JP5875950B2 - 基板保持装置および研磨装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 298
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims description 161
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 141
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 136
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 81
- 230000008961 swelling Effects 0.000 claims description 24
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 9
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 claims description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 description 94
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 24
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 19
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 19
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 16
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 5
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 4
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 4
- 229920002943 EPDM rubber Polymers 0.000 description 3
- 229920000181 Ethylene propylene rubber Polymers 0.000 description 3
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 3
- JUPQTSLXMOCDHR-UHFFFAOYSA-N benzene-1,4-diol;bis(4-fluorophenyl)methanone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1.C1=CC(F)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(F)C=C1 JUPQTSLXMOCDHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 3
- 229920003225 polyurethane elastomer Polymers 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 229920006351 engineering plastic Polymers 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229920005830 Polyurethane Foam Polymers 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 210000000476 body water Anatomy 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 239000011496 polyurethane foam Substances 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67092—Apparatus for mechanical treatment
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/27—Work carriers
- B24B37/30—Work carriers for single side lapping of plane surfaces
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/27—Work carriers
- B24B37/30—Work carriers for single side lapping of plane surfaces
- B24B37/32—Retaining rings
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
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Description
本発明によれば、基板が研磨面に接触している状態のときには、ストッパと弾性膜の隔壁の一部との間またはストッパと延長部材との間には所定の間隔が形成されているため、パッドやリテーナリング等の消耗品の厚さが変化した場合や研磨パラメータを変更した場合に、弾性膜の隔壁の取り付け位置からパッドまでの距離が変化しても、研磨中に弾性膜の基板保持面を基板に追従させることができる。
本発明の基板保持装置の他の態様は、弾性膜と該弾性膜を保持するトップリング本体とを有し、前記弾性膜と前記トップリング本体の下面との間に前記弾性膜の隔壁によって仕切られた複数の圧力室を形成し、前記弾性膜の下面に基板を当接させて保持するとともに前記複数の圧力室に圧力流体を供給することで流体圧により基板を研磨面に押圧する基板保持装置において、前記基板が前記研磨面に接触していない状態で少なくとも1つの圧力室に圧力流体を供給したときに、前記弾性膜の隔壁の一部または前記弾性膜の基板当接面の裏面から延びる延長部材に当接して前記弾性膜の膨らみを制限するストッパを設け、前記隔壁の一部は、隔壁の水平部分であり、前記ストッパは、前記トップリング本体の下端部において水平方向に延びる水平部分により形成されていることを特徴とする。
本発明によれば、弾性膜の隔壁は、基板当接面の裏面から斜め上方に延びる傾斜部分と、傾斜部分から水平方向に延びる水平部分と、水平部分から上方に延びてトップリング本体(キャリア)に固定される固定部分とから構成されており、基板をリリースする際、1つの圧力室を加圧すると、弾性膜に下方への圧力がかかり、隔壁の水平部分と垂直方向の固定部分との挟角が開いて水平部分が下方に傾斜して隔壁が垂直方向に移動する。このとき、隔壁の水平部分の傾きはストッパにより規制されて隔壁の垂直可動範囲は制限され、弾性膜の膨らみ量が制限される。したがって、基板リリース時に基板の変形を抑制できるとともに基板にかかる応力を低減できる。
本発明によれば、隔壁の水平部分の全長とほぼ等しい長さを有するストッパを隔壁の水平部分の下方に配置しているため、隔壁の垂直方向可動範囲を効果的に制限し、基板離脱時のように弾性膜の基板加圧面側がフリーな状態で弾性膜が加圧された場合の弾性膜の膨らみ量を制限する。
本発明によれば、ストッパの先端角部が面取りされているため、ストッパの先端角部による弾性膜のダメージ(損傷)を防止することができる。
本発明の好ましい態様は、前記延長部材は、円環状リブまたは複数の支柱からなることを特徴とする。
本発明の基板保持装置の他の態様は、弾性膜と該弾性膜を保持するトップリング本体とを有し、前記弾性膜と前記トップリング本体の下面との間に前記弾性膜の隔壁によって仕切られた複数の圧力室を形成し、前記弾性膜の下面に基板を当接させて保持するとともに前記複数の圧力室に圧力流体を供給することで流体圧により基板を研磨面に押圧する基板保持装置において、前記基板が前記研磨面に接触していない状態で少なくとも1つの圧力室に圧力流体を供給したときに、前記弾性膜の隔壁の一部または前記弾性膜の基板当接面の裏面から延びる延長部材に当接して前記弾性膜の膨らみを制限するストッパを設け、前記延長部材は、前記トップリング本体を貫通して上方に延び、前記ストッパは前記トップリング本体の上面に形成されていることを特徴とする。
本発明によれば、基板研磨時には、ストッパを下げておき、ストッパと弾性膜の隔壁又は延長部材との間のクリアランス(0.5〜3.0mm)を保っている。基板のリリース(離脱)時には、上下動機構を作動させてストッパを上昇させ、隔壁又は延長部材の垂直方向可動範囲を更に限定する。本発明によれば、基板リリース時に弾性膜の隔壁の垂直可動範囲は、ストッパが固定である場合に比べて更に制限され、膨らみ量が更に制限される。したがって、基板リリース時に基板の変形を抑制することができるとともに基板にかかる応力を飛躍的に低減できる。
本発明によれば、ストッパと隔壁又は延長部材との少なくとも一方の表面にフッ素コーティング等の表面処理を施している。ストッパと隔壁または延長部材とが貼り付いた場合、基板研磨時に隔壁にテンションが掛かるなどの隔壁の垂直方向動作が妨げられて、その部分の基板押圧力が不均一になるため、ストッパと隔壁又は延長部材の少なくとも一方に表面処理を施すことにより、ストッパと隔壁又は延長部材との貼り付きを防止している。
本発明によれば、弾性膜の底面は放射状の突部により剛性が高まり、基板リリース時の圧力室の膨らみ量を抑えることができる。
本発明によれば、圧力室に供給された圧力流体は、弾性膜に形成された開口から噴出して基板を下方に押し下げる。そのため、基板を弾性膜から確実に離脱させることができる。
本発明の好ましい態様は、前記基板を前記弾性膜から離脱させる際に、前記基板が前記研磨面に接触していない状態で前記少なくとも1つの圧力室に圧力流体を供給することを特徴とする。
研磨テーブル100は、テーブル軸100aを介してその下方に配置される研磨テーブル回転モータ(図示せず)に連結されており、そのテーブル軸100a周りに回転可能になっている。研磨テーブル100の上面には研磨パッド101が貼付されており、研磨パッド101の表面101aが半導体ウエハなどの基板を研磨する研磨面を構成している。研磨テーブル100の上方には研磨液供給ノズル(図示せず)が設置されており、この研磨液供給ノズルによって研磨テーブル100上の研磨パッド101上に研磨液が供給されるようになっている。
