JPWO2013024502A1 - 板材の搬送装置及び板材の搬送方法 - Google Patents

Abstract

本発明は、専有面積が小さく、かつ、板材が破損しにくい板材の搬送装置を提供する。本発明に係る板材の搬送装置（100）は、搬送部（20）と、加圧部（40）と、を有する送出装置（10）を備えている。搬送部（20）は、縦にした板材（101）の一方の面（103）に接触して板材（101）を搬送方向へ送り出すベルト（21）を有している。加圧部（40）は、縦にした板材（101）の他方の面（102）に流体（104）による垂直方向の圧力を加え、板材（101）をベルト（21）に向かって加圧できるように構成されている。そして、縦にした板材（101）を、搬送部（20）のベルト（21）と加圧部（40）の流体（104）とによって挟むようにして保持しながら搬送できるように構成されている。

Description

本発明は、板材の搬送装置及び板材の搬送方法に関する。

板材の搬送装置は、搬送する板材の特性に応じて構成される。例えば、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）の液晶ディスプレイに使用する板ガラス（板材）の加工ラインでは、一方側の面に接触することなく板ガラスを搬送できる搬送装置が求められる。なぜなら、液晶ディスプレイ用の板ガラスは、一方側の面に半導体等の薄膜層が形成されるため、その面では微細な傷さえも許容できないからである。以下では、このように精密な加工が施される面を「精密面」と呼ぶこととする。

精密面に接触することなく板ガラスを搬送する搬送装置としては、精密面と反対の面（以下、「普通面」と称す。）を台車に設けた吸盤に吸着させ、その状態で台車を搬送方向に移動させるものが実用化されている。ところが、この搬送装置は、板ガラスを搬送するたびに台車を初期位置に戻す必要があるため、効率のよい運用は困難である。これに対し、普通面を下にした状態、つまり板ガラスを横にした状態でベルトコンベアに乗せて搬送するものや、板ガラスを立てた状態でベルトコンベアに乗せて搬送するものも提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００２−３０８４２３号公報

しかしながら、板ガラスを横にして搬送する装置は、板ガラスの大きさによって広い設置スペースを確保しなければならないという欠点がある。また、板ガラスを立てた状態でベルトコンベアに乗せる装置は、板ガラスの下端縁がベルトコンベアに接触し、そこから割れ目が生じるおそれがあるという欠点がある。

そこで本発明は、専有面積が小さく、かつ、板材が破損しにくい板材の搬送装置を提供することを目的としている。

本発明のある形態に係る板材の搬送装置は、搬送部と、加圧部と、を有する送出装置を備えている。前記搬送部は、縦にした板材の一方の面に接触して前記板材を搬送方向へ送り出すベルトを有している。前記加圧部は、縦にした前記板材の他方の面に流体による垂直方向の圧力を加え、前記板材を前記ベルトに向かって加圧できるように構成されている。そして、縦にした前記板材を、前記搬送部の前記ベルトと前記加圧部の前記流体とによって挟むようにして保持しながら搬送できるように構成されている。

かかる構成によれば、加圧部が縦にした板材をベルトに向かって加圧することで、当該板材が加圧部と搬送部との間で挟むようにして保持されるので、その下端を別途支持することなく浮いた状態で板材を搬送することができる。

上記のように、本発明に係る板材の搬送装置によれば、板材を縦にした状態で搬送できるため当該装置の専有面積を小さくすることができ、省スペース化が図れる。また、板ガラスは下端部がベルトコンベア等で支持されることなく搬送されるため破損しにくい。

本発明の第１実施形態に係る搬送装置の平面図である。 図１のII−II矢視断面図である。 図１のIII−III矢視断面図である。 本発明の第２実施形態に係る搬送装置の平面図である。 図４のV−V矢視断面図である。 本発明の第３実施形態に係る搬送装置の縦断面図である。 第３実施形態の変形例１に係る搬送装置の縦断面図である。 第３実施形態の変形例２に係る搬送装置の縦断面図である。 第３実施形態の変形例３に係る搬送装置の縦断面図である。 第３実施形態の変形例４に係る搬送装置の縦断面図である。

