JP2006181697A

JP2006181697A - 平面研磨装置及び平面研磨方法

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Publication number: JP2006181697A
Application number: JP2004380143A
Authority: JP
Inventors: Hisazumi Minami; 久純南
Original assignee: MINAMI KENMAKI SEISAKUSHO KK
Current assignee: MINAMI KENMAKI SEISAKUSHO KK
Priority date: 2004-12-28
Filing date: 2004-12-28
Publication date: 2006-07-13

Abstract

【課題】研磨ベルトの破断を防止しつつ、要求寸法までワークを平面研磨可能な平面研磨装置及び平面研磨方法と、研磨ベルトの破断を防止しつつ、研磨ベルトの幅よりも広い幅のワークを平面研磨可能な平面研磨装置及び平面研磨方法と、効率的に平面研磨可能な平面研磨装置及び平面研磨方法を提供する。
【解決手段】少なくとも１対のローラ２２間に張設される無端ループ状の研磨ベルト２１と、ローラ２２間の研磨処理位置３へワーク２を送給するワーク送給手段１０と、研磨ベルト２１の回転中心と平行な軸心回りに回転自在に且つ設定間隔おきに並列状に支持した複数の押圧ローラ２３と、研磨処理位置３において研磨ベルト２１の研磨面とワークの基準面間の距離が設定距離となるように、研磨処理位置３における研磨ベルト２１の内側に押圧ローラ２３を押し当てる押圧操作手段２５とを備えた。
【選択図】図１

Description

本発明は、研磨ベルトを用いた平面研磨装置及び平面研磨方法に関する。

ワーク表面のバリを除去したり、ワーク表面を研磨したりするための平面研磨装置として、１対のローラ間に張設した送給ベルトによりワークを水平送りする送り手段と、送給手段の上側に配置され、１対のローラ間に張設した研磨ベルトにより、送給手段にて送給されるワークの上面を研磨する研磨手段と、研磨ベルトの下部ベルトを下側へ押圧して研磨ベルトをワークに押し当てる金属板からなるプラテンとを備え、プラテンで研磨ベルトの下部ベルトをワークの上面に押し当てながら研磨するものが広く採用されている（例えば、特許文献１参照。）。

また、前記プラテンとして、金属板に代えて、軸心を研磨ベルトの回転方向と直交方向に配置した複数の案内ローラを支持枠に回転自在に設けたものを用い、エアシリンダにより複数の案内ローラで研磨ベルトをワーク側へ押圧して、研磨ベルトをワークに押し当てながら研磨するように構成したものも提案されている（例えば、特許文献２参照。）。

一方、研磨ベルトとしては、クラフト紙などの紙、綿布や不織布などの布、紙と布を張り合わせた複合シートなどからなる基材シートを無端ループのベルト状に成形し、これに砥粒を付着させたものが広く採用されている。また、ディスクサンダーにおいては、ガラスエポキシ樹脂などからなるディスク板に砥石片を貼り付けたものも実用化されている（例えば、特許文献３参照。）。

特開２０００−２１８４８５号公報特開平５−３１６６２号公報特開２００１−２６００３７号公報

一般的な平面研磨装置では、特許文献１記載のように、金属板からなるプラテンを研磨ベルトの内面に押し当てる関係上、研磨ベルトの接続部分が破断することがあり、また特許文献２記載のように、回転自在な案内ロールを研磨ベルトに押し当てる場合には、研磨ベルトの接続部分における破断を効果的に防止できるが、案内ロール間の距離をワーク送給方向におけるワークのサイズよりも大きく設定すると、案内ロール間にワークが配置されたときに研磨ベルトが撓んで、ワークの両端部における研磨量が増えてしまったり、研磨ベルトの撓み量が大きくなりすぎて、研磨ベルトが逃げやすくなり、研磨効率が全体的に低下したりするという問題が発生する。

また、従来の平面研磨装置では、ワークの角部で研磨ベルトが破損しないように、研磨ベルトの回転方向と平行にワークを送給して、ワーク表面を研磨している関係上、研磨可能なワークのサイズが研磨ベルトの幅に依存したものとなり、大型なワークを研磨する場合には、それに応じて幅の広い研磨ベルトを用いる必要があるとともに、研磨ベルトやワークの送給ベルトなどのレイアウトが大幅に制約され、平面研磨装置の小型化などに対する設計自由度が大幅に制約されるという問題があった。

更に、前記特許文献１、２記載のような周知の平面研磨装置では、エアシリンダなどによりプラテンを下方へ操作して、プラテンで研磨ベルトの途中部を下方へ押し出し、この押し出した研磨ベルトでワーク表面を研磨するように構成され、研磨抵抗がエアシリンダの操作力よりも大きくなった場合には、研磨ベルトの破損を防止するため、プラテンが上方へ後退するように構成されている。このため、ワーク表面のバリを除去したり、ワーク表面の微細な凹凸を研磨したりすることは可能であるが、ワークの表面全体を適正寸法まで研磨することができず、一般的には平面研磨装置によりバリ等を除去した後、適正寸法までカップ砥石でワークを研磨するという、２段階の研磨処理が施されており、研磨工程が複雑になるとともに、設備経済的な負担が増大し、しかもカップ砥石での研磨は、カップ砥石の割れを防止するため、僅かな研削（切込み）量で、低速で送られる関係上、研磨処理時間が長くなるという問題があった。

本発明の目的は、研磨ベルトの破断を防止しつつ、要求寸法までワークを平面研磨可能な平面研磨装置及び平面研磨方法と、研磨ベルトの破断を防止しつつ、研磨ベルトの幅よりも広い幅のワークを平面研磨可能な平面研磨装置及び平面研磨方法、効率的に平面研磨可能な平面研磨装置及び平面研磨方法を提供することである。

本発明に係る第１の平面研磨装置は、少なくとも１対のローラ間に張設される無端ループ状の研磨ベルトと、前記ローラ間の研磨処理位置へワークを送給するワーク送給手段と、前記研磨ベルトの回転中心と平行な軸心回りに回転自在に且つ設定間隔おきに並列状に支持した複数の押圧ローラと、前記研磨処理位置において研磨ベルトの研磨面とワークの基準面間の距離が設定距離となるように、研磨処理位置における研磨ベルトの内側に押圧ローラを押し当てる押圧操作手段とを備えたものである。