図2に示すように、トップリング1は、基板Wを研磨面101aに対して押圧するトップリング本体(キャリアとも称する)2と、研磨面101aを直接押圧するリテーナリング3とから基本的に構成されている。トップリング本体(キャリア)2は概略円盤状の部材からなり、リテーナリング3はトップリング本体2の外周部に取り付けられている。トップリング本体2は、エンジニアリングプラスティック(例えば、PEEK)などの樹脂により形成されている。トップリング本体2の下面には、基板の裏面に当接する弾性膜(メンブレン)4が取り付けられている。弾性膜(メンブレン)4は、エチレンプロピレンゴム(EPDM)、ポリウレタンゴム、シリコンゴム等の強度および耐久性に優れたゴム材によって形成されている。
トップリング1は基板受け渡し部から基板Wを受け取り真空吸着により保持する。弾性膜(メンブレン)4には基板Wを真空吸着するための複数の孔(図示せず)が設けられており、これらの孔は真空源に連通されている。基板Wを真空吸着により保持したトップリング1は、予め設定したトップリングの研磨時設定位置まで下降する。この研磨時設定位置では、リテーナリング3は研磨パッド101の表面(研磨面)101aに接地しているが、研磨前は、トップリング1で基板Wを吸着保持しているので、基板Wの下面(被研磨面)と研磨パッド101の表面(研磨面)101aとの間には、わずかな間隙(例えば、約1mm)がある。このとき、研磨テーブル100およびトップリング1は、ともに回転駆動されている。この状態で、各圧力室に圧力流体を供給して基板の裏面側にある弾性膜(メンブレン)4を膨らませ、基板の下面(被研磨面)を研磨パッド101の表面(研磨面)に当接させ、研磨テーブル100とトップリング1とを相対運動させることにより、基板の研磨を開始する。そして、各圧力室5,6,7,8,9に供給する流体の圧力を調整することにより、基板Wを研磨パッド101に押圧する押圧力を基板の領域毎に調整し、かつリテーナリング3が研磨パッド101を押圧する押圧力を調整し、基板の表面が所定の状態(例えば、所定の膜厚)になるまで研磨する。
図3は、トップリング1とプッシャ150とを示す概略図であり、基板をトップリング1からプッシャ150へ受け渡しするために、プッシャを上昇させた状態を示す図である。図3に示すように、プッシャ150は、トップリング1との間で芯出しを行うためにリテーナリング3の外周面と嵌合可能なトップリングガイド151と、トップリング1とプッシャ150との間で基板を受け渡しする際に基板を支持するためのプッシャステージ152と、プッシャステージ152を上下動させるためのエアシリンダ(図示せず)と、プッシャステージ152とトップリングガイド151とを上下動させるためのエアシリンダ(図示せず)とを備えている。
(1)基板Wをトップリング1から離脱(リリース)する際に複数の圧力室のうち少なくとも1つの圧力室を加圧状態にする。
(2)加圧状態にされる圧力室を仕切るメンブレン4の隔壁4aの水平部分又は傾斜した部分の下方に、隔壁4aの可動範囲を制限するストッパを設け、加圧時のメンブレンの膨らみを抑制する。
図5は、本発明の第1の実施形態を示す図であり、メンブレン4の隔壁4aとトップリング本体(キャリア)2の一部に形成されたストッパとの関係を示す模式的断面図である。図5に示すように、メンブレン4は、隣接する2つの圧力室を仕切る隔壁4aを備えている。図5に示す例においては、1つの圧力室、例えばリプル室6を形成する左右の隔壁4a,4aが示されており、隔壁4a,4aは左右対称に形成されている。すなわち、隔壁4a,4aは加圧流体の流路12を中心として線対称になっている。メンブレン4には流路12に面して開口4Hが形成されている。各隔壁4aは縦方向(垂直方向)の伸びやすさに配慮した折曲部を有している。すなわち、メンブレン4の隔壁4aは、基板当接面の裏面から斜め上方に延びる傾斜部4asと、傾斜部4asから水平方向に延びる水平部4ahと、水平部4ahから上方に延びてトップリング本体(キャリア)2に固定される固定部4afとから構成されている。
1)隔壁4aの水平部4ahの全長L1とほぼ等しい長さのL2を有するストッパ2Sを隔壁4aの水平部4ahの下方に配置している。これにより、隔壁4aの垂直方向可動範囲を効果的に制限し、基板離脱時のようにメンブレン4に保持されている基板が研磨面に接触していない状態であってメンブレン4の基板加圧面側がフリーな状態でメンブレン4が加圧された場合のメンブレン4の膨らみ量を制限する。
2)隔壁4aの水平部4ahとストッパ2Sとの間に、0.5〜3.0mmのクリアランス(間隔)を設けている。このクリアランスにより、パッドやリテーナリング等の消耗品の厚さが変化した場合や研磨パラメータを変更した場合にメンブレン隔壁の取り付け位置からパッドまでの距離が変化しても、研磨中に隔壁4aが基板Wに追従するようにしている。
3)ストッパ2Sの先端角部teに半径1.0mm(R1.0)以上の面取りをしている。これにより、ストッパ2Sの先端角部teによるメンブレン4のダメージ(損傷)を防止する。
