TW200812889A - Substrate transmission apparatus and substrate transmission method - Google Patents
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Description
200812889 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種單片搬送例如半導體晶圓或平面顯 不器用玻璃板等基板用的基板搬送裝置及基板搬送方法。 本案係根據2006年9月11日在日本提出申請之特願 2006-246134號而主張優先權,且將該内容援用於此。、 【先前技術】 在設置於製造半導體裝置之工廠、或製造液晶裝置、 PDP(電漿顯示器)、EL(電激發光)裝置等平面顯示器之工廠 等的基板搬送裝置中,係搬送半導體晶圓或玻璃板等之基 板’且使同裝载益或機械手臂等,在薄膜形成裝置、兹刻 裝置、试驗裝置等各種處理裝置、與搬送路徑之間進行基 板交接。在該種的基板搬送裝置中,基板一般係在被收容 於可收容複數片基板之卡匣内的狀態下被搬送。 且說’近年來,基板隨著液晶電才見等平面顯示器的大 •晝面化等而大型化。因此’收容基板之卡匿等亦大型化、 重量化,隨之也使搬送速度降低,結果例如招來加工品庫 存之增大等,而導致難以進行有效率的搬送。 因此,逐片高速地搬送基板之單片*送就受 (參照專利文獻1) / (專利文獻1)日本專利特開平9_58844號公報 【發明内容】 (發明所欲解決之問題) 與以卡匣進行 然而,在將基板以單片搬送之情形中 338995 5 200812889 搬送之情形相較,所要搬送的個體數會增加。因此,為了 - 實現與以往同等或其以上之處理速度,就有必要更高速搬 送基板。 尤其是,主運送機(main conveyor)、與從該主運送機 呈水平分歧的分歧運送機之間的基板交接速度,在實現基 板之高速搬送上就變得非常重要。因此,期望有一種提高 主運送機與分歧運送機間之基板交接速度的技術。 本發明係有鑒於上面所述之問題點而開發完成者,其 胃目的在於提高主運送機與分歧運送機間之基板交接速度。 (解決問題之手段) 為了達成上述目的5本發明之基板搬送裝置,係具備: 主運送機,係單片搬送基板;分歧運送機,係從上述主運 送機水平地分歧;支撐部,係在上述主運送機上及上述分 歧運送機上使上述基板浮起並予以支撐;及基〜板交接部, 係使藉由該支撐部而浮起並受到支撐的上述基板,以不使 馨其姿勢產生變化之方式在上述主運送機與上述分歧運送機 之間進行交接。 依據該基板搬送裝置,則基板可藉由該支撐部而在主 運送機上及分歧運送機上浮起並受到支撐,且在該狀態下 以不使其姿勢產生變化之方式進行交接。 因而,基板能以摩擦阻力等於無之狀態在主運送機與 分歧運送機之間進行交接。 又,在本發明之基板運送裝置中,上述基板交接部係 可採用具有固持構件之構成,該固持構件係固持上述基板 6 318995 200812889 : 之外緣,同時可朝上述分歧運送機中之上述基板之搬送方 \ 向移動。 又,在本發明之基板運送裝置中,上述支撐部係可採 用使用壓縮空氣使上述基板浮起並予以支撐之構成。 其次,本發明之基板搬送方法之特徵在於:使藉由主 運送機以單片方式被搬送之基板在上述主運送機上浮起同 時予以支撐;在上述主運送機上浮起並受到支撐之狀態的 上述基板,係一面維持在從上述主運送機水平地分歧之分 0歧運送機上浮起並受到支撐的狀態,且同時以不使其姿勢 產生變化之方式進行交接。 依據該基板搬送方法5則基板可在主運送機上一面浮 起而一面受到支撐,且一面維持該狀態而一面以不使其姿 勢產生變化之方式交接至分歧運送機。 因而,基板能以摩擦阻力等於無之狀態從主運送機:交 接至分歧運送機。 