この第１の平面研磨装置では、複数の押圧ローラを研磨ベルトの内面に押し当てて、研磨ベルトをワークに圧接させるので、研磨ベルトと押圧ローラ間における摩擦抵抗を低減して、摩擦抵抗による研磨ベルトの破損や破断を効果的に防止することができる。また、複数の押圧ローラを設定間隔おきに並列状に設けているので、研磨処理位置における研磨ベルトの撓みが押圧ローラで規制され、研磨処理位置全体における研磨精度を一様に且つ十分に確保することが可能となる。更に、研磨処理位置において研磨ベルトの研磨面とワークの基準面間の距離が設定距離となるように、研磨処理位置における研磨ベルトの内側に押圧ローラを押し当てるので、カップ砥石等で研磨処理することなく、機械加工されたワークを平面研磨装置のみにより、要求寸法まで研磨することが可能となり、設備経済的な負担の軽減、研磨工程の簡略化及び研磨時間の大幅な短縮化が可能となる。

ここで、前記第１の平面研磨装置において、前記ワーク送給手段によるワークの送給方向を研磨ベルトの回転方向に対して角度を付けることができる。このように構成すると、ローラ間における研磨ベルト全体を有効利用して研磨することが可能となり、例えば角度を小さく設定した場合には、研磨ベルトがワークに接している時間を長く設定して、ワークの研磨精度を向上でき、角度を大きく設定した場合には、研磨精度は多少低下するが、最大でローラ間の研磨ベルトの長さと同じサイズの大型なワークを研磨することが可能となる。

本発明に係る第２の平面研磨装置は、少なくとも１対のローラ間に張設される無端ループ状の研磨ベルトと、前記ローラ間の研磨処理位置へ、研磨ベルトの回転方向に対して角度を付けてワークを送給するワーク送給手段と、前記研磨ベルトの回転中心と平行な軸心回りに回転自在に且つ設定間隔おきに並列状に支持した複数の押圧ローラと、前記研磨処理位置において研磨ベルトの内側に押圧ローラを押し当てる押圧操作手段とを備えたものである。

この第２の平面研磨装置では、第１の平面研磨装置と同様に押圧ローラを設けているので、摩擦抵抗により研磨ベルトが破損したり破断したりすることを効果的に防止できるとともに、研磨処理位置全体における研磨精度を一様に且つ十分に確保することが可能となる。加えて、研磨ベルトの回転方向に対して角度を付けてワークを送給するので、ローラ間における研磨ベルト全体を有効利用して研磨することが可能となり、例えば角度を小さく設定した場合には、研磨ベルトがワークに接している距離を長く設定して、ワークの研磨精度を向上でき、角度を大きく設定した場合には、研磨精度は多少低下するが、最大でローラ間の研磨ベルトの長さと同じサイズの大型なワークを研磨することが可能となる。

前記第１及び第２の平面研磨装置の研磨ベルトとしては、周知のサンドベルトを採用することもできるが、ベルト基材に複数の砥石片を設定パターンで固定したものを用いることが好ましい。このような研磨ベルトを用いると、押圧ローラに対面する位置において砥石片が微妙に傾いて、砥石片の角部でワークを効率的に研磨することが可能となり、通常のサンドロールと比較して目詰まりの発生が少なくなり、効率的な研磨が可能となる。また、砥石片によりカップ砥石により研磨する場合と同レベルまで高精度に研磨できるので、カップ砥石等で研磨処理することなく、機械加工されたワークを平面研磨装置のみにより、要求寸法まで研磨することが可能となり、設備経済的な負担の軽減、研磨工程の簡略化及び研磨時間の大幅な短縮化が可能となる。しかも、研磨ベルトの回転方向に角度をつけてワークを送給した場合でも、ワークが研磨ベルトのベルト基材に接触することを防止して、ワークがベルト基材に接触することによる研磨ベルトの破損や破断を防止できる。

本発明に係る第３の平面研磨装置は、少なくとも１対のローラ間に張設される無端ループ状の研磨ベルトであって、ベルト基材に複数の砥石片を設定パターンで固定した研磨ベルトと、前記ローラ間の研磨処理位置へワークを送給するワーク送給手段と、前記研磨ベルトの回転中心と平行な軸心回りに回転自在に且つ設定間隔おきに並列状に支持した複数の押圧ローラと、前記研磨処理位置において研磨ベルトの内側に押圧ローラを押し当てる押圧操作手段とを備えたものである。

この第３に係る平面研磨装置では、第１の平面研磨装置と同様に押圧ローラを設けているので、摩擦抵抗により研磨ベルトが破損したり破断したりすることを効果的に防止できるとともに、研磨処理位置全体における研磨精度を一様に且つ十分に確保することが可能となる。加えて、研磨ベルトとして、ベルト基材に複数の砥石片を設定パターンで固定したものを用いているので、前述したように、通常のサンドロールと比較して目詰まりの発生が少なくなり、効率的な研磨が可能となること、設備経済的な負担の軽減、研磨工程の簡略化及び研磨時間の大幅な短縮化が可能となること、研磨ベルトの破損や破断を防止できることなどの作用が得られる。

第１〜第３の平面研磨装置において、研磨ベルトとしてベルト基材に砥石片を固定するものを用いる場合には、前記砥石片として厚さ１．０〜１０．０ｍｍのものを用いることが好ましい。このような厚さの砥石片を用いると、効率的にワークを研磨しつつ、研磨ベルトの破損や破断を防止できる。

前記第１〜第３の平面研磨装置では、ワークの１面のみを研磨ベルトで研磨することもできるが、前記研磨ベルトを少なくとも研磨処理位置が対面するように１対設け、前記複数の押圧ローラを両研磨ベルトの内側にそれぞれ設け、前記押圧操作手段により押圧ローラを対応する研磨ベルトにそれぞれ押し当てることで、両研磨ベルトにより、ワーク送給手段により送給されるワークを両面研磨することもできる。

前記第１〜第３の平面研磨装置における押圧ローラの本数や直径やピッチは、研磨するワークのサイズに応じて任意に設定できるが、ワークの両端部が研磨され過ぎることを防止するため、前記研磨処理位置のワークに対して少なくとも３本の押圧ローラが研磨ベルトを挟んで対面するように、前記複数の押圧ローラのピッチ及び直径を設定することが好ましい。

前記第１〜第３の平面研磨装置の押圧ローラは、押圧操作手段に一体的に設けることもできるが、研磨するワークサイズの変更や押圧ローラの磨耗等による交換を考慮して、前記前記押圧操作手段に着脱可能に取り付けた支持部材に、前記複数の押圧ローラを一体的に組み付けることが好ましい。

