JP5877761B2 - 保持装置、搬送システム及び保持方法 - Google Patents

Description

本発明は、シートを保持する保持装置、搬送システム及び保持方法に関する。

ガラス基板やプリント基板等の各種基板の製造において、各処理工程の前工程または後工程において、基板（ワーク）を重ねて載置または運搬することがある。このとき、ワークに傷が付かないように可とうする合紙（シート）をワーク間に入れてワークと合紙とを交互に積み重ねる。このような、製造工程において、製品の品質の向上、及び作業効率の向上が求められている。その対策として、ワークやシートの搬送精度の向上、ロボットの導入による自動化、及び材料の廃棄によるムダの発生防止等が考えられる。

上記対策をとるための具体的な工程として、シートの保持工程に着目する。この工程は、複数のシートが積み重ねられた状態で所定の位置に供給され、積み重ねられたシートの山から最上部に位置する１枚のシートを保持するシート保持工程である。また、このシート保持工程において、シート間に発生する負圧、静電気等が原因となってシートを２枚以上取り出してしまう、あるいは保持力が弱く搬送途中でシートを落としてしまうことが頻繁に起こると、作業効率が低下することとなる。

そこで、シートを効率的に保持する方法として、特許文献１乃至３のような技術が提案されている。

特開２０００−１７７８５７号公報 特開２００３−５４７７４号公報 特開２００７−７００６０号公報

特許文献１には、シートを保持するための吸着パッドを複数列設けて、列ごとに独立して動作可能にすることが開示されている。この技術によれば、シートを保持した状態で、シートの形状を変形させることができ、これによってシートを２枚取り出した場合でも、直接保持しない１枚を振り落とすことができる。しかし、この場合振り落とされたシートがシートの山に対してずれて着地する、あるいはシートが変形した状態で振り落とされた際、皺を残したままシートの山に着地することなどにより、次に保持するシートの位置精度が悪くなり、保持異常が発生しやすくなって作業効率が大きく低下する。

特許文献２には、ベルヌーイの定理を利用し、圧縮空気を利用した非接触吸引により、ストッカーの収容部に収納されるシートを吸着（ベルヌーイ吸着）及び保持するとともにシート全面（全部）を分離させる非接触吸引手段と、圧縮空気により吸着及び保持から真空圧を利用した吸引に切り替えて全面が分離されたシートを吸着および保持する接触吸着手段とが開示されている。詳細には、シート全面を分離するためにシート全面を均等に吸引した状態で保持するため、所定の同じ間隔で非接触吸引手段を配置してシート全面を吸引保持するとともに、吸引したシートを水平な状態に維持しつつ上昇させながらシートの下面全面を２枚目のシートの上面全面から分離させている。その際に、非接触吸引手段による分離吸引保持中のシートは、ストッカーの収納部を形成する四側方を囲む側壁部により水平方向への移動が規制された状態で維持される。その後、ストッカーの収納部を形成する四側方を囲む側壁部により水平方向への移動が規制された状態でシート全面を均等に吸着保持するために所定の同じ間隔で配置された接触吸着手段によりシート全面を接触して吸着保持し、ストッカーの収納部からシートを取り出して移載を行っている。しかし、この技術では、シートを保持する箇所が少なければ、可とうシートは水平保持された状態が維持できず接触吸着手段による吸着前にシートを落下させてしまう恐れがあり、また、接触吸着手段による吸着保持前に気流等の影響を受けると形状を保つことが困難になり、シートが偏った状態または歪んだ状態でシートを保持することになり、接触吸着手段の真空吸引部が十分にシートに接近（接触）できず、シートを捉え損ねる恐れがある。また、非接触吸引手段によるシート分離から接触吸着手段による吸着までは、ストッカーの収納部の側壁による水平方向の移動が規制されている空間でしか採用することができない。

特許文献３には、保持したシートに接触させるためのピンを設け、ピンが接触することによりシートが変形し、変形により付着した２枚目のシートを分離する技術が開示されている。しかし、この技術も特許文献１と同様、分離されて落とされた２枚目のシートがシートの山からずれて着地する問題がある。また、可とうシートについては、取り扱うことができない。

そこで、本発明は、積み重ねられたシートの山の最上部から、または、載置台に載置される、１枚のシートを確実に保持することを目的とする。更にシート取り出し位置と異なる位置に載置された基板とシートとを取り出し、交互に載置することを目的とする。

そこで、本発明によれば、可とうシートを保持する保持装置であって、複数のシート保持部が所定の方向に沿って配列された複数の保持部列を備え、前記複数のシート保持部は、非接触で前記シートを吸引して保持する複数の非接触式シート保持部と、前記シートにおける前記非接触式シート保持部によって吸引された部分に接触保持する複数の接触式シート保持部と、を有し、それぞれの前記保持部列は、前記保持部列の方向と直交する方向に互いに離間して配設され、前記複数のシート保持部を前記保持部列ごとに前記シートに対して接近及び離隔する方向に移動させる第１保持部移動ユニットと、前記第１保持部移動ユニットを、前記保持部列の列ごとに移動させ、制御する制御ユニットとを備え、前記制御ユニットは、前記保持部列ごとに、前記接触式シート保持部が前記シートを保持し、前記保持部列ごとに、前記非接触式シート保持部が前記シートを保持するための制御を行うものであり、さらに、前記制御ユニットは、前記シート保持部によって保持される前記シートが、それぞれの前記保持部列に沿って連続した山部をそれぞれ有する波形状となるように、それぞれの前記保持部列の保持制御を行うことを特徴とする保持装置が提供される。
また本発明によれば、可とうシートを保持する保持装置であって、複数のシート保持部が所定の方向に沿って配列された複数の保持部列を備え、前記複数のシート保持部は、非接触で前記シートを吸引して保持する複数の非接触式シート保持部と、前記シートにおける前記非接触式シート保持部によって吸引された部分に接触保持する複数の接触式シート保持部と、を有し、それぞれの前記保持部列は、前記保持部列の方向と直交する方向に互いに離間して配設され、前記非接触式シート保持部及び前記接触式シート保持部の少なくとも一方を、前記シートに離隔及び接近する方向に向けて移動させる第２保持部移動ユニットを備えることを特徴とする保持装置が提供される。

また、本発明によれば、可とうシートを供給するシート供給部と、板状のワークを供給するワーク供給部と、前記シート及び前記ワークを保持する保持装置と、前記保持装置が前記保持した前記ワークの上に前記保持した前記シートを重ねて載置する載置部と、前記保持装置を、前記シート供給部に対向する位置と、前記ワーク供給部に対向する位置と、前記載置部に対向する位置との間で移動させる移動手段と、を備え、前記保持装置は、複数のシート保持部が所定の方向に沿って配列された複数の保持部列と、前記保持部列よりも外側に配置され、前記ワークを前記シートの保持面と反対側に位置するように保持するワーク保持部と、を有し、前記複数のシート保持部は、非接触で前記シートを吸引して保持する複数の非接触式シート保持部と、前記シートにおける前記非接触式シート保持部によって吸引された部分に接触して保持する複数の接触式シート保持部と、を有し、それぞれの前記保持部列は、前記保持部列の方向と直交する方向に互いに離間して配設され、前記複数のシート保持部を前記保持部列ごとに前記シートに対して接近及び離隔する方向に移動させる第１保持部移動ユニットと、前記第１保持部移動ユニットを、前記保持部列の列ごとに移動させ、制御する制御ユニットとを備え、前記制御ユニットは、前記保持部列ごとに、前記接触式シート保持部が前記シートを保持し、前記保持部列ごとに、前記非接触式シート保持部が前記シートを保持するための制御を行うものであり、さらに、前記制御ユニットは、前記シート保持部によって保持される前記シートが、それぞれの前記保持部列に沿って連続した山部をそれぞれ有する波形状となるように、それぞれの前記保持部列の保持制御を行うことを特徴とする搬送システムが提供される。
また本発明によれば、可とうシートを供給するシート供給部と、板状のワークを供給するワーク供給部と、前記シート及び前記ワークを保持する保持装置と、前記保持装置が前記保持した前記ワークの上に前記保持した前記シートを重ねて載置する載置部と、前記保持装置を、前記シート供給部に対向する位置と、前記ワーク供給部に対向する位置と、前記載置部に対向する位置との間で移動させる移動手段と、を備え、前記保持装置は、複数のシート保持部が所定の方向に沿って配列された複数の保持部列と、前記保持部列よりも外側に配置され、前記ワークを前記シートの保持面と反対側に位置するように保持するワーク保持部と、を有し、前記複数のシート保持部は、非接触で前記シートを吸引して保持する複数の非接触式シート保持部と、前記シートにおける前記非接触式シート保持部によって吸引された部分に接触して保持する複数の接触式シート保持部と、を有し、それぞれの前記保持部列は、前記保持部列の方向と直交する方向に互いに離間して配設され、前記非接触式シート保持部及び前記接触式シート保持部の少なくとも一方を、前記シートに離隔及び接近する方向に向けて移動させる第２保持部移動ユニットを備えることを特徴とする搬送システムが提供される。