4)ストッパ2Sおよび隔壁4aの少なくとも一方の表面にフッ素コーティング等の表面処理を施している。ストッパ2Sとメンブレン隔壁4aとが貼り付いた場合、基板研磨時に隔壁4aにテンションが掛かるなどの隔壁4aの垂直方向動作が妨げられて、その部分の基板押圧力が不均一になるため、ストッパ2Sおよび隔壁4aの少なくとも一方に表面処理を施すことにより、ストッパ2Sと隔壁4aとの貼り付きを防止している。
図15乃至図19に示すトップリング1は、図2に示すトップリング1を更に詳細に示したものである。図15から図19に示すように、トップリング1は、半導体基板Wを研磨面101aに対して押圧するトップリング本体2と、研磨面101aを直接押圧するリテーナリング3とから基本的に構成されている。トップリング本体2は、円盤状の上部材300と、上部材300の下面に取り付けられた中間部材304と、中間部材304の下面に取り付けられた下部材306とを備えている。リテーナリング3は、トップリング本体2の上部材300の外周部に取り付けられている。上部材300は、図16に示すように、ボルト308によりトップリングシャフト111に連結されている。また、中間部材304は、ボルト309を介して上部材300に固定されており、下部材306はボルト310を介して上部材300に固定されている。上部材300、中間部材304、および下部材306から構成されるトップリング本体2は、エンジニアリングプラスティック(例えば、PEEK)などの樹脂により形成されている。なお、上部材300をSUS、アルミニウムなどの金属で形成してもよい。
2 トップリング本体
2C キャビティ(空洞)
2S,2S−1,2S−2,320,322 ストッパ
3 リテーナリング
4 メンブレン(弾性膜)
4a 隔壁
4af 固定部
4ah 水平部
4as 傾斜部
4H,410h 開口
4p,130 支柱
4ps 折曲部
4r 円環状リブ
4t 突部
5 センター室
6 リプル室
7 アウター室
8 エッジ室
9 リテーナリング加圧室
11,12,13,14,15,21,22,23,24,26,324,325,326,328,329,334,336,338,344,412,414 流路
25 ロータリージョイント
30 圧力調整部
31,131 真空源
35 気水分離槽
100 研磨テーブル
100a テーブル軸
101 研磨パッド
101a 研磨面
110 トップリングヘッド
111 トップリングシャフト
112 回転筒
113,116 タイミングプーリ
114 トップリング用モータ
115 タイミングベルト
117 トップリングヘッドシャフト
124 上下動機構
125 ロータリージョイント
126 軸受
128 ブリッジ
129 支持台
132 ボールねじ
132a ねじ軸
132b ナット
138 サーボモータ
150 プッシャ
151 トップリグガイド
152 プッシャステージ
153 リリースノズル
300 上部材
304 中間部材
306 下部材
309,409 ボルト
314a,314b リプル
314c,314d エッジ
314f 隙間
316 エッジホルダ
318,319 リプルホルダ
319a 爪部
327 コネクタ
347 環状溝
400 シリンダ
402 保持部材
404 弾性膜
406 ピストン
408 リング部材
408a 上リング部材
408b 下リング部材
410 リテーナリングガイド
410a 外周側部
410b 内周側部
410c 中間部
411 ボルト
420 接続シート
421 バンド
422 シール部材
451 室
F1,F2,F3,F4,F5 流量センサ
P1,P2,P3,P4,P5 圧力センサ
R1,R2,R3,R4,R5 圧力レギュレータ
te 先端角部
V1−1,V1−2,V1−3,V2−1,V2−2,V2−3,V3−1,V3−2,V3−3,V4−1,V4−2,V4−3,V5−1,V5−2,V5−3 バルブ
W 基板
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- 弾性膜と該弾性膜を保持するトップリング本体とを有し、前記弾性膜と前記トップリング本体の下面との間に前記弾性膜の隔壁によって仕切られた複数の圧力室を形成し、前記弾性膜の下面に基板を当接させて保持するとともに前記複数の圧力室に圧力流体を供給することで流体圧により基板を研磨面に押圧する基板保持装置において、
前記基板が前記研磨面に接触していない状態で少なくとも1つの圧力室に圧力流体を供給したときに、前記弾性膜の隔壁の一部または前記弾性膜の基板当接面の裏面から延びる延長部材に当接して前記弾性膜の膨らみを制限するストッパを設け、
前記基板が前記研磨面に接触している状態のときには、前記ストッパと前記弾性膜の隔壁の一部との間または前記ストッパと前記延長部材との間には所定の間隔が形成されていることを特徴とする基板保持装置。 - 前記ストッパは、前記隔壁の一部の下方または前記延長部材の下方に設置されていることを特徴とする請求項1に記載の基板保持装置。
- 前記間隔は、0.5〜3.0mmであることを特徴とする請求項1または2に記載の基板保持装置。
