JP6372252B2 - 研磨装置、及び研磨物品の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、研磨装置、及び研磨物品の製造方法に関する。

板ガラス等の被研磨物の表面における平滑性は、研磨機を用いて研磨されることで高められる。特許文献１には、搬送用のコンベアと研磨機とを備えた研磨装置が開示されている。特許文献１の研磨装置は、コンベア上の板状体をコンベアベルトに保持させるためにコンベアに向けて板状体を押圧するロールを備えている。

特開平１０−０３４５０３号公報

ところで、搬送用のコンベアと研磨機とを備えた研磨装置において、コンベア上の板状体をコンベアに向けて押圧するロールは、例えば、板状体上に存在する研磨屑の凝集物や砥粒の凝集物を板状体に押し付ける場合がある。これにより、例えば、板状体の研磨面の均一性に影響を及ぼしたり、板状体の主面に欠陥を生じさせたり、板状体を破損させたりするおそれがある。

本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、コンベア上で研磨される板状体をコンベアに向けて好適に押圧することの可能な研磨装置、及び研磨物品の製造方法を提供することにある。

上記課題を解決する研磨装置用のロールは、板状体を搬送可能なコンベアと、前記コンベア上の前記板状体を研磨する研磨機と、を備えた研磨装置に用いられる研磨装置用のロールであって、前記ロールは、前記コンベア上に載置された板状体を前記コンベアに向けて押圧するように配置して用いられるものであり、弾性材料から構成される外周層を有する。

この構成によれば、研磨装置用のロールの外周層を構成する弾性材料は、板状体上に存在する研磨屑の凝集物や砥粒の凝集物が押し込まれるように変形し易い。これにより、板状体に対して凝集物が押圧される力を緩和させることが容易となる。

上記研磨装置用のロールにおいて、前記ロールの外周層は、前記板状体の搬送方向に直交する幅方向において前記板状体の中間部分のみを押圧するように構成されていることが好ましい。

板状体の幅方向における両側部分やコーナー部分は、荷重を要因として比較的破損又は変形し易い部分である。上記構成によれば、板状体の両側部分における破損又は変形を抑制する点で有利である。

上記研磨装置用のロールにおいて、前記ロールの外周層は、前記板状体の搬送方向に直交する幅方向において前記板状体の両側部分のみを押圧するように構成されていることが好ましい。

この構成によれば、板状体の幅方向における中間部分とロールとの間は、板状体を研磨する際に用いられる研磨用スラリーの流通路となる。
上記研磨装置用のロールにおいて、前記ロールの外周層は、前記ロールの周方向に延在する溝又は離間部を有することが好ましい。

この構成によれば、ロールの外周層がより変形し易くなる。
上記課題を解決する研磨装置は、板状体を搬送可能なコンベアと、前記コンベア上の前記板状体を研磨する研磨機とを備える研磨装置であって、前記板状体を前記コンベアに向けて押圧するロールとして、上記研磨装置用のロールを備える。

上記研磨装置は、板状体を搬送可能なコンベアと、前記コンベア上の前記板状体を研磨する研磨機とを備える研磨装置であって、前記板状体を前記コンベアに向けて押圧するロールを備え、前記ロールは、弾性材料から構成される外周層を有し、前記研磨機は、第１研磨機と、前記第１研磨機の下流に配置される第２研磨機とを備え、前記第１研磨機と前記第２研磨機との間には、前記外周層が前記板状体の搬送方向に直交する幅方向における前記板状体の中間部分のみ又は両側部分のみを押圧するように構成された部分押圧ロールと、前記外周層が前記板状体の前記幅方向における前記板状体の全体にわたって押圧するように構成された全幅押圧ロールとが配置されていることが好ましい。

この構成によれば、全幅押圧ロールは、板状体がコンベアで搬送される際に、板状体上の研磨用スラリーや研磨屑が下流の第２研磨機へ向けて搬送されることを抑制する。このため、第２研磨機によって板状体を研磨する際の研磨精度を高めることが容易となる。

上記課題を解決する研磨物品の製造方法は、板状体を搬送可能なコンベア上で前記板状体を研磨することで研磨物品を得る研磨物品の製造方法であって、前記板状体がロールにより前記コンベアに向けて押圧されながら研磨される研磨工程を有し、前記ロールとして、上記研磨装置用のロールを用いる。

