에 대한 커버 보유지지 유닛(130)의 위치의 결정을 행하는 부재이다. 위치 결정 부재(1303)는 베이스 부재(1300)의 하방에 돌출되도록 베이스 부재(1300)에 지지되어 있으며, 그 선단부에 핀을 구비하고 있다. 이 핀이, 재치부(50)의 구멍(50a) 및 커버(51)의 구멍(51c)에 하강시에 삽입되어 걸어맞추어짐으로써 위치 결정 부재(1303)와 캐리어(5)와의 수평 방향의 상대적인 위치의 결정을 행할 수 있다. 본 실시형태의 경우, 위치 결정 부재(1303)는 2개 마련되어 있으며, 위치 결정 부재(1303)가 재치부(50)에 대해 2곳(상세하게는, 대각으로 2곳) 걸어맞추어짐으로써 상대적인 위치를 규정한다.

기판 보유지지 유닛(131)은, 기판(W)을 해제 가능하게 보유지지하는 유닛이다. 기판 보유지지 유닛(131)은, 베이스 부재(1310)와 흡착부(1311)와 기판 규정 부재(1312)를 구비한다. 베이스 부재(1310)는 판형의 부재로서, 후술하는 지지 유닛(132)의 지지부(1323)가 고정되는 부착 구멍(1310a)(본 실시형태에서는 2개를 도시)이 형성되어 있다.

흡착부(1311)는 기판(W)을 흡착한다. 흡착부(1311)는 베이스 부재(1310)의 하방에 돌출되도록 베이스 부재(1310)에 지지되어 있으며 그 선단부에 공기를 흡인하는 벨로즈 패드가 마련되어 있다. 벨로즈 패드의 흡인 구멍을 통해 미도시된 펌프에 의해 공기를 흡인함으로써 기판(W)을 진공압 흡인하여 보유지지할 수 있다. 흡인을 정지시키고 대기압 해방하면 기판(W)의 보유지지가 해제된다. 본 실시형태의 경우, 흡착부(1311)는 8개 마련되어 있으며 흡착부(1311)가 기판(W)의 상면에 대해 8곳 흡착함으로써 기판 규정 부재(1312)와 함께 기판(W)을 수평 자세로 보유지지한다. 흡착부(1311)는, 후술하는 기판 규정 부재(1312)에 간섭하지 않는 위치에, 또한 기판 규정 부재(1312)의 근방에 배치된다. 또 흡착부(1311)는, 각 기판 규정 부재(1312)를 사이에 끼워넣도록 배치되며, 기판(W)의 상면을 후술하는 위치 결정부(1312b)에 확실하게 맞닿게 하면서 기판(W)을 보유지지한다.

기판 규정 부재(1312)는, 기판 보유지지 유닛(131)에서의 기판(W)의 보유지지 위치를 규정하는 부재이다. 기판 규정 부재(1312)는 베이스 부재(1310)의 하방에 돌출되도록 베이스 부재(1310)에 지지되어 있으며, 그 선단부에 수평의 부착부(1312a)와, 부착부(1312a)로부터 돌출 형성된 위치 결정부(1312b)를 가지고 있다. 부착부(1312a)는 베이스 부재(1310)에, 예를 들면 볼트 등의 체결 부재로 부착할 때에 이용된다. 또 위치 결정부(1312b)의 하면에는, 기판(W)의 흡착시에 기판(W)의 상면 일부가 맞닿아 기판(W)의 흡착 방향(Y방향)의 위치를 규정한다. 본 실시형태의 경우, 기판 규정 부재(1312)는 베이스 부재(1310)의 하측에 6개 배치되어 있으며, 각각의 위치 결정부(1312b)의 하면이 동일한 수평면(하나의 면)이 되도록 배치된다. 또 3개 1조로 기판 규정 부재(1312)를 직선형으로 2열이 되도록 나열하여 배치하고, 각각의 열을 형성하는 위치 결정부(1312b)가 직선형이 되도록 배치하고, 각각의 열은 베이스 부재(1310)의 중심선에 대해 선대칭으로 배치된다. 복수의 위치 결정부(1312b)를 마련함으로써 흡착시의 기판(W)의 휨을 방지하여 수평 자세로 기판(W)을 보유지지할 수 있게 한다. 아울러 1개의 위치 결정부(1312b)라 해도 그 하면의 면적을 넓게 취한 경우, 기판(W)을 수평 자세로 보유지지할 수 있는 경우가 있다.