- 弾性膜と該弾性膜を保持するトップリング本体とを有し、前記弾性膜と前記トップリング本体の下面との間に前記弾性膜の隔壁によって仕切られた複数の圧力室を形成し、前記弾性膜の下面に基板を当接させて保持するとともに前記複数の圧力室に圧力流体を供給することで流体圧により基板を研磨面に押圧する基板保持装置において、
前記基板が前記研磨面に接触していない状態で少なくとも1つの圧力室に圧力流体を供給したときに、前記弾性膜の隔壁の一部または前記弾性膜の基板当接面の裏面から延びる延長部材に当接して前記弾性膜の膨らみを制限するストッパを設け、
前記隔壁の一部は、隔壁の水平部分であり、
前記ストッパは、前記トップリング本体の下端部において水平方向に延びる水平部分により形成されていることを特徴とする基板保持装置。 - 前記ストッパの水平部分は、前記隔壁の水平部分とほぼ等しい長さを有することを特徴とする請求項4に記載の基板保持装置。
- 弾性膜と該弾性膜を保持するトップリング本体とを有し、前記弾性膜と前記トップリング本体の下面との間に前記弾性膜の隔壁によって仕切られた複数の圧力室を形成し、前記弾性膜の下面に基板を当接させて保持するとともに前記複数の圧力室に圧力流体を供給することで流体圧により基板を研磨面に押圧する基板保持装置において、
前記基板が前記研磨面に接触していない状態で少なくとも1つの圧力室に圧力流体を供給したときに、前記弾性膜の隔壁の一部または前記弾性膜の基板当接面の裏面から延びる延長部材に当接して前記弾性膜の膨らみを制限するストッパを設け、
前記ストッパの先端角部が面取りされていることを特徴とする基板保持装置。 - 弾性膜と該弾性膜を保持するトップリング本体とを有し、前記弾性膜と前記トップリング本体の下面との間に前記弾性膜の隔壁によって仕切られた複数の圧力室を形成し、前記弾性膜の下面に基板を当接させて保持するとともに前記複数の圧力室に圧力流体を供給することで流体圧により基板を研磨面に押圧する基板保持装置において、
前記基板が前記研磨面に接触していない状態で少なくとも1つの圧力室に圧力流体を供給したときに、前記弾性膜の隔壁の一部または前記弾性膜の基板当接面の裏面から延びる延長部材に当接して前記弾性膜の膨らみを制限するストッパを設け、
前記延長部材は上端に水平部分を有し、前記水平部分が前記ストッパと当接することを特徴とする基板保持装置。 - 前記延長部材は、円環状リブまたは複数の支柱からなることを特徴とする請求項7に記載の基板保持装置。
- 弾性膜と該弾性膜を保持するトップリング本体とを有し、前記弾性膜と前記トップリング本体の下面との間に前記弾性膜の隔壁によって仕切られた複数の圧力室を形成し、前記弾性膜の下面に基板を当接させて保持するとともに前記複数の圧力室に圧力流体を供給することで流体圧により基板を研磨面に押圧する基板保持装置において、
前記基板が前記研磨面に接触していない状態で少なくとも1つの圧力室に圧力流体を供給したときに、前記弾性膜の隔壁の一部または前記弾性膜の基板当接面の裏面から延びる延長部材に当接して前記弾性膜の膨らみを制限するストッパを設け、
前記延長部材は、前記トップリング本体を貫通して上方に延び、前記ストッパは前記トップリング本体の上面に形成されていることを特徴とする基板保持装置。 - 弾性膜と該弾性膜を保持するトップリング本体とを有し、前記弾性膜と前記トップリング本体の下面との間に前記弾性膜の隔壁によって仕切られた複数の圧力室を形成し、前記弾性膜の下面に基板を当接させて保持するとともに前記複数の圧力室に圧力流体を供給することで流体圧により基板を研磨面に押圧する基板保持装置において、
前記基板が前記研磨面に接触していない状態で少なくとも1つの圧力室に圧力流体を供給したときに、前記弾性膜の隔壁の一部または前記弾性膜の基板当接面の裏面から延びる延長部材に当接して前記弾性膜の膨らみを制限するストッパを設け、
前記ストッパは、上下動機構により上下動可能に構成されていることを特徴とする基板保持装置。 - 前記ストッパと前記隔壁又は前記延長部材との少なくとも一方に表面処理を施したことを特徴とする請求項1に記載の基板保持装置。
- 弾性膜と該弾性膜を保持するトップリング本体とを有し、前記弾性膜と前記トップリング本体の下面との間に前記弾性膜の隔壁によって仕切られた複数の圧力室を形成し、前記弾性膜の下面に基板を当接させて保持するとともに前記複数の圧力室に圧力流体を供給することで流体圧により基板を研磨面に押圧する基板保持装置において、
前記基板が前記研磨面に接触していない状態で少なくとも1つの圧力室に圧力流体を供給したときに、前記弾性膜の隔壁の一部または前記弾性膜の基板当接面の裏面から延びる延長部材に当接して前記弾性膜の膨らみを制限するストッパを設け、
前記弾性膜の基板当接面の裏面に突部を形成したことを特徴とする基板保持装置。 - 前記少なくとも1つの圧力室を形成する弾性膜の部分には、圧力流体を基板に向けて噴出する開口が形成されていることを特徴とする請求項1乃至12のいずれか一項に記載の基板保持装置。
- 前記基板を前記弾性膜から離脱させる際に、前記基板が前記研磨面に接触していない状態で前記少なくとも1つの圧力室に圧力流体を供給することを特徴とする請求項1乃至13のいずれか一項に記載の基板保持装置。