本発明によれば、コンベア上で研磨される板状体をコンベアに向けて好適に押圧することが可能となる。

第１実施形態における研磨装置を示す概略側面図である。 研磨装置の概略平面図である。 第２実施形態における研磨装置の要部を示す概略平面図である。 第３実施形態における研磨装置の要部を示す概略平面図である。

（第１実施形態）
以下、研磨装置用のロール、研磨装置、研磨物品の製造方法の第１実施形態について図面を参照して説明する。なお、図面では、説明の便宜上、構成の一部を誇張して示す場合がある。また、各部分の寸法比率についても、実際と異なる場合がある。

まず、研磨装置の全体構成について説明する。
図１に示すように、研磨装置１１は、板状体Ｐを搬送可能なコンベア１２と、コンベア１２上の板状体Ｐを研磨する第１研磨機１３及び第２研磨機１４とを備えている。

コンベア１２は、コンベア用ロール１２ａ，１２ｂと、そのコンベア用ロール１２ａ，１２ｂに架け渡された無端状のコンベアベルト１２ｃとを備えている。コンベア用ロール１２ａ，１２ｂの少なくとも一方は、回転駆動される駆動ロールとして構成される。コンベア１２は、コンベア１２上の板状体Ｐを図１に矢印で示す搬送方向Ｘ（下流側）に搬送することが可能である。コンベアベルト１２ｃにおいて板状体Ｐを載置する載置面は、例えば、弾性材料から構成される。なお、図示を省略するが、コンベア１２は、コンベアベルト１２ｃ上からの荷重を受け止める支持部材を備えている。

第１研磨機１３は、研磨装置１１の上流側に配置されている。第２研磨機１４は、第１研磨機１３の下流に配置され、コンベア１２で搬送される板状体Ｐは、第１研磨機１３によって研磨された後、第２研磨機１４で研磨される。

第１研磨機１３は、板状体Ｐの上面に接する研磨パッドと、研磨パッドを回転駆動させる回転駆動機構とを備えている。研磨パッドと板状体Ｐとの間には、研磨用スラリーが供給され、研磨用スラリーに含まれる砥粒と研磨パッドとにより、板状体Ｐの上流側の上面が研磨される。第２研磨機１４についても第１研磨機１３と同様の機構を有し、この第２研磨機１４によって板状体Ｐの下流側の上面が研磨される。なお、第１研磨機１３及び第２研磨機１４の少なくとも一方は、例えば、遊星歯車機構を有し、複数の研磨パッドを遊星歯車機構により同時に回転駆動する研磨機であってもよい。

研磨装置１１は、第１研磨機１３の上流（搬送方向Ｘとは反対側）において第１研磨機１３と隣り合って配置される上流側ロール１５と、第１研磨機１３の下流（搬送方向Ｘ側）において第１研磨機１３と隣り合って配置される下流側ロール１６とを備えている。上流側ロール１５及び下流側ロール１６は、板状体Ｐをコンベア１２に向けて押圧することで、コンベア１２（コンベアベルト１２ｃ）に板状体Ｐが保持される。

研磨装置１１は、第２研磨機１４の上流及び下流においても、上流側ロール１７及び下流側ロール１８を備えている。このように研磨装置１１は、第１研磨機１３と、その第１研磨機１３に隣り合う上流側ロール１５及び下流側ロール１６を備えた第１研磨部１１ａ、並びに、第２研磨機１４に隣り合う上流側ロール１７及び下流側ロール１８を備えた第２研磨部１１ｂを有している。

本実施形態の研磨装置１１は、さらに第１研磨部１１ａと第２研磨部１１ｂとの間に配置される研磨部間ロール１９を備えている。換言すると、第１研磨機１３と第２研磨機１４との間には、第１研磨機１３に対応した下流側ロール１６と、第２研磨機１４に対応した上流側ロール１７と、その下流側ロール１６と上流側ロール１７との間に配置された研磨部間ロール１９が備えられている。