지지 유닛(132)은, 커버 보유지지 유닛(130)과 기판 보유지지 유닛(131)을 지지하고 또 이동 장치(14)의 회동 유닛(143)과 접속되는 유닛이다.

지지 유닛(132)은, 베이스 부재(1320)와 지지부(1322),(1323)를 구비하고 있다. 베이스 부재(1320)는 판형의 부재로서, 그 상면 중앙부에는 회동 유닛(143)(특히 그 회전 출력부)이 접속되는 접속 부재(1321)가 마련되어 있다. 접속 부재(1321)에는 예를 들면 회동 유닛(143)과 체결되는 볼트 구멍 등이 형성된다.

지지부(1322)는, 일단측이 베이스 부재(1320)에, 타단측이 커버 보유지지 유닛(130)의 베이스 부재(1300)에 접속되어 커버 보유지지 유닛(130)을 지지한다. 본 실시형태의 경우, 지지부(1322)는 X방향으로 이간되어 2개 마련되어 있다. 본 실시형태의 경우, 커버 보유지지 유닛(130)은, 캐리어(5)에 근접·이간시키는 방향으로 변위 가능하게 지지된다(매달린다). 지지부(1322)를 여러 개 마련하였기 때문에 커버 보유지지 유닛(130)은, 캐리어(5)에 근접·이간시키는 방향으로 변위 가능할 뿐 아니라 수평면에 대해 경사 가능하게 지지되어 있다.

본 실시형태의 경우, 지지부(1322)는 커버 보유지지 유닛(130)을 플로팅 지지하는 플로팅 기구로서 구성되며 커버 보유지지 유닛(130)의 변위를 가능하게 한다.

상세하게는, 지지부(1322)는 로드 실린더와 스프링으로 구성되어 있으며 로드 실린더의 실린더부가 베이스 부재(1320)에 고정되며 로드부가 베이스 부재(1300)에 고정되어 있다. 스프링은 실린더부와 베이스 부재(1300) 사이에 로드부를 둘러싸고 장전되어 있다. 실린더부에 대한 로드부의 진퇴량만큼 베이스 부재(1300)는, 베이스 부재(1320)에 대해 근접, 이간되는 방향(Y방향)으로 변위 가능해진다. 그 결과, 커버(51)를 보유지지할 때 커버 보유지지 유닛(130)은 캐리어(5)에 근접·이간시키는 방향으로 지지 유닛(132)에 대해 변위될 수 있다. 스프링은 베이스 부재(1300)와 베이스 부재(1320)가 분리되는 방향으로 이들을 가압한다.

지지부(1323)는, 일단측이 베이스 부재(1320)에, 타단측이 베이스 부재(1300)에 형성된 개구부(1300a)를 통과하여 베이스 부재(1310)에 접속되고 기판 보유지지 유닛(131)을 지지한다(매단다). 본 실시형태의 경우, 지지부(1323)는 X방향으로 이간되어 2개 마련되어 있다. 지지부(1323)는 지지기둥형 부재로서, 그 선단부에 베이스 부재(1310)가 고정된다. 커버 보유지지 유닛(130)과 달리 기판 보유지지 유닛(131)은 지지 유닛(132)에 대해 변위 불가능하게 지지된다. 베이스 부재(1310) 및 (1320)은 모두 수평 자세로 유지되며 베이스 부재(1300)는 지지부(1322)의 신축에 의해 다소의 경사는 있지만 기본적으로는 수평 자세로 유지된다.

＜제어 유닛＞

도 7은 이재 시스템(1)의 제어 유닛(6)의 블럭도이다. 제어 유닛(6)은 이재 시스템(1) 전체를 제어한다.

제어 유닛(6)은, CPU 등의 처리부(61)와, RAM, ROM 등의 기억부(62)와, 외부 디바이스와 처리부(61)를 인터페이스하는 인터페이스부(63)를 포함한다. 인터페이스부(63)에는, I/O 인터페이스 외에 호스트 컴퓨터와의 통신을 행하는 통신 인터페이스도 포함된다. 호스트 컴퓨터는, 예를 들면 기판 처리 설비(A) 전체를 제어하는 컴퓨터이다.

