JP2011213445A - 浮上搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板Wを搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、搬送幅中心線TCLよりも搬送幅方向の一方側に位置する各搬送ローラ23は、ローラ中心線が搬送方向に平行な方向に対して搬送幅方向の一方側に傾斜するように構成され、搬送幅中心線TCLよりも搬送幅方向の他方側に位置する各搬送ローラ23は、ローラ中心線が搬送方向に平行な方向対して搬送幅方向の他方側に傾斜するように構成されていること。
【選択図】図1
Description
T 搬送領域
TCL 搬送幅中心線
PD 搬送方向に平行な方向
F 搬送ローラから基板に与える力
Fa 基板を搬送方向へ搬送する力
Fb 基板を搬送幅方向の一方側へ引っ張る力
Fc 基板を搬送幅方向の他方側へ引っ張る力
1 浮上搬送装置
3 装置本体
5 支持台
11 チャンバー
13 供給ファン
15 浮上ユニット
17 ノズル
19 ローラ駆動ユニット
21 ケース
23 搬送ローラ
23CL ローラ中心線
25 搬送モータ
27 連結機構
29 吸引ファン
Claims (3)
- 基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、
装置本体に前記搬送方向へ沿って配設され、配設状態が前記搬送方向に直交する搬送幅方向に複数列になってあって、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、
前記装置本体に配設され、軸心周りに回転可能でかつ配設状態が前記搬送幅方向に複数列になってあってかつ基板の裏面を支持する複数の搬送ローラ、複数の前記搬送ローラを軸心周りに回転させる搬送モータ、及び各搬送ローラの周辺域に負圧を発生させる負圧発生器を備え、基板を前記搬送方向へ搬送する搬送機構と、を具備し、
搬送幅中心線よりも前記搬送幅方向の一方側に位置する各搬送ローラは、ローラ中心線が前記搬送方向に平行な方向に対して前記搬送幅方向の一方側に傾斜するように構成され、前記搬送幅中心線よりも前記搬送幅方向の他方側に位置する各搬送ローラは、前記ローラ中心線が前記搬送方向に平行な方向対して前記搬送幅方向の他方側に傾斜するように構成されていることを特徴とする浮上搬送装置。 - 複数の前記搬送ローラの配設状態は、搬送幅中心線を基準に線対称になっていることを特徴とする請求項1に記載の浮上搬送装置。
- 前記搬送機構は、
前記装置本体に配設され、配設状態が前記搬送幅方向に複数列になっている複数のローラ駆動ユニットからなるものであって、
各ローラ駆動ユニットは、上側が開口されたケース、前記ケース内に軸心周りに回転可能に設けられかつ前記ケースの上面に対して上方向へ突出した前記搬送ローラ、前記ケースに設けられた前記搬送モータ、及び前記ケースに設けられかつ前記ケース内の空気を吸引する前記負圧発生器を備えていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の浮上搬送装置。
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JP2015093772A (ja) * | 2013-11-13 | 2015-05-18 | 村田機械株式会社 | 基板浮上装置、基板移載装置、および基板搬送装置 |
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2010
- 2010-03-31 JP JP2010082739A patent/JP5604940B2/ja active Active
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JP5604940B2 (ja) | 2014-10-15 |
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