次に、上記研磨装置用のロールの詳細について説明する。
図２に示すように、第１研磨機１３に対応した上流側ロール１５は、例えば、ステンレス鋼等の金属材料から構成される軸芯１５ａと、軸芯１５ａの外周面に設けられた外周層１５ｂとを備えている。この外周層１５ｂは、弾性材料（例えば、ゴム系材料）から構成されている。上流側ロール１５は、その外周層１５ｂがコンベア１２上の板状体Ｐに接触される。

外周層１５ｂを構成する弾性材料としては、例えば、天然又は合成ゴム、エラストマー等が挙げられる。弾性材料の硬度は、デュロメータタイプＡの硬度においてＡ５０以下であることが好ましい。また、弾性材料の硬度は、デュロメータタイプＡの硬度においてＡ２５以上であることが好ましい。デュロメータタイプＡの硬度の測定方法は、ＪＩＳ Ｋ６２５３−３に規定されている。外周層１５ｂの厚さは、例えば、１〜２０ｍｍ程度である。

第１研磨機１３に対応した上流側ロール１５の外周層１５ｂは、図２に示す板状体Ｐの搬送方向Ｘに直交する幅方向Ｙにおいて板状体Ｐの中間部分のみを押圧するように構成されている。換言すると、上流側ロール１５の外周層１５ｂは、板状体Ｐの幅方向Ｙにおける両側部分を押圧しないように構成されている。上流側ロール１５の外周層１５ｂの幅方向Ｙにおける寸法は、板状体Ｐの全幅の寸法に対して５０％以上、９０％以下の範囲であることが好ましい。

第１研磨機１３に対応した下流側ロール１６、並びに第２研磨機１４に対応した上流側ロール１７及び下流側ロール１８についても、第１研磨機１３に対応した上流側ロール１５と同様に、それぞれ軸芯１６ａ，１７ａ，１８ａと外周層１６ｂ，１７ｂ，１８ｂとを有している。

研磨部間ロール１９については、第１研磨機１３に対応した上流側ロールと同様に、軸芯１９ａ及び外周層１９ｂを有している。但し、研磨部間ロール１９の外周層１９ｂは、板状体Ｐの幅方向Ｙにおける全体にわたって押圧するように構成されている。

以上のように、第１研磨機１３に対応した上流側ロール１５及び下流側ロール１６、並びに、第２研磨機１４に対応した上流側ロール１７及び下流側ロール１８は、板状体Ｐを幅方向Ｙにおいて部分的に押圧する部分押圧ロールである。一方、研磨部間ロール１９は、板状体Ｐの幅方向Ｙの全体にわたって押圧する全幅押圧ロールである。

第１研磨機１３に対応した上流側ロール１５及び下流側ロール１６、第２研磨機１４に対応した上流側ロール１７及び下流側ロール１８、並びに研磨部間ロール１９は、付勢手段によって板状体Ｐに向けて付勢されてもよい。付勢手段としては、例えば、ばね、流体圧シリンダー等が挙げられる。

全幅押圧ロールである研磨部間ロール１９が板状体Ｐを押圧する線圧は、部分押圧ロールである上流側ロール１５，１７及び下流側ロール１６，１８が板状体Ｐを押圧する線圧よりも低いことが好ましい。

なお、第１研磨機１３に対応した上流側ロール１５及び下流側ロール１６、第２研磨機１４に対応した上流側ロール１７及び下流側ロール１８、並びに研磨部間ロール１９は、自身をモータ等の駆動源により回転駆動させてもよいし、コンベア１２のコンベアベルト１２ｃ（コンベア用ロール１２ａ，１２ｂ）に従動させてもよい。

次に、研磨物品の製造方法について説明する。
研磨物品の製造方法は、板状体Ｐを搬送可能なコンベア１２上で板状体Ｐを研磨することで研磨物品を得る方法である。この製造方法は、板状体Ｐが上述した研磨用ロールによりコンベア１２に向けて押圧されながら研磨される研磨工程を有する。

板状体Ｐは、コンベアベルト１２ｃと第１研磨機１３に対応した上流側ロール１５とにより挟持されながら搬送方向Ｘへ向けて搬送される。続いて、コンベアベルト１２ｃ上の板状体Ｐは、第１研磨機１３に対応した下流側ロール１６、研磨部間ロール１９、第２研磨機に対応した上流側ロール１７及び下流側ロール１８の順に挟持される。このとき、板状体Ｐは、第１研磨機１３及び第２研磨機１４の順に研磨される。なお、板状体Ｐの研磨は、板状体Ｐをコンベア１２で移動させながら行ってもよいし、板状体Ｐの搬送を一時的に停止して行ってもよい。