- 研磨面を有した研磨テーブルと、請求項1乃至14のいずれか一項に記載の基板保持装置と、前記基板を前記基板保持装置との間で受け渡しするプッシャとを備えたことを特徴とする研磨装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012146627A JP5875950B2 (ja) | 2012-06-29 | 2012-06-29 | 基板保持装置および研磨装置 |
TW102121476A TWI607833B (zh) | 2012-06-29 | 2013-06-18 | Substrate holding device and polishing device |
KR1020130073706A KR101942107B1 (ko) | 2012-06-29 | 2013-06-26 | 기판 보유 지지 장치 및 연마 장치 |
US13/929,295 US10442056B2 (en) | 2012-06-29 | 2013-06-27 | Substrate holding apparatus and polishing apparatus |
KR1020190006191A KR102033868B1 (ko) | 2012-06-29 | 2019-01-17 | 기판 보유 지지 장치 및 연마 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012146627A JP5875950B2 (ja) | 2012-06-29 | 2012-06-29 | 基板保持装置および研磨装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014008570A JP2014008570A (ja) | 2014-01-20 |
JP5875950B2 true JP5875950B2 (ja) | 2016-03-02 |
Family
ID=49778596
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012146627A Active JP5875950B2 (ja) | 2012-06-29 | 2012-06-29 | 基板保持装置および研磨装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10442056B2 (ja) |
JP (1) | JP5875950B2 (ja) |
KR (2) | KR101942107B1 (ja) |
TW (1) | TWI607833B (ja) |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6158637B2 (ja) * | 2012-08-28 | 2017-07-05 | 株式会社荏原製作所 | 弾性膜及び基板保持装置 |
JP6383152B2 (ja) * | 2014-01-10 | 2018-08-29 | 平田機工株式会社 | 移載方法、保持装置及び移載システム |
TWI589396B (zh) * | 2014-03-27 | 2017-07-01 | 荏原製作所股份有限公司 | 彈性膜、基板保持裝置、及研磨裝置 |
US9597759B2 (en) * | 2014-03-28 | 2017-03-21 | Pratt & Whitney Canada Corp. | Positioning assembly and method |
JP6463303B2 (ja) * | 2016-05-13 | 2019-01-30 | 株式会社荏原製作所 | 弾性膜、基板保持装置、基板研磨装置、基板保持装置における基板吸着判定方法および圧力制御方法 |
SG10201606197XA (en) | 2015-08-18 | 2017-03-30 | Ebara Corp | Substrate adsorption method, substrate holding apparatus, substrate polishing apparatus, elastic film, substrate adsorption determination method for substrate holding apparatus, and pressure control method for substrate holding apparatus |
SG10202002713PA (en) | 2015-08-18 | 2020-05-28 | Ebara Corp | Substrate adsorption method, substrate holding apparatus, substrate polishing apparatus, elastic film, substrate adsorption determination method for substrate holding apparatus, and pressure control method for substrate holding apparatus |
JP2017185589A (ja) * | 2016-04-06 | 2017-10-12 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理装置 |