φ 其次,本發明之基板搬送方法之特徵在於:使在相對 於主運送機水平地分歧之分歧運送機上浮起同時受到支撐 的基板,維持浮起並受到支撐之狀態同時以不使姿勢產生 變化之方式交接至上述主運送機。 依據該基板搬送方法,則基板可在分歧運送機上一面 浮起而一面受到支撐,且一面維持該狀態而一面以不使其 姿勢產生變化之方式交接至主運送機。 因而,基板能以摩擦阻力等於無之狀態從分歧運送機 交接至主運送機。 318995 200812889 (發明效果) 、依據本發明,則基板能以摩擦阻力等於無之狀態,在 立lϋ枝舁刀歧運送機之間進行交接。因此,即使在使交 谷速度同逮化的情況,亦不會因施加衝擊而發生基板損傷。 因而,依據本發明,則可提高主運送機與分歧運送機 間之基板交接速度。 【實施方式】 、、卜,蒼照圖式,就本發明之基板搬送裝置及基板搬 运方法之-實施方式加以說明。另外,以下之圖式中,為 了將^構件㊉成可$識之Α小’而適當變更各構件之縮尺。 第1圖係顯示本實施方式之基板搬送裝置1的示音、圖。 基板搬送裝置1係在製造液晶裝置、PDP、EL裝置等 平面减不:之卫射,逐片單片搬送玻璃板p的裝置,其 具備主運送機彳〇、士日樹_认+ /、 運送機10而在水平面内分歧 分歧運送機20、及統括性控制該等運送機之未^ 示的控制部等。 、械之未圖 ^送機10夺面水平載置㈣板p,而— 其表面之方向以固定速度進行搬送的 1 者 空氣使玻璃板p浮起並以非接觸方式支撐的空氣浮 12(支樓部)及運送機部15等(參照第2及3圖)。亦早: 貫施方式巾,本發明之支#部的功能㈣ 運、 之一部分中。 二哽迗機10 主運送機1。係在工廠之無塵室(cle 面上配置成大致亩妗肚姑M w Ν之地板 成大致直、技。然佼,在主運送機 318995 8 2 圓 12889 2 圓 12889 端係相對於主運送機1G連結成大 上,分歧運送機20之 致正交且水平。 分歧運送機20與主運送機 置玻璃板P,而—面朝沿著 同樣地’係一面水平載 搬送的裝置,复槿$ ^ 表面之方向以固定速度進行 等。亦即,本實t二+氣浮起單元12、及運送機部15 分歧運送機2〇之一部分中。 之支撐的功此被組入於 更且,分歧運送機2〇 ’ 上之被殖献Ρ ΙΑ· Λ "、為了將被搬送於主運送機1 〇 士之玻璃板Ρ收納於分歧運送乂 歧運送機2G上之玻璃板p 4反之將魏达於分 主運送機H)與分歧運㉞機^,故/備在 交接部40(基板交接部)。 玻^反P父接的板 在分歧運送機20之另一嫂如 f £ w R 埏側,配置1連結有薄膜形成 m、試驗裝置7等各種處理裝置。在薄膜 开> 成裝置5、姓刻裝置β、兮给壯 、、 別平彳,π ν 0驗衣置7等各種處理裝置,分 另J平仃配置有一個分歧運送機2 Q。 、例如U相形成裝置5的分歧運送機2卜22(分 歧運送機2 〇)之中,分歧運逆趟.9; 支連达栈21係將玻璃板Ρ搬入薄膜 形成裝置5用的運送機,分歧運送機22係將玻璃板ρ從薄 膜形成裴置5搬出用的運送機。 同樣地,分歧運送機23、25(分歧運錢2〇)係對链刻 裝置6 '㈣裝置7搬人玻璃板ρ㈣運送機,而分歧運 运機24、26(分歧運送機20)係從蝕刻裝置6、試驗裝置7 搬出玻璃板Ρ用的運送機。 318995 9 200812889 之分歧運送機 一' ;搬出玻璃板ρ之分歧運送機22、24、 26,配置在主運送機1〇之上游側。 J2圖係顯示主運送機1〇之詳細構成的示意圖。 浮起,而:又’主運廷機1〇係一面以空氣使玻璃板Ρ ::起而:面朝水平面上之一方向進 備複數個空氣浮起單元12及運送機部15等。 、、 •上起單元12係具備平面狀之上表面的構件,在該 表面(载置面)中以大致均等 的複數個流體噴出孔"^ -又百賀出[鈿空虱用 矩形狀,且設外成鮮、真:初起皁元12係形成俯視呈 致。又,〇成其長邊方向與玻璃板P之搬送方向一 玻璃板AH單 之赶邊方向(寬度方向胸成比 麸德一又向(〃搬达方向正交之方向)稍窄。 