前記第１〜第３の平面研磨装置において、少なくとも研磨処理位置においてワーク送給手段に、ワークの突起に応じて変形可能なクッション材を設け、このクッション材にワークの突起を埋設させるとともに、クッション材で突起とは反対側のワーク表面を研磨ベルトに圧接させて、ワーク表面を研磨することもできる。この場合には、突起に適合した孔を有する治具等を用いることなく、突起を有するワークを連続的に研磨することが可能となる。また、押圧ローラとクッション材とにより、研磨ベルトに対するワークの当たりがよくなって、なじみ性が高められるので、ワークの研磨面を精度良く研磨することが可能となる。

本発明に係る第１の平面研磨方法は、研磨ベルトの研磨面とワークの基準面間の距離が設定距離となるように、研磨ベルトの回転中心と平行な軸心回りに回転自在に且つ設定間隔おきに並列状に支持した複数の押圧ローラを研磨ベルトの内側に押し当てた状態で、研磨ベルトの研磨処理位置へワークを送給してワーク表面を研磨するものである。

この第１の平面研磨方法では、複数の押圧ローラを研磨ベルトの内面に押し当てた状態で、研磨ベルトの研磨処理位置へワークを送給してワーク表面を研磨するので、研磨ベルトと押圧ローラ間における摩擦抵抗を少なくして、摩擦抵抗により研磨ベルトが破損したり破断したりすることを効果的に防止することができる。また、設定間隔おきに並列状に設けた複数の押圧ローラを研磨ベルトの内面に押し当てるので、研磨処理位置における研磨ベルトの撓みが押圧ローラで規制され、研磨処理位置全体における研磨精度を一様に且つ十分に確保することが可能となる。更に、研磨ベルトの研磨面とワークの基準面間の距離が設定距離となるように、複数の押圧ローラを研磨ベルトに押し当てるので、カップ砥石等で研磨処理することなく、機械加工されたワークを研磨ベルトのみにより要求寸法まで研磨することが可能となり、設備経済的な負担の軽減、研磨工程の簡略化及び研磨時間の大幅な短縮化が可能となる。尚、この第１の平面研磨方法は、前述した第１の平面研磨装置を用いて実施できる。

本発明に係る第２の平面研磨方法は、研磨ベルトの回転中心と平行な軸心回りに回転自在に且つ設定間隔おきに並列状に支持した複数の押圧ローラを研磨ベルトの内側に押し当てた状態で、研磨ベルトの回転方向に対して角度を付けて、研磨ベルトの研磨処理位置へワークを送給して、ワーク表面を研磨するものである。

この第２の平面研磨方法では、第１の平面研磨方法と同様に押圧ローラを設けているので、摩擦抵抗により研磨ベルトが破損したり破断したりすることを効果的に防止できるとともに、研磨処理位置全体における研磨精度を一様に且つ十分に確保することが可能となる。加えて、研磨ベルトの回転方向に対して角度を付けてワークを送給するので、ローラ間における研磨ベルト全体を有効利用して研磨することが可能となり、例えば角度を小さく設定した場合には、研磨ベルトがワークに接している距離を長く設定して、ワークの研磨精度を向上でき、角度を大きく設定した場合には、研磨精度は多少低下するが、最大でローラ間の研磨ベルトの長さと同じサイズの大型なワークを研磨することが可能となる。尚、この第２の平面研磨方法は、前述した第２の平面研磨装置を用いて実施できる。

本発明に係る第３の平面研磨方法は、研磨ベルトの回転中心と平行な軸心回りに回転自在に且つ設定間隔おきに並列状に支持した複数の押圧ローラを研磨ベルトの内側に押し当てた状態で、研磨処理位置へワークを送給し、外周面に設定パターンで複数の砥石片を固定した研磨ベルトでワーク表面を研磨するものである。

この第３の平面研磨方法では、第１の平面研磨方法と同様に押圧ローラを設けているので、摩擦抵抗により研磨ベルトが破損したり破断したりすることを効果的に防止できるとともに、研磨処理位置全体における研磨精度を一様に且つ十分に確保することが可能となる。加えて、研磨ベルトとして、外周面に複数の砥石片を設定パターンで固定したものを用いているので、押圧ローラに対面する位置において砥石片が微妙に傾いて、砥石片の角部でワークを効率的に研磨することが可能となり、通常のサンドロールと比較して目詰まりの発生が少なくなり、効率的な研磨が可能となる。また、砥石片によりカップ砥石により研磨する場合と同レベルまで高精度に研磨できるので、カップ砥石等で研磨処理することなく、機械加工されたワークを平面研磨装置のみにより、要求寸法まで研磨することが可能となり、設備経済的な負担の軽減、研磨工程の簡略化及び研磨時間の大幅な短縮化が可能となる。しかも、研磨ベルトの回転方向に角度をつけてワークを送給した場合でも、ワークが研磨ベルトのベルト基材に接触することを防止して、ワークがベルト基材に接触することによる研磨ベルトの破損や破断を防止できる。尚、この第３の平面研磨方法は、前述した第３の平面研磨装置を用いて実施できる。

本発明に係る第４の平面研磨方法は、研磨ベルトの回転中心と平行な軸心回りに回転自在に且つ設定間隔おきに並列状に支持した複数の押圧ローラを研磨ベルトの内側に押し当てた状態で、研磨ベルトの研磨処理位置へワークを送給し、少なくとも研磨処理位置においてワークの突起をワーク送給手段のクッション材に埋設させながら、外周面に設定パターンで複数の砥石片を固定した研磨ベルトで、突起とは反対側のワーク表面を研磨するものである。

この第４の平面研磨方法では、第３の平面研磨方法と同様に、押圧ローラ及び砥石片を固定した研磨ベルトを用いているので、第３の平面研磨方法と同様の作用が得られる。加えて、突起に適合した孔を有する治具等を用いることなく、突起を有するワークを連続的に研磨することが可能となる。また、押圧ローラとクッション材とにより、研磨ベルトに対するワークの当たりがよくなって、なじみ性が高められるので、ワークの研磨面を精度良く研磨することが可能となる。