JP6833591B2 (ja) * | 2016-10-28 | 2021-02-24 | 株式会社荏原製作所 | 基板保持装置、弾性膜、研磨装置、および弾性膜の交換方法 |
US11179823B2 (en) | 2016-10-28 | 2021-11-23 | Ebara Corporation | Substrate holding apparatus, elastic membrane, polishing apparatus, and method for replacing elastic membrane |
JP6360586B1 (ja) * | 2017-04-13 | 2018-07-18 | 三菱電線工業株式会社 | Cmp装置のウエハ保持用の弾性膜 |
USD851613S1 (en) | 2017-10-05 | 2019-06-18 | Applied Materials, Inc. | Target profile for a physical vapor deposition chamber target |
USD868124S1 (en) | 2017-12-11 | 2019-11-26 | Applied Materials, Inc. | Target profile for a physical vapor deposition chamber target |
USD877101S1 (en) * | 2018-03-09 | 2020-03-03 | Applied Materials, Inc. | Target profile for a physical vapor deposition chamber target |
CN110142689B (zh) * | 2019-04-17 | 2021-09-14 | 杭州众硅电子科技有限公司 | 一种晶圆装载支架、晶圆装载系统及晶圆装片方法 |
US11325223B2 (en) * | 2019-08-23 | 2022-05-10 | Applied Materials, Inc. | Carrier head with segmented substrate chuck |
USD908645S1 (en) | 2019-08-26 | 2021-01-26 | Applied Materials, Inc. | Sputtering target for a physical vapor deposition chamber |
USD937329S1 (en) | 2020-03-23 | 2021-11-30 | Applied Materials, Inc. | Sputter target for a physical vapor deposition chamber |
JP2022074321A (ja) * | 2020-11-04 | 2022-05-18 | 株式会社荏原製作所 | 研磨ヘッドおよび研磨装置 |
USD940765S1 (en) | 2020-12-02 | 2022-01-11 | Applied Materials, Inc. | Target profile for a physical vapor deposition chamber target |
JP6899040B1 (ja) * | 2020-12-09 | 2021-07-07 | 株式会社荏原製作所 | めっき装置、および基板ホルダ操作方法 |
USD1007449S1 (en) | 2021-05-07 | 2023-12-12 | Applied Materials, Inc. | Target profile for a physical vapor deposition chamber target |
WO2023233681A1 (ja) * | 2022-06-02 | 2023-12-07 | ミクロ技研株式会社 | 研磨ヘッド及び研磨処理装置 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7198561B2 (en) | 2000-07-25 | 2007-04-03 | Applied Materials, Inc. | Flexible membrane for multi-chamber carrier head |
US6652362B2 (en) * | 2000-11-23 | 2003-11-25 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Apparatus for polishing a semiconductor wafer and method therefor |
JP3520916B2 (ja) * | 2000-12-25 | 2004-04-19 | 株式会社東京精密 | ウェーハ研磨装置 |
JP2002198338A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-07-12 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハ研磨装置 |