さらに、本発明によれば、シートを保持装置によって保持する方法であって、前記保持装置は、前記シートに空気を吹き付けることにより発生する負圧により非接触で前記シートを保持する複数の非接触式シート保持部と、前記シートに接触して前記シートを保持する複数の接触式シート保持部と、を備え、前記保持装置と前記シートの保持面とを対向させるように、前記保持装置及び前記シートの少なくとも一方を移動させる第１工程と、少なくとも前記非接触式シート保持部と前記シートとを接近させるように、前記非接触式シート保持部及び前記シートの少なくとも一方を移動させる第２工程と、所定の方向に沿って配置される複数の前記非接触式シート保持部の列にて、前記シートの前記保持部列に沿った部分を吸引してこれらの部分を前記所定の方向に沿った複数の山部として浮上させ、シートを波形状にする第３工程と、前記非接触式シート保持部によって吸引された前記シートの山部に前記接触式シート保持部を接触させる第４工程と、前記接触式シート保持部が前記シートの山部に接触しながら前記シートを保持する第５工程と、を含むことを特徴とする方法が提供される。

本発明により、積み重ねられたシートの山から１枚のシートを確実にかつ正確な位置で保持することができる。

本発明の一実施形態に係る搬送装置を示す斜視図。 本発明の一実施形態に係る保持装置と、シート及びワークとの位置関係を示す（ａ）平面図、及び（ｂ）側面図。 各保持部列の構造を示す図。 保持部列及びシート保持部移動ユニットの動作例を示す図。 ワーク保持部の構造を示す図。 シート離隔装置の構造を示す図。 本発明の一実施形態に係る搬送装置の制御ユニットのブロック図。 保持装置によるシート及びワークの保持方法を示す図。 保持部列が２列の場合のシートの保持方法を示す図。 図８の方法で保持されたシート及びワークを載置する方法を示す図。 保持部列における非接触式シート保持部及び接触式シート保持部の配置のバリエーションの例を示す図。 第２保持部移動ユニットを備えた保持装置における保持部列及びシート保持部移動ユニットの動作例を示す図。 保持部列が３列の場合のシートの保持方法の一例を示す図。 保持部列が４列の場合のシートの保持方法の一例を示す図。 全ての非接触式シート保持部が一斉に移動する場合のシートの保持方法を示す図。 本発明の他の実施形態に係る保持装置と、シート及びワークとの位置関係を示す側面図。

以下、本発明の実施形態について図１乃至１０を参照しながら説明する。なお、これらの図面は概略図であり、各図面においてｘ、ｙ、ｚの各矢印の示す方向はそれぞれ同じ方向を示す。以下、本実施形態では、ワークＷ及びシートＳは水平に載置されたものを水平に保持しているが、載置、保持される角度は傾斜していてもよい。

＜１．搬送装置＞
図１は、本発明の一実施形態に係る搬送システム１００を示す斜視図である。搬送システム１００は、シート供給部１１０と、ワーク供給部１２０と、保持装置１と、保持装置移動ユニット２と、積重ね用載置部１３０と、搬送システム１００を構成する各動作機器の動作を制御するための制御ユニット３００と、を備える。

シート供給部１１０は、搬送システム１００の所定の位置に設定され、不図示の移送装置によりシート供給部１１０に移送されたシートＳが供給するシート供給部（第１載置部）である。シートＳは、例えば、紙、ＰＥＴフィルム等の可とう材料からなり、形状は矩形である。シート供給部１１０は、シート用パレット１１１、シート規制部材１１２、シート離隔装置１１３を備える。シート用パレット１１１の上には、積重ねられた状態のシートの山（以下、積み重ねられたシートをＳｓｔとする）が載置される。シート規制部材１１２は、Ｃ型の断面を有し、ｚ方向に延びる部材で、積み重ねられたシートＳｓｔの３方の側面に当接し、積み重ねられたシートＳｓｔの位置を規制する。シート離隔装置１１３は、積み重ねられたシートＳｓｔの側面のうち、シート規制部材１１２が当接していない面の近傍に設けられる。シート離隔装置１１３の詳細な説明については後述する。

ワーク供給部１２０は、例えば処理ラインであり、搬送システム１００のシート供給部１１０と異なる所定の位置に設定され、ワークＷが供給されるワーク供給部（第２載置部）である。ワークＷは、例えば、ガラス板（ガラス基板）、プリント基板等で、本実施形態では、ワークＷ及びシートＳの形状は、同一の矩形をしているが、これに限らず、実施条件によっては、例えば円形でもよく、また、ワークＷとシートＳの形は異なっていてもよい。ワークＷは、ワーク用載置部材１２１に載置され、ワーク供給部１２０によって移送され、供給される。

載置部１３０は、搬送システム１００のシート供給部１１０およびワーク供給部１２０と異なる所定の位置に設定された積重ね部（第３載置部）である。ワークＷとシートＳとは、載置部１３０に供給された積重ね用パレット１３１に交互に載置され、所定数が積み重ねられると不図示の移送装置により載置部１３０から取り出され、新たな積重ね用パレット１３１が供給される。

保持装置移動ユニット２は、保持装置１をシート供給部１１０、ワーク供給部１２０および載置部１３０のそれぞれの間を移動可能に構成され、本実施形態では複数のアーム部を有する多関節ロボットである。なお、保持装置１を、上下方向に移動可能な上下直動機構（例えば、電動シリンダ）および上下直動機構を直交する二方向となる水平方向に移動可能な複数の直動機構（例えば、電動シリンダ）を組み合わせた専用の移送装置または鉛直方向および水平方向に移動可能な直交ロボットなどを採用してもよい。

保持装置１は、保持装置本体１０と、シート保持装置４と、ガイド装置５と、ワーク保持装置６と、シート保持部移動ユニット７４と、ガイド移動ユニット７５と、ワーク保持部移動ユニット７６とを備え、これらの構成によってシートＳ及びワークＷを保持する。

＜２．シート保持装置＞
図２は、本発明の一実施形態に係る保持装置１と、シートＳ及びワークＷとの位置関係を示す（ａ）平面図、及び（ｂ）側面図である。図２（ａ）を参照する。シート保持装置４は、２つの保持部列Ｃ１及びＣ２でシートＳを保持し、各保持部列は、所定の方向（ｙ方向）となる第１方向に沿って複数のシート保持部を構成する非接触式シート保持部４１および接触式シート保持部４２が配置されている。

各保持部列は、非接触でシートＳを吸引して保持する非接触式シート保持部４１_Ｃ１、４１_Ｃ２（これらを総称する場合は非接触式シート保持部４１とする）、及びシートＳの非接触式シート保持部４１によって吸引された部分に接触してシートＳを保持する接触式シート保持部４２_Ｃ１及び４２_Ｃ２（これらを総称する場合は接触式シート保持部４２とする）を有する。

非接触式シート保持部４１及び接触式シート保持部４２は、保持部列Ｃ１及びＣ２の第１方向に直交する方向となる第２方向に設定された仮想直線を中心線Ｌ１として、中心線Ｌ１について線対称になるように配置される。この構成により、非接触式シート保持部４１及び接触式シート保持部４２は中心線Ｌ１を挟んで均等に配置され、接触式シート保持部４２は、シートＳの非接触式シート保持部４１で保持されたシートＳの部分をより確実に保持できる。本実施形態では、各保持部列に非接触式シート保持部４１が３個、接触式シート保持部４２が４個含まれ、それぞれ交互に配置される。

本実施形態では、保持装置１によるシートＳの保持位置は、シートＳを保持した場合に、シートＳの重心Ｇを中心線Ｌ１が通る位置であり、さらに、重心Ｇを通り、中心線Ｌ１に直交する（第１方向と平行な）仮想直線を中心線Ｌ２として、非接触式シート保持部４１及び接触式シート保持部４２から構成される保持部列Ｃ１及びＣ２が、中心線Ｌ２について線対称に配置された位置である。

以上の構成により、非接触式シート保持部４１及び接触式シート保持部４２はシートＳの重心を捉え、ｘｙ方向において偏ることなくシートＳを保持できるため、シートＳが一方側に大きく垂れ下がる等、保持されたシートＳが不規則に移動（ひらひら）したり、不安定になったりすることを防止できる。例えば、シートＳが大きく垂れ下がることを防止できることは、水平方向における空気抵抗や気流等の影響の軽減、及び保持または移動中においてシートＳの体勢が崩れる、あるいは保持装置１に対してずれること等を防止できることになる。

それぞれの保持部列は、保持部列の方向（第１方向）と直交する方向（第２方向）に互いに列間距離Ｐ１だけ離間して配設される。列間距離Ｐ１は、保持されるシートＳが、保持部列Ｃ１及びＣ２に沿ったシートＳの対応する部分（一部）を保持することで複数（ここでは２列）の山部を有する波形状となるように決定される。一例として本実施形態では、それぞれの保持部列内における非接触式シート保持部４１のピッチＰ２（接触式シート保持部４２のピッチもＰ２）とすると、Ｐ１＞Ｐ２となるように配置される。

非接触式シート保持部４１がシートＳを波形状で保持する（谷部と複数の山部とを形成するように保持する）ことにより、起伏がない状態でシートＳを保持する場合に比べてシートＳが既定の波形状から大きく変形しにくくなり、これによって、波形状のシートＳの山部に、確実に接触式シート保持部４２を接触させて吸着保持することができる。また、シートＳを波形状にして保持することで、シートＳの移載時における形状姿勢を制御することが可能となり、保持装置移動ユニット２によるシートＳの移載動作を速く動作することが可能となる。

図２（ｂ）を参照する。保持部列Ｃ１及びＣ２に直交する方向に最も離れた２つの保持部列Ｃ１とＣ２との離間距離Ｐ１はシートＳの同方向（ｘ方向）における長さＳｗよりも短く設定される（Ｓｗ＞Ｐ１）。したがって、各保持部列Ｃ１及びＣ２は、シートＳの第２方向（ｘ方向）の、一方の端部Ｓ１、及び反対側の他方の端部Ｓ２よりも内側の部分を保持することになる。

このように、保持部列Ｃ１とＣ２との離間距離と、シートＳの長さＳｗとを設定することで、シートＳの一方の端部Ｓ１と他方の端部Ｓ２とが垂れ下がるようにシートＳを保持できる。そのため、保持時に、シートＳの上（下）面からの投影面積を小さくでき、設備のコンパクト化が図れる。また、後で述べるワーク保持部６１により、シートＳが垂れ下がった部分に対応するワークＷの部分を保持することができる。

＜２−１．非接触式シート保持部＞
図３は、ｘ方向から見た概略断面説明図であり、各保持部列Ｃ１及びＣ２の構造を示す図である。各保持部列Ｃ１、Ｃ２は同様の構成を有する。非接触式シート保持部４１は、非接触式の吸着保持機構であり、代表的な例としては、エアをシートＳの表面に吹き付けることによって非接触式シート保持部４１の保持面とシートＳの上面（保持面）の間に負圧を発生させ、非接触でシートＳを吸引し、シートＳを保持する、いわゆるベルヌーイ吸着保持機構である。非接触式シート保持部４１は、吹付部４１１と、配管４１Ｈと、コネクタ４１２と、バルブ４１Ｖとから構成される。ここで、非接触式シート保持部４１は、ベルヌーイ吸着保持機構に限定するものではなく、同様の効果が得られるものであれば全て、シート保持部４１として適用が可能である。

吹付部４１１は、接続部４１１ａを介して流出するエアを、シートＳの面に沿った方向に変える流出路４１１ｂと、流出路４１１ｂからシートＳの面に沿ってエアを吹き出す吹出口４１１ｃとを有する。これにより、吹出口４１１ｃから吹き出すエアはシートＳの保持面に沿って流れることになり、非接触式シート保持部４１の保持面とシートＳの保持面との間に負圧部が形成（ベルヌーイの定理）され、シートＳが吹付部４１１近傍において持ちあがる（浮上する）。

非接触式シート保持部４１はシートＳの保持面に接触しないため、シートを保持する場合、保持すべきシートＳを押しつけることで２枚目のシートが分離しにくくなることを防止できる。さらに、非接触式シート保持部４１は、シートＳに対しエアを吹き付けることでシートＳを保持するため、接触式の吸着保持に発生するようなシートＳを形成する繊維等のわずかな隙間を通して２枚目のシートまで吸引してしまう不具合を防止できる。

吹付部４１１の接続部４１１ａは、通気可能な２つの接続部を有するコネクタ４１２の一方の接続部４１２ａに接続される。コネクタ４１２の他方の接続部４１２ｂは配管４１Ｈの一端に接続される。さらに、コネクタ４１２は取付部４１２ｃによりブラケット４Ｂに取り付けられる。ブラケット４Ｂは第１保持部移動ユニット７４１（シリンダ）の可動部（ロッド）７４１ａに取り付けられる。

配管４１Ｈは、保持部列中の全ての非接触式シート保持部４１（３個）とバルブ４１Ｖとを通気可能に接続する。なお、配管４１Ｈは、非接触式シート保持部４１が動作することを考慮して、可とう性を有するものであることが望ましい。

バルブ４１Ｖは、接続部４１Ｖａ、４１Ｖｂを有し、一方の接続部４１Ｖａは加圧ポンプ８１に、他方の接続部４１Ｖｂは配管４１Ｈに接続される。バルブ４１Ｖは接続部４１Ｖａ、４１Ｖｂの間で通気可能な状態（通気状態）と通気不可能な状態（オフ状態）とに切り替え可能なソレノイドバルブである。切り替えは制御ユニット３００からの信号によって行われる。シートＳを保持する場合は、制御ユニット３００がバルブ４１Ｖを駆動させ通気状態にする。それにより、加圧ポンプ８１から吹付部４１１にエアが送られ、吹付部４１１からシートＳの表面にエアを吹き付けることで、非接触式シート保持部４１はシートＳを保持する。一方、シートＳを解放する時は、制御ユニット３００がバルブ４１Ｖを駆動させオフ状態として、吹付部４１１へのエアの供給が停止される。本実施形態では、バルブ４１Ｖは保持部列の数と同数（２個）備えられ、それぞれの吹付部４１１と接続される。

＜２−２．接触式シート保持部＞
接触式シート保持部４２は、減圧ポンプ８２と接続されたパッド４２１を、シートＳに接触させ、パッド４２１とシートＳとの間の空間を減圧（負圧）状態とすることで、シートＳを保持する。接触式シート保持部４２は、パッド４２１と、配管４２Ｈと、コネクタ４２２と、バルブ４２Ｖとから構成される。

接触式シート保持部４２はパッド４２１をシートＳに接触させてシートＳを保持するため、パッド４２１とシートＳの間に摩擦力が働き、シートＳが、面方向にずれることを防止でき、より確実に保持装置１とシートＳの位置関係を規制できる。

パッド４２１は、例えばシリコーンゴム等の弾性材料からなり、内部が空洞の半球状を呈し、半球部の頂部に円筒状の接続部４２１ａを有する。本実施形態では、パッド４２１の下端は、非接触式シート保持部４１の吹付部４１１の下端と同じ高さとなる。

パッド４２１の接続部４２１ａは、通気可能な２つの接続部を有するコネクタ４２２の一方の接続部４２２ａに接続される。コネクタ４２２の他方の接続部４２２ｂは配管４２Ｈの一端に接続される。さらに、コネクタ４２２は取付部４２２ｃによりブラケット４Ｂに取り付けられる。

配管４２Ｈは、保持部列中の全ての接触式シート保持部４２（４個）とバルブ４２Ｖとを通気可能に接続する。なお、配管４２Ｈは、接触式シート保持部４２が動作することを考慮して、可とう性を有するものであることが望ましい。

バルブ４２Ｖは、接続部４２Ｖａ、４２Ｖｂ及び、大気開放部４２Ｖcを有し、接続部４２Ｖａは減圧ポンプ８２に、接続部４２Ｖｂは配管４２Ｈに接続される。バルブ４２Ｖは制御ユニット３００と電気的に接続されるソレノイドバルブであり、制御ユニット３００からの信号により駆動制御し切り替え操作を行う。シートＳを保持する場合、パッド４２１がシートＳに、接触した状態または接触する前の状態で、接続部４２Ｖａと４２Ｖｂとが接続され（これを吸引状態とする）、減圧ポンプ８２とパッド４２１の間が通気可能になる。これにより、シートＳの保持面にパッド４２１が接触した状態でパッド４２１内（パッド４２１とシートＳの接触面により形成される空間）が減圧され、シートＳは保持される。一方、保持されているシートＳを解放する時は、接続部４２Ｖｂと大気開放部４２Ｖｃとが接続され（これを開放状態とする）、パッド４２１内は大気圧に戻り、シートＳは解放される。本実施形態では、バルブ４２Ｖは保持部列の数と同数（２個）備えられ、それぞれのパッド４２１と接続される。

＜２−３．シート保持部移動ユニット＞
シート保持部移動ユニット７４は、保持部列ごとに第１保持部移動ユニット７４１（例えば、シリンダ７４１_Ｃ１及び７４１_Ｃ２（位置関係は図２参照））を備える（第２保持部移動ユニット７４２を有する実施形態については後述する）。なお、本実施形態では第１保持部移動ユニット７４１はエアシリンダであるが、油圧式シリンダでもよい、また、これらの移動機構としてはシリンダ式に限られず、モータ式のアクチュエータでもよい。

各保持部列に含まれる全ての非接触式シート保持部４１（コネクタ４１２）及び接触式シート保持部４２（コネクタ４２２）は１つのブラケット４Ｂに取り付けられる。第１保持部移動ユニット７４１は制御ユニット３００からの信号によって動作する。

したがって、第１保持部移動ユニット７４１の動作により、保持部列ごとに非接触式シート保持部４１及び接触式シート保持部４２を移動させることが可能となる。

なお、本実施形態では、第１保持部移動ユニット７４１を保持装置１側に構成してシートＳに対して相対移動可能としたが、シート供給部１１０にシート用パレット１１１を保持装置１に対して相対移動（昇降）させる移動機構を構成してもよい。また、保持装置１およびシート供給部１１０にそれぞれ相対移動（昇降）させる移動機構を設けてそれぞれを相対移動させてもよい。

このように、第１保持部移動ユニット７４１の各シリンダ７４１_Ｃ１、７４１_Ｃ２を保持部列ごとに駆動制御することにより、必要に応じて保持部列ごとにシートＳを持ち上げる順番を調整できる。

＜２−４．保持部列及びシート保持部移動ユニットの動作例＞
図４は、ｘ方向から見た概略断面説明図であり、保持部列Ｃ１、Ｃ２及びシート保持部移動ユニット７４の動作例を示す図である。本図では、ポンプ及び配管関係の図示を省略する。

まず、図４（ａ）に示すように、保持装置移動ユニット２により保持装置１をシート供給部１１０のシート用パレット１１１に載置されたシートＳの保持面と対向する対向方向（上方）の位置に配置させる。次に、シリンダ７４１_Ｃ１及び７４１_Ｃ２の可動部７４１ａを伸長させ、非接触式シート保持部４１をシートＳに所定の距離ｈまで接近させる。加圧ポンプ８１を駆動させ、バルブ４１Ｖを通気状態とすることで、非接触式シート保持部４１がシートＳの一部となる吸着部を吸引浮上させ吸着する。所定の距離ｈは非接触式シート保持部４１のベルヌーイ効果による吸着力によりシートＳを持ち上げるために必要な距離である。

次に、図４（ｂ）のように、それぞれの保持部列によって保持される最上部のシートＳの一部を積み重ねられたシートＳｓｔから持ち上げ（離間し）、保持する。図４（ｂ）は、保持されたシートＳの保持部分が積み重ねられたシートＳｓｔから離間した状態を表し、保持されていないシートＳのその他の部分（シート端部側Ｓ１、Ｓ２および中央部）は、積み重ねられたシートＳｓｔ側に垂れる状態を表す。

さらに、図４（ｃ）に示すように、バルブ４２Ｖを駆動させ吸引状態とする。これにより、接触式シート保持部４２が、非接触式シート保持部４１により保持されたシートＳの吸着部を吸い寄せ、図４（ｄ）に示すように、接触式シート保持部４２が、シートＳの吸着部に接触しながらシートＳを保持する。このとき、接触式シート保持部４２は、シートＳに接触していれば、上で述べたようにパッド４２１とシートＳの接触面により形成される空間が減圧される。

なお、非接触式シート保持部４１のバルブ４１Ｖをオフ状態とするタイミングは、接触式シート保持部４２がシートＳに接触しながら保持した時から、保持装置１がシートＳを解放する（接触式シート保持部４２による保持の解除）時までの間のいつでもよい。また、図４（ｂ）〜図４（ｃ）においては、非接触式シート保持部４１によるシートＳの吸引後、所定の位置まで非接触式シート保持部４１を上昇させ、その後、接触式シート保持部４２による保持を行っていたが、非接触式シート保持部４１によるシートＳの吸引後、所定の位置まで非接触式シート保持部４１を上昇させずに同じ位置で接触式シート保持部４２による保持を行ってもよい。

＜３．ガイド装置＞
図１に示すガイド装置５は、図２（ａ）に示すように、保持部列Ｃ１及びＣ２よりも外側（保持部列Ｃ１およびＣ２を挟み込む位置）にそれぞれ１個ずつ計２個配置されたガイド部材５１Ｌ、５１Ｒを備える（以下、総称する場合はガイド部材５１とする）。シート保持部（非接触式シート保持部４１、または接触式シート保持部４２）がシートＳを保持したとき、一方のガイド部材５１ＬはシートＳの一方の端部Ｓ１側の保持面の一部に、他方のガイド部材５１ＲはシートＳの他方の端部Ｓ２側の保持面の一部にそれぞれ当接する。したがって、シートＳをシート保持部で保持しつつ、ガイド部材５１に対してシートＳの両端部Ｓ１，Ｓ２を当接させることで、シートＳの端部Ｓ１、Ｓ２のばたつき等を防止でき、シートＳの位置が安定する。さらに、ガイド部材５１によりシートＳの端部Ｓ１、Ｓ２が保持面と反対側に湾曲させて位置づけられることで、確実にシートの形状を波形状とすることが可能となり、シートＳの、ずれまたは落下、あるいは損傷が防止される。

本実施形態では、ガイド部材５１は、長方形の板状部材である。ガイド部材５１Ｌ、５１Ｒは、長手方向を保持部列の方向と平行（ｙ方向）に、それぞれの下端部が離間する下方外側に向かって斜めになるようにブラケット５Ｂに取り付けられる。この構成では、ガイド部材５１とシートＳとが線接触または面接触することによりシートＳの体勢をより規制しやすくなり、ｚ方向を軸としたシートＳの回転を防止することもできる。さらにシートＳの端部Ｓ１、Ｓ２はガイド部材５１Ｌ、５１Ｒによって規制されており、ワーク保持部６１Ｌ、６１Ｒの移動の際、ワーク保持部６１Ｌ、６１ＲがシートＳに当たってシートＳがずれることを防止できる。

なお、本実施形態の構成の他に、シートＳの端部Ｓ１、Ｓ２の形状を制御する等を目的として、ガイド部材５１を上下動させるガイド移動ユニットを備える構成も考えられる。

＜４−１．ワーク保持装置＞
ワーク保持装置６は、保持部列Ｃ１、Ｃ２または、ガイド部材５１Ｌ、５１Ｒよりも外側に配置されワーク保持部６１Ｌ、６１Ｒを備える（以下、総称する場合はワーク保持部６１とする）。一方のワーク保持部６１Ｌは、シート保持部列の方向（第１方向）に沿って４個配列され、シートＳの一方の端部Ｓ１に重ねられるワークＷの一方の端部Ｗ１を保持する。他方のワーク保持部６１Ｒも、シート保持部列の方向（第１方向）に沿って４個配列され、シートＳの他方の端部Ｓ２に重ねられるワークＷの他方の端部Ｗ２を保持する。図２（ｂ）に示すように、シートＳが垂れ下がってできたスペース（Ｗ１、Ｗ２）でワークを保持できるため、シートＳとワークＷとを上下の位置関係で一緒に保持でき、設備の大型化も防止できる。

図５は、ｘ方向から見た概略断面説明図であり、ワーク保持部６１の構造を示す図である。両側のワーク保持部６１Ｌ、６１Ｒは同様の構成を有する。ワーク保持部６１の構成は基本的には接触式シート保持部４２と同様の構成で、パッド６１１と、配管６１Ｈと、コネクタ６１２と、バルブ６１Ｖとから構成され、パッド６１１がワークＷに接触してワークＷを保持する。

パッド６１１は、例えばシリコーンゴム等の弾性材料からなり、内部が空洞の半球状を呈し、半球部の頂部に円筒状の接続部６１１ａを有する。

パッド６１１の接続部６１１ａは、通気可能な２つの接続部を有するコネクタ６１２の一方の接続部６１２ａに接続される。コネクタ６１２の他方の接続部６１２ｂは配管６１Ｈの一端に接続される。さらに、コネクタ６１２は取付部６１２ｃにおいてブラケット６１Ｂが取り付けられる。ブラケット６１Ｂは、ワーク保持部移動ユニット７６のシリンダ７６１の可動部（ロッド）７６１ａに取り付けられる。

配管６１Ｈは、両側の全てのワーク保持部６１（８個）とバルブ６１Ｖとを通気可能に接続する。なお、配管６１Ｈは、ワーク保持部６１が動作することを考慮して、可とう性を有するものであることが望ましい。

バルブ６１Ｖは、２つの接続部６１Ｖａ、６１Ｖｂ及び、大気開放部６１Ｖcを有し、接続部６１Ｖａは減圧ポンプ８２に、接続部６１Ｖｂは配管６１Ｈに接続される。バルブ６１Ｖは制御ユニット３００と電気的に接続され、制御ユニット３００からの信号により切り替え操作を行う。ワークＷを保持する場合、パッド６１１がワークＷに接触した状態で、接続部６１Ｖａと６１Ｖｂとが接続され（吸引状態）、減圧ポンプ８２とパッド６１１の間が通気可能になる。これにより、パッド６１１内が減圧され、ワークＷは保持される。一方、保持されているワークＷを解放する時は、接続部６１Ｖｂと大気開放部６１Ｖｃとが接続され（開放状態）、パッド６１１内は大気圧に戻り、ワークＷは解放される。本実施形態では、バルブ６１Ｖは保持部列の数と同数（４個）備えられる。

＜４−２．ワーク保持部移動ユニット＞
ワーク保持部移動ユニット７６は、シリンダ７６１Ｌ、７６１Ｒは、それぞれ可動部７６１ａＬ、７６１ａＲ（以下総称する場合は可動部７６１ａとする）を有する。シリンダ７６１Ｌはワーク保持部６１Ｌを上下動させ、シリンダ７６１Ｒはワーク保持部６１Ｒを上下動させる。

図５に示すように、シリンダ７６１の可動部７６１ａにはそれぞれブラケット６１Ｂが１個ずつ取り付けられ、ブラケット６１Ｂに４個のコネクタ６１２が取り付けられる。シリンダ７６１は制御ユニット３００からの信号によって動作する。したがって、シリンダ７６１の動作により、各側のワーク保持部６１が４個まとめて移動する。なお、本実施形態ではワーク保持部移動ユニット７６はエアシリンダであるが、油圧式シリンダでもよい。また、シリンダ式に限られず、モータ式アクチュエータでもよい。また、ワーク保持部６１をガイド部材５１と共に移動させる構成としてもよく、この場合、ワーク保持部６１及びガイド部材５１を共通の移動ユニットで動作させる、すなわち、ワーク保持部移動ユニット７６とガイド移動ユニット７５とを１つの移動ユニットにまとめることも可能である。

＜５．シート離隔装置＞
図２（ａ）を参照する。シート離隔装置１１３はシート供給部１１０の所定の位置に配置され、重なって供給された複数枚のシートＳ間に気流を供給し、最上部のシートＳの取り出しの際の分離補助を行うもので、複数個のエア供給部を有する（図６中では、例えば、２個のエア供給部１１３_Ｃ１及び１１３_Ｃ２を有する）。各エア供給部１１３_Ｃ１、１１３_Ｃ２はそれぞれ保持部列Ｃ１、Ｃ２の延長線と平行な垂直方向の所定の位置にあり、積み重ねられたシートＳｓｔの側面（シートＳの外側）から積み重ねられたシートＳｓｔの上部にシートＳの面と平行に保持部列Ｃ１及びＣ２に沿った方向にエアを吹き付ける。

図６は、シート離隔装置１１３の構造を示す図である。エア供給部１１３_Ｃ１及び１１３_Ｃ２は配管１１３Ｈと接続され、配管１１３Ｈはさらにバルブ１１３Ｖの接続部１１３Ｖａに接続され、もう一方の接続部１１３Ｖｂは加圧ポンプ１１４に接続される。バルブ１１３Ｖを通気状態にすると、エア供給部１１３_Ｃ１及び１１３_Ｃ２は加圧ポンプ１１４から送られるエアをシートＳに吹付ける。吹き付けられたエアは、シートの隙間を通り抜けるため、最上部のシートＳとその下のシートＳｓｔとの間に空間部（隙間）が形成され、最上部のシートＳが分離されやすくなる。特に、本実施形態ではシートＳを保持装置１（ｚ方向）に向かって（ｙ方向の）保持部列に沿って列状に浮くように移動する。したがって、シートＳは波型形状を形成し易くなる。

この構成により、シートＳが保持される前に予めシートＳを持ち上げておくことができ、非接触式シート保持部４１がシートＳを保持しやすくなる。

なお、本実施形態では、シート離隔装置１１３はシート供給部１１０に設けられるが、保持装置１に設けられていてもよい。

＜６．制御ユニット＞
図７は、本発明の一実施形態に係る搬送装置１００の制御ユニット３００のブロック図である。図７（ａ）に示すように、制御ユニット３００は、ＣＰＵ等の処理部３０１と、ＲＡＭ、ＲＯＭ、ハードディスク等の記憶部３０２と、外部デバイスと処理部３０１とをインタフェースするインタフェース部３０３、とを備える。インタフェース部３０３には、ホストコンピュータ等、上位のコンピュータや周辺装置（不図示）との通信を行う通信インタフェースも含まれる。

制御ユニット３００は、保持装置移動ユニット２、各保持部列Ｃ１及びＣ２の各構成要素、ワーク保持部６１、ワーク保持部移動ユニット７６の各種動作機器（例えば、シリンダやモータ等）、及び各種センサ５１０に接続される。

各種センサ３１０には位置センサ３１１と、圧力センサ３１２とが含まれる。位置センサ３１１は保持装置１と、シートＳ及びワークＷとの位置関係を検出したり、各種動作機器の動作位置を検出したりする。圧力センサ３１２は接触式シート保持部４２がシートＳを保持したこと、及びワーク保持部６１がワークＷを保持したことを検知する。圧力センサ３１２は、例えば、接触式シート保持部４２及びワーク保持部６１の圧力制御機器や配管途中に取り付けられ圧力状態の変化を検知する。

図７（ｂ）は、各保持部列Ｃ１及びＣ２に含まれる構成要素と制御ユニット３００との接続関係を示した図である。制御ユニット３００は、非接触式シート保持部４１のバルブ４１Ｖ、接触式シート保持部４２のバルブ４２Ｖ、及び第１保持部移動ユニット７４１に接続される。

＜７．シート及びワークの保持方法＞
図８は、保持装置１によるシートＳ及びワークＷの保持方法を示す図である。以下、第１工程から第９工程までがシートＳ及びワークＷを保持する工程となる。

第１工程では、保持装置１とシートＳの保持面とを対向させるように、保持装置移動ユニット２が保持装置１をシート用パレット１１０の上方となる対向位置（シート取出待機位置）まで水平移動（矢印Ａ）させる。なお、このとき、シート用パレット１１０が保持装置１との対向位置に向かって自走できるよう、シート用パレット１１０に移動ユニット（例えば、水平移動ユニット）を設けるようにしてもよい。

第２工程では、非接触式シート保持部４１（及び接触式シート保持部４２）とシートＳとを接近させるように、保持装置移動ユニット２が保持装置１をシート取出待機位置から所定の位置（シート取出開始位置）まで下降させる。なお、このとき、非接触式シート保持部４１の下降とは独立してシートＳが上方向のシート取出開始位置に移動できるよう、シート用パレット１１０にも移動ユニット（例えば、昇降ユニット）を設けるようにしてもよい。

第３工程では、シート取出開始位置に待機する保持装置１の各保持部列Ｃ１及びＣ２の非接触式シート保持部４１を駆動させ、それぞれの保持部列Ｃ１およびＣ２に対向するシートＳの対応する部分（一部）を吸引し、シートＳを保持部列Ｃ１及びＣ２に沿った山部を有する波形状にする。

ここで、図９に示すように、保持部列Ｃ１およびＣ２によるシートＳを波形状で保持するための工程を第３Ａ〜３Ｄ工程に分けて詳しく説明する。なお、本工程が始まるまでは、シリンダ７４１は収縮しており、バルブ４１Ｖはオフ状態、バルブ４２Ｖは開放状態である。

第３Ａ工程では、シート離隔装置１１３の加圧ポンプ８１を駆動させ、シート供給部に供給された積み重ねられたシートＳｓｔの上部にエアを吹き付け、積み重ねられたシートＳｓｔの上部のシートＳの少なくとも一部を浮かせる。

第３Ｂ工程では、シート取出開始位置に待機した保持装置１の保持部列Ｃ１及びＣ２の非接触式シート保持部４１_Ｃ１及び４１_Ｃ２とシートＳとを所定の距離ｈまで接近させるように、シリンダ７４１_Ｃ１及び７４１_Ｃ２を伸長させる。なお、本実施例においては、保持部列Ｃ１及びＣ２のシリンダ７４１_Ｃ１及び７４１_Ｃ２は、シート取出開始位置からシート取出準備位置に移動する際に伸長させてもよい。また、シリンダ７４１を構成しない場合は、保持装置移動ユニット２またはシートＳのいずれか一方を移動させて保持装置１とシートＳとを接近させてもよい。

第３Ｃ工程では、保持部列Ｃ１及びＣ２のバルブ４１Ｖ_Ｃ１及び４１Ｖ_Ｃ２を駆動させて通気状態にする。これにより、保持部列Ｃ１及びＣ２に対向する最上部のシートＳの一部にエアが噴出され、非接触式シート保持部４１_Ｃ１及び４１_Ｃ２とシートＳの一部との間が負圧状態（ベルヌーイ状態）になり、シートＳの一部が保持部列Ｃ１及びＣ２に沿って非接触で吸引される。シートＳは、一部が非接触で吸引されるため吸引された状態で所定の方向に移動可能であり、保持部列Ｃ１及びＣ２に沿ったシートＳのそれぞれの端部Ｓ１及びＳ２がシートＳの中央部側に移動する（引き込まれる）ことにより保持部列Ｃ１及びＣ２に対向するシートＳの部分（一部）に山部が形成され、最上部のシートＳの一部がその下のシートＳから分離される。

第３Ｄ工程では、非接触式シート保持部４１_Ｃ１及び４１_Ｃ２がシートＳの対応する部分（一部）を吸引した状態で、保持部列Ｃ１及びＣ２のシリンダ７４１_Ｃ１及び７４１_Ｃ２を収縮させ、または、保持装置移動ユニット２を移動させ、非接触式シート保持部４１_Ｃ１及び４１_Ｃ２を上昇させる。これにより、図９に示すようにシートＳの両端を更に中央に引き込みながら、保持部列Ｃ１及びＣ２に沿って２列の山部が形成される。なお、第３Ｄ工程における非接触式シート保持部４１_Ｃ１及び４１_Ｃ２の上昇量は、シートＳの両端及び２列に形成された山部の間の谷部分が、下にある積み重ねられたシートＳｓｔに接触している程度とすることが望ましい。上昇量をこのように設定することで非接触式シート保持部４１_Ｃ１及び４１_Ｃ２と接触せずに保持されているシートＳは、少なくとも自重により下方に移動するシートＳの中央部が下側のシートＳに支持され、その結果、積み重ねられたシートＳｓｔとの間の摩擦力により水平方向の位置が規制され、波形状を確実に形成することが可能となる。

本実施形態では、第３Ｂ及び第３Ｄ工程で、全ての非接触式シート保持部４１_Ｃ１及び４１_Ｃ２を同時にシートＳに接近及び離間移動させているが、不図示の昇降ユニットによりシート用パレット１１０を昇降させるようにしてもよい。

再び図８を参照する。第４工程では、制御部３１が接触式シート保持部４２の全てのバルブ４２Ｖを駆動させて吸引状態にして、非接触式シート保持部４１によって吸引されて形成されたシートＳの対応部分（一部）となる山部に接触式シート保持部４２が接触してシートＳを吸着保持する（シート保持位置）。

ここで、第３（Ｄ）工程〜第４工程においては、非接触式シート保持部４１_Ｃ１及び４１_Ｃ２によるシートＳの吸引後、所定の位置まで非接触式シート保持部４１_Ｃ１及び４１_Ｃ２を上昇させ、その後、接触式シート保持部４２（実際には、接触式シート保持部４２_Ｃ１及び４２_Ｃ２）による保持を行っていたが、非接触式シート保持部４１_Ｃ１及び４１_Ｃ２によるシートＳの吸引後、所定の位置まで非接触式シート保持部４１_Ｃ１及び４１_Ｃ２を上昇させずに同じ位置で接触式シート保持部４２（実際には、接触式シート保持部４２_Ｃ１及び４２_Ｃ２）による保持を行ってもよい。