처리부(61)는 기억부(62)에 기억된 프로그램을 실행하며, 각종 센서(65)의 검출 결과나 각종 액추에이터(64)를 제어한다. 각종 센서(65)에는, 예를 들면 승강체(144)의 위치를 검출하는 센서 등이 포함된다. 각종 액추에이터(64)에는, 예를 들면 반송 장치(10), 캐리어 처리 장치(11), 반송 장치(12), 및 이동 장치(14)의 각 구동원이나, 보유지지 장치(13)에서의 진공압 흡인하는 펌프나 제어 밸브 등이 포함된다.

＜제어예＞

이재 시스템(1)의 제어예에 대해 도 8a∼도 13b를 참조하여 설명하기로 한다. 여기에서는, 기판(W)의 이재 동작에 대해 설명하기로 한다. 구체적으로는, 반송 장치(10)상에 반입된 기판(W)을 보유지지하는 캐리어(5)로부터 기판(W)을 취출하고, 그 기판(W)을 이재처에 이재하는 예에 대해 설명하기로 한다. 이 예에서는 기판(W)의 이재처는 반송 장치(12)이다.

도 8a는, 처리 장치(3)로부터 공급된, 기판(W)을 보유지지하는 캐리어(5)가 반송 장치(10)상의 소정 위치에 반입된 상태를 도시한다. 우선, 동 도면에 도시한 것처럼 이동 장치(14)에 의해 보유지지 장치(13)를 캐리어(5)의 상방으로 이동시킴과 아울러 회동 유닛(143)에 의해 보유지지 장치(13)의 수평면에서의 회전 각도가 조절된다. 계속해서 도 8b에 도시한 바와 같이, 이동 장치(14)에 의해 보유지지 장치(13)를 강하시키고 보유지지 장치(13)에 의해 캐리어(5)를 보유지지한다. 이 때, 우선 보유지지 장치(13)의 강하 과정에서 커버 보유지지 유닛(130)의 위치 결정 부재(1303)가 재치부(50)의 구멍(50a) 및 커버(51)의 구멍(51c)에 삽입되어 걸어맞추어진다. 이로써 보유지지 장치(13)와 캐리어(5)와의 수평 방향의 위치결정이 이루어진다. 계속해서 커버 보유지지 유닛(130)의 흡착부(1301)의 흡인을 개시하여 커버(51)를 흡착 보유지지한다. 이때 커버 규정 부재(1302)에 의해 보유지지 위치가 규정된다. 커버(51)와 재치부(50)는 자력에 의해 연결되어 있기 때문에 커버(51)를 흡착 보유지지함으로써 기판(W)을 포함한 캐리어(5) 전체가 보유지지 장치(13)에 보유지지되게 된다.

다음으로 도 9a에 도시한 바와 같이, 캐리어(5)를 보유지지한 보유지지 장치(13)를 이동 장치(14)에 의해 캐리어 처리 장치(11)상으로 이동시킴과 아울러, 회동 유닛(143)에 의해 보유지지 장치(13)의 수평면에서의 회전 각도가 조절된다. 계속해서 도 9b에 도시한 바와 같이, 보유지지 장치(13)를 이동 장치(14)에 의해 강하시키고 캐리어(5)를 위치 결정 유닛(110)의 재치 핀(1101)상에 재치한다. 또한 액추에이터(1102)를 구동하여 위치 결정 부재(1103)를 재치부(50)에 맞닿게 하고 재치부(50)를 위치 결정하여 보유지지한다. 커버(51)에는 노치(51a)가 형성되어 있기 때문에 위치 결정 부재(1103)가 재치부(50)에 맞닿을 때 커버(51)와 위치 결정 부재(1103)가 간섭하지 않는다.

다음으로 도 10a에 도시한 바와 같이, 분리 유닛(111)의 구동 유닛(1110)을 구동하여 핀 지지 테이블(1113)을 상승시킨다. 이로써 도 10b에 도시한 바와 같이 핀(1114)이 재치부(50)로부터 돌출되어 커버(51)를 밀어올려 재치부(50)로부터 커버(51)를 상방으로 분리시킨다. 즉, 재치부(50)와 커버(51)의 연결이 해제되어 재치부(50)로부터 커버(51)가 소정 거리만큼 이간된 위치에 위치된다. 커버 보유지지 유닛(130)은, 지지부(1322)에 의해 지지 유닛(132)에 대해 변위 가능하게 지지되어 있기 때문에 커버(51)가 밀어올려질 때 커버 보유지지 유닛(130)도 커버(51)와 함께 상승하게 된다.