板状体Ｐの研磨には、常法にしたがって研磨用スラリーが用いられる。研磨装置１１の第１研磨部１１ａで用いる研磨用スラリーは、第２研磨部１１ｂで用いられる研磨用スラリーと同じ種類のものを用いてもよいし、異なる種類のものを用いてもよい。研磨用スラリーは、第１研磨機１３及び第２研磨機１４の備える研磨パッドの中央部分から研磨パッドと板状体Ｐの間に供給される。なお、第１研磨機１３の備える研磨パッドは、第２研磨機１４の備える研磨パッドと同じ種類のものを用いてもよいし、異なる種類のものを用いてもよい。

次に、研磨装置用のロール、研磨装置１１、及び研磨物品の製造方法の主要な作用について説明する。
例えば、第１研磨機１３に対応した上流側ロール１５は、弾性材料から構成される外周層１５ｂを有している。このように構成された上流側ロール１５は、コンベア１２に向けて板状体Ｐを押圧する。このとき、上流側ロール１５の外周層１５ｂを構成する弾性材料は、板状体Ｐ上に存在する研磨屑の凝集物や砥粒の凝集物が押し込まれるように変形し易い。これにより、板状体Ｐに対して凝集物が押圧される力を緩和させることが容易となる。こうした作用は、第１研磨機１３に対応した下流側ロール１６、第２研磨機１４に対応した上流側ロール１７及び下流側ロール１８、並びに、研磨部間ロール１９においても同様に発揮される。

以上詳述した実施形態によれば、次のような効果が発揮される。
（１）例えば、第１研磨機１３に対応した上流側ロール１５は、板状体Ｐを搬送可能なコンベア１２と、コンベア１２上の板状体Ｐを研磨する第１研磨機１３とを備えた研磨装置１１に用いられる。この上流側ロール１５は、コンベア１２上に載置された板状体Ｐをコンベア１２に向けて押圧するように配置して用いられるものであり、弾性材料から構成される外周層１５ｂを有している。

この構成によれば、板状体Ｐに対して研磨屑等の凝集物が押圧される力を緩和させることが容易となる。これにより、コンベア１２上で研磨される板状体Ｐをコンベア１２に向けて好適に押圧することが可能となる。したがって、板状体Ｐを研磨して得られる研磨物品の品質を安定させることが容易となる。こうした効果は、第１研磨機１３に対応した下流側ロール１６、第２研磨機１４に対応した上流側ロール１７及び下流側ロール１８、並びに、研磨部間ロール１９においても同様に発揮される。

（２）板状体Ｐの幅方向Ｙにおける両側部分やコーナー部分は、荷重を要因として比較的破損又は変形し易い部分である。この点、例えば、第１研磨機１３に対応した上流側ロール１５の外周層１５ｂは、板状体Ｐの搬送方向Ｘに直交する幅方向Ｙにおいて板状体Ｐの中間部分のみを押圧するように構成されている。

この構成によれば、板状体Ｐの両側部分やコーナー部分における破損又は変形を抑制する点で有利である。特に、板状体Ｐとしてガラス板を研磨する場合では、ガラス板のコーナー部分の割れを抑制する点で有利である。

ここで、板状体Ｐの幅方向Ｙの全体を押圧するロールでは、板状体Ｐの両側部分やコーナー部分における破損又は変形を抑制する場合、板状体Ｐに対する押圧力を高めることが困難となる。この点、上記の上流側ロール１５では、板状体Ｐをコンベア１２に向けて押圧する際の押圧力を高めることが可能である。したがって、板状体Ｐをコンベア１２（コンベアベルト１２ｃ）にさらに安定して保持させた状態で研磨を行うことが可能となる。こうした効果は、第１研磨機１３に対応した下流側ロール１６、並びに、第２研磨機１４に対応した上流側ロール１７及び下流側ロール１８においても同様に発揮される。