本発明に係る第１の平面研磨装置によれば、複数の押圧ローラを研磨ベルトの内面に押し当てて、研磨ベルトをワークに圧接させるので、研磨ベルトと押圧ローラ間における摩擦抵抗を低減して、摩擦抵抗による研磨ベルトの破損や破断を効果的に防止することができる。また、複数の押圧ローラを設定間隔おきに並列状に設けているので、研磨処理位置における研磨ベルトの撓みが押圧ローラで規制され、研磨処理位置全体における研磨精度を一様に且つ十分に確保することが可能となる。更に、研磨処理位置において研磨ベルトの研磨面とワークの基準面間の距離が設定距離となるように、研磨処理位置における研磨ベルトの内側に押圧ローラを押し当てるので、カップ砥石等で研磨処理することなく、機械加工されたワークを平面研磨装置のみにより、要求寸法まで研磨することが可能となり、設備経済的な負担の軽減、研磨工程の簡略化及び研磨時間の大幅な短縮化が可能となる。

ここで、前記第１の平面研磨装置において、前記ワーク送給手段によるワークの送給方向を研磨ベルトの回転方向に対して角度を付けると、研磨ベルトの幅よりも大きなサイズのワークを研磨することが可能となる。

本発明に係る第２の平面研磨装置によれば、第１の平面研磨装置と同様に押圧ローラを設けているので、摩擦抵抗により研磨ベルトが破損したり破断したりすることを効果的に防止できるとともに、研磨処理位置全体における研磨精度を一様に且つ十分に確保することが可能となる。加えて、研磨ベルトの回転方向に対して角度を付けてワークを送給するので、ローラ間における研磨ベルト全体を有効利用して研磨することが可能となり、例えば角度を小さく設定した場合には、研磨ベルトがワークに接している距離を長く設定して、ワークの研磨精度を向上でき、角度を大きく設定した場合には、研磨精度は多少低下するが、最大でローラ間の研磨ベルトの長さと同じサイズの大型なワークを研磨することが可能となる。

前記第１及び第２の平面研磨装置の研磨ベルトとして、ベルト基材に複数の砥石片を設定パターンで固定したものを用いると、押圧ローラに対面する位置において砥石片が微妙に傾いて、砥石片の角部でワークを効率的に研磨することが可能となり、通常のサンドロールと比較して目詰まりの発生が少ないく、効率的な研磨が可能となる。また、砥石片によりカップ砥石により研磨する場合と同レベルまで高精度に研磨できるので、カップ砥石等で研磨処理することなく、機械加工されたワークを平面研磨装置のみにより、要求寸法まで研磨することが可能となり、設備経済的な負担の軽減、研磨工程の簡略化及び研磨時間の大幅な短縮化が可能となる。しかも、研磨ベルトの回転方向に角度をつけてワークを送給した場合でも、ワークが研磨ベルトのベルト基材に接触することを防止して、ワークがベルト基材に接触することによる研磨ベルトの破損や破断を防止できる。

本発明に係る第３の平面研磨装置によれば、第１の平面研磨装置と同様に押圧ローラを設けているので、摩擦抵抗により研磨ベルトが破損したり破断したりすることを効果的に防止できるとともに、研磨処理位置全体における研磨精度を一様に且つ十分に確保することが可能となる。加えて、研磨ベルトとして、ベルト基材に複数の砥石片を設定パターンで固定したものを用いているので、前述したように、通常のサンドロールと比較して目詰まりの発生が少なくなり、効率的な研磨が可能となること、設備経済的な負担の軽減、研磨工程の簡略化及び研磨時間の大幅な短縮化が可能となること、研磨ベルトの破損や破断を防止できることなどの効果が得られる。

ここで、第１〜第３の平面研磨装置において、前記砥石片として厚さ１．０〜１０．０ｍｍのものを用いると、効率的にワークを研磨しつつ、研磨ベルトの破損や破断を防止できるので好ましい。

前記第１〜第３の平面研磨装置において、前記研磨ベルトを少なくとも研磨処理位置が対面するように１対設け、前記複数の押圧ローラを両研磨ベルトの内側にそれぞれ設け、前記押圧操作手段により押圧ローラを対応する研磨ベルトにそれぞれ押し当てて、両研磨ベルトにより、ワーク送給手段により送給されるワークを両面研磨すると、ワークの２面を同時に研磨することが可能となる。

前記第１〜第３の平面研磨装置において、前記研磨処理位置のワークに対して少なくとも３本の押圧ローラが研磨ベルトを挟んで対面するように、前記複数の押圧ローラのピッチ及び直径を設定すると、ワークの両端部が過剰に研磨されることを防止できる。

前記第１〜第３の平面研磨装置において、前記押圧操作手段に着脱可能に取り付けた支持部材に、前記複数の押圧ローラを一体的に組み付けると、研磨するワークサイズの変更や押圧ローラの磨耗等による押圧ローラの交換作業を簡単に且つ複数の押圧ローラを同時に交換することが可能となる。

前記第１〜第３の平面研磨装置において、少なくとも研磨処理位置においてワーク送給手段に、ワークの突起に応じて変形可能なクッション材を設け、このクッション材にワークの突起を埋設させるとともに、クッション材で突起とは反対側のワーク表面を研磨ベルトに圧接させて、ワーク表面を研磨すると、突起に適合した孔を有する治具等を用いることなく、突起を有するワークを連続的に研磨することが可能となる。また、押圧ローラとクッション材とにより、研磨ベルトに対するワークの当たりがよくなって、なじみ性が高められるので、ワークの研磨面を精度良く研磨することが可能となる。

本発明に係る第１の平面研磨方法によれば、複数の押圧ローラを研磨ベルトの内面に押し当てた状態で、研磨ベルトの研磨処理位置へワークを送給してワーク表面を研磨するので、研磨ベルトと押圧ローラ間における摩擦抵抗を少なくして、摩擦抵抗により研磨ベルトが破損したり破断したりすることを効果的に防止することができる。また、設定間隔おきに並列状に設けた複数の押圧ローラを研磨ベルトの内面に押し当てるので、研磨処理位置における研磨ベルトの撓みが押圧ローラで規制され、研磨処理位置全体における研磨精度を一様に且つ十分に確保することが可能となる。更に、研磨ベルトの研磨面とワークの基準面間の距離が設定距離となるように、複数の押圧ローラを研磨ベルトに押し当てるので、カップ砥石等で研磨処理することなく、機械加工されたワークを研磨ベルトのみにより要求寸法まで研磨することが可能となり、設備経済的な負担の軽減、研磨工程の簡略化及び研磨時間の大幅な短縮化が可能となる。