第５工程では、接触式シート保持部４２がシートＳの山部に接触しながらシートＳを保持する。

第６工程では、保持装置移動ユニット２を上昇させ接触式シート保持部４２がシートＳを保持した状態でシートＳを持ち上げ、保持したシートＳの一方の端部Ｓ１と、他方の端部Ｓ２とを下方に垂れ下がらせる。なお、このとき、非接触式シート保持部４１の上昇と同期してシート用パレット１１０が下方向等に移動できるよう、シート用パレット１１０にも移動ユニット（例えば、昇降ユニット）を設けるようにしてもよい。また、シートＳの端部Ｓ１、Ｓ２はガイド部材５１に当接しており、これらの端部Ｓ１、Ｓ２の位置を規制している。この後、制御部３１が全てのバルブ４１Ｖを駆動させてオフ状態にして非接触式シート保持部４１による保持を解除する。

第７工程では、保持装置１とワークＷの保持面とを対向させるように、保持装置移動ユニット２により保持装置１をワーク用パレット１２１の上方位置となる対向位置（ワーク取出待機位置）まで水平移動（矢印Ｂ）させる。なお、このとき、ワーク用パレット１２１が保持装置１との対向位置に向かって自走できるよう、ワーク用パレット１２１に移動ユニット（例えば、水平移動ユニット）を設けるようにしてもよい。また、保持装置１およびワーク用パレット１２１の両方を、互いに接近し、対向するように水平移動させても良い。

第８工程では、シリンダ７６１を伸長させて、ワーク保持部６１をワークＷに接近させ、ワークＷの一方の端部Ｗ１と、他方の端部Ｗ２とにワーク保持部６１を接触させる。なお、このとき、ワーク保持部６１の下方向の移動と一緒または個別にワーク用パレット１２１が上方向等に移動できるよう、ワーク用パレット１２１にも移動ユニット（例えば、昇降ユニット）を設けるようにしてもよい。

第９工程では、ワーク保持部６１とワークＷとが接触した状態で、制御部３１がバルブ６１Ｖを駆動させて（吸引状態にして）、ワーク保持部６１にワークＷを保持させる。

この後、保持装置移動ユニット２が保持装置１をワーク取出開始位置からワーク取出位置まで上昇させ、シートＳ及びワークＷを載置部１３０まで移送する。

＜８．シート及びワークの載置方法＞
図１０は、図８の方法で保持されたシートＳ及びワークＷを載置する方法を示す図である。以下、第１０工程から第１６工程までがシートＳ及びワークＷを載置部１３０に載置する工程となる。

第１０工程では、保持装置１が載置部１３０の積重ね用パレット１３１に対向するように、保持装置移動ユニット２が、保持装置１を載置部１３０の上方位置となる対向位置（積重ね待機位置）まで水平移動（矢印Ｃ）させる。なお、このとき、保持装置移動ユニット２の水平方向の移動と独立して積重ね用パレット１３１を保持装置１との対向位置に向かって自走できるよう、載置部１３０にも移動ユニット（例えば、水平移動ユニット）を設けるようにしてもよい。また、もちろん、保持装置１および積重ね用パレット１３１の両方を、互いに接近し、対向するように水平移動させても良い。

第１１工程では、保持装置移動ユニット２が、保持装置１を積重ね待機位置から積重ね可能な位置（積重ね開始位置）に移動することで積重ね用パレット１３１に向かって下降させ、ワーク保持部６１と載置部１３０とを接近させる。なお、このとき、保持装置移動ユニット２の下方向の移動と一緒または個別に積重ね用パレット１３１が上方向に移動できるよう、載置部１３０にも移動ユニット（例えば、昇降ユニット）を設けるようにしてもよい。

第１２工程では、制御部３１がバルブ６１Ｖを駆動させて開放状態にして、ワーク保持部６１がワークＷの保持を解放し、ワークＷを載置部１３０に待機する積重ね用パレット１３１に載置する。

第１３工程では、シリンダ７６１がワーク保持部６１を上昇させ、ワーク保持部６１と、載置部１３０とを離隔させる。

第１４工程では、第１保持部移動ユニット７４１を駆動することで載置部１３０の積重ね用パレット１３１に載置されたワークＷに向かって接触式シート保持部４２（及び非接触式シート保持部４１）を下降させ、接触式シート保持部４２を、載置部１３０の積重ね用パレット１３１に載置されたワークＷに接近させる。なお、このとき、積重ね用パレット１３１を上方向に移動させてもよい。

第１５工程では、制御部３１がバルブ４２Ｖを駆動させて開放状態にして、接触式シート保持部４２によるシートＳの保持を解放し、シートＳをワークＷの上に載置する。

第１６工程では、保持装置移動ユニット２が保持装置１を上昇させ（このとき同時にシリンダ７４１を収縮させてもよい）、接触式シート保持部４２と、積重ね用パレット１３１とを離隔させる。なお、このとき、積重ね用パレット１３１を下方向に移動させてもよい。

この後、再び保持装置移動ユニット２により保持装置１をシート用パレット１１０の上方まで水平移動させ（第１工程）、シートＳ及びワークＷを保持する工程を再び繰り返す。

＜９．本実施形態の効果＞
以上の本実施形態によれば、非接触式シート保持部４１によって、一番上に位置するシートＳの対応する部分（一部）を引き上げてから、接触式シート保持部４２によりそのシートを保持するため、一番上に位置するシートＳの下面を二番目に位置するシートＳの上面に押しつけることがなく分離でき、一番上に位置するシートＳのみを保持しやすくなる。また、非接触式シート保持部４１は列状に配置しているため、シートＳの対応する部分（一部）を確実にこれらの列に沿って浮き上がらせることができ、その結果、同列上に配置される接触式シート保持部４２と浮き上がった部分とを確実に接触させることができる。さらに、非接触式シート保持部４１によって吸引されたシートＳは接触式シート保持部４２により保持して波形状に維持されるため、シートＳが変形しにくくなり山部が形成される方向と直交する方向の歪みが防止される。

なお、本実施形態ではシート保持装置４、ワーク保持装置６を各移動ユニットが移動させる方向を上下方向としたが、シートＳ及びワークＷに接近及び離隔する方向であれば上下方向とする必要はない。

＜１０．他の実施形態＞
＜１０−１．非接触式シート保持部及び接触式シート保持部の配置バリエーション＞
図１１は、保持部列における非接触式シート保持部４１及び接触式シート保持部４２の配置のバリエーションＶ１〜Ｖ３の例を示す図である。図２で述べたように、中心線Ｌ１を中心にして線対称になるように配置されていればよく、図２で示した配置以外の配置として、図１１に示すような配置がある。バリエーションＶ１では、非接触式シート保持部４１が２個、接触式シート保持部４２が２個で、２個の非接触式シート保持部４１が内側（中心線Ｌ１側）に設けられ、それらを挟むように接触式シート保持部４２が１個ずつ外側に設けられている。バリエーションＶ２では、２個の非接触式シート保持部４１を挟むようにそれぞれ２個ずつの接触式シート保持部４２が外側に配置されている。バリエーションＶ３では、バリエーションＶ１において、接触式シート保持部４２を挟むように、さらに１個ずつの非接触式シート保持部４１が設けられている（非接触式シート保持部４１が最も外側となる）。

＜１０−２．第２保持部移動ユニットを備えた例＞
図１２は、第２保持部移動ユニット７４２を備えた保持装置における保持部列Ｃ１、Ｃ２及びシート保持部移動ユニット７４の動作例を示す図で、図４に示した方法の他のバリエーションである。第２保持部移動ユニット７４２は、接触式シート保持部４２を上下動させる装置で、例えば、エアシリンダであるが、これに限らず油圧シリンダ、モータを利用したアクチュエータ等でもよい。以下、図を参照しながら、第２保持部移動ユニット７４２を備えた保持装置１によるシートＳの保持方法について説明する。

図１２（ａ）は、図４（ａ）と同様ｘ方向から見た概略断面説明図であり、非接触式シート保持部４１をシートＳに所定の距離ｈまで接近させた状態を示す図である。ここで、図１２（ａ）が図４（ａ）と異なるのは、接触式シート保持部４２の下端が、非接触式シート保持部４１の下端よりも距離ｄだけ上方にあることである。この状態で、加圧ポンプ８１を駆動させ、バルブ４１Ｖ（図３と同様の構成）を通気状態とすることで、非接触式シート保持部４１がシートＳの一部となる吸着部を吸引浮上させ吸着する。

次に、図１２（ｂ）のように、それぞれの保持部列が保持する最上部のシートＳの一部を積み重ねられたシートＳｓｔから持ち上げ（離間し）、保持する。図１２（ｂ）は、保持されたシートＳの保持部分が積み重ねられたシートＳｓｔから離間した状態を表し、保持されていない部分（シート端部側Ｓ１、Ｓ２および中央部）は、積み重ねられたシートＳｓｔ側に垂れる状態を表す。

さらに、図１２（ｃ）に示すように、第２保持部移動ユニット７４２が、接触式シート保持部４２を距離ｄ＋距離ｈだけ下降させ、シートＳの吸着部と接触式シート保持部４２とを接触させる。

この状態で、図１２（ｄ）のように、バルブ４２Ｖ（図３と同様の構成）を駆動させて吸引状態とすることで、接触式シート保持部４２がシートＳの一部となる吸着部を吸着して保持する。