（３）研磨装置１１は、板状体Ｐを搬送可能なコンベア１２と、コンベア１２上の板状体Ｐを研磨する研磨機（例えば、第１研磨機１３）と、板状体Ｐをコンベア１２に向けて押圧するロール（例えば、上流側ロール１５）とを備えている。研磨物品の製造方法は、板状体Ｐがロール（例えば、第１研磨機１３に対応した上流側ロール１５）によりコンベア１２に向けて押圧されながら研磨される研磨工程を有している。

このような研磨装置１１、及び研磨物品の製造方法によれば、上記（１）欄で述べたように、コンベア１２上で研磨される板状体Ｐをコンベア１２に向けて好適に押圧することが可能となるため、板状体Ｐを研磨して得られる研磨物品の品質を安定させることが容易となる。

（４）研磨装置１１は、第１研磨機１３と、その第１研磨機１３の下流に配置される第２研磨機１４とを備えている。第１研磨機１３と第２研磨機１４との間には、外周層が板状体Ｐを幅方向Ｙにおいて部分的に押圧するように構成された部分押圧ロール（第１研磨機１３に対応した下流側ロール１６又は第２研磨機１４に対応した上流側ロール１７）が配置されている。この場合、上記（２）欄で述べた効果が得られるものの、第１研磨機１３によって板状体Ｐを研磨する際に用いた研磨用スラリーが板状体Ｐとともに下流（第２研磨部１１ｂ）に搬送され易くなる。

この点、上記実施形態の研磨装置１１における、第１研磨機１３と第２研磨機１４との間には、外周層が板状体Ｐの幅方向Ｙの全体にわたって押圧するように構成された全幅押圧ロール（研磨部間ロール１９）とが配置されている。

このように配置された全幅押圧ロールは、板状体Ｐがコンベア１２で搬送される際に、板状体Ｐ上の研磨用スラリーや研磨屑が下流の第２研磨機１４へ向けて搬送されることを抑制する。このため、第２研磨機１４によって板状体Ｐを研磨する際の研磨精度を高めることが容易となる。

上記のように配置された全幅押圧ロールが板状体Ｐを押圧する線圧は、部分押圧ロールが板状体Ｐを押圧する線圧よりも低いことが好ましい。この場合、板状体Ｐに対して過剰な負荷がかかり難くなる。

（５）研磨装置用のロールの外周層を構成する弾性材料の硬度は、デュロメータタイプＡの硬度においてＡ５０以下であることが好ましい。この場合、板状体Ｐに対して研磨屑等の凝集物が押圧される力を緩和させることがさらに容易となる。

（第２実施形態）
第２実施形態は、研磨装置用のロールにおける外周層の形状が第１実施形態と異なるため、その相違点を中心に説明する。第２実施形態において、第１実施形態と同様の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。

図３に示すように、第２実施形態における第１研磨機１３に対応した上流側ロール２０は、軸芯２０ａと、軸芯２０ａの軸方向において離間した一対の外周層２０ｂ，２０ｃとを備えている。こうした上流側ロール２０の外周層２０ｂ，２０ｃは、板状体Ｐの幅方向Ｙにおいて両側部分のみを押圧するように構成されている。換言すると、上流側ロール２０の外周層２０ｂ，２０ｃは、板状体Ｐの幅方向Ｙの中間部分を押圧しないように構成されている。上流側ロール２０の軸方向における外周層２０ｂと外周層２０ｃとの間隔寸法は、板状体Ｐの幅寸法に対して５０％以上、９０％以下の範囲であることが好ましい。

第１研磨機１３に対応した下流側ロール２１についても、上流側ロール２０と同様に、軸芯２１ａと一対の外周層２１ｂ，２１ｃとを備えている。
本実施形態における上流側ロール２０及び下流側ロール２１は、板状体Ｐを幅方向Ｙにおいて部分的に押圧する部分押圧ロールである。

本実施形態の研磨装置用のロールでは、第１実施形態の（１）欄で述べた効果に加えて以下の作用効果が発揮される。
（６）例えば、第１研磨機１３に対応した上流側ロール２０における外周層２０ｂ，２０ｃは、板状体Ｐの幅方向Ｙの両側部分のみを押圧するように構成されている。これにより、板状体Ｐの幅方向Ｙの中間部分と上流側ロール２０との間は、板状体Ｐを研磨する際に用いられる研磨用スラリーの流通路となる。例えば、図３に破線矢印で示すように、研磨用スラリーを板状体Ｐ上から排出させることが可能となる。これにより、板状体Ｐ上に研磨屑等が滞留し難くなるため、例えば、研磨の効率を高めることが可能となる。こうした効果は、下流側ロール２１においても同様に発揮される。

