TW201628863A - 製造裝置及製造方法 - Google Patents

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Yushi Nakagawa
Hideki Tokunaga
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Hirata Spinning
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    • B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
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    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Abstract

更確實地保持面板，同時防止氣泡的混入。 一種將第一面板和第二面板貼合以製造層積體之製造裝置，具備：第一保持單元，保持前述第一面板；複數個第二保持單元，在前述第一面板的下方保持前述第二面板；推壓輥，從被保持於前述第二保持單元之前述第二面板的下方，將前述第二面板朝向前述第一面板的方向推壓；輥移動機構，與前述推壓輥連接地設置，令前述推壓輥沿著前述第一面板移動；升降機構，令前述複數個第二保持單元相對於前述第一保持單元上下地移動；前述複數個第二保持單元分別受到支撐，而可繞著平行於被保持在前述第一保持單元之前述第一面板的面板面的軸旋動。

Description

製造裝置及製造方法
本發明有關面板的貼合技術。
在將液晶面板和保護玻璃(cover glass)這樣的面板彼此貼合來製造層積體的裝置中，若氣泡混入貼合面，則可能對層積體的品質帶來影響。為了降低氣泡的混入，有人提出一種裝置，係藉由輥一面將一方的面板向另一方的面板推壓一面將輥移動來進行兩者的貼合(專利文獻1~3)。
專利文獻2中揭示一種裝置，係令一方的面板從保持水平的狀態傾斜地做姿勢變化而貼附至另一方的面板。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特許第4870046號公報
[專利文獻2]日本特許第5311527號公報
[專利文獻3]國際公開第WO2012/172603號小冊子
若如專利文獻2般令一方的面板傾斜地做姿勢變化而貼附至另一方的面板，則面板之間的空氣會因輥的移動而被擠出至開放側。這對防止氣泡的混入具有效果。但是，在令面板做姿勢變化時，在面板的保持部分周邊會發生彎曲。由於此彎曲的彈性恢復力，面板可能會從保持機構脫落。
此外，面板的保持部分周邊會成為水平，相對於另一方的面板容易成為面接觸，而可能混入氣泡。
本發明的目的，在於更確實地保持面板，同時防止氣泡的混入。
按照本發明，提供一種製造裝置，係將第一面板和第二面板貼合以製造層積體之製造裝置，其特徵為，具備：第一保持單元，保持前述第一面板；複數個第二保持單元，在前述第一面板的下方保持前述第二面板；推壓輥，從被保持於前述第二保持單元之前述第二面板的下方，將前述第二面板朝向前述第一面板的方向推壓；輥移動機構，與前述推壓輥連接地設置，令前述推壓輥沿著前述第一面板移動；升降機構，令前述複數個第二保持單元相對於前述第一保持單元上下地移動；前述複數個第二 保持單元分別受到支撐，而可繞著平行於被保持在前述第一保持單元之前述第一面板的面板面的軸旋動。
此外，按照本發明，提供一種製造方法，係將第一面板和第二面板貼合以製造層積體之製造方法，其特徵為，具備：保持工程，在使貼附面面向下方而被保持之前述第一面板的下方，藉由複數個保持單元將前述第二面板以貼附面面向上方而予以保持；抵接工程，令推壓輥抵接至被保持的前述第二面板的下面，且將前述第二面板朝向前述第一面板推壓，令前述第二面板的前述貼附面的至少一部分抵接至前述第一面板的前述貼附面；貼合工程，令前述推壓輥沿著前述第一面板移動，將前述第一面板和前述第二面板貼合；前述貼合工程，係令前述複數個保持單元中的至少一部分保持單元的姿勢變化，以便追隨前述推壓輥的移動，而使前述第二面板的相對於前述第一面板的抵接區域增大。
按照本發明，能夠更確實地保持面板，同時防止氣泡的混入。
A‧‧‧製造裝置
P1‧‧‧面板
P2‧‧‧面板
31‧‧‧保持單元
41L‧‧‧保持單元
41R‧‧‧保持單元
44L‧‧‧升降機構
44R‧‧‧升降機構
51‧‧‧推壓輥
52‧‧‧輥移動機構
[圖1]本發明一實施形態之製造裝置的俯視圖。
[圖2]圖1之製造裝置的圖1中箭頭D1方向箭視圖。
[圖3]圖1之製造裝置的圖1中箭頭D2方向箭視圖。
[圖4](A)為表示保持機構的構成之圖2中箭頭D3方向箭視圖，(B)為保持機構的側視圖，(C)為圖4(A)的I-I線剖視圖，(D)為圖4(A)的II-II線剖視圖。
[圖5](A)為圖4(B)的III-III線剖視圖，(B)及(C)為抵接構件的動作說明圖。
[圖6](A)~(E)為保持單元及限制機構的動作說明圖。
[圖7](A)為表示保持機構的其他構成例的圖，(B)為保持機構的側視圖，(C)為圖7(A)的V-V線剖視圖，(D)為抵接構件的動作說明圖。
[圖8](A)為圖7(B)的VI-VI線剖視圖，(B)為保持單元以及限制機構的動作說明圖。
[圖9](A)為表示保持機構的構成之圖2中箭頭D4方向箭視圖，(B)為保持機構的側視圖，(C)為圖9(A)的VII-VII線剖視圖，(D)為圖9(A)的VIII-VIII線剖視圖。
[圖10](A)~(E)為保持單元及限制機構的動作說明圖。
[圖11]推壓輥的說明圖。
[圖12]控制單元的方塊圖。
[圖13](A)及(B)為圖1之製造裝置的動作說明圖。
[圖14](A)~(C)為圖1之製造裝置的動作說明圖。
[圖15](A)及(B)為圖1之製造裝置的動作說明圖。
[圖16](A)及(B)為圖1之製造裝置的動作說明圖。
[圖17](A)~(D)為圖1之製造裝置的動作說明圖。
[圖18](A)~(C)為其他例的說明圖。
[圖19](A)及(B)為其他例的說明圖。
[圖20](A)~(C)為其他例的說明圖。
[實施形態]
以下參照圖面，說明本發明之實施形態。在各圖中，箭頭X以及Y表示相互正交的水平方向，箭頭Z表示上下方向。
<第一實施形態> <裝置的概要>
圖1為本發明一實施形態之製造裝置A的俯視圖，圖2為製造裝置A之圖1中箭頭D1方向箭視圖，圖3為製造裝置A之圖1中箭頭D2方向箭視圖。
製造裝置A為將2片面板貼合以製造層積體 之裝置。本實施形態的情形下，係製造將方形的面板P1和方形的面板P2貼合而成之層積體。面板P1例如為圖像顯示面板，面板P2例如是保護面板，其層積體構成圖像顯示裝置。作為圖像顯示面板，例如為液晶顯示面板(例如LCD)，在其顯示面側(於貼合過程中成為下面)貼附保護面板(例如保護玻璃)。保護面板為具有透光性的面板，例如玻璃板或樹脂板。本實施形態的情形下，設想了面板P2是在其上面上形成有未硬化狀態的黏著層而被投入製造裝置A之形態。黏著層能夠由黏著劑、黏著片、黏著薄膜等來形成。
製造裝置A具備搬入台1、搬運機構2、移載機構3、保持機構4、推壓機構5。
<搬入台>
搬入台1為用來將面板P1投入至製造裝置A之單元。面板P1以貼合面為下面，藉由外部的裝置或作業者載置於搬入台1上。搬入台1例如為以非接觸方式支撐面板P1的氣浮平台、或與面板P1接觸進行支撐的置放台。在搬入台1的周圍也可以設置進行面板P1的姿勢調整或定位之裝置。藉由此裝置能夠提升面板P1和面板P2的貼合位置的精度。此裝置例如也可以是藉由抵接至面板P1的周緣抵接來進行其姿勢調整或定位之裝置。
<移載機構>
移載機構3為將被搬入至搬入台1的面板P1，搬運至與面板P2進行貼合作業的區域(以下稱為作業區域)之單元。本實施形態的情形下，作業區域被設定在搬運機構2的上方。移載機構3具備保持單元31和移動機構32。
保持單元31，本實施形態的情形下，為吸附保持面板P1之單元，但也可以是機械性地保持(例如挾持)面板P1之單元。保持單元31的下面構成水平的吸附面。在此吸附面形成有空氣孔，透過保持單元31內部的通路與未圖示之空氣吸引裝置連接。空氣吸引裝置例如為泵浦。藉由從空氣孔吸引空氣，保持單元31對面板P1的上面做負壓吸引而吸附。
移動機構32為進行保持單元31的升降(Z方向的移動)和X方向的移動之單元。移動機構32具備升降軸321、驅動單元322、軌道323、一對支柱324。
升降軸321為於Z方向延伸之軸，在其下端固定著保持單元31。驅動單元322具備將升降軸321予以升降之機構。此機構例如可採用滾珠螺桿機構或皮帶傳動機構等。軌道323於X方向水平地延伸設置，其兩端部藉由一對支柱324而受到支撐。
驅動單元322可藉由未圖示之驅動機構，藉由軌道323的引導於X方向往復移動。驅動機構例如可採用滾珠螺桿機構或皮帶傳動機構等。藉由驅動單元322的X方向的移動、和升降軸321的升降，保持單元31可於 X-Z平面上移動。
<搬運機構>
搬運機構2為進行將被投入至製造裝置A之面板P2搬運至作業區域、及進行層積體的搬出之單元。本實施形態的情形下，搬運機構2在水平的搬運面2a上於Y方向搬運面板P2或層積體。面板P2藉由外部的裝置或作業者被投入至搬運機構2的Y方向的一端(圖1中為左端)，層積體被搬出至搬運機構2的Y方向的另一端(圖1中為右端)。
搬運機構2例如為使用了以非接觸方式支撐面板P2的氣浮平台之搬運機構、或與面板P2接觸而搬運之搬運機構(例如皮帶式輸送帶、輥式輸送帶)。
在搬運面2a形成有於Y方向相隔距離之一對凹坑部21。一對凹坑部21為於X方向延伸之溝，位於作業區域的Y方向的兩端部。凹坑部21是為了避免後述第二保持單元41L、41R等與搬運機構2之干涉而設置。
在搬運機構2的周圍也可以設置進行面板P2的姿勢調整或定位之裝置。藉由此裝置能夠提升面板P1和面板P2的貼合位置的精度。此裝置例如也可以是藉由抵接至面板P2的周緣抵接來進行其姿勢調整或定位之裝置。此裝置也能夠配置在作業區域或比作業區域還上游側之區域。上游側是指面板P2的搬運方向的上游側。同樣地，下游側是指面板P2的搬運方向的下游側。
<保持機構>
接著，說明保持機構4。保持機構4，是於藉由搬運機構2而受到搬運之面板P2往作業區域搬運中、以及貼合作業中，進行面板P2的保持。
保持機構4，具備保持單元41L及41R、旋動支撐單元42L及42R、限制機構43L及43R、升降機構44L及44R、水平移動機構45L及45R。在圖1~圖3的基礎上，參照圖4~圖10，說明它們的構成。
圖4(A)為表示保持機構4的構成之圖2中箭頭D3方向箭視圖，圖4(B)為保持機構4的側視圖，圖4(C)為圖4(A)的I-I線剖視圖，圖4(D)為圖4(A)的II-II線剖視圖。圖5(A)為圖4(B)的III-III線剖視圖。圖5(B)及圖5(C)為抵接構件413的動作說明圖，為圖4(C)的IV部分的放大剖視圖。圖6(A)~圖6(E)為保持單元41L及限制機構43L的動作說明圖。
圖7(A)~圖7(D)及圖8(A)及圖8(B)為保持單元41L等的其他構成例的說明圖。
圖9(A)為表示保持機構4的構成之圖2中箭頭D4方向箭視圖，圖9(B)為保持機構4的側視圖，圖9(C)為圖9(A)的VII-VII線剖視圖，圖9(D)為圖9(A)的VIII-VIII線剖視圖。圖10(A)~圖10(E)為保持單元41R及限制機構43R的動作說明圖。
保持單元41L及41R，為在保持單元31的面板P1的下方保持面板P2之單元。本實施形態的情形下，保持單元41L及41R為吸附保持面板P2之單元，但也可以是機械性地保持(例如挾持)面板P2之單元。
本實施形態的情形下，保持單元41L及41R相互於Y方向相隔距離，保持單元41L保持面板P2的一邊，保持單元41R保持面板P2的與該一邊相向之另一邊。換言之，保持單元41L保持面板P2的搬運方向上游側的端部。保持單元41R保持面板P2的搬運方向下游側的端部。
本實施形態的情形下，保持單元41L設有2個，於X方向隔開距離配置。同樣地，保持單元41R也設有2個，於X方向隔開距離配置。保持單元41L及41R的數量可以是1個，也可以是3個以上。保持單元41L的數量與保持單元41R的數量既可以相同，也可以不同。
主要參照圖4~圖6，說明保持單元41L、旋動支撐單元42L、限制機構43L及升降機構44L。
保持單元41L具備於Y方向突出之一對爪狀的載置部411。載置部411於X方向隔開距離設置。另，載置部411可以是1個，也可以是3個以上。
在載置部411的上面411a上形成有吸附部412。吸附部412為在載置部411的上面411a開口之孔。形成於載置部411內之空氣通路411b係與此孔連通，空氣通路411b被連接至未圖示的空氣吸引裝置。空氣吸引 裝置例如為泵浦。藉由從吸附部412吸引空氣，保持單元41L對面板P2的下面做負壓吸引而吸附。上面411a平坦、平滑地形成，藉此形成供面板P2緊密接觸之面板保持面。
在保持單元41L的上面，具備一對抵接構件413、及令一對抵接構件413於Y方向進退之致動器414。抵接構件413和致動器414構成機械性地保持面板P2之箝夾機構。致動器414例如為氣缸或電動缸，在其桿部的端部連接著抵接構件413。致動器414在退避位置和保持位置之間令抵接構件413在載置部411的上面411a上進退。圖5(B)表示抵接構件413位於退避位置的情形，圖5(C)表示抵接構件413位於保持位置的情形。
抵接構件413的端部呈上面側比下面側還伸出之屋簷狀，其端面形成面向下方的傾斜部413a。傾斜部413a如圖5(C)所示抵接至面板P2的端緣，藉此，面板P2的端緣會位於傾斜部413a與載置部411的上面411a之間，而成為被夾持的狀態，換言之成為從上面側被推入的狀態。
面板P2的保持，可僅依吸附部412所致之負壓吸引來達成，但本實施形態中，為了補強保持力，係構成為還藉由抵接構件413機械性地保持面板P2。
另，本實施形態中，雖構成為藉由致動器414令抵接構件413進退，但也可以採用將抵接構件413固定 地配置於保持單元41L之結構。在此情形下，例如，只要藉由後述水平移動機構45L移動保持單元41L整體，藉此使面板P2的端緣位於抵接構件413與上面411a之間即可。
旋動支撐單元42L為可旋動地支撐保持單元41L之倒U字型的單元。本實施形態的情形下，對於一個保持單元41L設有一個旋動支撐單元42L，但也可以構成為以一個旋動支撐單元42L支撐複數個保持單元41L。
旋動支撐單元42L具備一對側壁421、及將一對側壁421的上部予以連接之上壁422。一對側壁421於X方向相互隔開距離配置，其面方向平行於Y-Z平面。
軸423可旋轉地被支撐於一對側壁421之間。軸423為平行於X方向之軸，換言之，為平行於被保持在保持單元31上的面板P1的面板面之軸。軸423貫通保持單元41L，且被固定於保持單元41L。是故，保持單元41L係可繞著軸423旋動地受到支撐。另，本實施形態中，雖構成為將軸423和保持單元41L相互固定，但也可以構成為保持單元41L相對於軸423旋動自如。
在旋動支撐單元42L的一方側部設有將軸423的旋動範圍予以限制之機構。此機構具備臂424、及2個擋塊425。藉由將軸423的旋動範圍予以限制，保持單元41L的旋動範圍會受到限制。
臂424被固定於旋動支撐單元42L的一方側部中的軸423的端部。2個擋塊425被固定於旋動支撐單 元42L的一方側部中的側壁421的外面，臂424位於2個擋塊425之間。軸423可在從臂424與一方的擋塊425抵接之位置，至臂424與另一方的擋塊425抵接之位置為止的規定的角度範圍內旋動。
限制機構43L是對保持單元41L的旋動予以限制或解除限制之單元。
本實施形態的情形下，對於一個保持單元41L設有一個限制機構43L。本實施形態的情形下，限制機構43L為氣缸、電動缸或電磁螺線管等伸縮型之致動器，具備本體部431和從本體部431進退之桿部432。本體部431被固定於旋動支撐單元42L的上壁422，以使桿部432的進退方向成為Z方向。桿部432可在將保持單元41L的旋動予以限制之限制位置與將保持單元41L的旋動限制予以解除之解除位置之間移動。當位於限制位置的情形下，桿部432的前端(下端)抵接至保持單元41L的上面。抵接的位置，比軸423還靠搬運方向下游側，為一對載置部411之間的位置。當位於退避位置的情形下，桿部432的前端(下端)從保持單元41L的上面離開。
參照圖6，說明限制機構43L的動作及保持單元41L的旋動態樣。圖6(A)及圖6(B)表示限制機構43L的桿部432位於限制位置，保持單元41L的旋動受到限制之狀態。圖6(A)是在圖6(B)中省略了側壁421等的圖示的圖。由於桿部432的前端抵接至保持單元41L的上面，因此在同圖中在逆時針方向的保持單元41L的旋 動受到限制。臂424在同圖中抵接至右側的擋塊425，在同圖中在順時針方向的保持單元41L的旋動也受到限制。在此狀態下，載置部411的上面411a為水平，被保持的面板P2的端部以水平姿勢被保持。
圖6(C)表示限制機構43L的桿部432上升至解除位置，保持單元41L的旋動限制被解除之狀態。保持單元41L處於在藉由一對擋塊425規範的規定角度範圍內可自由旋動之浮動狀態。圖6(D)及圖6(E)表示限制機構43L的桿部432位於解除位置，保持單元41L在同圖中向逆時針方向最大限度地旋動了之狀態。圖6(D)是在圖6(E)中省略了側壁421等的圖示的圖。臂424在同圖中抵接至左側的擋塊425，在同圖中在逆時針方向的保持單元41L的旋動受到限制。在此狀態下，載置部411的上面411a相對於水平面為傾斜，被保持的面板P2的端部以傾斜的姿勢被保持。
本實施形態中，由於保持單元41L可旋動，因此如後述般，可因應被保持的面板P2的姿勢，進行保持單元41L的姿勢變化。本實施形態的情形下，保持單元41L的旋動為自由旋動，但也可以設置令保持單元41L強制性地旋動之驅動機構。驅動機構例如能夠做成以電動機為驅動源之機構。藉由設置驅動機構，可控制保持單元41L的姿勢。但，當因應面板P2的姿勢而令保持單元41L的姿勢變化的情形下，如本實施形態般令保持單元41L成為可自由旋動的浮動狀態，能夠避免不必要的外力 作用於面板P2，更合適。
接著，主要參照圖2、圖4，說明升降機構44L。升降機構44L為令保持單元41L相對於保持單元31上下地移動之單元。本實施形態的情形下，對於一組保持單元41L及旋動支撐單元42L設有一個升降機構44L。
升降機構44L具備升降軸441及驅動單元442。升降軸441為於Z方向延伸之軸，在其下端固定有旋動支撐單元42L的上壁422。驅動單元442具備將升降軸441予以升降之機構。此機構例如可採用滾珠螺桿機構或皮帶傳動機構等。
接著，主要參照圖1、圖2，說明水平移動機構45L。本實施形態的情形下，水平移動機構45L為令保持單元41L於Y方向及X方向移動之機構，但也可為令保持單元41L僅於Y方向移動之機構。
水平移動機構45L具備可動軌道451、一對滑塊452、一對軌道453。可動軌道451為以橫穿搬運機構2的方式於X方向延伸設置之梁構件。2個驅動單元442於X方向移動自如地與可動軌道451卡合且被支撐。
驅動單元442可藉由未圖示之驅動機構，藉由可動軌道451的引導於X方向往復移動。此驅動機構被設置於每個驅動單元442，2個驅動單元442可相互獨立地於X方向移動。藉由變更2個驅動單元442的X方向的距離，來變更2個保持單元41L於X方向的距離。藉此，能夠保持尺寸不同的面板P2。驅動機構例如可採用 滾珠螺桿機構或皮帶傳動機構等。
在可動軌道451的兩端部，分別固定有滑塊452。滑塊452於Y方向移動自如地與軌道453卡合。一對軌道453相互於X方向隔開距離平行地配置。各軌道453於Y方向延伸設置。滑塊452可藉由未圖示之驅動機構，藉由軌道453的引導於Y方向往復移動。此驅動機構能夠設置在一對滑塊452當中的至少一方，令可動軌道451於Y方向平行移動。驅動機構例如可採用滾珠螺桿機構或皮帶傳動機構等。
可動軌道451於Y方向平行移動，藉此能夠令2個保持單元41L相對於保持單元41R接近或離開。
接著，主要參照圖7及圖8，說明作為上述保持單元41L、旋動支撐單元42L及限制機構43L的其他構成例之保持單元41L’、旋動支撐單元42L’及限制機構43L’。保持單元41L’，相較於保持單元41L，就使粉塵對於面板P1及P2的附著減低等方面而言，為更好的結構。
圖7(A)為表示使用了保持單元41L’等的情形下之保持機構4的構成的圖，為與圖2中箭頭D3方向箭視圖相當的圖。圖7(B)為圖7(A)的保持機構4的側視圖，圖7(C)為圖7(A)的V-V線剖視圖，圖7(D)為保持單元41L’的動作說明圖。圖8(A)為圖7(B)的VI-VI線剖視圖，圖8(B)為保持單元41L’的動作說明圖。
針對保持單元41L’、旋動支撐單元42L’及限 制機構43L’的各構成當中與上述保持單元41L、旋動支撐單元42L及限制機構43L的各構成相同之構成或相對應之構成，標註同一符號。以下，以相異之構成為中心進行說明。
保持單元41L’具備於Y方向突出之一對爪狀的載置部411、及形成於載置部411的上面411a之吸附部412。本構成例中，保持單元41L’於其底部具有凹部而被輕量化，在圖7(A)所示的視圖中，軸423的中央部露出。
在保持單元41L’的上面設有抵接構件413。本構成例中，抵接構件413係做成為具有橫跨一對載置部411間的大小之一片板狀的構件。
令抵接構件413於Y方向進退之致動器414，透過支撐構件416連接並支撐在保持單元41L’。支撐構件416延伸設置在保持單元41L’的下方，致動器414被配置在保持單元41L’的下側。抵接構件413和致動器414構成機械性地保持面板P2之箝夾機構。
在致動器414的桿部的端部透過托架415連接著抵接構件413。致動器414在退避位置和保持位置之間令抵接構件413在載置部411的上面411a上進退。圖7(C)表示抵接構件413位於退避位置的情形，圖7(D)表示抵接構件413位於保持位置的情形。
本構成例中，由於致動器414比載置部411的上面411a還位於下方，故當因致動器414的驅動而產 生粉塵的情形下，能夠降低粉塵附著於被保持在上面411a之面板P2。
旋動支撐單元42L’的構成，基本上與旋動支撐單元42L為同樣構成，差異程度僅在於側壁421及上壁422的形狀或大小不同。本構成例中同樣地，軸423貫通保持單元41L’，且被固定在保持單元41L’，但也可以構成為保持單元41L’相對於軸423旋動自如。此外，在旋動支撐單元42L’的一方側部，設有將軸423的旋動範圍予以限制之機構(臂424及2個擋塊425)。
限制機構43L’的構成同樣地，基本上與限制機構43L相同，具備本體部431和從本體部431進退的桿部432，但對於保持單元41L’的抵接部位相異。本構成例中，在保持單元41L’的上面固定有被配置成橫跨抵接構件413之倒U字型的框體415。當將保持單元41L’的旋動予以限制的情形下，桿部432的前端(下端)與框體415的上面抵接。
圖7(C)及圖7(D)表示桿部432位於限制位置的情形。載置部411的上面411a為水平，被保持的面板P2的端部以水平姿勢被保持。
圖8(B)表示桿部432位於退避位置的情形。當位於退避位置的情形下，桿部432的前端(下端)從框體415的上面離開。保持單元41L’成為可自由旋動之浮動狀態，如同圖所示，保持單元41L’可採取傾斜的姿勢。在此情形下，被保持的面板P2的端部以傾斜的姿 勢被保持。
接著，主要參照圖9及圖10，說明保持單元41R、旋動支撐單元42R、限制機構43R及升降機構44R。保持單元41R、旋動支撐單元42R、限制機構43R及升降機構44R的構成，基本上與上述保持單元41L、旋動支撐單元42L、限制機構43L及升降機構44L相同，針對相同的構成標註同一符號。
保持單元41R具備於Y方向突出之一對爪狀的載置部411。載置部411於X方向隔開距離設置。另，載置部411可以是1個，也可以是3個以上。
在載置部411的上面411a上形成有吸附部412。吸附部412為在載置部411的上面411a開口之孔。形成於載置部411內之空氣通路411b係與此孔連通，空氣通路411b被連接至未圖示的空氣吸引裝置。空氣吸引裝置例如為泵浦。藉由從吸附部412吸引空氣，保持單元41R對面板P2的下面做負壓吸引而吸附。上面411a平坦、平滑地形成，藉此形成供面板P2緊密接觸之面板保持面。
本實施形態中，保持單元41R係以下述構成之物來舉例，其不同於保持單元41L，並不具備抵接構件413及致動器414。但，作為保持單元41R，當然也可以採用與保持單元41L相同構成之物。
旋動支撐單元42R為可旋動地支撐保持單元41R之倒U字型的單元。本實施形態的情形下，對於一個 保持單元41R設有一個旋動支撐單元42R，但也可以構成為以一個旋動支撐單元42R支撐複數個保持單元41R。
旋動支撐單元42R具備一對側壁421、及將一對側壁421的上部予以連接之上壁422。一對側壁421於X方向相互隔開距離配置，其面方向平行於Y-Z平面。
軸423可旋轉地被支撐於一對側壁421之間。軸423為平行於X方向之軸，換言之，為平行於被保持在保持單元31上的面板P1的面板面之軸。軸423貫通保持單元41R，且被固定於保持單元41R。是故，保持單元41R係可繞著軸423旋動地受到支撐。另，本實施形態中，雖構成為將軸423和保持單元41R相互固定，但也可以構成為保持單元41R相對於軸423旋動自如。
在旋動支撐單元42R的一方側部設有將軸423的旋動範圍予以限制之機構。此機構具備臂424、及2個擋塊425。藉由將軸423的旋動範圍予以限制，保持單元41R的旋動範圍會受到限制。
臂424被固定於旋動支撐單元42R的一方側部中的軸423的端部。2個擋塊425被固定於旋動支撐單元42R的一方側部中的側壁421的外面，臂424位於2個擋塊425之間。軸423可在從臂424與一方的擋塊425抵接之位置，至臂424與另一方的擋塊425抵接之位置為止的規定的角度範圍內旋動。
限制機構43R是對保持單元41R的旋動予以 限制或解除限制之單元。
本實施形態的情形下，對於一個保持單元41R設有一個限制機構43R。本實施形態的情形下，限制機構43R為氣缸、電動缸或電磁螺線管等伸縮型之致動器，具備本體部431和從本體部431進退之桿部432。本體部431被固定於旋動支撐單元42R的上壁422，以使桿部432的進退方向成為Z方向。桿部432可在將保持單元41R的旋動予以限制之限制位置與將保持單元41L的旋動限制予以解除之解除位置之間移動。當位於限制位置的情形下，桿部432的前端(下端)抵接至保持單元41L的上面。抵接的位置，為比軸423還靠下游側之位置。當位於退避位置的情形下，桿部432的前端(下端)從保持單元41L的上面離開。
參照圖10，說明限制機構43R的動作及保持單元41R的旋動態樣。圖10(A)及圖10(B)表示限制機構43R的桿部432位於限制位置，保持單元41R的旋動受到限制之狀態。圖10(A)是在圖10(B)中省略了側壁421等的圖示的圖。由於桿部432的前端抵接至保持單元41R的上面，因此在同圖中在逆時針方向的保持單元41R的旋動受到限制。臂424在同圖中抵接至右側的擋塊425，在同圖中在順時針方向的保持單元41R的旋動也受到限制。在此狀態下，載置部411的上面411a為水平，被保持的面板P2的端部以水平姿勢被保持。
圖10(C)表示限制機構43R的桿部432上 升至解除位置，保持單元41R的旋動限制被解除之狀態。保持單元41R處於在藉由一對擋塊425規範的規定角度範圍內可自由旋動之浮動狀態。圖10(D)及圖10(E)表示限制機構43R的桿部432位於解除位置，保持單元41R在同圖中向逆時針方向最大限度地旋動了之狀態。圖10(D)是在圖10(E)中省略了側壁421等的圖示的圖。臂424在同圖中抵接至左側的擋塊425，在同圖中在逆時針方向的保持單元41R的旋動受到限制。在此狀態下，載置部411的上面411a相對於水平面為傾斜，被保持的面板P2的端部以傾斜的姿勢被保持。
本實施形態中，由於保持單元41R可旋動，因此如後述般，可因應被保持的面板P2的姿勢，進行保持單元41R的姿勢變化。本實施形態的情形下，保持單元41R的旋動為自由旋動，但也可以設置令保持單元41R強制性地旋動之驅動機構。驅動機構例如能夠做成以電動機為驅動源之機構。藉由設置驅動機構，可控制保持單元41R的姿勢。但，當因應面板P2的姿勢而令保持單元41R的姿勢變化的情形下，如本實施形態般令保持單元41R成為可自由旋動的浮動狀態，能夠避免不必要的外力作用於面板P2，更合適。
接著，主要參照圖2、圖4，說明升降機構44R。升降機構44R為令保持單元41R相對於保持單元31上下地移動之單元。本實施形態的情形下，對於一組保持單元41R及旋動支撐單元42R設有一個升降機構44R。
升降機構44R具備升降軸441及驅動單元442。升降軸441為於Z方向延伸之軸，在其下端固定有旋動支撐單元42R的上壁422。驅動單元442具備將升降軸441予以升降之機構。此機構例如可採用滾珠螺桿機構或皮帶傳動機構等。昇降機構44L與昇降機構44R是獨立地被驅動。是故，保持單元41L及旋動支撐單元42L、與保持單元41R及旋動支撐單元42R係可相互獨立地升降。
接著，主要參照圖1、圖2，說明水平移動機構45R。本實施形態的情形下，水平移動機構45R為令保持單元41R於Y方向及X方向移動之機構，但也可為令保持單元41R僅於Y方向移動之機構。
水平移動機構45R具備可動軌道451、一對滑塊452、一對軌道453。可動軌道451為以橫穿搬運機構2的方式於X方向延伸設置之梁構件。2個驅動單元442於X方向移動自如地與可動軌道451卡合且被支撐。
驅動單元442可藉由未圖示之驅動機構，藉由可動軌道451的引導於X方向往復移動。此驅動機構被設置於每個驅動單元442，2個驅動單元442可相互獨立地於X方向移動。藉由變更2個驅動單元442的X方向的距離，來變更2個保持單元41R於X方向的距離。藉此，能夠保持尺寸不同的面板P2。驅動機構例如可採用滾珠螺桿機構或皮帶傳動機構等。
在可動軌道451的兩端部，分別固定有滑塊 452。滑塊452於Y方向移動自如地與軌道453卡合。一對軌道453相互於X方向隔開距離平行地配置。各軌道453於Y方向延伸設置。滑塊452可藉由未圖示之驅動機構，藉由軌道453的引導於Y方向往復移動。此驅動機構能夠設置在一對滑塊452當中的至少一方，令可動軌道451於Y方向平行移動。驅動機構例如可採用滾珠螺桿機構或皮帶傳動機構等。
可動軌道451於Y方向平行移動，藉此能夠令2個保持單元41R相對於保持單元41L接近或離開。本實施形態中，對於保持單元41L設置水平移動機構45L，對於保持單元41R設置水平移動機構45R。藉此，保持單元41L與保持單元41R，分別可獨立地於相互接近或離開之方向移動。但，也可以僅設置水平移動機構45L和水平移動機構45R的其中一方。在此情形下，成為僅有保持單元41L和保持單元41R當中的一方相對於另一方接近或離開之構成。
<推壓機構>
推壓機構5，為對於被保持在保持單元31之面板P1，將藉由保持單元41L及41R而被保持之面板P2於其厚度方向(這裡為Z方向)推壓之機構。
推壓單元5具備推壓輥51和輥移動機構52。推壓輥51以橫跨搬運機構2的方式於X方向水平地延伸設置，藉由輥移動機構52於Z方向和Y方向移動。推壓 輥51例如由金屬製之軸和披覆此軸的周圍的橡膠製或樹脂製之圓筒體(輥構件)所構成。圖11為推壓輥51的俯視圖。
本實施形態的情形下，在推壓輥51的周面形成有複數個溝51a和複數個溝51b。
溝51a為以避免保持單元41L及41R與推壓輥51之干涉為目的之溝。溝51a於推壓輥51的周面中被配置在與保持單元41L及41R相向之部分。本實施形態的情形下，形成於與載置部411相向之部分，具有比載置部411的寬度及厚度還寬的寬度及深度。藉由設置這樣的溝51a，即使當面板P2為與面板P1相同尺寸的情形下，或為比面板P1小的尺寸，仍可推壓面板P2的端緣周邊而不會與載置部411干涉。
在設想使用單一尺寸的面板P2的情形下，溝51a的數量可以與載置部411的數量相同。本實施形態中，設想使用複數種尺寸的面板P2，將溝51a的數量設為比載置部411的數量還多。
溝51b為以提高面板P1和面板P2的密合性為目的之溝，寬度及深度分別做成比溝51a小，且遍及推壓輥51的周面全域地形成。溝51b的間距可為等間距也可為不等間距，這裡是做成等間距。
在面板P1的貼合面，可能會有微小的起伏。藉由設置溝51b，因推壓輥51的周面是藉由溝51b間的突起而形成，此突起具有可撓性而會做彈性變形，因此對 於起伏可發揮更均勻的推壓力。作為令推壓輥51的周面容易做彈性變形之其他方法，可以考慮藉由硬度更低的材料來形成推壓輥51的圓筒體。但是，在此方法中，面板P2和推壓輥51的周面之接觸面積會變大，兩者間的摩擦變大。因此，由於推壓輥51的移動，面板P2對於面板P1可能會錯開。藉由如本實施形態般設置溝51b，面板P2和推壓輥51的周面之接觸面積會變小，也能夠防止面板P2的錯開。
輥移動機構52具備複數個支撐部521、複數個升降機構522、複數個滑塊523、複數個軌道524。支撐部521、升降機構522、滑塊523和軌道524設有2組。升降機構522被裝載於滑塊523，支撐部521被裝載於升降機構522。
推壓輥51，其兩端部被旋轉自如地支撐在支撐部521，可自由旋轉。軌道524夾著搬運機構2於其兩側各配置有1個，於Y方向水平地延伸設置。滑塊523與軌道524卡合，藉由軌道524的引導可於Y方向移動。滑塊523藉由未圖示之驅動機構於Y方向往復移動。藉由令2個滑塊523同步地移動，能夠令推壓輥51於Y方向平行移動。
升降機構522例如包含氣缸、電動缸、電磁螺線管等致動器作為其驅動源，使支撐部521升降。藉由令2個支撐部521同步地升降移動，能夠令推壓輥51於Z方向平行移動(升降)。
<控制單元>
圖12為進行製造裝置A的控制之控制單元6的方塊圖。控制單元6包含CPU等處理部61、RAM、ROM等記憶部62、中介外部設備和處理部61之介面部63。介面部63，也包含進行與主電腦的通訊之通訊介面。主電腦例如為對配置有製造裝置A的製造設備整體做控制之電腦。
處理部61執行被記憶於記憶部62之程式，依據各種感測器65的檢測結果或上位電腦等的指示，控制各種致動器64。各種感測器65，例如包含檢測藉由搬運機構2搬運之面板P2的位置之感測器、檢測保持單元41L及41R的位置之感測器、檢測支撐部521的位置之感測器、檢測保持單元31的位置之感測器等各種感測器。各種致動器64，例如包含吸附部411a用之空氣裝置、保持單元31用之空氣裝置、各種機構之驅動源(例如電動機)等。
<控制例>
參照圖13、圖17，說明處理部61的控制例。這裡，說明面板P1與面板P2之貼合。另，在貼合作業中，保持機構4當中各致動器414、各限制機構43L、各升降機構44L被同步地控制。同樣地，各限制機構43R、各升降機構44R被同步地控制。此外，作為初期狀態，限制機構43L、43R是將保持單元41L、41R的旋動予以限制，抵接 構件413是位於退避位置。
被搬入至搬運機構2之面板P2，如圖13(A)所示被搬運至作業區域。此時，保持單元41L位於面板P2的搬運方向上游側，保持單元41R則位於面板P2的搬運方向下游側。
如圖13(B)所示，保持單元41L、41R分別藉由升降機構44L、44R而朝凹坑部21下降。再來，保持單元41L、41R藉由水平移動機構45L、45R朝相互接近之方向移動，令保持單元41L的載置部411位於面板P2的搬運方向上游側的端部的下方，令保持單元41R的載置部411位於面板P2的搬運方向下游側的端部的下方。
與該些動作並行，將搬入台1上的面板P1搬運至作業區域。如圖14(A)所示，保持單元31朝搬入台1的上方移動。接著，保持單元31下降，藉由保持單元31吸附保持面板P1。面板P1中，與被貼合至面板P2之側的面(這裡為下面)相反側的面(這裡為上面)被吸附。
如圖14(B)所示，令保持單元31從搬入台1上升，向作業區域移動而使之停止。
如圖14(C)所示，保持單元41L、41R分別藉由升降機構44L、44R從凹坑部21上升，將面板P2從搬運面2a抬起。此時，面板P2藉由保持單元41L、41R的各吸附部412而被吸附保持。面板P2在面板P1的下 方，成為使貼附面面向上向而以水平姿勢被保持之狀態。
如圖15(A)所示，抵接構件413從退避位置移動至保持位置。藉此，面板P2的搬運方向上游側的端緣的一部分，在抵接構件413與載置部411的上面411a之間，於上下方向被夾入。像這樣，面板P2的搬運方向上游側的端部除了吸附部412所致之吸附保持以外，還在抵接構件413與載置部411的上面411a之間被機械性地保持。
接著，令被保持的面板P2的姿勢變化。本例中，將面板P2的搬運方向下游側的端部作為貼合始端部，將搬運方向上游側的端部作為貼合終端部。因此，令面板P2的姿勢傾斜地變化，使得於Z方向，面板P2的搬運方向下游側的端部趨近面板P1，面板P2的搬運方向上游側的端部遠離面板P1。
首先，如圖15(B)所示，將限制機構43L、43R對於保持單元41L、41R的旋動限制予以解除。保持單元41L、41R可繞軸423自由旋動。
將升降機構44L或升降機構44R的至少任意一方驅動，如圖16(A)所示，令其移動使得保持單元41L成為比保持單元41R還遠離面板P1之狀態。這裡，令保持單元41L恰好下降距離L2。此時，藉由水平移動機構45L令保持單元41L於Y方向恰好移動距離L1，以使保持單元41L的軸423與保持單元41R的軸423之軸間距離不變。保持單元41L的移動軌跡成為弧狀的軌跡 T1。
伴隨保持單元41L的移動，面板P2的姿勢相對於水平方向傾斜地變化。此時，保持單元41L、41R處於浮動狀態，因此保持單元41L、41R的姿勢會因應面板P2的姿勢變化而變化。圖16(A)例子中，保持單元41L、41R向逆時針方向旋動。
像這樣保持單元41L、41R的姿勢變化，藉此面板P2會維持近乎筆直的(略平坦的)狀態，能夠更確實地保持面板P2。
也就是說，若保持單元41L、41R的姿勢不變化，載置部411為水平的狀態，則面板P2的端部也以水平姿勢被保持，而會從端部朝向中央部急遽地彎曲。由於此彎曲的彈性恢復力，面板P2可能會從載置部411脫落。但，本實施形態中，由於載置部411是因應面板P2的傾斜而傾斜，故在面板P2中幾乎不產生彎曲，是故能夠更確實地保持面板P2。
接著，藉由輥移動機構52令推壓輥51向貼合始端部的下方位置移動。
如圖17(A)所示，藉由輥移動機構52令推壓輥51上升，開始面板P1與面板P2之貼合。推壓輥51將面板P2的搬運方向下游側的端部朝向面板P1推壓。推壓力由保持單元31承受住。面板P2的貼附面(上面)的一部分抵接至面板P1的貼附面(下面)。面板P2與面板P1之抵接區域，成為於X方向較長之帶狀的區域。
推壓輥51將面板P2的端部向面板P1推壓，藉此該端部的姿勢逐漸變化成水平。伴隨此，保持單元41R也向順時針方向旋動，載置部411的姿勢返回水平姿勢。由於保持單元41R的載置部411位於推壓輥51的溝51a內，故載置部411與推壓輥51不會干涉，此外，能夠防止面板P2的搬運方向下游側的端部中的氣泡混入。
在貼合中，保持單元41R的載置部411的姿勢，從防止面板P1與面板P2剝離的觀點看來，較佳為水平姿勢的狀態，故如圖17(B)所示，驅動限制機構43R來限制保持單元41R的旋動。藉由輥移動機構52令推壓輥51朝向成為貼合終端部的面板P2的搬運方向上游側的端部水平地移動。由於面板P1是藉由保持單元31以水平姿勢被保持，故推壓輥51會沿著面板P1移動。
面板P1與面板P2之抵接區域會追隨推壓輥51的移動而增大，面板P2從其搬運方向下游側的端部依次向面板P1貼附。面板P1與面板P2之間的空氣向搬運方向上游側被依次擠出，能夠防止氣泡混入至面板間。
伴隨推壓輥51的移動，令保持單元41L藉由升降機構44L上升，且令其藉由水平移動機構45L朝遠離保持單元41R之方向移動。圖17(B)例子中，保持單元41L朝上方恰好上升距離L4，於Y方向恰好移動距離L3，其移動軌跡成為弧狀的軌跡T2。保持單元41L的旋動限制是維持被解除之狀態。是故，因應推壓輥51的移動所伴隨之面板P2的姿勢變化，處於浮動狀態的保持單 元41L會旋動而其姿勢變化。面板P2會從推壓輥51之推壓部位朝向貼合終端部而彎曲，但由於面板P2的搬運方向下游側的端部除了保持單元41L的吸附部412所致之吸附保持以外還藉由抵接構件413被機械性地保持，故會更確實地保持面板P2。
若推壓輥51接近面板P2的搬運方向上游側的端部，則如圖17(C)所示，抵接構件413藉由致動器414的驅動而向退避位置移動，避免抵接構件413與面板P1之干涉。推壓輥51的移動所伴隨之保持單元41L的上升和Y方向的水平移動會持續，圖17(C)例子中，保持單元41L朝上方恰好上升距離L6，於Y方向恰好移動距離L5，其移動軌跡成為弧狀的軌跡T3。保持單元41L的旋動限制是維持被解除之狀態，其載置部411逐漸趨近水平姿勢。
若推壓輥51到達貼合終端部亦即面板P2的搬運方向下游側的端部，則面板P1與面板P2之貼合作業結束。圖17中，線M表示貼合開始時的保持單元41L的軸423的位置。可知隨著貼合進行，保持單元41L的軸423的位置會朝遠離保持單元41R之方向移動。藉由令保持單元41L一面上升一面朝上游側移動，可減小面板P2的撓曲，使面板P2對於面板P1緊密地貼附。線N表示貼合開始時的保持單元41R的軸423的位置。可知即使貼合進行，保持單元41R也不移動。
其後，藉由限制機構43L限制保持單元41L 的旋動，其載置部411被設為水平姿勢。推壓輥51藉由輥移動機構52向初始位置退避，保持單元31對於面板P1的保持被解除。再來，令保持單元41L及41R下降，面板P1與面板P2之層積體被載置於搬運機構2的搬運面2a上。其後，層積體被搬運機構2搬運，一個單位的處理結束。
<第二實施形態>
第一實施形態中，在貼合時，是令推壓輥51從面板P2的一方端部向另一方端部移動，但也可以採用其他的移動態樣。圖18(A)~圖18(C)為其說明圖。
同圖的例子中，將面板P2的中央部作為貼合始端部，如圖18(A)般將推壓輥51的初始位置訂為面板P2的中央部。在保持單元41L、41R的旋動限制均解除的狀態下進行貼合作業。如圖18(B)所示，令推壓輥51朝Y方向的一個方向移動。同圖的例子中，是令其朝搬運方向下游側(保持單元41R側)移動。面板P1與面板P2之間的空氣依次向搬運方向下游側被擠出。若推壓輥51到達面板P2的搬運方向下游側的端部，則面板P2的一半的貼合作業結束。
接著，如圖18(C)所示，令推壓輥51朝Y方向的另一方向移動。同圖的例子中，是令其朝搬運方向上游側(保持單元41L側)移動。面板P1與面板P2之間的空氣依次向搬運方向上游側被擠出。若推壓輥51到達 面板P2的搬運方向上游側的端部，則面板P2的貼合作業結束。
當令推壓輥51以這樣的移動態樣移動的情形下，同樣地，由於處於浮動狀態之保持單元41L及41R的姿勢會因應面板P2的姿勢變化而變化，故能夠一邊更確實地保持面板P2一邊防止氣泡的混入。
接著，第一實施形態中，雖是藉由1個推壓輥51進行面板P1與面板P2之貼合，但也可以藉由複數個推壓輥51進行面板P1與面板P2之貼合。圖19(A)表示其一例。同圖的例子如同圖18的例子般，將面板P2的中央部作為貼合始端部，且使推壓輥51為2個。2個推壓輥51於Y方向並列設置，朝相互離開的方向移動。同圖的例子中，一方的推壓輥51a朝Y方向的一個方向(例如保持單元41R側)移動，另一方的推壓輥51b則朝Y方向的另一方向(例如保持單元41L側)移動。
在圖19(A)例子的情形下，若複數個推壓輥51在貼合始端部同時推壓面板P2，則在推壓輥51間可能有氣泡混入。鑑此，也可以最初藉由一個推壓輥51推壓面板P2，其他的推壓輥51則事先推壓最初推壓的區域。圖20(A)~圖20(C)表示其一例。
首先，如圖20(A)所示，僅推壓輥51A上升，令面板P2的貼附面(上面)的一部分抵接至面板P1的貼附面(下面)。接著，如圖20(B)所示，暫且令推壓輥51A朝保持單元41R側移動，將推壓輥51B最初推 壓的區域予以貼合。此時，推壓輥51A朝向保持單元41R的移動量，為推壓輥51B上升而開始推壓面板P2的位置為止的距離量。其後，如圖20(C)所示，使推壓輥51A的移動折返，移動到保持單元41L側的貼合終端部為止。此外，推壓輥51B，在推壓輥51A開始向保持單元41L側移動後上升，而推壓面板P2，並移動到保持單元41R側的貼合終端部為止。面板P2與面板P1之抵接區域，成為於X方向較長之帶狀的區域。像這樣藉由使用複數個推壓輥51A、51B，能夠縮短貼合時間，且可能能夠防止氣泡的混入。
接著，推壓輥51的移動方向，也可以是從面板P2的一邊往相向的一邊的方向以外之方向。圖19(B)表示其一例。同圖的例子，為表示將推壓輥51的移動方向設為對角線方向之例子，將面板P2的中央部作為貼合始端部，且使推壓輥51為2個。2個推壓輥51於面板P2的對角線上朝相互離開的方向移動。保持單元41L、41R將面板P2的相互相向的角隅部予以保持。
此外，也可以採用將複數個推壓輥放射狀地配置在面板P2的中央部的周圍，令各推壓輥放射狀地移動之構成等。藉此，能夠將面板P1與面板P2之間的空氣依次朝向面板P2的端緣部擠出。此時，從面板P2的中央部到各端緣部的距離分別不同。故，較佳是調整各推壓輥的移動速度，以使所有的推壓輥同時到達面板P2的端緣部。此外，各推壓輥也可以因應放射狀的配置部位來調整 其輥寬度。例如，從面板P2的中央部向各角部移動之推壓輥，相較於從面板P2的中央部向各端緣部移動之推壓輥而言，也可以設計成將輥寬度增長。
<其他實施形態>
第一實施形態中，是構成為藉由保持單元41L保持面板P2的搬運方向上游側的端部，藉由保持單元41R保持面板P2的搬運方向下游側的端部，而保持面板P2的相互相向的端部。這可穩定地保持面板P2。
但，也可以採用僅保持面板P2的一方端部之構成(例如做成保持單元41L或41R的任意一方之構成)。反之，也可以採用增設保持單元而保持面板P2的4邊全部或3邊之構成。此面板P2的4邊保持或3邊保持，對於將面板P2的中央部作為貼合始端部之貼合方法而言特別合適。
31‧‧‧保持單元
41L、41R‧‧‧第二保持單元
43L、43R‧‧‧限制機構
411‧‧‧載置部
413‧‧‧抵接構件
414‧‧‧致動器
423‧‧‧軸
51‧‧‧推壓輥
51a‧‧‧溝
P1、P2‧‧‧面板

Claims (19)

  1. 一種製造裝置，係將第一面板和第二面板貼合以製造層積體之製造裝置，其特徵為，具備：第一保持單元，保持前述第一面板；複數個第二保持單元，在前述第一面板的下方保持前述第二面板；推壓輥，從被保持於前述第二保持單元之前述第二面板的下方，將前述第二面板朝向前述第一面板的方向推壓；輥移動機構，與前述推壓輥連接地設置，令前述推壓輥沿著前述第一面板移動；升降機構，令前述複數個第二保持單元相對於前述第一保持單元上下地移動；前述複數個第二保持單元分別受到支撐，而可繞著平行於被保持在前述第一保持單元之前述第一面板的面板面的軸旋動。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之製造裝置，其中，前述複數個第二保持單元，包含：至少一個一邊側保持單元，保持前述第二面板的一邊；及至少一個另一邊側保持單元，保持前述第二面板的和前述一邊相向之另一邊；前述升降機構，可獨立地上下地移動前述一邊側保持單元和前述另一邊側保持單元。
  3. 如申請專利範圍第1或2項所述之製造裝置，其中，前述複數個第二保持單元，分別具有吸附保持前述第二面板的下面之吸附部。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之製造裝置，其中，前述複數個第二保持單元，包含具備抵接構件之至少一個保持單元，前述抵接構件，具有抵接至前述第二面板的端緣之面向下方的傾斜部，前述第二面板的端緣位於前述傾斜部與具備前述吸附部的面板保持面之間。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之製造裝置，其中，更具備複數個旋動支撐單元，前述複數個旋動支撐單元，分別將前述複數個第二保持單元當中的至少一個第二保持單元，繞著平行於被保持在前述第一保持單元之前述第一面板的面板面的軸可旋動地予以支撐。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之製造裝置，其中，更具備將前述複數個第二保持單元的旋動予以限制或解除限制之複數個限制機構。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之製造裝置，其中，前述推壓輥，在其周面當中和前述複數個第二保持單元相向的部分，具有溝。
  8. 如申請專利範圍第2項所述之製造裝置，其中， 更具備令前述一邊側保持單元與前述另一邊側保持單元當中的至少任意一方朝接近/離開另一方的方向移動之水平移動機構。
  9. 如申請專利範圍第2項所述之製造裝置，其中，具備複數個前述一邊側保持單元，具備複數個前述另一邊側保持單元，更具備：令複數個前述一邊側保持單元朝相互接近/離開的方向移動之第一水平移動機構；及令複數個前述另一邊側保持單元朝相互接近/離開的方向移動之第二水平移動機構。
  10. 如申請專利範圍第1項所述之製造裝置，其中，更具備：控制單元，進行令前述推壓輥從貼合始端部側朝貼合終端部側移動之控制，且進行令前述複數個第二保持單元當中前述貼合終端部側的保持單元上升之控制。
  11. 如申請專利範圍第8項所述之製造裝置，其中，更具備：控制單元，進行令前述推壓輥從前述第二面板當中前述一邊之側朝前述另一邊之側的方向移動之控制，且進行令前述另一邊側保持單元一面上升一面朝離開前述一邊側保持單元的方向移動之控制。
  12. 一種製造方法，係將第一面板和第二面板貼合以製造層積體之製造方法，其特徵為，具備：保持工程，在使貼附面面向下方而被保持之前述第一面板的下方，藉由複數個保持單元將前述第二面板以貼附面面向上方而予以保持； 抵接工程，令推壓輥抵接至被保持的前述第二面板的下面，且將前述第二面板朝向前述第一面板推壓，令前述第二面板的前述貼附面的至少一部分抵接至前述第一面板的前述貼附面；貼合工程，令前述推壓輥沿著前述第一面板移動，將前述第一面板和前述第二面板貼合；前述貼合工程，係令前述複數個保持單元中的至少一部分保持單元的姿勢變化，以便追隨前述推壓輥的移動，而使前述第二面板相對於前述第一面板的抵接區域增大。
  13. 如申請專利範圍第12項所述之製造方法，其中，前述保持工程，包含將前述第二面板的端緣的一部分於上下方向夾入之工程。
  14. 如申請專利範圍第12項所述之製造方法，其中，前述保持工程中，令前述第二面板的貼合終端部側比前述第二面板的貼合始端部還遠離前述第一面板，而保持前述第二面板。
  15. 如申請專利範圍第14項所述之製造方法，其中，前述貼合工程中，令前述第二面板的前述貼合終端部追隨前述推壓輥的移動而朝接近前述第一面板的方向移動。
  16. 如申請專利範圍第14項所述之製造方法，其中，前述貼合工程中，令前述第二面板的前述貼合終端部追隨前述推壓輥的移動而朝接近前述第一面板的方向移 動，同時於水平方向遠離前述第二面板的前述貼合始端部。
  17. 如申請專利範圍第12項所述之製造方法，其中，前述推壓輥，在前述複數個保持單元保持著前述第二面板的狀態下，將前述第二面板朝向前述第一面板推壓。
  18. 如申請專利範圍第12項所述之製造方法，其中，前述抵接工程中，前述第二面板的前述貼附面與前述第一面板的前述貼附面之抵接區域為帶狀的區域，前述貼合工程中，令前述推壓輥從前述帶狀的區域沿著前述第一面板朝一個方向移動。
  19. 如申請專利範圍第12項所述之製造方法，其中，前述抵接工程中，前述第二面板的前述貼附面與前述第一面板的前述貼附面之抵接區域為帶狀的區域，前述貼合工程中，令兩個前述推壓輥從前述帶狀的區域沿著前述第一面板分別朝相互遠離的方向移動。
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