以下、本発明に係る実施形態について図を参照しながら説明する。以下では、全ての図面を通じて同一又は相当する要素には同じ符号を付して、重複する説明は省略する。なお、以下で説明する板材の搬送装置は、精密面と普通面を有する板ガラス（板材）を搬送することとする。ここでいう「精密面」とは精密な加工が施される面をいい、「普通面」に比べて高い清浄度が求められるものとする。

（第１実施形態）
はじめに、図１から図３を参照して、本発明の第１実施形態に係る搬送装置１００について説明する。ここで、図１は本実施形態に係る搬送装置１００の平面図である。図１において、紙面右から左に向かう方向が板ガラス１０１の搬送方向（以下、単に「搬送方向」と称す。）である。搬送装置１００には、図１の紙面右側にあたる上流側から縦にした状態の板ガラス１０１が供給される。図１に示すように、本実施形態に係る搬送装置１００は、送出装置１０を備えている。さらに、送出装置１０は、搬送部２０と、加圧部４０と、によって主に構成されている。

搬送部２０は、板ガラス１０１を搬送方向に送り出す装置である。図１において、板ガラス１０１よりも紙面下側に図示された部分が搬送部２０である。ここで、図２は、図１のII−II矢視断面図である。図２において、紙面上方が搬送装置１００の上方であり、紙面奥から手間に向かう方向が搬送方向である。図１及び図２に示すように、搬送部２０は、無端ベルト２１と、ベルト受け部材２２と、下端ガイド部材２３と、上端ガイド部材２４とを有している。

無端ベルト２１は、環状に形成されたベルトである。無端ベルト２１は、搬送方向の前後に位置する２台の駆動プーリ２５によって駆動される。この無端ベルト２１は板ガラス１０１の普通面１０３に接触するように構成されており、板ガラス１０１に接触した状態で駆動プーリ２５を回転駆動させることで、板ガラス１０１を搬送方向に送り出すことができる。なお、本実施形態に係る無端ベルト２１は、ゴム製のゴムベルト部２６と、金属製の金属ベルト部２７によって主に構成されており、二層構造を有している。ゴムベルト部２６と金属ベルト部２７は互いに連結されて一体として無端ベルト２１を形成している。

ゴムベルト部２６は、無端ベルト２１の外表面側に位置しており、板ガラス１０１に接する。一方、金属ベルト部２７は無端ベルト２１の内表面側に位置しており、駆動プーリ２５に接する。金属ベルト部２７は、図２に示すように、ゴムベルト部２６よりもベルト幅（上下方向寸法）がわずかに大きく、下端及び上端がそれぞれゴムベルト部２６の下端及び上端よりも上下方向外側に位置している。金属ベルト部２７は、剛性が高く、無端ベルト２１が自重によって撓むのを抑える役割も果たしている。

ゴムベルト部２６の外表面には、そのベルト幅方向の上端から下端まで上下方向に延びる流体排出溝２８が、環状の無端ベルト２１の周方向に所定の間隔をおいて複数形成されている。なお、ここでいう「周方向」とは、無端ベルト２１の延在方向、別の言い方をすれば、無端ベルト２１の進行方向をいう。流体排出溝２８は、鉛直に形成される他、鉛直方向に対して傾斜して形成されていてもよい。これにより、板ガラス１０１とゴムベルト部２６の間に水や洗浄液等の液体が侵入した場合でも、この流体排出溝２８を通って下方に排出される。これにより、無端ベルト２１と板ガラス１０１の間に液体が留まるのを防ぐことができ、ひいては無端ベルト２１に対する板ガラス１０１の滑りを防ぐことができる。なお、本実施形態では、後述する加圧部４０から放出された水が普通面１０３の一部に付着して水の跡が残るのを防ぐため、板ガラス１０１の普通面１０３側に水が供給されている。

ベルト受け部材２２は、無端ベルト２１を支持する部材である。ベルト受け部材２２は、搬送方向に延びる板状の形状を有している。ベルト受け部材２２は、無端ベルト２１の内側に位置しており、板ガラス１０１が通過する搬送路と並行に配置されている。換言すれば、ベルト受け部材２２は、無端ベルト２１を挟んで板ガラス１０１の搬送路と対向するように配置されている。また、ベルト受け部材２２は、無端ベルト２１に接する平面状のベルト受け面２９を有しており、このベルト受け面２９の表面を無端ベルト２１が摺動する。このように、本実施形態のベルト受け部材２２によれば、平面状のベルト受け面２９で無端ベルト２１を支持するため、例えばローラー等で受けた場合などに発生する無端ベルト２１がベルト面と垂直方向に波打つような現象の発生を抑えることができる。よって、板ガラス１０１を安定して搬送することができる。