（第３実施形態）
第３実施形態は、研磨装置用のロールにおける外周層の形状が第１実施形態と異なるため、その相違点を中心に説明する。第３実施形態において、第１実施形態と同様の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。

図４に示すように、第３実施形態における第１研磨機１３に対応した上流側ロール２２は、軸芯２２ａと外周層２２ｂとを備え、その外周層２２ｂは、板状体Ｐの幅方向Ｙの全体にわたって押圧するように構成されている。この外周層２２ｂは、上流側ロール２２の周方向に延在する螺旋状の溝２２ｃを有している。外周層２２ｂにおける螺旋状の溝２２ｃのピッチは、板状体Ｐの幅方向Ｙの両側部分を押圧する部分と板状体Ｐの幅方向Ｙの中間部分を押圧する部分とにおいて異なり、板状体Ｐの幅方向Ｙの両側部分を押圧する部分の前記ピッチは、板状体Ｐの幅方向Ｙの中間部分を押圧する部分の前記ピッチよりも狭くなるように構成されている。

第１研磨機１３に対応した下流側ロール２３についても、軸芯２３ａと外周層２３ｂとを備え、外周層２３ｂは、上流側ロール２２と同形状の溝２３ｃを有している。
本実施形態の研磨装置用のロールでは、第１実施形態の（１）欄で述べた効果に加えて以下の効果が発揮される。

（７）例えば、第１研磨機１３に対応した上流側ロール２２における外周層２２ｂは、上流側ロール２２の周方向に延在する溝２２ｃを有するため、その溝２２ｃにより、上流側ロール２２の外周層２２ｂがより変形し易くなる。これにより、板状体Ｐに対して研磨屑等の凝集物が押圧される力を緩和させることが容易となる。したがって、コンベア１２上で研磨される板状体Ｐをコンベア１２に向けて好適に押圧することが可能となる。こうした効果は、第１研磨機１３に対応した下流側ロール２３においても同様に発揮される。

（８）例えば、第１研磨機１３に対応した上流側ロール２２における外周層２２ｂは、板状体Ｐの幅方向Ｙの全体にわたって押圧するように構成されるとともに、上流側ロール２２の周方向に延在する螺旋状の溝２２ｃを有している。螺旋状の溝２２ｃは、上述したようなピッチに設定されているため、外周層２２ｂにおいて、板状体Ｐの幅方向Ｙにおける両側部分を押圧する部分の硬さが低下される。これにより、板状体Ｐの両側部分における破損又は変形を抑制することが可能である。こうした効果は、下流側ロール２３においても同様に発揮される。

（変更例）
上記実施形態を次のように変更して構成してもよい。
・第１実施形態において、例えば、第１研磨機１３に対応した上流側ロール１５の外周層１５ｂは、板状体Ｐの幅方向Ｙにおける寸法よりも小さい寸法を有しているが、板状体Ｐの幅方向Ｙにおける寸法よりも大きい寸法であってもよい。つまり、ロールの外径を部分的に変更することで、板状体Ｐの幅方向Ｙの中間部分のみを押圧するロールとして構成することもできる。

・第１実施形態において、第１研磨機１３に対応した下流側ロール１６、及び第２研磨機１４に対応した上流側ロール１７のいずれか一方を省略してもよい。例えば、第１研磨機１３に対応した下流側ロール１６を省略し、第１研磨機１３に対応した下流側ロールについては、第２研磨機１４に対応した上流側ロール１７と兼用してもよい。

・第１実施形態において、研磨部間ロール１９を省略してもよい。
・第３実施形態において、上流側ロール２２の外周層２２ｂにおける螺旋状の溝２２ｃは、外周層を貫通する孔を上流側ロール２２の周方向に延在させた離間部や、分割された複数の外周層を軸芯に設けることで形成した離間部に変更されてもよい。この場合であっても、第３実施形態の（７）欄で述べた作用効果と同様の作用効果が得られる。