계속해서 기판 보유지지 유닛(131)의 흡착부(1311)의 흡인을 개시한다. 커버(51)에는 개구부(51b)가 형성되어 있기 때문에 개구부(51b)를 개재하여 기판(W) 중 커버(51)와 겹치지 않는 부분이 흡착부(1311)에 흡착 보유지지된다. 이 때 기판 규정 부재(1312)에 의해 기판(W)의 위치가 규정된다. 그리고 커버(51)는 커버 보유지지 유닛(130)에 흡착 보유지지되며, 기판(W)은 기판 보유지지 유닛(131)에 흡착 보유지지된 상태가 된다. 아울러 본 실시형태에서는, 커버(51)와 재치부(50)의 연결을 해제한 후에 기판(W)의 흡착을 개시하였으나, 커버(51)와 재치부(50)의 연결 해제 전에 기판(W)의 흡착을 개시해도 좋다.

다음으로 도 11a에 도시한 바와 같이, 보유지지 장치(13)를 이동 장치(14)에 의해 상승시킨다. 이 때 재치부(50)는 캐리어 처리 장치(11)상에 잔류하고, 커버(51)와 기판(W)이 보유지지 장치(13)와 함께 상승한다. 커버(51)와 기판(W)은 모두 수평 자세로 서로 평행하게 보유지지된다.

커버(51)에 대해 핀(1114)을 밀어올림으로써 지지 유닛(132)에 대해 상방에 변위되어 있던 커버 보유지지 유닛(130)은 그 변위분만큼 원래 위치로 돌아온다(강하한다).

다음으로 도 11b에 도시한 바와 같이, 커버(51)와 기판(W)을 보유지지한 보유지지 장치(13)를 이동 장치(14)에 의해 반송 장치(12)상으로 이동시킴과 아울러 회동 유닛(143)에 의해 보유지지 장치(13)의 수평면에서의 회전 각도가 조절된다. 계속해서 도 12에 도시한 바와 같이, 보유지지 장치(13)를 반송 장치(12)상에 강하시킨다.

반송 장치(12)의 상부에는, 도 13a에 도시한 바와 같이 기판(W)과 간섭하지 않는 위치에 돌기부(120)가 형성되어 있다. 보유지지 장치(13)를 반송 장치(12)상에 강하시킬 때, 이 돌기부(120)는 커버(51)에 맞닿아 커버(51)의 강하를 기판(W)보다 먼저 정지시킨다. 즉, 커버(51)의 하면에 돌기부(120)가 맞닿으면 커버 보유지지 유닛(130)은 더 이상 강하할 수 없게 된다. 커버 보유지지 유닛(130)은 지지부(1322)에 의해 지지 유닛(132)에 대해 변위 가능하게 지지되어 있기 때문에, 보유지지 장치(13)를 계속 강하시키면 기판 보유지지 유닛(131)은 커버 보유지지 유닛(130)보다 강하되어 커버(51)에서 기판(W)이 분리되는 상태가 된다.

보유지지 장치(13)의 강하를 소정 위치에서 정지시키고 흡착부(1311)의 흡인을 정지시켜 대기 개방함으로써 기판(W)의 흡착이 해제되어 반송 장치(12)상에 재치된다. 이상에 의해 기판(W)의 반송 장치(12)로의 이재가 완료된다.

그 후, 커버(51)를 이재원(移載元)의 위치 결정 유닛(110)상의 재치부(50)에 겹쳐 빈 캐리어(5)로 하고, 이 빈 캐리어(5)를 반송 장치(10)에 이재하는 동작을 행한다. 우선, 커버(51)만을 보유지지한 보유지지 장치(13)를, 도 13b에 도시한 바와 같이 캐리어 처리 장치(11)상에 이동시킴과 아울러 회동 유닛(143)에 의해 보유지지 장치(13)의 수평면에서의 회전 각도를 조절하여 이재원의 재치부(50)에 이동시키고 커버(51)와 재치부(50)를 연결시킨다. 아울러 핀 지지 테이블(1113)은 분리 동작과 역동작으로 동작시켜 핀(1114)을 퇴피 위치로 이동시킨다.