下端ガイド部材２３は、無端ベルト２１を下方から支持する部材である。下端ガイド部材２３は、図２に示すように、搬送方向に直行する方向を回転軸の方向として回転するローラーである。下端ガイド部材２３は、板ガラス１０１の搬送路に沿ってその近傍に複数配置されている。そして、下端ガイド部材２３は、無端ベルト２１の下方に位置し、金属ベルト部２７の下端を支持している。このようにして、下端ガイド部材２３は、剛性の高い金属ベルト部２７を介して無端ベルト２１全体を支持し、無端ベルト２１が自重により撓むのを防いでいる。なお、本実施形態では下端ガイド部材２３はローラーであるが、下端ガイド部材２３はこのような構成に限られない。例えば、下端ガイド部材２３はローラーに代えて搬送方向に延びる板状の部材であってもよい。この場合、下端ガイド部材２３の上面で金属ベルト部２７を支持しながら摺動させれば、無端ベルト２１を支持することができる。

上端ガイド部材２４は、無端ベルト２１の上方への変位を抑える部材である。上端ガイド部材２４は、図２に示すように、搬送方向に直交する方向を回転軸の方向として回転するローラーである。上端ガイド部材２４は、下端ガイド部材２３と対をなすようにして、板ガラス１０１の搬送路の近傍に複数配置されている。そして、上端ガイド部材２４は、無縁ベルト２１の上方に位置し、金属ベルト部２７の上端と接触している。さらに、上端ガイド部材２４には、ばね３０により無端ベルト２１に向かう下向きの力が加えられている。この構成により、上端ガイド部材２４は、常に無端ベルト２１に接した状態となる。上端ガイド部材２４は、以上のような構成を備えているため、無端ベルト２１を下方に押さえ込み、無端ベルト２１の上方への変位を抑えることができる。なお、下端ガイド部材２３のみで無端ベルト２１を安定して保持できる場合には、搬送部２０は上端ガイド部材２４を備えなくてもよい。

加圧部４０は、板ガラス１０１に垂直方向の流体圧力を加える装置である。なお、板ガラス１０１に流体の圧力を加える際に用いる流体（以下、「加圧流体」と称す。）１０４は、本実施形態では水とする。ただし、加圧流体１０４は、洗浄液であってもよく、他の液体であってもよく、空気などの気体であってもよい。加圧部４０は、板ガラス１０１を介して無端ベルト２１に対向するように搬送方向に沿って複数配置されている。ここで、図３は、図１のIII−III矢視図である。図１から図３に示すように、加圧部４０は、円柱状の流入側部材４１と、矩形板状の流出側部材４２とによって主に構成されている。

流入側部材４１は、加圧流体１０４の入口となる部材である。図２に示すように、流入側部材４１の内部には、流出側部材４２とは反対側の端面に開口する入口流路４３が形成されている。この入口流路４３には図示しない流体供給装置が接続されており、この入口流路４３を介して流入側部材４１の内部に加圧流体１０４が供給される。さらに、流入側部材４１の内部には、流出側部材４２側の端面に開口する流体溜４４が形成されている。この流体溜４４は、入口流路４３から流入した加圧流体１０４を一旦溜めることができる。そのため、例えば入口流路４３に供給される加圧流体１０４の圧力が変動するような場合であっても、この流体溜４４を介することにより、圧力の変動量を低減した状態で加圧流体１０４を流出側部材４２へと供給することができる。つまり、流体溜４４はダンパとして機能している。

流出側部材４２は、加圧流体１０４を板ガラス１０１に放出する部材である。流出側部材４２は、流入側部材４１よりも板ガラス１０１の搬送路に近い部分に位置し、流入側部材４１に連結されている。流出側部材４２の内部には、流入側部材４１側の面に開口する中間流路４５が形成されている。中間流路４５は、小径部４６と、小径部４６よりも径の大きい大径部４７とによって構成されている。これにより、流入側部材４１の流体溜４４を通過した加圧流体１０４は、小径部４６、大径部４７の順にこれらの内部を流れる。流出側部材４２には、板ガラス１０１の搬送路側に開口する放出開口部４８が形成されている。放出開口部４８は、図３に示すように、板ガラス１０１の搬送路側から見て略矩形状に形成されている。中間流路４５を通過した加圧流体１０４は、この放出開口部４８へ流入し、板ガラス１０１の精密面１０２へと放出される。なお、本実施形態に係る流出側部材４２は加圧部４０ごとにそれぞれ独立して構成されているが、これらを一体に形成してもよい。