以上の構成とすることで、接触式シート保持部４２を確実にシートＳに接触した状態で、すなわち、パッド４２１（図３と同様の構成）とシートＳとの間に隙間がない状態でシートＳを吸着できるため、接触式シート保持部４２はより確実にシートＳを保持できる。

また、この構成の場合、図８における第４工程では、非接触式シート保持部４１によって吸引されたシートＳの山部に、接触式シート保持部４１が接触するように、接触式シート保持部４１を移動（下降）させることになる。

なお、第２保持部移動ユニット７４２は、非接触式シート保持部４１を上下動させる構成でもよく、また、非接触式シート保持部４１及び接触式シート保持部４２の両方を上下動させる構成でもよい。

＜１０−３．保持部列が３列の場合のシートＳの保持方法＞
上記実施形態では保持部列はＣ１及びＣ２の２列であったが、それに限られない。図１３は、保持部列が３列の場合の非接触式シート保持部４１_Ｃ１、４１_Ｃ２、４１_Ｃ３によるシートＳの保持方法（第３工程、図９のバリエーションの例）の一例を示す図である。図１３に示す工程は、第３１Ａ〜３１Ｇ工程からなる。なお、他の工程については上記実施形態と同様となるので説明を省略する。

第３１Ａ工程では、シート離隔装置１１３の加圧ポンプ１１４を駆動させ（バルブ１１３を通気状態にし）、積み重ねられたシートＳｓｔの上部にシートＳの面及び保持部列Ｃ１、Ｃ２に沿ってエアを吹き付け、シートＳの一部を浮かせる。

第３１Ｂ工程では、保持装置１の中央に構成された非接触式シート保持部４１_Ｃ２とシートＳとを所定の距離ｈまで接近させるように、保持部列Ｃ２のシリンダ７４１_Ｃ２が伸長する。

第３１Ｃ工程では、保持部列Ｃ２のバルブ４１Ｖ_Ｃ２を通気状態にする。これにより、非接触式シート保持部４１_Ｃ２が、シートＳの一部（中央部）を保持部列Ｃ２に沿って吸引することにより、シートＳの両端部が中央部に引き込まれ、シートＳの中央部に山部が形成される。

第３１Ｄ工程では、非接触式シート保持部４１_Ｃ２がシートＳを吸引した状態で、保持部列Ｃ２のシリンダ７４１_Ｃ２が収縮し、非接触式シート保持部４１_Ｃ２が上昇する。これにより、図１３に示すようにシートＳの両端が更に中央に引き込まれながら保持部列Ｃ２に沿った山部が形成される。

第３１Ｅ工程では、保持部列Ｃ２のシリンダ７４１_Ｃ２を挟んだそれぞれ外側の非接触式シート保持部４１_Ｃ１及び４１_Ｃ３とシートＳとを所定の距離ｈまで接近させるように、保持部列Ｃ１及びＣ３のシリンダ７４１_Ｃ１及び７４１_Ｃ３が伸長する。

第３１Ｆ工程では、保持部列Ｃ１及びＣ３のバルブ４１Ｖ_Ｃ１及び４１Ｖ_Ｃ３を通気状態にして、加圧ポンプ８１と非接触式シート保持部４１_Ｃ１及び４１_Ｃ３とを接続する。これにより、非接触式シート保持部４１_Ｃ１及び４１_Ｃ３が、シートＳの対応する部分（一部）を保持部列Ｃ１、Ｃ３に沿って吸引することにより、シートＳのそれぞれの端部が中央部に引き込まれ、保持部列Ｃ１、Ｃ３により吸引されるシートＳの対応する部分に山部がそれぞれ形成される。

第３１Ｇ工程では、非接触式シート保持部４１_Ｃ１及び４１_Ｃ３がシートＳの一部を吸引した状態で、保持部列Ｃ１及びＣ３のシリンダ７４１_Ｃ１及び７４１_Ｃ３が収縮し、非接触式シート保持部４１_Ｃ１及び４１_Ｃ３が上昇する。これにより、図１３に示すようにシートＳの両端が更に中央に引き込まれながら、シートＳの対応する部分は第３Ｄ工程で形成された山部に加えて、保持部列Ｃ１及びＣ３に沿った２つの山部が新たに形成され、結果、３列の山部が形成される。

なお、第３１Ｃ工程〜第３１Ｇ工程においては、非接触式シート保持部４１_Ｃ２によるシートＳの吸引位置と同じ位置において、接触式シート保持部４２_Ｃ２による吸着保持を行い、続いて、非接触式シート保持部４１_Ｃ１及び４１_Ｃ３によるシートＳの吸引後、接触式シート保持部４２_Ｃ１及び４２_Ｃ３による保持を行い、その後、シリンダ７４１を上昇させもよい。

＜１０−４．保持部列が４列の場合のシートＳの保持方法＞
図１４は、保持部列が４列の場合の非接触式シート保持部４１_Ｃ１〜４１_Ｃ４によるシートＳの保持方法（第３工程）を示す図である。本実施形態も、３列の場合と同様、第３２Ａ〜３２Ｇ工程からなり、内側（中央部側）の保持部列Ｃ２、Ｃ３から保持していく。３列の場合と異なる部分は、第３２Ｂ〜３２Ｄ工程における各動作をさせる保持部列は、Ｃ２、Ｃ３の２列ということである。第３２Ｅ〜３２Ｇ工程における各動作は外側の２列（ここではＣ１、Ｃ４）であることは、上記の３列の場合と同様である。

＜１０−５．全ての非接触式シート保持部が一斉に移動する（保持部列４列）場合＞
図１５は、全ての非接触式シート保持部４１_Ｃ１〜４１_Ｃ４一斉に移動する場合のシートＳの保持方法（第３工程）を示す図である。上記のように３列以上の保持部列でシートＳを保持する場合であっても、可とう性等のシートＳの性質によっては、第１保持部移動ユニット７４１が全ての保持部列を連動させてもよい場合がある。以下、図を参照しながら、保持部列が４列（Ｃ１〜Ｃ４）である場合において、これらの保持部列Ｃ１〜Ｃ４を一斉に動作させる場合について説明する。

第３３Ａ工程では、非接触式シート保持部４１_Ｃ１〜４１_Ｃ４とシートＳとを所定の距離ｈまで接近させるように、保持部列Ｃ１〜Ｃ４のシリンダ７４１_Ｃ１〜７４１_Ｃ４が伸長する。

第３３Ｂ工程では、保持部列Ｃ２及びＣ３のバルブ４１Ｖ_Ｃ２及び４１Ｖ_Ｃ３を通気状態にする。これにより、非接触式シート保持部４１_Ｃ２及び４１_Ｃ３が、シートＳの対応する部分を保持部列Ｃ２、Ｃ３に沿って吸引する。これにより、図に示すようにシートＳの両端が中央に引き込みながら、シートＳの対応する部分には保持部列Ｃ２及びＣ３に沿った２つの山部がそれぞれ形成される。

第３３Ｃ工程では、保持部列Ｃ１及びＣ４のバルブ４１Ｖ_Ｃ１及び４１Ｖ_Ｃ４を駆動させて通気状態にする。これにより、非接触式シート保持部４１_Ｃ１及び４１_Ｃ４が、シートＳの対応する部分を保持部列Ｃ１、Ｃ４に沿って吸引する。これにより、図１５に示すようにシートＳの両端が中央に引き込まれながら、シートＳは第３３Ｂ工程で形成された２つの山部に加えて、保持部列Ｃ１及びＣ４に沿った２つの山部が新たに形成され、結果、４列の山部が形成される。

第３３Ｄ工程では、非接触式シート保持部４１_Ｃ１〜４１_Ｃ４がシートＳを吸引した状態及び接触式シート保持部４２_Ｃ１乃至４２_Ｃ４がシートＳを吸着した状態で、保持部列Ｃ１〜Ｃ４のシリンダ７４１_Ｃ１〜７４１_Ｃ４が収縮し、非接触式シート保持部４１_Ｃ１〜４１_Ｃ４を上昇させる。

なお、第３３Ｄ工程以降においては、非接触式シート保持部４１_Ｃ２及び４１_Ｃ３によるシートＳの吸引位置と同じ位置において、接触式シート保持部４２_Ｃ２及び４２_Ｃ３による吸着保持を行い、続いて、非接触式シート保持部４１_Ｃ１及び４１_Ｃ４によるシートＳの吸引後、接触式シート保持部４２_Ｃ１及び４２_Ｃ４による保持を行い、その後、シリンダ７４１を上昇させもよい。

なお、本実施形態では、シート離隔装置１１３を用いずにシートＳを保持したが、上記の他の実施形態においてもシート離隔装置１１３を用いずにシートＳを保持してもよい（すなわち、第３Ａ工程、第３１Ａ工程、第３２工程、及び第３３工程は省略可能である）。

図１６は、本発明の他の実施形態に係る保持装置１と、シートＳ及びワークＷとの位置関係を示す側面図である。また、上記実施形態では、ワーク保持部６１を昇降可能にするワーク保持部移動ユニット７６を構成しているが、図１６に示すように、ワーク保持部６１を上下動させるワーク保持部移動ユニット６を設けることなく、予め所定の位置にワーク保持部６１を固定させた状態で構成してもよい。図１６に示す実施形態においては、ワーク保持部６１を保持装置本体１０に固定する取付部材６１ａＬおよび６１ａＲが保持装置本体の対向する端部にそれぞれ構成され、保持部列Ｃ１、Ｃ２または、ガイド部材５１Ｌ、５１Ｒよりも外側に配置されワーク保持部６１Ｌ、６１Ｒ（以下、総称する場合はワーク保持部６１とする）を備える。ワーク保持部６１の先端（下端）位置はガイド部材５１の先端（下端）位置よりも下方側の位置に位置する。本実施形態においては、非接触式シート保持部４１および接触式シート保持部４２を、ワーク保持部６１の位置よりも更に下方の位置まで移動できるように構成することでシートＳの取り出しおよび保持を可能にしている。