커버(51)를 재치부(50)에 겹침으로써 양자가 자력에 의해 연결된다. 이로써 기판(W)을 보유지지하고 있지 않은 빈 캐리어(5)가 된다. 액추에이터(1102)를 구동하여 위치 결정 부재(1103)를 재치부(50)로부터 이간시켜 재치부(50)의 보유지지를 해제한다.

빈 캐리어(5)를 보유지지한 보유지지 장치(13)를 이동 장치(14)에 의해 반송 장치(10)상으로 이동시킴과 아울러 회동 유닛(143)에 의해 보유지지 장치(13)의 수평면에서의 회전 각도가 조절된다. 계속해서 커버 보유지지 유닛(130)의 흡착부(1301)의 흡인을 정지시키고 대기 개방한다. 이로써 빈 캐리어(5)의 보유지지가 해제되어 빈 캐리어(5)는 반송 장치(10)에 이재된다. 빈 캐리어(5)는 반송 장치(10)에 의해 격납 장치(2)로 반출되며 기판(W)을 보유지지하고 있는 새로운 캐리어(5)가 처리 장치(3)로부터 반송 장치(10)에 반입된다.

또 반송 장치(12)상에 재치된 기판(W)은, 반송 장치(12)에 의해 처리 장치(4)에 이송되며 처리 장치(4)에 의해 처리가 행해진다.

이상과 같이 본 실시형태에서는, 캐리어 처리 유닛(11)으로부터 반송 장치(12)에 기판(W)을 이재할 때, 커버(51)와 기판(W) 모두를 보유지지 장치(13)로 보유지지하여 반송하기 때문에, 커버(51)와 기판(W)을 따로 따로 이동시키는 방식에 비해 이재의 공정수를 줄일 수 있어 기판(W)의 이재 효율을 향상시킬 수 있다. 커버(51)와 기판(W)은 각각의 면끼리 서로 평행한 자세로 인접하여 보유지지되며 캐리어(5)에서의 이들 위치 관계를 유지한 채로 이동된다. 따라서 커버(51)의 교체 등이 불필요해져 기판(W)의 이재 효율 향상뿐 아니라 커버(51)를 재치부(50)상으로 되돌릴 때의 효율도 향상시킬 수 있다.

＜제2 실시형태＞

제1 실시형태에서는, 기판 보유지지 유닛(131)의 흡착부(1311)에 의한 진공압 흡인에 의해 기판(W)과 접촉 흡착하여 기판(W)을 보유지지하였으나, 베르누이 척(Bernoulli chuck) 방식에 의한 비접촉 흡착으로 해도 좋다.

도 14는 본 실시형태의 보유지지 장치(13)의 일부 분해도, 도 15a 및 도 15b는 기판 보유지지 유닛(133)의 개략도이다. 보유지지 장치(13)는, 커버 보유지지 유닛(130)과, 기판 보유지지 유닛(133)과, 이들을 지지하는 지지 유닛(132)을 구비한다. 커버 보유지지 유닛(130)과 지지 유닛(132)의 구성은 제1 실시형태와 동일하다.

기판 보유지지 유닛(133)은, 기판(W)을 해제 가능하게 보유지지하는 유닛이다. 기판 보유지지 유닛(133)은, 베이스 부재(1330)와 흡착부(1331)와 규제 유닛(1332)을 구비한다. 베이스 부재(1330)에는, 지지 유닛(132)의 지지부(1323)가 고정되는 부착 구멍(1330a)(본 실시형태에서는 2개를 도시)가 형성되어 있다. 또 베이스 부재(1330)는, 위치 결정 유닛(110)의 위치 결정 부재(1103)와의 간섭을 회피하도록 형성되어 있다.