本発明に係る第２の平面研磨方法によれば、第１の平面研磨方法と同様に押圧ローラを設けているので、摩擦抵抗により研磨ベルトが破損したり破断したりすることを効果的に防止できるとともに、研磨処理位置全体における研磨精度を一様に且つ十分に確保することが可能となる。加えて、研磨ベルトの回転方向に対して角度を付けてワークを送給するので、ローラ間における研磨ベルト全体を有効利用して研磨することが可能となり、例えば角度を小さく設定した場合には、研磨ベルトがワークに接している距離を長く設定して、ワークの研磨精度を向上でき、角度を大きく設定した場合には、研磨精度は多少低下するが、最大でローラ間の研磨ベルトの長さと同じサイズの大型なワークを研磨することが可能となる。

本発明に係る第３の平面研磨方法によれば、第１の平面研磨方法と同様に押圧ローラを設けているので、摩擦抵抗により研磨ベルトが破損したり破断したりすることを効果的に防止できるとともに、研磨処理位置全体における研磨精度を一様に且つ十分に確保することが可能となる。加えて、研磨ベルトとして、外周面に複数の砥石片を設定パターンで固定したものを用いているので、押圧ローラに対面する位置において砥石片が微妙に傾いて、砥石片の角部でワークを効率的に研磨することが可能となり、通常のサンドロールと比較して目詰まりの発生が少なくなり、効率的な研磨が可能となる。また、砥石片によりカップ砥石により研磨する場合と同レベルまで高精度に研磨できるので、カップ砥石等で研磨処理することなく、機械加工されたワークを平面研磨装置のみにより、要求寸法まで研磨することが可能となり、設備経済的な負担の軽減、研磨工程の簡略化及び研磨時間の大幅な短縮化が可能となる。しかも、研磨ベルトの回転方向に角度をつけてワークを送給した場合でも、ワークが研磨ベルトのベルト基材に接触することを防止して、ワークがベルト基材に接触することによる研磨ベルトの破損や破断を防止できる。

本発明に係る第４の平面研磨方法によれば、第３の平面研磨方法と同様に、押圧ローラ及び砥石片を固定した研磨ベルトを用いているので、第３の平面研磨方法と同様の作用が得られる。加えて、突起に適合した孔を有する治具等を用いることなく、突起を有するワークを連続的に研磨することが可能となる。また、押圧ローラとクッション材とにより、研磨ベルトに対するワークの当たりがよくなって、なじみ性が高められるので、ワークの研磨面を精度良く研磨することが可能となる。

以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
図１、図２に示すように、平面研磨装置１は、ワーク２を送給する無端ループ状の送給ベルト１１を有するワーク送給手段１０と、無端ループ状の研磨ベルト２１を有し、ワーク送給手段１０により研磨処理位置３へ送給されるワーク２の上面を研磨する研磨手段２０とを備えている。この平面研磨装置１は、ワーク２を乾式研磨する場合においても、湿式研磨する場合においても適用できる。

ワーク送給手段１０は、少なくとも１対の送給ローラ１２と、送給ローラ１２間に張設される無端ループ状の送給ベルト１１と、一方の送給ローラ１２を回転駆動して、送給ベルト１１を回転させる図示外の駆動手段とを備え、送給ベルト１１上にワーク２を載置した状態で、研磨処理位置３へワーク２を連続送り或いはタクト送り可能な周知の構成のものである。

研磨手段２０は、少なくとも１対のローラ２２と、ローラ２２間に張設される無端ループ状の研磨ベルト２１と、一方のローラ２２を回転駆動して、研磨ベルト２１を回転させる図示外の駆動手段と、複数の押圧ローラ２３を有するプラテン２４と、研磨処理位置３においてプラテン２４の押圧ローラ２３を研磨ベルト２１の下部ベルトの内側に押し当てる押圧操作手段２５とを備えている。

研磨ベルト２１と送給ベルト１１とは、研磨ベルト２１の回転方向（研磨処理位置３への研磨ベルト２１の送り方向）と送給ベルト１１の送給方向とが平行になるようにを配置することもできるが、図１〜図３に示すように、研磨ベルト２１の回転方向と送給ベルト１１の送給方向間に角度θが付くように、研磨ベルト２１と送給ベルト１１を配置すると、研磨ベルト２１の幅よりも大きなワーク２を研磨することができるので好ましい。また、ワーク送給手段１０と研磨手段２０の位置関係は固定してもよいが、図２、図３に示すように、研磨処理位置３を中心にワーク送給手段１０及び／又は研磨手段２０を回動できるように構成し、ワーク２のサイズに応じて角度θを調整できるように構成することも好ましい。角度θは、０°≦θ≦１８０°の任意の角度に設定できるが、基本的には研磨効率を重視する場合にはθ＝９０°に近づけ、研磨精度を高める場合には、θ＝０°又は１８０°に近づけることになる。尚、研磨ベルト２１及び送給ベルト１１の回転方向は任意に設定できる。

研磨ベルト２１としては、図１〜図４に示すように、クラフト紙などの紙、綿布や不織布などの布、紙と布を張り合わせた複合シートなどからなるベルト基材２６の外面に砥粒を付着させた周知のサンドベルトを用いることも可能であるが、ベルト基材２６に複数の砥石片２７を接着剤等により設定パターンで貼着したものを用いると、研磨ベルト２１の回転方向に対して角度θを付けてワーク２を送給した際に、ワーク２の角部がベルト基材２６に接触することを防止して、研磨ベルト２１の破損や破断を効果的に防止できるので好ましい。

砥石片２７としては、研磨ベルト２１の破損や破断を確実に防止するため、厚さ１．０〜１０．０ｍｍのものを好適に採用できる。また、砥石片２７の形状は、本実施例では菱形状と三角形状のものを用いたが、長方形状や正方形状などの多角形状の砥石片を採用することもできるし、それらを任意に組み合わせることも可能である。

プラテン２４は、図１〜図６に示すように、金属板等をプレス形成してなる断面下向きコ字状の支持部材２８と、支持部材２８の縦壁２８ａに回転自在に且つ設定間隔おきに並列状に架設支持した複数の押圧ローラ２３とを備えている。このプラテン２４は、複数の押圧ローラ２３の軸心が研磨ベルト２１の回転方向（ローラ２２の軸心方向）と平行で且つ下端が同一水平面内に配置され、複数の押圧ローラ２３が研磨ベルト２１の回転方向に設定間隔おきに並列状に配置されるように、押圧操作手段２５により研磨ベルト２１の内側に支持されている。