Claims (17)

1. 可とうシートを保持する保持装置であって、
   複数のシート保持部が所定の方向に沿って配列された複数の保持部列を備え、
   前記複数のシート保持部は、
   非接触で前記シートを吸引して保持する複数の非接触式シート保持部と、
   前記シートにおける前記非接触式シート保持部によって吸引された部分に接触保持する複数の接触式シート保持部と、
   を有し、
   それぞれの前記保持部列は、前記保持部列の方向と直交する方向に互いに離間して配設され、
   前記複数のシート保持部を前記保持部列ごとに前記シートに対して接近及び離隔する方向に移動させる第１保持部移動ユニットと、
   前記第１保持部移動ユニットを、前記保持部列の列ごとに移動させ、制御する制御ユニットとを備え、
   前記制御ユニットは、
   前記保持部列ごとに、前記接触式シート保持部が前記シートを保持し、
   前記保持部列ごとに、前記非接触式シート保持部が前記シートを保持するための制御を行うものであり、
   さらに、
   前記制御ユニットは、前記シート保持部によって保持される前記シートが、それぞれの前記保持部列に沿って連続した山部をそれぞれ有する波形状となるように、それぞれの前記保持部列の保持制御を行うことを特徴とする保持装置。
2. 前記保持部列に直交する所定の仮想直線を中心にして、前記複数の非接触式シート保持部及び前記複数の接触式シート保持部を線対称に配置したことを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
3. 全ての前記保持部列に含まれる前記シート保持部、及び前記シートの少なくとも一方を、互いに接近及び離隔する方向に相対移動させる第１保持部移動ユニットを備えることを特徴とする請求項１または２に記載の保持装置。
4. 可とうシートを保持する保持装置であって、
   複数のシート保持部が所定の方向に沿って配列された複数の保持部列を備え、
   前記複数のシート保持部は、
   非接触で前記シートを吸引して保持する複数の非接触式シート保持部と、
   前記シートにおける前記非接触式シート保持部によって吸引された部分に接触保持する複数の接触式シート保持部と、
   を有し、
   それぞれの前記保持部列は、前記保持部列の方向と直交する方向に互いに離間して配設され、
   前記非接触式シート保持部及び前記接触式シート保持部の少なくとも一方を、前記シートに離隔及び接近する方向に向けて移動させる第２保持部移動ユニットを備えることを特徴とする保持装置。
5. 複数の前記保持部列における、前記保持部列に直交する方向に最も離れた２つの保持部列の離間距離は、前記シートの前記保持部列に直交する方向における長さよりも短いことを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の保持装置。
6. 前記保持部列よりも外側に配置され、前記シート保持部が前記シートを保持したとき、前記シートの保持面に当接するガイド部材を備えることを特徴とする請求項５に記載の保持装置。
7. 前記ガイド部材は、前記保持部列に平行で、下方外側に向かって斜めに設けられる板状部材であることを特徴とする請求項６に記載の保持装置。
8. 前記ガイド部材を、前記シートに離隔及び接近する方向に相対的に移動させるガイド移動ユニットを備えることを特徴とする請求項６または７に記載の保持装置。
9. 前記保持部列よりも外側に配置され、板状のワークを前記シートの保持面と反対側に位置するように保持するワーク保持部を備えることを特徴とする請求項５に記載の保持装置。
10. 前記ワーク保持部及び前記シート保持部の少なくとも一方を、前記ワークに接近及び離隔する方向に向けて相対的に移動させる第３保持部移動ユニットを備えることを特徴とする請求項９に記載の保持装置。
11. 可とうシートを供給するシート供給部と、
    板状のワークを供給するワーク供給部と、
    前記シート及び前記ワークを保持する保持装置と、
    前記保持装置が前記保持した前記ワークの上に前記保持した前記シートを重ねて載置する載置部と、
    前記保持装置を、前記シート供給部に対向する位置と、前記ワーク供給部に対向する位置と、前記載置部に対向する位置との間で移動させる移動手段と、
    を備え、
    前記保持装置は、
    複数のシート保持部が所定の方向に沿って配列された複数の保持部列と、
    前記保持部列よりも外側に配置され、前記ワークを前記シートの保持面と反対側に位置するように保持するワーク保持部と、
    を有し、
    前記複数のシート保持部は、
    非接触で前記シートを吸引して保持する複数の非接触式シート保持部と、
    前記シートにおける前記非接触式シート保持部によって吸引された部分に接触して保持する複数の接触式シート保持部と、
    を有し、
    それぞれの前記保持部列は、前記保持部列の方向と直交する方向に互いに離間して配設され、
    前記複数のシート保持部を前記保持部列ごとに前記シートに対して接近及び離隔する方向に移動させる第１保持部移動ユニットと、
    前記第１保持部移動ユニットを、前記保持部列の列ごとに移動させ、制御する制御ユニットとを備え、
    前記制御ユニットは、
    前記保持部列ごとに、前記接触式シート保持部が前記シートを保持し、
    前記保持部列ごとに、前記非接触式シート保持部が前記シートを保持するための制御を行うものであり、
    さらに、
    前記制御ユニットは、前記シート保持部によって保持される前記シートが、それぞれの前記保持部列に沿って連続した山部をそれぞれ有する波形状となるように、それぞれの前記保持部列の保持制御を行うことを特徴とする搬送システム。
12. 可とうシートを供給するシート供給部と、
    板状のワークを供給するワーク供給部と、
    前記シート及び前記ワークを保持する保持装置と、
    前記保持装置が前記保持した前記ワークの上に前記保持した前記シートを重ねて載置する載置部と、
    前記保持装置を、前記シート供給部に対向する位置と、前記ワーク供給部に対向する位置と、前記載置部に対向する位置との間で移動させる移動手段と、
    を備え、
    前記保持装置は、
    複数のシート保持部が所定の方向に沿って配列された複数の保持部列と、
    前記保持部列よりも外側に配置され、前記ワークを前記シートの保持面と反対側に位置するように保持するワーク保持部と、
    を有し、
    前記複数のシート保持部は、
    非接触で前記シートを吸引して保持する複数の非接触式シート保持部と、
    前記シートにおける前記非接触式シート保持部によって吸引された部分に接触して保持する複数の接触式シート保持部と、
    を有し、
    それぞれの前記保持部列は、前記保持部列の方向と直交する方向に互いに離間して配設され、
    前記非接触式シート保持部及び前記接触式シート保持部の少なくとも一方を、前記シートに離隔及び接近する方向に向けて移動させる第２保持部移動ユニットを備えることを特徴とする搬送システム。
13. シートを保持装置によって保持する方法であって、
    前記保持装置は、
    前記シートに空気を吹き付けることにより発生する負圧により非接触で前記シートを保持する複数の非接触式シート保持部と、
    前記シートに接触して前記シートを保持する複数の接触式シート保持部と、
    を備え、
    前記保持装置と前記シートの保持面とを対向させるように、前記保持装置及び前記シートの少なくとも一方を移動させる第１工程と、
    少なくとも前記非接触式シート保持部と前記シートとを接近させるように、前記非接触式シート保持部及び前記シートの少なくとも一方を移動させる第２工程と、
    所定の方向に沿って配置される複数の前記非接触式シート保持部の列にて、前記シートの前記保持部列に沿った部分を吸引してこれらの部分を前記所定の方向に沿った複数の山部として浮上させ、シートを波形状にする第３工程と、
    前記非接触式シート保持部によって吸引された前記シートの山部に前記接触式シート保持部を接触させる第４工程と、
    前記接触式シート保持部が前記シートの山部に接触しながら前記シートを保持する第５工程と、
    を含むことを特徴とする方法。
14. 前記第４工程では、前記接触式シート保持部及び前記シートの少なくとも一方を移動させることにより、前記非接触式シート保持部によって吸引された前記シートの山部に、前記接触式シート保持部を接触させることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
15. 前記接触式シート保持部が前記シートを保持した状態で、前記保持したシートの一方の端部と、該端部と反対側の他方の端部とが垂れ下がるように、前記接触式シート保持部が前記シートを持ち上げる第６工程を含むことを特徴とする請求項１３または１４に記載の方法。
16. 請求項１５に記載の方法で前記シートを保持した保持装置が前記シートを重ねるためのワークを保持する方法であって、
    前記保持装置は、ワーク保持部を備え、
    前記ワーク保持部と前記ワークとを接近させるように、前記ワーク保持部及び前記ワークの少なくとも一方を移動させて、前記シートの前記一方の端部に重ねられる前記ワークの一方の端部と、前記シートの前記他方の端部に重ねられる前記ワークの他方の端部とに前記ワーク保持部を接触させる第８工程と、
    前記ワーク保持部と前記ワークとが接触した状態で、前記ワーク保持部が、前記ワークを保持する第９工程と、
    を含むことを特徴とする方法。
17. 前記保持装置が前記ワークを保持するため、前記保持装置が前記ワークの面に対向するように、前記保持装置及び前記ワークの少なくとも一方を移動させる第７工程を含むことを特徴とする請求項１６に記載の方法。

Images