흡착부(1331)는, 베이스 부재(1330)의 하면 오목부에 마련되어 있다. 본 실시형태에서는, 기판의 길이 방향으로 간격을 두고 3개의 흡착부가 마련되어 있다. 흡착부(1331)는 베이스 부재(1330)의 내부에 마련된 통로를 통해 미도시된 유체 발생원에 접속되어 공기를 분출하도록 구성되어 있다. 흡착부(1331)로부터 분출되는 공기는 베이스 부재(1330)의 하면과 기판(W)과의 간극으로부터 외부 주위로 흘러 흡착부(1331)와 기판(W) 틈새의 기압이 대기압보다 낮아짐으로써 기판(W)이 비접촉으로 흡착된다.

기판(W)의 흡착은 비접촉 흡착이며, 기판(W)은 그 기판 면방향으로 자유 이동 가능하다. 그래서 기판(W)의 기판 면방향(본 실시형태에서는 수평 방향)으로의 자유 이동을 규제하는 규제 유닛(1332)이 베이스 부재(1330)의 길이 방향 각각의 단부에 마련된 흡착부(1331)의 주변에 복수 마련되어 있다. 규제 유닛(1332)은 베이스 부재(1330)의 하면으로부터 돌출된 핀형 규제부(1332a)를 구비하고 있다. 규제부(1332a)는, 규제 유닛(1332)의 본체에 대해 진퇴 가능하게 마련되어 있다. 따라서 베이스 부재(1330)의 하면으로부터 Y방향으로 신축 가능하게 돌출된다.

복수의 규제 유닛(1332)은, 규제부(1332a)가 기판(W)의 외연(外緣)을 둘러싸도록 간격을 두고 배치되어 있으며, 본 실시형태의 경우 6개 배치되어 있다. 상세하게는, 기판(W)의 길이 방향의 대향하는 각각의 변에 2개씩 합계 4개의 규제 유닛(1332) 및, 기판(W)의 폭 방향의 대향하는 각각의 변에 1개씩 합계 2개의 규제 유닛(1332)이 각각 배치되며, 기판(W)이 기판 면방향으로 이동할 때 기판(W)의 외연이 각각의 규제부(1332a)에 맞닿기 때문에, 그 자유 이동이 규제된다.

다음으로 본 실시형태에서의 기판(W)의 이재 동작중의 기판 보유지지 유닛(133)의 동작에 대해 도 16a∼도 18을 참조하여 설명하기로 한다.

도 16a는, 핀(1114)에 의해 커버(51)를 밀어올린 상태를 도시하고, 제1 실시형태의 도 10a의 단계에 상당한다. 이때 기판 보유지지 유닛(133)의 규제부(1332a)는 재치부(50)의 상면에 맞닿은 상태에 있으며, 기판(W)의 주위는 6개의 규제부(1332a)로 둘러싸여 있다. 또 기판(W)과 커버(51)는 이간된 상태가 된다. 아울러 보유지지 장치(13)를 위치 결정 유닛(110)상에 강하시킬 때 규제부(1332a)는 신축 가능하므로 규제부(1332a)가 재치부(50)의 상면에 맞닿은 후, 다시 보유지지 장치(13)를 강하시키면 규제부(1332a)가 수축하게 된다.

흡착부(1331)로부터 공기의 분출을 개시하면, 도 16b에 도시한 바와 같이 기판(W)이 재치부(50)로부터 이간되어 베이스 부재(1330)의 하면에 비접촉으로 흡착된다. 규제부(1332a)는, 비접촉으로 흡착될 때에 기판(W)의 주위를 규제하면서 재치부(50)에서 비접촉 흡착 보유지지 위치까지의 기판(W)의 이동을 가이드한다. 커버(51)와 기판(W)이 대향하는 면은, 겹치는 부분에서는 접촉한 상태에서 보유지지 장치(13)에 보유지지된다. 계속해서 이동 장치(14)에 의해 보유지지 장치(13)를 상승시킨다. 커버(51)와 기판(W)은 모두 수평 자세로 서로 평행하게 보유지지된다.

다음으로 도 17a에 도시한 바와 같이, 이동 장치(14)에 의해 보유지지 장치(13)를 반송 장치(12)상에 강하시킨다. 이동할 때 기판(W)이 그 기판 면방향(Z방향)으로 자유 이동하는 경우가 있지만, 이것은 규제부(1332a)에 의해 규제된다.

