CN203092546U - 一种基板搬送机器人手臂以及基板搬送机器人 - Google Patents

一种基板搬送机器人手臂以及基板搬送机器人 Download PDF

Info

Publication number
CN203092546U
CN203092546U CN 201220629149 CN201220629149U CN203092546U CN 203092546 U CN203092546 U CN 203092546U CN 201220629149 CN201220629149 CN 201220629149 CN 201220629149 U CN201220629149 U CN 201220629149U CN 203092546 U CN203092546 U CN 203092546U
Authority
CN
China
Prior art keywords
base plate
substrate
cushion block
paw
robot arm
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
CN 201220629149
Other languages
English (en)
Inventor
齐乐
曹斌
洪性坤
沈超
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BOE Technology Group Co Ltd
Beijing BOE Display Technology Co Ltd
Original Assignee
BOE Technology Group Co Ltd
Beijing BOE Display Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BOE Technology Group Co Ltd, Beijing BOE Display Technology Co Ltd filed Critical BOE Technology Group Co Ltd
Priority to CN 201220629149 priority Critical patent/CN203092546U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN203092546U publication Critical patent/CN203092546U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Manipulator (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本实用新型提供了一种基板搬送机器人手臂以及基板搬送机器人,所述基板搬送机器人手臂包括多个手爪,至少两个所述手爪上设有用于在搬送基板时固定并支撑基板的真空吸盘;至少一个所述手爪上设有用于与所述真空吸盘共同支撑所述基板的垫块。本实用新型的基板搬送机器人手臂通过在基板搬送机器人手臂的手爪上增设支撑基板的垫块,增大玻璃基板受力面积,减少玻璃基板承受的压强,从而减少或消除不良产生,提高液晶面板的品质。

