JP2015223532A - 枚葉ワークの除塵装置 - Google Patents
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そして、図5に示すように従来の除塵装置に於て、基板40の搬送方向長さ寸法Bと、クリーナ近傍の上流側駆動ローラ41・下流側駆動ローラ42の間隔寸法Aが、B≦Aの場合、基板40が上流側駆動ローラ41を離れた際に下流側駆動ローラ42に到達していないため、上流側駆動ローラ41と下流側駆動ローラ42の間で基板40は停止してしまう。なお、図5では、フリーローラ43,43を吸入口近傍に設けた場合を示す。
また、上記上流側フリーローラと下流側フリーローラの搬送方向間隔寸法を、搬送される上記小型枚葉ワークの搬送方向寸法の半分以下に設定したものである。
また、上記下除塵ヘッド、上流側フリーローラ、下流側フリーローラ、上流側駆動回転体、下流側駆動回転体、第1ワーク搬送ベルト、第2ワーク搬送ベルトを、ユニットとしたものである。
また、上記上流側フリーローラと下流側フリーローラの間に支持フリーローラを設けて、上記上流側フリーローラから上記下流側フリーローラへ小型枚葉ワークがスムーズに乗り移るように構成したものである。
図1・図2は、本発明の第1の実施の形態を示す。この除塵装置は、小型液晶、小型有機EL等の小型枚葉ワークW1 に付着した塵を取り除くために上除塵ヘッド1・下除塵ヘッド2が上下対向状に配置されている。なお、本発明に於て、小型枚葉ワークW1 の「小型」とは、送り方向寸法が、 250mm以下のものを言う。小型枚葉ワークW1 としては、例えば、スマートフォン用の枚葉ワークがある。下除塵ヘッド2が、上流側吸入口3とエアー噴出用吐出口4と下流側吸入口5とを、ワーク対応上面6に順次備える。小型枚葉ワークW1 は上除塵ヘッド1と下除塵ヘッド2の間を図1・図2の矢印Y方向に搬送される。すなわち、矢印Yは、ワーク搬送方向(送り方向)を示す。
このようにして、ベルト10,20のワーク送りスピードと、搬送ローラ30,36によるワーク送りスピードとを、同等とする。
その他の構成は、第1の実施の形態と同様である。
2 下除塵ヘッド
3 上流側吸入口
4 (エアー噴出用)吐出口
5 下流側吸入口
6 ワーク対応上面
7 上流側フリーローラ
7a 小型枚葉ワークの上流側フリーローラ
7b 小型枚葉ワークの下流側フリーローラ
8a 大型枚葉ワークの上流側フリーローラ
8b 大型枚葉ワークの下流側フリーローラ
8 下流側フリーローラ
9 上流側駆動回転体
10 第1ワーク搬送ベルト
11 下流側駆動回転体
12 上壁部
13 上流側負圧室
14 上流側壁
15 貫通孔
16 下流側負圧室
17 下流側壁
18 貫通孔
19 支持フリーローラ
20 第2ワーク搬送ベルト
21 第1貫孔
22 第2貫孔
31 変速手段
38 基本回転体
39 変速用回転体
44 無端可撓部材
E 搬送方向間隔寸法
G 搬送方向寸法
U ユニット
W0 大型枚葉ワーク
W1 小型枚葉ワーク
Claims (7)
- 小型枚葉ワーク(W1 )に付着した塵を取り除くために上除塵ヘッド(1)・下除塵ヘッド(2)を上下対向状に配置し、さらに、上記下除塵ヘッド(2)が、上流側吸入口(3)とエアー噴出用吐出口(4)と下流側吸入口(5)とを、ワーク対応上面(6)に順次備えた枚葉ワークの除塵装置に於て、
上記吐出口(4)の前後各近傍に、上流側フリーローラ(7)と下流側フリーローラ(8)を設けると共に、上記下除塵ヘッド(2)の上流側近傍に設けられた上流側駆動回転体(9)と上記上流側フリーローラ(7)に、第1ワーク搬送ベルト(10)を懸架し、さらに、上記下除塵ヘッド(2)の下流側近傍に設けられた下流側駆動回転体(11)と上記下流側フリーローラ(8)に、第2ワーク搬送ベルト(20)を懸架したことを特徴とする枚葉ワークの除塵装置。 - 上記下除塵ヘッド(2)の上記ワーク対応上面(6)を形成する上壁部(12)に、上記上流側吸入口(3)の一部を構成する第1貫孔(21)を形成して上記上流側フリーローラ(7)を該第1貫孔(21)に装入配設すると共に上記第1ワーク搬送ベルト(10)を該第1貫孔(21)を介して上記下除塵ヘッド(2)の上流側負圧室(13)に侵入させて、かつ、該上流側負圧室(13)の上流側壁(14)の貫通孔(15)に挿通して上記第1ワーク搬送ベルト(10)を外部の上記上流側駆動回転体(9)に懸架し、