支持部材２８は、複数の押圧ローラ２３を回転自在に支持できるように構成されたものであれば、任意の素材及び任意の構成のものを採用できる。また、この支持部材２８は、押圧操作手段２５に対して一体的に組み付けることも可能であるが、着脱自在に取り付けると、ワーク２のサイズを変更したり、押圧ローラ２３が磨耗したりしたときに、プラテン２４を容易に交換できるので好ましい。

押圧ローラ２３は、金属材料からなる心棒２９に、合成樹脂材料や金属材料からなる筒状のローラ本体３０を、ベアリング等を介在させて回転自在に外嵌させたものである。ローラ本体３０を合成樹脂材料で構成する場合には、エンジニアプラスチック、デルリン、ウレタン、ＭＣナイロン、テフロン、ＮＢＲゴムなどを好適に採用でき、金属材料で構成する場合には、鉄、クロムメッキ品、超硬合金類などを好適に採用できる。但し、支持部材２８に対して押圧ローラ２３を容易に回転し得るように構成してあれば、ベアリング等は必ずしも必須の構成ではなく、省略することも可能である。

押圧ローラ２３の長さＬは、研磨ベルト２１の幅Ｗよりもやや大きなサイズに設定され、例えば５０ｍｍ〜１０００ｍｍに設定されている。また、押圧ローラ２３の直径Ｄは、ワーク２のサイズに応じて適宜に設定可能で、例えば直径は６ｍｍ〜１００ｍｍに設定されている。隣接する押圧ローラ２３の隙間ｔは、研磨処理位置３のワーク２に対して、できるだけ多数本の押圧ローラ２３が研磨ベルト２１を挟んで対面するように、例えば１ｍｍ〜３ｍｍに設定されている。但し、研磨処理位置３のワーク２に対して少なくとも３本、好ましくは４本以上の押圧ローラ２３が対面するように構成されていれば、隣接する押圧ローラ２３の隙間ｔは任意に設定できる。

押圧ローラ２３の本数は、研磨処理位置３を通過するワーク２の少なくとも全幅にわたって押圧ローラ２３が対面するように、ワーク２のサイズに応じて設定されている。但し、押圧ローラ２３の本数が増えると、研磨ベルト２１の送り抵抗が増大するので、ワーク２のサイズに応じた必要本数に設定することが好ましく、異なるサイズのワーク２を研磨する場合には、前述したようにプラテン２４を交換して対応することが好ましい。

押圧操作手段２５は、研磨処理位置３において研磨ベルト２１の研磨面とワーク２の基準面間の距離が設定距離となるように、研磨処理位置３における研磨ベルト２１の内側に押圧ローラ２３を押し当てるもので、図１〜図３に示すように、下面にプラテン２４が取付けられる略Ｌ字状の支持ベース３１と、支持ベース３１を上下方向に移動自在に案内する１対のガイドロッド３２と、支持ベース３１に固定されたナット部材３３及びそれに螺合するスクリューシャフト３４と、スクリューシャフト３４を回転駆動する図示外の駆動手段と、研磨処理位置３における研磨ベルト２１の研磨面の高さを直接的或いは間接的に検出する高さ検出手段３５と、駆動手段を制御する図示外の制御手段とを備えている。尚、ワーク２の基準面は、ワーク２の形状にもよるが、例えばワーク２の重心位置における水平面を基準面として設定したり、ワーク２の底面が平坦な場合には、ワークの底面を基準面と設定したりすることができる。

高さ検出手段３５は、変位センサーや可視光センサーなどで構成されている。この高さ検出手段３５により、研磨処理位置３における研磨ベルト２１の研磨面の高さ位置を直接的に検出することになる。尚、プラテン２４や押圧ローラ２３の高さ位置を検出し、これに基づいて研磨ベルト２１の研磨面の高さ位置を間接的に求めることも可能である。但し、この場合には、押圧ローラ２３や研磨ベルト２１の磨耗により、実際の研磨面の高さ位置に誤差が含まれるので、押圧ローラ２３や研磨ベルト２１の磨耗を測定する手段を設けて、これらの数値を加味して研磨ベルト２１の研磨面の高さ位置を求めることが好ましい。

制御手段では、高さ検出手段３５からの信号を受けて、研磨ベルト２１の研磨面とワーク２の基準面間の距離が設定距離となるように、サーボモータやステッピングモータなどからなる駆動手段を駆動して、プラテン２４の高さ位置を調整する。但し、プラテン２４の高さ位置を固定して、ワーク送給手段１０の高さ位置を制御することで、研磨ベルト２１の研磨面とワーク２の基準面間の距離が設定距離となるように制御することも可能である。また、制御手段に代えて、手動にて高さ調整することも可能である。

尚、支持ベース３１に、プラテン２４を研磨ベルト２１の回転方向に設定距離だけ往復移動させるスライド機構を設けたり、プラテン２４の中心を上下方向の軸心周りに設定角度だけ往復回動させる首振り機構を設けたりして、研磨ベルト２１の偏磨耗を防止するように構成することも可能である。

また、符号３６は、研磨時にワーク２に作用する研磨力を受け止める磁気吸着手段であり、この磁気吸着手段３６は、吸着状態と非吸着状態とに切り換え可能に構成されるとともに、研磨処理位置３において送給ベルト１１の上部ベルトの下側に配置されて、研磨ベルト２１の研磨力でワーク２が上部ベルト外から飛び出さないように、上部ベルトにより移送されるワーク２を磁力により上部ベルトに吸着保持するものである。但し、この磁気吸着手段３６は省略することも可能である。

この平面研磨装置１では、制御手段により駆動手段を制御して、研磨ベルト２１の研磨面とワーク２の基準面間の距離が設定距離となるように、プラテン２４の高さ位置を調整し、複数の押圧ローラ２３を研磨ベルト２１の内側に押し当てるとともに、研磨ベルト２１を回転駆動させた状態で、ワーク送給手段１０により研磨処理位置３へワーク２を順次送給してワーク２表面を研磨することになる。