제1 실시형태와 마찬가지로 보유지지 장치(13)를 반송 장치(12)상에 강하시킬 때 돌기부(120)가 커버(51)에 맞닿아 도 17b의 상태가 된다. 흡착부(1331)의 공기 분출을 정지시키면 기판(W)의 흡착이 해제되어 반송 장치(12)상에 기판(W)이 재치된다. 이 때에도 규제부(1332a)는, 기판(W)의 주위를 규제하면서 반송 장치(12)상에 재치될 때까지 기판(W)의 이동을 가이드한다. 이상에 의해 기판(W)의 반송 장치(12)로의 이재가 완료된다.

그 후, 도 18에 도시한 바와 같이 제1 실시형태와 마찬가지로 커버(51)를 이재원의 위치 결정 유닛(110)상의 재치부(50)에 겹쳐 빈 캐리어(5)로 하고, 이 빈 캐리어(5)를 반송 장치(10)에 반송하는 동작을 행하게 된다.

본 실시형태의 경우, 기판(W)이 기판 보유지지 유닛(133)과 비접촉으로 보유지지되므로 기판(W)에 흡착 자국이 남는 것을 방지할 수 있다.

본 이재 시스템(1)에서는, 반송 장치(10)와 캐리어 처리 장치(11)가 Z방향으로 다른 위치에 배치되어 있지만, 반송 장치(10)에 의한 반송 궤도 도중에 캐리어 처리 장치(11)를 배치시켜 Z방향으로 같은 위치에 배치시켜도 좋다. 이로써 캐리어(5)의 반입출 및 재치부(50)와 커버(51)와의 분리 및 기판(W)과 커버(51)와의 보유지지를 연속하여 행할 수 있게 된다.