單幻2 「由從未圖示之㈣线供給裝置對空氣浮起 嗔出仏空氣,壓、㈣氣就會從各流體喷出孔13 二::使載置於空氣浮起單元12上之玻璃板Ρ 觸方式予以^出孔13贺出之壓縮空氣而浮起’並以非接 有複數個突起18以^ i7。又,在皮帶17之表面, 運送_:=1上之間隔設在皮帶]7之長邊方向(主 p之^^幾向部西15係在空氣浮起單元12之兩侧沿著玻璃板 。己置。然後,—對運送機部15之配置間隔(距 318995 10 200812889 ‘、離),係與玻璃板p之寬度大致相同。 <达機部15之各輥子16的上端係以 内之方式而配置,藉此而設於皮帶17之表面的突起= :位=空,單广」2之上表面猶微上方的方式而配、 ;’、Η 大起18係頂接於被載置於空氣浮起單元12 之玻璃板Ρ下面的外緣(寬度方向之兩端側)。 之之錢子16係依未圖示之馬達等以相同 巧轉連度朝同一方向旋轉。藉此,可一面藉由 : 早兀12以非接觸方式支撐 _ 、.、起 U沿著空氣浮起單幻2而進行搬送。—面糟由運送機部 朝上下又方 =5係藉由未圖示之升降裝置而構成為可 在藉由升_置而使運送機部15上升 起單元12之上表面稍微上方。在: 面,而可搬突起18會頂接於玻璃… 運送機部15(各突& 表面更下方。在該情況, 會變成在空氣浮起二元:從板?離開,而玻璃板p 狀態。因 A上完全以非接觸方式被支擇的
.^ ^ /、要不對破璃板P施加外力,玻璁柘PH ;!起單元12上以停止的狀態受到保二 會 運送結複數個空氣浮起單元12與 p15所構成。亦即,各空氣浮起單元12與各運送 318995 11 200812889 咖5係相互接近,並 ’各空氣 水平面 浮起單元12之上表面方、水千方向。此時 内。 表面(载置面)可調整成位於同— 第3圖係顯示分歧運送 如該圖所示,分歧運、“之構成的不意圖。 刀歧運迗機2〇係盥主運详姓 備空氣浮起單元12與運送機部15,同=㈣同樣具 玻璃板p在主運送機10與分歧 〇 具備將 板交接部40。 之間進仃交接的 由各:之構成’係包含一對線性致動器42、及 社。益42。所連結驅動而往復移動的固持構件44 :H·生致動器42係在分歧運送機2〇之空氣浮起單 疋12錢送機部15之間,沿著運送機部15而平行配置。 又’板交接部40係構成為··各固持構件44絲*分歧運 运機2〇之空氣浮起單元12上表面大致相同高度的水平面 内可攸分歧運达機2〇之一端朝向另一端侧可於分歧運送 機20中之玻璃板p的搬送方向(玻璃板p之寬度方向)移動 達與玻璃板p之寬度方向相同的長度份。 然後,一對固持構件44係在分歧運送機20之空氣浮 起單元12之長邊方向(玻璃板p之搬送方向)被控制為恆常 地位於相同位置。 固持構件44係構成為可固持玻璃板p之外緣部分,具 體而言,係構成為可固持玻璃板P之寬度方向的一邊附 近。亦可藉由吸附保持玻璃板P之側面而固持玻璃板P, 或可藉由挾持玻璃板p之上面與下面而固持玻璃板P。 12 318995 200812889 - 藉由該種構成,板交接部4()可Mm ·:件44固持玻璃板p之外 對口持構 浐附、斤尨作矽知 而一面在分歧運送機20之一 ^動’以不使破璃板P之姿勢產生變化之方々 其-人’就基板搬送裝詈〗 說明。 i衣置1之動作(基板搬送方法)加以 就將搬送於主;$ 4獻^ Λ ^ 〇 運达機10上之玻璃板Ρ交接至八a 1、、, ^. 軋,亚使壓縮空氣從各流體喷出孔13 g出。又,驅動運送機部15,以便 二貝出孔13 ιΓ^ 升降裝置而上升。 q精由未圖不之 鼸然後’在主運送機1G之上游側,藉由 璃 p,即可單片搬送玻璃招p。^& ^ ^ 戟置玻璃板 邊方向與搬逆方向一: 板?例如係以其長 者被Φ罟於 的方式,被載置於主運送機10上。 送機L之Γ運送機10上之玻璃板μ動至與分歧運 至分歧運送 交接部40之固持構件44會移動 ,,^ 4 20之一為,而固持主運送機1〇之玻璃板ρ 機部?^主運送機1〇及分歧運送機2〇之運送 、"、褚由未圖不之升降裝置而下降。 