JP2011213445A5 - - Google Patents
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Description
本発明の特徴は、基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、装置本体に前記搬送方向へ沿って配設され、配設状態が前記搬送方向に直交する搬送幅方向に複数列になってあって、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、前記装置本体に配設され、軸心周りに回転可能でかつ配設状態が前記搬送幅方向に複数列になってあってかつ基板の裏面を支持する複数の搬送ローラ、複数の前記搬送ローラを軸心周りに回転させる搬送モータ、及び各搬送ローラの周辺域（周辺領域）に負圧（負圧力）を発生させる負圧発生器を備え、基板を前記搬送方向へ搬送する搬送機構と、を具備し、搬送幅中心線よりも前記搬送幅方向の一方側に位置する各搬送ローラは、ローラ中心線が前記搬送方向に平行な方向に対して前記搬送幅方向の一方側に傾斜するように構成され、前記搬送幅中心線よりも前記搬送幅方向の他方側に位置する各搬送ローラは、前記ローラ中心線が前記搬送方向に平行な方向に対して前記搬送幅方向の他方側に傾斜するように構成されていることを要旨とする。
Claims (1)
- 基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、
装置本体に前記搬送方向へ沿って配設され、配設状態が前記搬送方向に直交する搬送幅方向に複数列になってあって、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、
前記装置本体に配設され、軸心周りに回転可能でかつ配設状態が前記搬送幅方向に複数列になってあってかつ基板の裏面を支持する複数の搬送ローラ、複数の前記搬送ローラを軸心周りに回転させる搬送モータ、及び各搬送ローラの周辺域に負圧を発生させる負圧発生器を備え、基板を前記搬送方向へ搬送する搬送機構と、を具備し、
搬送幅中心線よりも前記搬送幅方向の一方側に位置する各搬送ローラは、ローラ中心線が前記搬送方向に平行な方向に対して前記搬送幅方向の一方側に傾斜するように構成され、前記搬送幅中心線よりも前記搬送幅方向の他方側に位置する各搬送ローラは、前記ローラ中心線が前記搬送方向に平行な方向に対して前記搬送幅方向の他方側に傾斜するように構成されていることを特徴とする浮上搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010082739A JP5604940B2 (ja) | 2010-03-31 | 2010-03-31 | 浮上搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010082739A JP5604940B2 (ja) | 2010-03-31 | 2010-03-31 | 浮上搬送装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011213445A JP2011213445A (ja) | 2011-10-27 |
| JP2011213445A5 true JP2011213445A5 (ja) | 2012-11-15 |
| JP5604940B2 JP5604940B2 (ja) | 2014-10-15 |
Family
ID=44943601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010082739A Active JP5604940B2 (ja) | 2010-03-31 | 2010-03-31 | 浮上搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5604940B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6287089B2 (ja) * | 2013-11-13 | 2018-03-07 | 村田機械株式会社 | 基板浮上装置、基板移載装置、および基板搬送装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP5250113B2 (ja) * | 2009-08-07 | 2013-07-31 | シャープ株式会社 | エア浮上式基板搬送装置 |
-
2010
- 2010-03-31 JP JP2010082739A patent/JP5604940B2/ja active Active
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