上記の構成を備える加圧部４０は、図２に示すように、搬送される板ガラス１０１との間にわずかな隙間が生じるように配置される。このように配置することで、加圧部４０から放出された加圧流体１０４が、加圧部４０と板ガラス１０１の間のわずかな隙間を通って、加圧部４０の外へと流出することになる。これにより、加圧部４０と板ガラス１０１との間に加圧流体１０４の膜が生じる。そのため、加圧部４０は板ガラス１０１に接触することなく、この加圧流体１０４の圧力によって、板ガラス１０１を無端ベルト２１に向かって垂直方向に押すことができる。そして、加圧流体１０４の圧力を大きくすれば、加圧部４０（加圧流体１０４）と搬送部２０との間で板ガラス１０１を強く保持でき、板ガラス１０１をその下端を支持しない状態で搬送することができる。

本実施形態に係る搬送装置１００によれば、板ガラス１０１の精密面１０２は流体膜以外に接することはないため、清浄度が保たれる。また、板ガラス１０１を下端を支持しない状態で搬送することができるため、板ガラス１０１の下端縁がベルトコンベア等に接触するようなこともなく、板ガラス１０１の破損が起こりにくい。さらに、板ガラス１０１を縦にした状態で搬送することができるため、搬送対象の板ガラス１０１が大きくなったとしても、搬送装置１００の設置に広いスペースは要求されない。つまり、省スペース化が図れる。

（第２実施形態）
次に、図４及び図５を参照して、第２実施形態に係る搬送装置２００について説明する。ここで、図４は、第２実施形態に係る搬送装置２００の平面図である。図４に示すように、本実施形態では特に搬送部２０の構成が第１実施形態のものと異なる。本実施形態に係る搬送部２０は、無端ベルト２１と、ベルト受け部材２２と、中央ガイド部材３１と、を有している。なお、本実施形態の加圧部４０は、第１実施形態のものと同じであるため説明を省略する。

無端ベルト２１は、内表面側と外表面側のそれぞれに歯が形成されたゴム製の両歯付ゴムベルトである。本実施形態の無端ベルト２１は、第１実施形態のような二層構造ではなく、金属ベルト部２７（図１参照）も含まれていない。無端ベルト２１の内表面側に形成された歯３２と外表面側に形成された歯３３（各流体排出溝２８の間の部分）は、同じ間隔で配列されている。無端ベルト２１は、搬送方向の前後に位置する２台の駆動歯車３４によって駆動される。この駆動歯車３４には、無端ベルト２１の内表面側の歯３２に噛み合う歯が形成されている。ここで、図５は図４のV−V矢視断面図である。図５に示すように、無端ベルト２１の内表面には、内表面側の歯３２（図４参照）を横切るようにして、ガイド溝３５が全周にわたって形成されている。このガイド溝３５には、後述する中央ガイド部材３１が挿入される。

ベルト受け部材２２は、第１実施形態の場合と同様にベルト受け面２９を有している。無端ベルト２１の内表面側の歯３２の先端が、このベルト受け面２９の表面を摺動する。さらに、ベルト受け部材２２には、後述する中央ガイド部材３１を収容する収容部３６が複数形成されている。この収容部３６は、ベルト受け部材２２のベルト受け面２９からその反対側に位置する面まで貫通している。つまり、収容部３６は、トンネル状に形成されている。

中央ガイド部材３１は、無端ベルト２１を支持する部材である。中央ガイド部材３１は、円盤状の形状を有しており、上下方向を回転軸の方向として回転するように構成されている。また、上記のとおり、中央ガイド部材３１は、無端ベルト２１に形成されたガイド溝３５に挿入されている。これにより、中央ガイド部材３１は、無端ベルト２１を回転しながら支持することができる。よって、無端ベルト２１が自重によって撓むのを防止することができる。なお、本実施形態の搬送装置２００に係る搬送部２０は、下端ガイド部材２３及び上端ガイド部材２４（図２参照）を有しておらず、これに代えて中央ガイド部材３１を有している。これは、本実施形態の無端ベルト２１には剛性の高い金属ベルト部２７（図２参照）が含まれておらず、無端ベルト２１をその下端で支持するのが難しいためである。