Claims

기판이 재치(載置)되는 재치부와, 상기 재치부 상면에 밀착하여 겹쳐지는 커버를 구비한 캐리어로부터, 상기 재치부와 상기 커버 사이에 보유지지된 상기 기판을 이재(移載)하는 이재 방법으로서,
상기 재치부상의 상기 기판 및 상기 커버를 보유지지 장치에 의해 보유지지하는 보유지지 공정과,
상기 보유지지 장치를 이동시킴으로써 상기 기판 및 상기 커버를 상기 재치부에서 이재처(移載處)로 이동시키는 이동 공정을 포함하고,
상기 보유지지 공정에서는,
상기 커버와 상기 기판이 평행한 자세로, 상기 커버를 상기 보유지지 장치의 커버 보유지지 유닛에 의해, 상기 기판을 상기 보유지지 장치의 기판 보유지지 유닛에 의해 각각 보유지지하는 것을 특징으로 하는 이재 방법.
청구항 1에 있어서,
상기 보유지지 공정에서,
상기 커버 보유지지 유닛은 상기 커버를 흡착하고,
상기 기판 보유지지 유닛은 상기 기판을 흡착함과 아울러 규정 부재에 의해 기판의 위치결정을 행하는 것을 특징으로 하는 이재 방법.
청구항 1에 있어서,
상기 보유지지 공정에서,
상기 커버 보유지지 유닛은 상기 커버를 흡착하고,
상기 기판 보유지지 유닛은 상기 기판을 비접촉 흡착함과 아울러 비접촉 흡착된 상기 기판의 기판 면방향으로의 자유 이동을 규제하는 것을 특징으로 하는 이재 방법.
청구항 1에 있어서,
상기 보유지지 공정에서,
상기 기판 보유지지 유닛은 상기 기판의 상기 커버와 겹치지 않는 부분을 보유지지하는 것을 특징으로 하는 이재 방법.
청구항 1에 있어서,
상기 이동 공정에 의해 상기 이재처로 이동된 상기 기판 및 상기 커버 중 상기 기판의 보유지지를 해제하여 이재처에 상기 기판을 재치하는 공정과,
상기 커버만을 보유지지하는 상기 보유지지 장치를 이재원(移載元)의 상기 재치부로 이동시키는 공정과,
이재원의 상기 재치부 상면에 상기 커버를 겹치는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이재 방법.
청구항 5에 있어서,
이재원의 상기 재치부와 상기 재치부에 겹쳐진 상기 커버를 반출하고 새로운 상기 캐리어를 반입하는 반입출 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이재 방법.
기판이 재치되는 재치부와, 상기 재치부 상면에 밀착하여 겹쳐지는 커버를 구비한 캐리어로부터, 상기 재치부와 상기 커버 사이에 보유지지된 상기 기판과 상기 커버를 보유지지하는 보유지지 장치로서,
상기 커버를 보유지지하는 커버 보유지지 유닛과,
상기 기판을 보유지지하는 기판 보유지지 유닛과,
상기 커버 보유지지 유닛 및 상기 기판 보유지지 유닛을 지지하는 지지 유닛을 구비하고,
상기 지지 유닛은,
상기 캐리어에 근접·이간시키는 방향으로, 상기 커버 보유지지 유닛이 변위 가능하게 상기 커버 보유지지 유닛을 지지하는 것을 특징으로 하는 보유지지 장치.
청구항 7에 있어서,
상기 지지 유닛은,
상기 커버 보유지지 유닛을 상기 캐리어에 근접·이간시키는 방향으로 플로팅 지지하는 플로팅 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 보유지지 장치.
청구항 7에 있어서,
상기 커버 보유지지 유닛은,
상기 커버를 흡착하는 흡착부와,
상기 커버에 맞닿아 상기 커버의 흡착 방향의 위치를 규정하는 커버 규정 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 보유지지 장치.
청구항 7에 있어서,
상기 커버 보유지지 유닛은,
상기 커버를 흡착하는 흡착부와,
상기 재치부와 걸어맞추어져 상기 캐리어에 대해 상기 커버 보유지지 유닛을 위치 결정하는 위치 결정 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 보유지지 장치.
청구항 7에 있어서,
상기 기판 보유지지 유닛은,
상기 기판을 비접촉 흡착하는 흡착부와,
비접촉 흡착된 상기 기판의 기판 면방향으로의 자유 이동을 규제하는 규제 유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는 보유지지 장치.
청구항 11에 있어서,
상기 지지 유닛은, 상기 기판 보유지지 유닛을 지지하는 지지부를 구비하고,
상기 규제 유닛은, 상기 기판 면방향과 직교하는 방향으로 신축 가능하게 돌출되는 규제부를 구비하는 것을 특징으로 하는 보유지지 장치.
기판이 재치되는 재치부와, 상기 재치부 상면에 밀착하여 겹쳐지는 커버를 구비한 캐리어로부터, 상기 재치부와 상기 커버 사이에 보유지지된 상기 기판을 이재하는 이재 시스템으로서,
상기 캐리어의 상기 재치부를 위치 결정하여 보유지지하는 위치 결정 유닛과,
상기 위치 결정 유닛에 보유지지되어 있는 상기 캐리어의 상기 재치부로부터 상기 커버를 분리하는 분리 유닛과,
청구항 7에 기재된 보유지지 장치와,
상기 보유지지 장치를 이동시키는 이동 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 이재 시스템.
청구항 13에 있어서,
상기 분리 유닛은, 상기 위치 결정 유닛에 위치 결정된 상기 캐리어의 상기 재치부보다 하방에 위치하는 퇴피 위치와, 상기 재치부의 상면으로부터 돌출되는 작동 위치와의 사이에서 승강 가능하며, 또한 상기 캐리어의 상기 커버의 하면에 맞닿는 맞닿음 부재를 포함하고,
상기 위치 결정 유닛은,
상기 맞닿음 부재가 통과 가능한 개구부가 형성된 베이스 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 이재 시스템.
청구항 13에 있어서,
상기 이재 시스템은,
상기 이동 장치 및 상기 위치 결정 유닛이 배치되는 베이스부와,
상기 베이스부상에 마련되어 상기 기판을 반송하는 반송 장치를 더 구비하고,
상기 이동 장치는 적어도 상기 위치 결정 유닛 및 상기 반송 장치 사이에서 상기 보유지지 장치를 이동 가능하게 지지하는 것을 특징으로 하는 이재 시스템.
청구항 15에 있어서,
상기 이동 장치는,
상기 반송 장치 및 상기 위치 결정 유닛의 상방에서 수평 방향으로 연장 설치된 안내 유닛과,
상기 안내 유닛을 지지하는 지지기둥과,
상기 안내 유닛을 따라 이동 가능한 수평 이동체와,
상기 수평 이동체에 마련되며 상기 보유지지 장치를 승강시키는 승강 유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는 이재 시스템.