然後,藉由使固持構件44沿著分歧運送機2〇而移動, 318995 13 200812889 :即可將玻璃板P從主運送機1〇上搬送至分歧運 、 t玻璃板P被搬送至分歧運送機2Q 機 H)及分歧運送機20之運送機部15 ;;糾 升降裝置而上升。盥此同睥兹士4再-人猎由未0示之 丌”此冋蛉,错由板交接部4〇之 44對玻璃板P所進行之固持被解除,玻璃板p就 八 歧運送機20朝離開主運送機1G之方向被搬送。θ刀 然後’玻_Ρ可藉由分歧運送機2g而被 接至薄膜形成裝置5、蝕刻f f β 又 理裝置。 』衣置6、武驗裝置7等之各種處 被父接至各處理裝置(薄膜形 铽鹼奘 你 置5姓刻裝置6、 —衣置4)之玻璃板Ρ,在各處 理之後,會被搬出至各處理裝置之外部。予伯心處 如此,在將被搬送於主運送機10上之玻 分歧運送機20時,玻璃板Ρ可, 乂接至 敬肖板Ρ可在主運送機1〇 5
到支撐,且一面維持該狀能 子咚亚X 即氺讨π狀恕而一面以不使苴 之方式交接至分歧運送機2〇。 生欠化 玻魏PU轉阻力等態從 杜:10父接至分歧運送機2〇。 其次’就將玻璃板p從分歧運 H)的情況(分歧運送機22、24、作^接至主運送機 时丄★ <勤作)加以說明。 將破璃板p從分歧運送機2〇交 1、、 作,係使將玻璃板p從主運送機 、d〇的動 的動作大致反轉者。以10父接至分歧運送機2〇 首先,對主運送機10及分姑 刀歧運运機2〇之各空氣浮起 318995 14 200812889 又…氣,並使I縮空氣從各流體噴出孔13 =:’驅動運送機部15,以便使各輥子 方疋轉速度旋轉。此時,事先使 :、 升降裝置而上升。 )糟由未圖不之 其次,玻璃板p從薄膜形成裝置5、 邻刀2喊20所搬送,並被移動至分歧運送機2〇之端 ΐ機t上It板交接部4G之固持構件44會固持分歧運 近)。玻璃板?的外緣(與搬送方向相反側之側面附 ,、次,將固持構件44沿著分歧運送機2〇移動,藉佳 分歧運送機2G之—端,玻璃板P即可從分歧運㈣ 20上搬送至主運送機1〇上。 然後,解除固持構件44對玻璃板p之固持。與此同時, 主運送機10及分歧運送㈣之運送機部15 之升降裝置而上升。 口下 藉此,主運送機10之運送機部15的突起18會頂接於 玻!?板p之下表面的寬度方向兩端’而玻璃板p會被交接、 且單片搬送至主運送機10。 如此’在將玻璃板p從分歧運送機2〇交接至主運送機 W的情形中,玻璃板P係在分歧運送機20上浮起並受到 支撐,且一面維持該狀態而—面以不使其姿勢產生變化之 方式被交接至主運送機10。 因而,玻璃板P能以摩擦阻力等於無之狀態從分歧運 318995 200812889 •送機2〇交接至主運送機10。 如以上說明般,太盘妙十上 it 1 η ^ 貝也方式之基板搬送裝置係具備: 主運运機10,其以單片方★ |爾 其相對於主運送機1G ^ f玻璃板ρ;分歧運送機2〇, 名幸!、、,输1Λ 王水千分歧;空氣浮起單元12,复 在運达機1G上及分歧運 、 以支撐;及板交接邱4η ^ 上便玻螭坂Ρ /予起亚予 W = 其對藉由該空氣浮起單元12而 在璃板ρ以不使其姿勢產生變化之方式 鲁、运械10與分歧運送機20之間進行交接。
能以==實施方式之基板搬送裂置丨,則玻璃W ;0之:進行交接。因此,即使在使交接速度高速化的 亦不會因施加衝擊而發生玻璃板Ρ之損傷。 依據本實施方式之基板搬送裝置i,可提高主 與分歧運送機20間之破璃板P的交接速度。 ❹上面料之實施方式巾所示的各構成構件之諸 明狀或、或是動作順序等係為其一例,在未脫離本發 之主曰的範圍内仍可根據設計要求等而做各種變更。 例如’上述實施方式巾’雖已就使職縮线使玻璃 板P洋起並予以支撐的情況加以說明’但是並不限於此。 如亦可藉由將傳播於m之振動波賦予玻璃板P而使 玻璃板P浮起並予以支撐。 