本実施形態に係る搬送装置２００であっても、板ガラス１０１の精密面１０２の清浄度を保つことができ、また板ガラス１０１が破損しにくく、さらに設置に広いスペースは要求されず、省スペース化が図れる。なお、本実施形態に係る搬送装置２００では、無端ベルト２１の内表面側に形成された歯３２と外表面側に形成された歯３３が同じ間隔で配列されているが、無端ベルト２１はこのような構成に限られない。つまり、外表面側の歯３３と内表面側の歯３２とは、異なる間隔をおいて形成されてもよく、異なる形状であってもよい。外表面側の歯３３は、流体排出溝２８を形成した結果生じたものであるのに対し、内容面側の歯３２は駆動歯車３４に噛み合うように形成されており、両歯３２、３３の技術的意義は異なるからである。

（第３実施形態）
次に、図６から図１０を参照して、第３実施形態に係る搬送装置３００について説明する。ここで、図６は本実施形態に係る搬送装置３００の縦断面図である。本実施形態に係る搬送装置３００は、送出装置１０に加え、流体ガイド装置６０を備えている点で、第１実施形態に係る搬送装置１００及び第２実施形態に係る搬送装置２００と構成が異なる。

流体ガイド装置６０は、板ガラス１０１の両面に垂直方向の流体圧力を加えて板ガラス１０１の横揺れを抑える装置である。この流体ガイド装置６０は、一対の流路管６１によって構成されている。この一対の流路管６１は、板ガラス１０１の搬送路の両側に対向するように、かつ、板ガラス１０１の搬送方向に延びるように配置されている。また、流路管６１のうち板ガラス１０１に対向する部分には、所定の間隔をおいて噴射口６２が複数形成されている。さらに、各流路管６１の内部には加圧流体１０４である水が流れており、その加圧流体１０４の圧力を上げると噴射口６２から板ガラス１０１に向かって垂直方向に加圧流体１０４が噴射される。よって、流体ガイド装置６０によれば、板ガラス１０１に機械類が触れることなく、その両面に加圧流体１０４による垂直方向の圧力を加えることができ、板ガラス１０１の横揺れを防止することができる。

なお、流体ガイド装置６０は、以上で説明した構成に限定されない。例えば、上述した送出装置１０の加圧部４０を板ガラス１０１の搬送路の両側に対向するように配置し、これを流体ガイド装置６０としてもよい。また、板ガラス１０１の両側に配置する流路管６１は必ずしも対向させる必要はない。つまり、搬送する板ガラス１０１の両面に加わる力のバランスが崩れない限り、板ガラス１０１の精密面１０２側の流路管６１と普通面１０３側の流路管６１とを、異なる上下方向位置に配置し、場合によっては配置する数を異なるようにしてもよい。

本実施形態に係る搬送装置３００では、図６に示すように、送出装置１０が板ガラス１０１の上端付近に配置されており、流体ガイド装置６０が板ガラス１０１の中央付近及び下端付近に配置されている。送出装置１０によって板ガラス１０１を支持しない状態で搬送させる場合には、板ガラス１０１のうち送出装置１０から離れた部分が、搬送方向に直交する方向に変位（横揺れ）しやすい。しかしながら、流体ガイド装置６０を送出装置１０と異なる上下方向位置に配置することで、板ガラス１０１の横揺れを低減し、板ガラス１０１をより安定して搬送することができる。