・第３実施形態において、例えば、上流側ロール２２の外周層２２ｂにおける螺旋状の溝２２ｃのピッチを等間隔に変更してもよい。さらに、その螺旋状の溝２２ｃを上流側ロール２２の周方向に延在する円環状の溝に変更してもよい。

・第１及び第２実施形態の研磨装置用のロールに上記の溝や離間部を設けてもよい。
・各実施形態における研磨装置用のロールの外周層は、一層に限らず、弾性材料から構成される層が積層されていてもよい。

・各実施形態における研磨装置用のロールは、自重で板状体Ｐを押圧するように構成してもよいし、重りを用いて押圧するように構成してもよい。
・各実施形態における研磨装置用のロール及び上述した変更例の研磨装置用のロールを組み合わせて用いてもよい。

・各実施形態において、板状体Ｐをコンベア１２に向けて押圧するロールとして、弾性材料から構成される外周層を省略したロールや上述した弾性材料以外の外周層を有するロールをさらに用いてもよい。

・各実施形態の研磨装置１１は、第１研磨部１１ａ及び第２研磨部１１ｂを備えているが、第１研磨部１１ａ及び第２研磨部１１ｂのいずれか一方を省略してもよいし、３つ以上の研磨部を備えた研磨装置に変更してもよい。

・各実施形態の研磨装置１１における第１研磨機１３及び第２研磨機１４は、１台の研磨機に限定されず、第１研磨機１３又は第２研磨機１４を複数台の研磨機に変更してもよい。

・板状体Ｐがガラス板である場合、そのガラス板は、無アルカリガラスであってもよいし、アルカリ成分を含むガラスであってもよい。なお、ガラス板の用途としては、例えば、ディスプレイ用途、タッチパネル用途、光電変換パネル用途、電子デバイス用途、窓ガラス用途、建材用途、及び車両用途が挙げられる。

１１…研磨装置、１２…コンベア、１３…第１研磨機、１４…第２研磨機、１５，１７，２０，２２…上流側ロール、１５ｂ，１６ｂ，１７ｂ，１８ｂ，１９ｂ，２０ｂ，２０ｃ，２１ｂ，２１ｃ，２２ｂ，２３ｂ…外周層、１６，１８，２１，２３…下流側ロール、１９…研磨部間ロール、２２ｃ，２３ｃ…溝、Ｐ…板状体、Ｘ…搬送方向、Ｙ…幅方向。

Claims (2)

1. 板状体を搬送可能なコンベアと、前記コンベア上の前記板状体を研磨する研磨機とを備える研磨装置であって、
   前記板状体を前記コンベアに向けて押圧するロールを備え、
   前記ロールは、弾性材料から構成される外周層を有し、
   前記研磨機は、
   第１研磨機と、前記第１研磨機の下流に配置される第２研磨機とを備え、
   前記第１研磨機と前記第２研磨機との間には、
   前記外周層が前記板状体の搬送方向に直交する幅方向における前記板状体の中間部分のみ又は両側部分のみを押圧するように構成された部分押圧ロールと、
   前記外周層が前記板状体の前記幅方向における前記板状体の全体にわたって押圧するように構成された全幅押圧ロールとが配置されていることを特徴とする研磨装置。
2. 板状体を搬送可能なコンベアと、前記コンベア上の前記板状体を研磨する研磨機とを備える研磨装置を用いて前記板状体を研磨した研磨物品を得る研磨物品の製造方法であって、
   前記研磨装置は、
   前記板状体を前記コンベアに向けて押圧するロールを備え、
   前記ロールは、弾性材料から構成される外周層を有し、
   前記研磨機は、
   第１研磨機と、前記第１研磨機の下流に配置される第２研磨機とを備え、
   前記第１研磨機と前記第２研磨機との間には、
   前記外周層が前記板状体の搬送方向に直交する幅方向における前記板状体の中間部分のみ又は両側部分のみを押圧するように構成された部分押圧ロールと、
   前記外周層が前記板状体の前記幅方向における前記板状体の全体にわたって押圧するように構成された全幅押圧ロールとが配置されていることを特徴とする研磨物品の製造方法。