Description

一种基板搬送机器人手臂以及基板搬送机器人
技术领域
本实用新型涉及液晶面板制造领域,尤其涉及一种基板搬送机器人手臂以及基板搬送机器人。 
背景技术
目前的LCD制造行业中,尤其是在TFT-LCD成盒工序中,玻璃基板广泛采用基板搬送机器人进行搬送。基板搬送机器人包括控制机构以及机器人手臂,在控制机构的控制下,通过将机器人手臂插入到玻璃基板的下方,并将玻璃基板固定于机器人手臂上,实现玻璃基板搬送。图1所示为现有的基板搬送机器人的机器人手臂的结构示意图。如图1所示,现有的基板搬送机器人的机器人手臂通常有并排设置的几个手爪100,在位于两侧的两个手爪100上分别设两个真空吸盘200。需要搬送玻璃基板时,将几个手爪置于玻璃基板的下方,通过真空吸盘将玻璃基板吸附固定于几个手爪上方,再移动手爪,实现搬送目的。玻璃基板在采用上述结构的机器人手臂搬送时,由于玻璃基板通过几个真空吸盘支撑,玻璃基板的受力面积比较小,从而使得玻璃基板受到的压强过大,产生变形,变形产生的应力会使得成盒后的液晶面板盒厚不均匀,产生白色不良,而对液晶面板的品质造成损害。为了使得玻璃基板在搬送时减少或消除白色不良的产生,需要一种能够增大玻璃基板的受力面积、减少玻璃基板承受的压强的基板搬送机器人手臂。 
实用新型内容
本实用新型的目的就是提供一种基板搬送机器人手臂,可增大玻璃基板受力面积,减少玻璃基板承受的压强,从而减少或消除不良产生,提高液晶面板的品质。 
本实用新型所提供的技术方案如下: 
一种基板搬送机器人手臂,包括多个手爪,至少两个所述手爪上设有用于在搬送基板时固定并支撑基板的真空吸盘;至少一个所述手爪上设有用于与所述真空吸盘共同支撑所述基板的垫块。 
优选的,所述真空吸盘在支撑基板时在垂直于所述手爪长度方向的方向上具有第一支撑高度;所述垫块在垂直于所述手爪长度方向的方向上具有第二支撑高度,且所述第二支撑高度与所述第一支撑高度相等。 
优选的,每一所述手爪上设有沿所述手爪长度方向排列的多个所述垫块。 
优选的,所述垫块采用可拆卸方式连接于所述手爪上。 
优选的,每一所述垫块的形状、尺寸均相同。 
优选的,所述垫块为采用耐热材料制成的耐热型垫块。 
本实用新型的另一个目的还在于提供一种基板搬送机器人,其包括上述的基板搬送机器人手臂。 
本实用新型的有益效果如下: 
上述方案,通过在基板搬送机器人手臂的手爪上增设垫块,增大玻璃基板受力面积,减少玻璃基板承受的压强,从而减少或消除不良产生,提高液晶面板的品质。 
附图说明
图1表示现有的基板搬送机器人手臂的结构示意图; 
图2表示本实用新型的基板搬送机器人手臂的结构示意图; 
图3表示垫块与真空吸盘在搬送基板时的结构示意图。 
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本实用新型,并非用于限定本实用新型的范围。 
如图2和图3所示,本实施例提供了一种基板搬送机器人手臂,其包括并排设置的多个手爪100,多个手爪100中位于两侧的两个手爪100上分别设有用于在搬送基板400时吸附固定并支撑基板400的真空吸盘200,且该真空吸盘200在搬送基板400时在垂直于手爪100长度方向的第一方向(手爪长度方 向即图中X方向,第一方向即图3中Y方向)上具有第一支撑高度h1;在手爪100上还设有用于与真空吸盘200共同支撑基板的垫块300,垫块300在垂直于手爪100长度方向的第一方向上具有第二支撑高度h2,且第二支撑高度h2与第一支撑高度h1相等。 
本实施例中所提供的基板搬送机器人手臂,在搬送基板400时,真空吸盘200会吸附基板400,起到固定和支撑基板400的作用,防止基板400脱落,而真空吸盘200在支撑基板400时,由于承载基板400的重量而被下压,其在承载基板400后被下压的情况下的支撑高度即为所述第一支撑高度h1;而在手爪100上增设的垫块300的第二支撑高度h2与所述第一支撑高度h1相同,也就是说,垫块300的支撑高度与真空吸盘200的支撑高度相等,从而,垫块300可以与真空吸盘200共同支撑基板,增大基板400的受力面积,减少基板400承受的压强,达到减小应力,避免盒厚不不均匀而产生白色不良的现象,提高液晶面板的品质。 
本实施例中,手爪100有6个,真空吸盘200设置于6个手爪100中位于两侧的两个手爪100上,且位于两侧的两个手爪100上分别设2个真空吸盘200。当然可以理解的是,在实际应用中,真空吸盘200也可以是设置于多个手爪中的其他手爪上,在此并不对真空吸盘200的设置位置以及真空吸盘200的数量进行限制。 
此外,本实施例中,优选的,在每一手爪100上均沿手爪100的长度方向排布有多个垫块300,有利于基板受力均匀。当然可以理解的是,在实际应用中,垫块300也可以仅设置于多个手爪中的一个手爪上,或者,设置于多个手爪中的几个手爪上,对于垫块300的数量在此也并不进行限制,可根据实际需求进行调整。 
此外,本实施例中,优选的,如图2所示的,每一手爪100上沿手爪100长度方向(即图2和图3中X方向)排列设置有6~11个垫块300。进一步优选的,每一手爪100上垫块300数量为11个。采用这种结构,垫块300采用多个,可根据手爪100的结构进行适应调整,比如:手爪100上会设置有其他结构时,垫块300在设置于手爪上时,可以与其他结构相适配地进行调整。 
此外,本实施例中,优选的,垫块300可以采用可拆卸地方式连接于手爪 100上。进一步优选的,手爪100上设有多个安装点,垫块300可以根据实际需求安装于合适的安装点上。 
本实施例中,优选的,每一垫块300的形状、尺寸均相同,有利于基板受力均匀。优选的,垫块300的尺寸为:长为190mm,宽为45mm,高(即第二支撑高度h2)为2mm。当然,可以理解的是,多个垫块300的形状、尺寸也可以不同。 
此外,由于液晶面板在制造过程中,工艺环境温度较高,因此,本实施例中,垫块300优选的为采用耐热材料制成的耐热型垫块300。并且,垫块300优选的采用不可被压缩的材料制成,以达到更好的支撑效果。比如:垫块300可以采用耐热性的硅片制成。 
另外,本实施例中,优选的,在每一手爪100上还设置有感应器500,用于检测基板的位置,并将检测到的基板位置信息发送至基板搬送机器人的控制机构,以根据检测到的基板位置信息,控制基板搬送机器人手臂的工作状态。 
此外,本实用新型还提供一种基板搬送机器人,其包括本实施例中所提供的基本搬送机器人手臂。 
以上所述是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型所述原理的前提下,还可以作出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。 

Claims (7)