なお、送出装置１０と流体ガイド装置６０の配置は、図６に示すものに限定されない。例えば図７から図１０に示すように配置してもよい。図７から図１０は、それぞれ本実施形態の変形例１から４に係る搬送装置３００の縦断面図である。変形例１では、図７に示すように、送出装置１０が板ガラス１０１の下端付近に配置されており、流体ガイド装置６０が板ガラス１０１の中央付近及び上端付近に配置されている。変形例２では、図８に示すように、送出装置１０が板ガラス１０１の中央付近に配置されており、流体ガイド装置６０が板ガラス１０１の上端付近に配置されている。変形例３では、図９に示すように、送出装置１０が板ガラス１０１の下端付近に配置されており、流体ガイド装置６０が板ガラス１０１の上端付近に配置されている。変形例４では、図１０に示すように、送出装置１０が板ガラス１０１の下端付近及び上端付近に配置されており、流体ガイド装置６０が板ガラス１０１の中央付近に配置されている。

以上、本発明の実施形態について図を参照して説明したが、具体的な構成はこれらの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。なお、以上では、搬送される板ガラス１０１が精密面１０２と普通面１０３を有する場合について説明したが、例えば、搬送する板ガラス１０１の両面が普通面であってもよい。このような場合でも、板ガラスの表面を清浄に保つべきことに変わりなく、本発明に係る板材の搬送装置は有効である。

また、以上では本実施形態に係る板材の搬送装置１００が、板ガラスを搬送する場合について説明したが、仮にある装置が板ガラス以外の板材を搬送するものであったとしても、そのことをもって、その装置が本発明に含まれなくなる理由にはなりえない。また、以上では、搬送装置１００が環状の無端ベルト２１を用いる場合について説明したが、例えば無端ベルト２１に代えて環状型以外のベルトを用いても良い。

本発明に係る板材の搬送装置によれば、専有面積が小さく、かつ、板材が破損しにくい。よって、板材の搬送装置の技術分野において有益である。

１０ 送出装置
２０ 搬送部
２１ 無端ベルト（ベルト）
２２ ベルト受け部材
２３ 下端ガイド部材
２４ 上端ガイド部材
２６ ゴムベルト部
２７ 金属ベルト部
２８ 流体排出溝
２９ ベルト受け面
３１ 中央ガイド部材
３５ ガイド溝
４０ 加圧部
６０ 流体ガイド装置
１００、２００、３００ 搬送装置
１０１ 板ガラス（板材）
１０２ 精密面
１０３ 普通面
１０４ 加圧流体

Claims (7)

1. 搬送部と、加圧部と、を有する送出装置を備え、
   前記搬送部は、縦にした板材の一方の面に接触して前記板材を搬送方向へ送り出すベルトを有し、
   前記加圧部は、縦にした前記板材の他方の面に流体による垂直方向の圧力を加え、前記板材を前記ベルトに向かって加圧できるように構成されており、
   縦にした前記板材を、前記搬送部の前記ベルトと前記加圧部の前記流体とによって挟むようにして保持しながら搬送できるように構成されている、板材の搬送装置。
2. 前記流体は液体であって、
   前記ベルトの外表面には上端から下端まで上下方向に延びる流体排出溝が、進行方向に所定の間隔をおいて複数形成されている、請求項１に記載の板材の搬送装置。
3. 前記搬送部は、前記板材の搬送路に並行して配置されたベルト受け部材を有し、
   前記ベルト受け部材は、前記ベルトの内表面が摺動する平面状のベルト受け面を有する、請求項１に記載の板材の搬送装置。
4. 前記ベルトは、
   外表面側に位置するゴムベルト部と、
   内表面側に位置する金属ベルト部と、を有し、
   前記金属ベルト部の下端は、前記ゴムベルト部の下端よりも下方に位置しており、
   前記搬送部は、前記金属ベルト部の前記下端を支持する下端ガイド部材を有する、請求項１に記載の板材の搬送装置。
5. 前記ベルトの内表面には、全面にわたってガイド溝が形成されており、
   前記搬送部は、前記ガイド溝に挿入される中央ガイド部材を更に有する、請求項１に記載の板材の搬送装置。
6. 前記板材の両面に流体による圧力を加えて横揺れを抑える流体ガイド装置を更に備え、
   前記流体ガイド装置は、前記送出装置と異なる上下方向位置に配置されている、請求項１に記載の板材の搬送装置。
7. 縦にした板材の一方の面に前記板材を搬送方向へ送り出すベルトを接触させるとともに、前記板材の他方の面に流体による圧力を加えて前記板材を前記ベルトに向かって押し、これにより前記ベルトと前記流体によって前記板材を挟むようにして保持し、前記板材を浮かせた状態で搬送する、板材の搬送方法。

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