又,上述實施方式中,運送機部15係構成為藉由未圖 不之升降裝置而下降,藉此在主運送機10及分歧運送機 20之間交接玻璃板P時,可防止玻璃板P與運送機部15 3】8995 16 200812889 , :接觸。然而,本發明並不限於此,亦可 軍 :下降,而藉由空氣浮起單幻2上升,防止破=幾部15 機部15接觸。在該情況,交接側之運送機白反、P與運送 12上表面,係位於與被上升後之 單=洋起單元 面成同-平面的位置。 一…2的上表 上述實施方式中,雖已就單片搬送玻璃 以說明,但是搬送之對象並不限於此。例如,只加 導體晶圓等較薄的板狀構件則均可搬送。 一半 上面所述之實施方式中,雖已就在分歧 -端側,配置連結薄膜形成裝置 成20之另 7物處理裝置的情況加以跡但 亚不限於此。例如,亦可為在分歧運送機2 = 一端側),更連結有分歧運送機20的情況。 側(另 -夂:考除了薄膜形成裝置5、蝕刻裝置6、試驗穿置7 寺各種處理裝置以外,亦 X衣置7 板”基板的倉健心)置用以暫時保持複數個玻璃 上面所述之實施方式中 〜 钱刻褒置6、試驗裝置7等么^已就在潯膜形成裝置5、 璃板P用之分歧運送農置中’配置搬入玻 歧運送機22、24、26=、23'25與搬出玻璃板P用之分 置並不限於此。例如,亦!;兄/以說日月,但是上述裝置之配 p進行搬入及搬出的情^為—個分歧運送機20對玻璃板 (產業上可利用性) 依據本發明,在i y 早片也送例如半導體晶圓或平面顯示 338995 17 200812889 器用玻璃板等基板的情形中, J將基板以摩擦阻力等於盔 之狀恶在主運送機與分歧運送機 + i 、钺之間進行交接。因此,即 使在使交接速度高速化的情況, ji月况,亦不會因施加衝擊而發生 基板抽铋。因而,可提高主運#嫉 交接速产。 门王建运機與分歧運送機間之基板 【圖式簡單說明】 第1圖係顯示本發明_盘爷 ^ ^戶、轭方式之基板搬送裝置的 己、圖。 弟2圖絲員不主運i矣德^ 达 卜 思运機:之砰細構成的示意圖。 第3圖係顯示分歧運译技 4 > 刀文連运機之板提交部之構成的示意 【主 要元件符號說明】 P 玻璃板(基板) i 5 薄膜形成裝置 6 7 試驗裝置 i ^ #12 二氣浮起單元(支樓部) 13 各流體噴出孔 1 %) 16 幸昆子 1 Γ7 17 18 突起 基板搬送裝置 蝕刻裝置 主運送機 2〇、2卜 22、23、24、25、26 40 板提交部(基板交接部) 42 線性致動器 ^ 運送機部 皮帶 分歧運送機 固持構件 18 318995
Claims (1)
- 200812889 十、申請專利範圍: L 一種基板搬送裝置,具備: 主運送機,係單片搬送基板; 刀歧運送機,係從上述主運送機水平地分歧; 支稽部,係在上述线送機上及上述分歧運送機上 使上述基板浮起並予以支撐;及 基板交接部’係使藉由該支#部而浮起並受到支樓 的上述基板,以不使上述基板之姿勢產生變化之方式: 上逃主運送機與上述分歧運送機之間進行交接。 」二專利In圍第〗項之基板運送裝置,其中,上述基 t=部:f有固持構件,該固持構件係固持上述基板 =二叫可朝上述分歧運送機中之上述基板之搬送 3. tt請專利範圍第1或2項之基板運送裝置,1中,上 *述二=卩錢用壓縮空氣使上述基板浮起並以 4· 一種基板搬送方法,包括: 文保 主以單片方式被搬送之基板在上述 柄上子起同時予以支撐; 基板浮起並受敎撐之狀態的上述 機上浮起㈣^·^主心麻平地分歧之分歧運送 化之方式進行交^的狀態,且同時以不使姿勢產生 一種基板搬送方法,包括·· 在相對於主運送機水平地分歧之分歧運送機上使 318995 19 5· 200812889參 基板浮起並予以支撐; 在上述分歧運送機上呈浮起狀態之上述基板,係維 持浮起並受到支撐之狀態且同時以不使姿勢產生變化 之方式被交接至上述主運送機。 20 318995
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