1.一种基板搬送机器人手臂,包括多个手爪,至少两个所述手爪上设有用于在搬送基板时固定并支撑基板的真空吸盘;其特征在于,至少一个所述手爪上设有用于与所述真空吸盘共同支撑所述基板的垫块。
2.根据权利要求1所述的基板搬送机器人手臂,其特征在于,所述真空吸盘在支撑基板时在垂直于所述手爪长度方向的方向上具有第一支撑高度;所述垫块在垂直于所述手爪长度方向的方向上具有第二支撑高度,且所述第二支撑高度与所述第一支撑高度相等。
3.根据权利要求1所述的基板搬送机器人手臂,其特征在于,每一所述手爪上设有沿所述手爪长度方向排列的多个所述垫块。
4.根据权利要求3所述的基板搬送机器人手臂,其特征在于,所述垫块采用可拆卸方式连接于所述手爪上。
5.根据权利要求3所述的基板搬送机器人手臂,其特征在于,每一所述垫块的形状、尺寸均相同。
6.根据权利要求1至5任一项所述的基板搬送机器人手臂,其特征在于,所述垫块为采用耐热材料制成的耐热型垫块。
7.一种基板搬送机器人,其特征在于,包括如权利要求1至6任一项所述的基板搬送机器人手臂。
CN 201220629149 2012-11-23 2012-11-23 一种基板搬送机器人手臂以及基板搬送机器人 Expired - Lifetime CN203092546U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201220629149 CN203092546U (zh) 2012-11-23 2012-11-23 一种基板搬送机器人手臂以及基板搬送机器人

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201220629149 CN203092546U (zh) 2012-11-23 2012-11-23 一种基板搬送机器人手臂以及基板搬送机器人

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN203092546U true CN203092546U (zh) 2013-07-31

Family

ID=48843986

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 201220629149 Expired - Lifetime CN203092546U (zh) 2012-11-23 2012-11-23 一种基板搬送机器人手臂以及基板搬送机器人

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN203092546U (zh)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106348016A (zh) * 2016-10-14 2017-01-25 武汉华星光电技术有限公司 一种平板取放机器人
CN109202940A (zh) * 2017-06-29 2019-01-15 日本电产三协株式会社 工业用机器人的手及工业用机器人
CN109407359A (zh) * 2018-10-29 2019-03-01 武汉华星光电技术有限公司 机械手
CN111717696A (zh) * 2019-03-22 2020-09-29 罗普伺达有限公司 显示面板用薄膜的夹紧装置
CN112110206A (zh) * 2020-09-10 2020-12-22 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 承载设备及其手臂牙叉

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106348016A (zh) * 2016-10-14 2017-01-25 武汉华星光电技术有限公司 一种平板取放机器人
CN109202940A (zh) * 2017-06-29 2019-01-15 日本电产三协株式会社 工业用机器人的手及工业用机器人
CN109407359A (zh) * 2018-10-29 2019-03-01 武汉华星光电技术有限公司 机械手
CN111717696A (zh) * 2019-03-22 2020-09-29 罗普伺达有限公司 显示面板用薄膜的夹紧装置
CN112110206A (zh) * 2020-09-10 2020-12-22 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 承载设备及其手臂牙叉

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN203092546U (zh) 一种基板搬送机器人手臂以及基板搬送机器人
TW201115678A (en) Panel suction unit and panel suction assembly having the same
CN201464761U (zh) 液晶玻璃基板的自动调宽机构
KR20130036154A (ko) 접합 장치
TWI268265B (en) Glass substrate cassette
CN103213771A (zh) 平板玻璃包装箱及其拆包方法
CN104803594A (zh) 切断装置
CN203712702U (zh) 用于搬运玻璃基板的机械手臂
CN202088628U (zh) 层压机及其加热台
WO2013078705A1 (zh) Uvm制程中取放片方法及用于实施该方法的取片组合装置
CN102642714B (zh) 基板移运装置
JP2011093707A (ja) 基板吸着ユニットおよび基板吸着アセンブリ
CN104730743B (zh) 真空贴合设备
CN2846334Y (zh) 一种玻璃基板搬运装置
CN203863300U (zh) 背光模组对合平台
CN210403693U (zh) 一种干刻机台支撑装置
WO2015096254A1 (zh) 石英卡夹装置及其制作方法与带该石英卡夹装置的oled高温炉
CN204400159U (zh) 一种自动输送翻板验板线
KR20120079982A (ko) 기판 수직 이송장치
CN214059186U (zh) 一种tft基板搬运装置
CN202217652U (zh) 一种模块化基板载物台及其应用设备
CN201947522U (zh) 一种去除不良静电装置
WO2014030432A1 (ja) 基板搬送装置および基板処理システム
CN106032014A (zh) 一种机械手臂
CN103231874B (zh) 基板卡匣

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20130731

CX01 Expiry of patent term