このようにしてワーク２を研磨するとき、押圧ローラ２３は回転しながら研磨ベルト２１に圧接されるので、押圧ローラ２３と研磨ベルト２１間に大きな摩擦抵抗が発生することが防止され、従来のプラテンのように、摩擦抵抗により研磨ベルトが破損したり破断したりするという不具合が効果的に防止される。また、研磨ベルト２１の回転方向とワーク２の送給方向との角度θを付けた場合においても、押圧ローラ２３の外周面に沿って研磨ベルト２１が撓むことから、ワーク２の角部で研磨ベルト２１が破損したり破断したりするとう不具合が効果的に防止される。しかも、砥石片２７を貼り付けた研磨ベルト２１を用いると、研磨ベルト２１のベルト基材２６にワーク２の角部が接触することを確実に防止できるので、研磨ベルト２１の破損や破断を一層効果的に防止できることになる。

また、図６に示すように、隣接する押圧ローラ２３間において研磨ベルト２１は上方へ多少撓んで突出し、砥石片２７が多少傾いた状態となるので、底面がフラットな従来のプラテン２４を用いる場合と比較して、砥石片２７の側縁を利用してワーク２を研磨することが可能となり、ワーク２の研磨効率を格段に向上して、平面研磨装置１の処理能力を大幅に向上できる。しかも、この平面研磨装置１により設定寸法にワーク２を研磨できるので、この平面研磨装置１で研磨処理した後、カップ砥石で要求寸法まで研磨する必要がなく、研磨処理の処理時間を格段に短縮できる。

更に、研磨ベルト２１の回転方向とワーク２の送給方向間の角度θを調整することで、ローラ２２間における研磨ベルト２１全体を有効利用して研磨することが可能となり、例えば角度θを小さく設定した場合には、研磨ベルト２１がワーク２に接している距離を長く設定して、ワーク２の研磨精度を向上でき、角度θを大きく設定した場合には、研磨精度は多少低下するが、最大でローラ２２間の研磨ベルト２１の長さと同じサイズの大型なワーク２を研磨することが可能となる。しかもプラテン２４に関しても研磨処理位置３のサイズに応じたものと交換するだけでよいので、小型な平面研磨装置１を用いつつ、各種サイズのワーク２を効率的に研磨することが可能となる。

尚、本実施例では、押圧操作手段２５により、研磨ベルト２１の研磨面とワーク２の基準面間の距離が設定距離となるように、プラテン２４の高さ位置を制御したが、ワーク２の送給方向を研磨ベルト２１の回転方向に対して角度θを付ける場合には、この押圧操作手段２５に代えて、エアシリンダなどによりプラテン２４の押圧ローラ２３を研磨ベルト２１の内面に押圧するように構成した周知の押圧操作手段２５を採用することができる。この場合には、ワーク２を設定サイズに研磨することはできないが、研磨ベルト２１の回転方向に対して角度θを付けて、研磨処理位置３へワーク２を送給することで、ローラ２２間における研磨ベルト２１全体を有効利用して研磨することが可能となり、例えば角度θを小さく設定した場合には、研磨ベルト２１がワーク２に接している距離を長く設定して、ワーク２の研磨精度を向上でき、角度θを大きく設定した場合には、研磨精度は多少低下するが、最大でローラ２２間の研磨ベルト２１の長さと同じサイズの大型なワークを研磨することが可能となり、小型な平面研磨装置１を用いつつ大型なワーク２のバリ等を除去することができる。

次に、前記平面研磨装置１の構成を部分的に変更した他の実施例について説明する。尚、前記実施例と同一部材には同一符号を付してその詳細な説明を省略する。

（１）前記押圧ローラ２３に代えて、図７に示す押圧ローラ２３Ａのように、ローラ本体３０Ａの外周面に螺旋溝などからなるセレーション４０を形成したものを用いることもできる。このような押圧ローラ２３Ａを用いると、湿式研磨する場合においては、セレーション４０を通じてスラッジや水を外側へ排出することが可能となり、乾式研磨する場合には、セレーション４０を通じて熱を外部へ逃がすことができる。

（２）前記プラテン２４に代えて、図８（ａ）に示すプラテン２４Ｂのように、直径の異なる複数組の押圧ローラ２３、２３Ｂを、その下端を同一水平面内に配置させて、回転自在に支持部材２８内に併設したものを用いることもできる。また、図８（ｂ）に示すプラテン２４Ｃのように、中央部の押圧ローラ２３に代えて、金属製や合成樹脂製の押圧板４１を、その下面を押圧ローラ２３の下端と同一水平面内に配置させて設けたものを用いることもできる。

（３）図９に示すように、ワーク２として突起２ａを有するものを研磨する場合には、研磨ベルト２１を送給ベルト１１の下側に配置させ、送給ベルト１１の外周面に発泡ポリウレタンなどからなるクッション材４２を設け、突起２ａをクッション材４２側に向けてワーク２を送給ベルト１１に取り付けた状態で、ワーク２の下面に研磨ベルト２１を圧接させて、ワーク２を研磨することが好ましい。このように研磨すると、送給ベルト１１に対するワーク２の姿勢を安定化させることができ、ワーク２を精度良く研磨できるので好ましい。但し、送給ベルト１１を研磨ベルト２１の両側方（図９における紙面の前方及び後方）に配置される送給ベルトと、研磨ベルト２１の上側に配置される送給ベルトとに分割構成し、研磨ベルト２１の上側に配置される送給ベルトにのみワーク２を押さえるクッション材４２を設けることもできる。

（４）ワーク送給手段１０に代えて、図１０に示すような回転テーブル４６を備えたワーク送給手段４５を用いてもよい。この場合には、回転テーブル４６にワーク２をセットして、回転テーブル４６を連続回転或いは一定角度ずつタクト回転させながら、ワーク２を研磨することになる。また、このようなワーク送給手段４５を用いる場合には、図１１に示すように、回転テーブル４６の上下両側にワーク２の被研磨面が突出するように、回転テーブル４６にワーク２をセットするとともに、回転テーブル４６の上下両側に研磨手段２０を配置させて、上下の研磨ベルト２１によりワーク２を両面研磨することも可能である。更に、ワーク送給手段としては、送給ベルト１１や回転テーブル４６を用いたもの以外に、シリンダ等によりワーク２を突き出して送給するように構成したものなど、任意の構成のものを採用できる。更にまた、大型なワーク２を研磨する場合には、ワーク送給手段１０に代えて、ガントリーやロボットハンド等に研磨手段２０を取り付けて、研磨手段２０を移動させながらワーク２を研磨することも可能である。尚、図１０、図１１には図示していないが、図１０、図１１に示す平面研磨装置においても、押圧操作手段２５や高さ検出手段３５などが前記実施例と同様に設けられている。

平面研磨装置の全体構成を示す斜視図同平面研磨装置の平面図研磨ベルトと送給ベルトの角度を変更した状態を示す平面研磨装置の平面図図２のIV-IV線断面図（ａ）はプラテンの底面図、（ｂ）はプラテンの正面図プラテン付近の縦断面図他の構成の押圧ローラを組み付けたプラテンの正面図（ａ）は他の構成のプラテンの側面図、（ｂ）は他の構成のプラテンの側面図突起を有するワークを研磨する場合におけるプラテン付近の平面研磨装置の説明図回転テーブルを用いた他の構成の平面研磨装置の全体構成を示す斜視図回転テーブルを用いた他の構成の平面研磨装置の全体構成を示す斜視図

符号の説明

１平面研磨装置２ワーク
２ａ突起３研磨処理位置
１０ワーク送給手段１１送給ベルト
１２送給ローラ
２０研磨手段２１研磨ベルト
２２ローラ２３押圧ローラ
２４プラテン２５押圧操作手段
２６ベルト基材２７砥石片
２８支持部材２８ａ縦壁
２９心棒３０ローラ本体
３１支持ベース３２ガイドロッド
３３ナット部材３４スクリューシャフト
３５高さ検出手段３６磁気吸着手段
４０セレーション２３Ａ押圧ローラ
２３Ｂ押圧ローラ２４Ｂプラテン
２４Ｃプラテン４１押圧板
４２クッション材
４５ワーク送給手段４６回転テーブル

Claims

少なくとも１対のローラ間に張設される無端ループ状の研磨ベルトと、
前記ローラ間の研磨処理位置へワークを送給するワーク送給手段と、
前記研磨ベルトの回転中心と平行な軸心回りに回転自在に且つ設定間隔おきに並列状に支持した複数の押圧ローラと、
前記研磨処理位置において研磨ベルトの研磨面とワークの基準面間の距離が設定距離となるように、研磨処理位置における研磨ベルトの内側に押圧ローラを押し当てる押圧操作手段と、
を備えたことを特徴とする平面研磨装置。
前記ワーク送給手段によるワークの送給方向を研磨ベルトの回転方向に対して角度を付けた請求項１記載の平面研磨装置。
少なくとも１対のローラ間に張設される無端ループ状の研磨ベルトと、
前記ローラ間の研磨処理位置へ、研磨ベルトの回転方向に対して角度を付けてワークを送給するワーク送給手段と、
前記研磨ベルトの回転中心と平行な軸心回りに回転自在に且つ設定間隔おきに並列状に支持した複数の押圧ローラと、
前記研磨処理位置において研磨ベルトの内側に押圧ローラを押し当てる押圧操作手段と、
を備えたことを特徴とする平面研磨装置。
前記研磨ベルトとして、ベルト基材に複数の砥石片を設定パターンで固定したものを用いた請求項１〜３のいずれか１項記載の平面研磨装置。
少なくとも１対のローラ間に張設される無端ループ状の研磨ベルトであって、ベルト基材に複数の砥石片を設定パターンで固定した研磨ベルトと、
前記ローラ間の研磨処理位置へワークを送給するワーク送給手段と、
前記研磨ベルトの回転中心と平行な軸心回りに回転自在に且つ設定間隔おきに並列状に支持した複数の押圧ローラと、
前記研磨処理位置において研磨ベルトの内側に押圧ローラを押し当てる押圧操作手段と、
を備えたことを特徴とする平面研磨装置。
前記砥石片として厚さ１．０〜１０．０ｍｍのものを用いた請求項４又は５記載の平面研磨装置。
前記研磨ベルトを少なくとも研磨処理位置が対面するように１対設け、前記複数の押圧ローラを両研磨ベルトの内側にそれぞれ設け、前記押圧操作手段により押圧ローラを対応する研磨ベルトにそれぞれ押し当てて、両研磨ベルトにより、ワーク送給手段により送給されるワークを両面研磨する請求項１〜６のいずれか１項記載の平面研磨装置。
前記研磨処理位置のワークに対して少なくとも３本の押圧ローラが研磨ベルトを挟んで対面するように、前記複数の押圧ローラのピッチ及び直径を設定した請求項１〜７のいずれか１項記載の平面研磨装置。
前記押圧操作手段に着脱可能に取り付けた支持部材に、前記複数の押圧ローラを一体的に組み付けた請求項１〜８のいずれか１項記載の平面研磨装置。
少なくとも研磨処理位置においてワーク送給手段に、ワークの突起に応じて変形可能なクッション材を設け、このクッション材にワークの突起を埋設させるとともに、クッション材で突起とは反対側のワーク表面を研磨ベルトに圧接させて、ワーク表面を研磨する請求項１〜９のいずれか１項記載の平面研磨装置。
研磨ベルトの研磨面とワークの基準面間の距離が設定距離となるように、研磨ベルトの回転中心と平行な軸心回りに回転自在に且つ設定間隔おきに並列状に支持した複数の押圧ローラを研磨ベルトの内側に押し当てた状態で、研磨処理位置へワークを送給してワーク表面を研磨することを特徴とする平面研磨方法。
研磨ベルトの回転中心と平行な軸心回りに回転自在に且つ設定間隔おきに並列状に支持した複数の押圧ローラを研磨ベルトの内側に押し当てた状態で、研磨ベルトの回転方向に対して角度を付けて、研磨処理位置へワークを送給し、ワーク表面を研磨することを特徴とする平面研磨方法。
研磨ベルトの回転中心と平行な軸心回りに回転自在に且つ設定間隔おきに並列状に支持した複数の押圧ローラを研磨ベルトの内側に押し当てた状態で、研磨処理位置へワークを送給し、外周面に設定パターンで複数の砥石片を固定した研磨ベルトでワーク表面を研磨することを特徴とする平面研磨方法。
研磨ベルトの回転中心と平行な軸心回りに回転自在に且つ設定間隔おきに並列状に支持した複数の押圧ローラを研磨ベルトの内側に押し当てた状態で、研磨ベルトの研磨処理位置へワークを送給し、少なくとも研磨処理位置においてワークの突起をワーク送給手段のクッション材に埋設させながら、外周面に設定パターンで複数の砥石片を固定した研磨ベルトで、突起とは反対側のワーク表面を研磨することを特徴とする平面研磨方法。