かつ、上記上壁部(12)に上記下流側吸入口(5)の一部を構成する第2貫孔(22)を形成して上記下流側フリーローラ(8)を該第2貫孔(22)に装入配設すると共に上記第2ワーク搬送ベルト(20)を該第2貫孔(22)を介して上記下除塵ヘッド(2)の下流側負圧室(16)に侵入させて、かつ、該下流側負圧室(16)の下流側壁(17)の貫通孔(18)に挿通して上記第2ワーク搬送ベルト(20)を外部の上記下流側駆動回転体(11)に懸架した請求項1記載の枚葉ワークの除塵装置。 - 上記上流側フリーローラ(7)と下流側フリーローラ(8)の搬送方向間隔寸法(E)を、搬送される上記小型枚葉ワーク(W1 )の搬送方向寸法(G)の半分以下に設定した請求項1又は2記載の枚葉ワークの除塵装置。
- 上記小型枚葉ワーク(W1 )の送り速度を一定にするための変速手段(31)を備え、該変速手段(31)は、上記上流側駆動回転体(9)又は下流側駆動回転体(11)の近傍に設けられた基本回転体(38)と、該基本回転体(38)と径又は歯数が異なる変速用回転体(39)と、上記基本回転体(38)及び変速用回転体(39)に懸架された無端可撓部材(44)を、有し、
上記変速用回転体(39)を、上記上流側駆動回転体(9)又は下流側駆動回転体(11)と一体状に回転するように構成した請求項1,2又は3記載の枚葉ワークの除塵装置。 - 上記下除塵ヘッド(2)、上流側フリーローラ(7)、下流側フリーローラ(8)、上流側駆動回転体(9)、下流側駆動回転体(11)、第1ワーク搬送ベルト(10)、第2ワーク搬送ベルト(20)を、ユニット(U)とした請求項1,2,3又は4記載の枚葉ワークの除塵装置。
- 幅方向中央部に、小型枚葉ワーク用の上流側フリーローラ(7a)及び下流側フリーローラ(8a)を設けるとともに、幅方向外側に、大型枚葉ワーク用の上流側フリーローラ(7b)及び下流側フリーローラ(8b)を設けて、大型枚葉ワーク(W0 )及び小型枚葉ワーク(W1 )のいずれも搬送・除塵可能に構成した請求項1,2,3,4又は5記載の枚葉ワークの除塵装置。
- 上記上流側フリーローラ(7)と下流側フリーローラ(8)の間に支持フリーローラ(19)を設けて、上記上流側フリーローラ(7)から上記下流側フリーローラ(8)へ小型枚葉ワーク(W1 )がスムーズに乗り移るように構成した請求項1,2,3,4,5又は6記載の枚葉ワークの除塵装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014108093A JP5997203B2 (ja) | 2014-05-26 | 2014-05-26 | 枚葉ワークの除塵装置 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2017154294A1 (ja) * | 2016-03-08 | 2017-09-14 | 日東電工株式会社 | 搬送装置 |
CN109353889A (zh) * | 2018-09-27 | 2019-02-19 | 芜湖顺成电子有限公司 | 一种电线清洁绕卷设备 |
WO2022128112A1 (en) * | 2020-12-17 | 2022-06-23 | Applied Materials, Inc. | Roller for a carrier transport assembly, substrate processing system, method of maintaining a substrate processing system, and method of manufacturing a device |
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2014
- 2014-05-26 JP JP2014108093A patent/JP5997203B2/ja active Active
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JP5997203B2 (ja) | 2016-09-28 |
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