JPWO2007037005A1 - ワーク収納装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は本発明の一実施形態に係るワーク収納装置Aを用いた、ワーク処理設備100のレイアイトを示す平面図である。なお、各図においてX、Yは相互に直交する水平方向、Zは鉛直方向を示す。ワーク処理設備100はワークとして方形板状のガラス基板を処理する設備であって、ワーク収納装置Aと、処理装置Bと、移載装置Cと、を備える。
図2は本実施形態における移載装置Cの外観斜視図である。図2に示す移載装置Cは一例であり、ワーク収納装置Aと共に用いられる移載装置Cとしては種々のものが採用可能である。移載装置Cは、支持テーブル2と、支持テーブル2の左右の側部にそれぞれ設けられた一対のリニアガイド3と、リニアガイド3に沿って移動する一対のハンドユニット4と、支持テーブル2を支持すると共に移載装置C全体をレール1に沿ってY方向に往復移動させる走行ユニット5と、を備える。
図3はワーク収納装置Aの外観斜視図である。ワーク収納装置Aは、エア噴出装置10と、エア噴出装置10の上方に配設される収納カセット20と、昇降装置30と、位置決め装置40と、を備える。
図4は収納カセット20の外観斜視図である。収納カセット20はガラス基板を上下方向(Z方向)に多段に収納可能なカセットである。なお、図3及び図4はガラス基板が未収納の状態を示している。本実施形態の場合、収納カセット20は複数の柱部材21a、21bと、梁部材22a乃至22gと、により略直方体形状のフレーム体をなしている。
図6は昇降装置30の外観斜視図、図7は昇降ユニット31の分解斜視図である。昇降装置30は収納カセット20とエア噴出装置10とを相対的に上下に昇降させる装置である。本実施形態ではエア噴出装置10を固定とし、収納カセット20を昇降させるが、収納カセット20を固定とし、エア噴出装置10を昇降させる構成も採用できる。
図8はエア噴出装置10の外観斜視図である。本実施形態の場合、エア噴出装置10は複数のエア噴出ユニット11から構成されており、各エア噴出ユニット11は収納カセット20の昇降時に収納カセット20と干渉しないよう、進入口25、開口部23aを通過可能な大きさ、位置に設定されている。各エア噴出ユニット11は、エアの噴出口111aが複数形成された略水平の上面111を有する。各エア噴出ユニット11の各上面111は略同一水平面上に位置している。噴出口111aは不図示のエア供給装置(例えばコンプレッサ)から供給されるエアーを噴出し、収納カセット20に収納されているガラス基板を略水平姿勢で上面111上で浮遊させる。
図9は位置決め装置40の外観斜視図である。本実施形態の場合、位置決め装置40は4基配設されている。4基の位置決め装置40は、それぞれ2つが1組となる。1組の位置決め装置40は互いに向かい合うようにY方向に離間して配設されている。そして、2組の位置決め装置40はX方向に離間して配設されている。
図10はワーク収納装置Aの制御部50の構成を示すブロック図である。制御部50はワーク収納装置Aの全体の制御を司るCPU51と、CPU51のワークエリアを提供すると共に、可変データ等が記憶されるRAM52と、制御プログラム、制御データ等の固定的なデータが記憶されるROM53と、を備える。RAM52、ROM53は他の記憶手段を採用可能である。
ワーク収納装置Aにおけるガラス基板の搬出時の動作について説明する。図11乃至図19はワーク収納装置Aの動作説明図である。図11及び図15はエア噴出装置10及び収納カセット20の平面視図であり、図12乃至図14及び図16乃至19は図11の線I−Iに沿う断面図である。各図においては要部のみ図示し、ワイヤ23等は省略されている。
収納カセット20はフォークリフト等に搭載されて搬送され、昇降装置30のビーム部材311上に載置される。収納カセット20を搬送する際、振動により収納カセット20内に収納されたガラス基板が搬出入口24から飛び出してしまう場合がある。図20はこのような問題を解決する収納カセット20’の外観斜視図である。図20において、上述した収納カセット20と同じ構成については同じ符号を付し、説明を省略する。
上記実施形態では吸着機能を持つ吸着パッド14を採用したが、ガラス基板の滑り防止には必ずしも吸着機能を有するパッドである必要はなく、ガラス基板Wの急激な移動(滑り)に抵抗するパッドであればよい。例えば、上面にゴムやフェルト布等を有するパッドであってもよい。尤も、吸着パッド14のように吸着機能を有するパッドの方が、ガラス基板の滑り防止に効果的であることは言うまでも無い。
Claims (7)
- エアの噴出口が複数形成された略水平の上面を有し、前記噴出口からのエアの噴出により、方形板状のワークを略水平姿勢で前記上面上で浮遊させるエア噴出手段と、
上下方向に多段に形成され、前記エア噴出手段が通過可能な開口部を有すると共に前記ワークが略水平姿勢で載置される複数の載置部と、前記ワークの搬出口を形成する側部と、前記エア噴出手段が通過可能な進入口を形成する底部と、を備え、前記エア噴出手段の上方に配設される収納カセットと、
前記収納カセットと前記エア噴出手段とを相対的に上下に昇降させる昇降手段と、を備え、
前記昇降手段による昇降動作によって前記エア噴出手段を前記収納カセット内に進入させ、前記収納カセットから外部へ搬出する前記ワークを前記エア噴出手段により前記載置部から浮遊させるワーク収納装置において、
前記エア噴出手段の前記上面から突出して、浮遊状態にある前記ワークの下面に当接するパッドを設けたことを特徴とするワーク収納装置。 - 前記パッドを前記エア噴出手段の前記上面から突出する突出位置と、非突出位置との間で昇降するパッド昇降手段を更に設けたことを特徴とする請求項1に記載のワーク収納装置。
- 前記パッドが、エアの吸引により浮遊状態にある前記ワークの下面に吸着する吸着パッドであることを特徴とする請求項1に記載のワーク収納装置。
- 前記吸着パッドを前記ワークの搬出方向に移動させる移動手段を更に設けたことを特徴とする請求項3に記載のワーク収納装置。
- 前記エア噴出手段の前記上面から突出して、前記移動手段による前記吸着パッドの移動に伴い移動する前記ワークの下面に当接する補助ローラを更に設けたことを特徴とする請求項4に記載のワーク収納装置。
- 前記吸着パッドと前記補助ローラとは前記ワークの搬出方向に離間して設けられ、
更に、
前記吸着パッドを、前記エア噴出手段の前記上面から突出する突出位置と、非突出位置との間で昇降する吸着パッド昇降手段と、
前記補助ローラを、前記エア噴出手段の前記上面から突出する突出位置と、非突出位置との間で昇降する補助ローラ昇降手段と、を備え、
前記吸着パッドと前記補助ローラとは同期的に昇降することを特徴とする請求項5に記載のワーク収納装置。 - 浮遊状態にある前記ワークの端縁を略水平方向に押圧して前記ワークを位置決めする位置決め手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載のワーク収納装置。
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