US6769973B2 (en) * | 2001-05-31 | 2004-08-03 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Polishing head of chemical mechanical polishing apparatus and polishing method using the same |
US7033260B2 (en) * | 2001-12-06 | 2006-04-25 | Ebara Corporation | Substrate holding device and polishing device |
JP4583729B2 (ja) * | 2003-02-10 | 2010-11-17 | 株式会社荏原製作所 | 基板保持装置、研磨装置、及び該基板保持装置に用いられる弾性部材 |
JP4086722B2 (ja) * | 2003-06-24 | 2008-05-14 | 株式会社荏原製作所 | 基板保持装置及び研磨装置 |
AU2003250921A1 (en) | 2003-07-09 | 2005-01-28 | Peter Wolters Surface Technologies Gmbh And Co. Kg | Holder for flat workpieces, in particular semiconductor wafers for mechanochemical polishing |
JP2005123485A (ja) * | 2003-10-17 | 2005-05-12 | Ebara Corp | 研磨装置 |
US7044832B2 (en) | 2003-11-17 | 2006-05-16 | Applied Materials | Load cup for chemical mechanical polishing |
US7402098B2 (en) * | 2006-10-27 | 2008-07-22 | Novellus Systems, Inc. | Carrier head for workpiece planarization/polishing |
US7654888B2 (en) | 2006-11-22 | 2010-02-02 | Applied Materials, Inc. | Carrier head with retaining ring and carrier ring |
JP2008066761A (ja) * | 2007-11-29 | 2008-03-21 | Ebara Corp | 基板保持装置 |
JP2009131920A (ja) * | 2007-11-29 | 2009-06-18 | Ebara Corp | 研磨装置及び方法 |
JP5390807B2 (ja) | 2008-08-21 | 2014-01-15 | 株式会社荏原製作所 | 研磨方法および装置 |
JP5455190B2 (ja) * | 2009-04-03 | 2014-03-26 | 不二越機械工業株式会社 | 研磨装置 |
JP5635482B2 (ja) | 2011-11-30 | 2014-12-03 | 株式会社荏原製作所 | 弾性膜 |
-
2012
- 2012-06-29 JP JP2012146627A patent/JP5875950B2/ja active Active
-
2013
- 2013-06-18 TW TW102121476A patent/TWI607833B/zh active
- 2013-06-26 KR KR1020130073706A patent/KR101942107B1/ko active IP Right Grant
- 2013-06-27 US US13/929,295 patent/US10442056B2/en active Active
-
2019
- 2019-01-17 KR KR1020190006191A patent/KR102033868B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI607833B (zh) | 2017-12-11 |
US10442056B2 (en) | 2019-10-15 |
KR20190008976A (ko) | 2019-01-25 |
US20140004779A1 (en) | 2014-01-02 |
KR102033868B1 (ko) | 2019-10-17 |
KR101942107B1 (ko) | 2019-01-24 |
KR20140002515A (ko) | 2014-01-08 |
JP2014008570A (ja) | 2014-01-20 |
TW201404534A (zh) | 2014-02-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140925 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150625 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |