JP2015133391A5 - - Google Patents
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Description
支持部１３２２は、一端側がベース部材１３２０に、他端側がカバー保持ユニット１３０のベース部材１３００に接続され、カバー保持ユニット１３０を支持する。本実施形態の場合、支持部１３２２はＸ方向に離間して２つ設けられている。本実施形態の場合、カバー保持ユニット１３０は、キャリア５に近接・離間する方向に変位可能に支持（吊設）される。支持部１３２２を複数設けているので、カバー保持ユニット１３０は、キャリア５に近接・離間する方向に変位可能なだけでなく、水平面に対して傾斜可能に支持されている。
詳細には、支持部１３２２はロッドシリンダとバネとから構成されており、ロッドシリンダのシリンダ部がベース部材１３２０に固定され、ロッド部がベース部材１３００に固定されている。バネはシリンダ部とベース部材１３００との間に、ロッド部を囲繞して装填されている。シリンダ部に対するロッド部の進退量だけベース部材１３００は、ベース部材１３２０に対して近接、離間する方向（Ｙ方向）に変位可能となる。この結果、カバー５１を保持する際、カバー保持ユニット１３０は、キャリア５に近接・離間する方向に、支持ユニット１３２に対して変位することができる。バネはベース部材１３００とベース部材１３２０とが離れる方向にこれらを付勢する。
処理部６１は記憶部６２に記憶されたプログラムを実行し、各種のセンサ６５の検出結果や、各種のアクチュエータ６４を制御する。各種のセンサ６５には、例えば、昇降体１４４の位置を検出するセンサ等が含まれる。各種アクチュエータ６４には、例えば、搬送装置１０、キャリア処理装置１１、搬送装置１２、及び、移動装置１４の各駆動源や、保持装置１３における負圧吸引を行うポンプや制御弁等が含まれる。
カバー５１に対するピン１１１４の突き上げにより、支持ユニット１３２に対して上方に変位していたカバー保持ユニット１３０は、その変位分だけ元の位置に戻る（降下する）。
搬送装置１２の上部には、図１３（Ａ）に示すように、基板Ｗと干渉しない位置に突起部１２０が形成されている。保持装置１３を搬送装置１２上に降下する際、この突起部１２０はカバー５１に当接し、カバー５１の降下を基板Ｗよりも先に停止させる。すなわち、カバー５１の下面に突起部１２０が当接すると、カバー保持ユニット１３０は、それ以上降下できなくなる。カバー保持ユニット１３０は、支持部１３２２により支持ユニット１３２に対して変位可能に支持されているため、保持装置１３の降下を継続すると、基板保持ユニット１３１はカバー保持ユニット１３０よりも降下して、カバー５１から基板Ｗが離れる状態となる。
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