JPH11300599A - ワークの片面研磨方法及び装置 - Google Patents
ワークの片面研磨方法及び装置Info
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- JPH11300599A JPH11300599A JP11349598A JP11349598A JPH11300599A JP H11300599 A JPH11300599 A JP H11300599A JP 11349598 A JP11349598 A JP 11349598A JP 11349598 A JP11349598 A JP 11349598A JP H11300599 A JPH11300599 A JP H11300599A
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- correction roller
- pad surface
- pad
- work
- contact pressure
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B53/00—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces
- B24B53/017—Devices or means for dressing, cleaning or otherwise conditioning lapping tools
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/16—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the load
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D5/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting only by their periphery; Bushings or mountings therefor
- B24D5/02—Wheels in one piece
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワークの片面を研磨加工しながら同時に定盤
のパッド面を修正することができる、生産効率に勝れた
ワークの研磨手段を得る。 【解決手段】 回転する定盤２のパッド面に、加圧手段
４によりワークＷを押し付けると共に、該パッド面にお
ける作業領域の幅と同等以上の長さを有する修正ローラ
ー１０を定盤２の半径方向に配置して押し付け、上記パ
ッド面でワークＷを研磨しながら、その研磨と同時に、
回転する上記修正ローラー１０によって該パッド面の表
面形状を修正する。
のパッド面を修正することができる、生産効率に勝れた
ワークの研磨手段を得る。 【解決手段】 回転する定盤２のパッド面に、加圧手段
４によりワークＷを押し付けると共に、該パッド面にお
ける作業領域の幅と同等以上の長さを有する修正ローラ
ー１０を定盤２の半径方向に配置して押し付け、上記パ
ッド面でワークＷを研磨しながら、その研磨と同時に、
回転する上記修正ローラー１０によって該パッド面の表
面形状を修正する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハや磁
気ディスク基板のようなディスク形をしたワークの片面
を研磨するための片面研磨方法とその装置とに関するも
のである。
気ディスク基板のようなディスク形をしたワークの片面
を研磨するための片面研磨方法とその装置とに関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】ワークＷの片面を研磨する片面研磨装置
は、図６及び図７に示すように、作業面に研磨パッド２
１が貼着された定盤２０と、ワークＷを定盤２０のパッ
ド面に押し付けるための複数のプレッシャープレート２
２とを有し、これらのプレッシャプレート２２に保持さ
せたワークＷを回転する定盤２０のパッド面に押し付け
て研磨するように構成されている。
は、図６及び図７に示すように、作業面に研磨パッド２
１が貼着された定盤２０と、ワークＷを定盤２０のパッ
ド面に押し付けるための複数のプレッシャープレート２
２とを有し、これらのプレッシャプレート２２に保持さ
せたワークＷを回転する定盤２０のパッド面に押し付け
て研磨するように構成されている。
【０００３】このような研磨装置においては、研磨加工
時に、定盤２０の内外周の速度差によりプレッシャプレ
ート２２が従動回転し、各ワークＷはパッド面上を円運
動しながら研磨される。このときのワークＷとパッド面
との接触頻度（接触長）はパッド面全体で均一ではな
く、定盤２０の半径方向の位置によって異なっている。
具体的には、定盤２０の外周側と内周側とで接触頻度が
少なく、中間部分で接触頻度が多くなる。このため、図
８に示すように、定盤２０のパッド面は作業領域の中間
部分が最も摩耗して凹形になり易く、この状態で研磨が
行われると、ワークの外周が過剰に研磨されていわゆる
ダレを生じ、平坦度が低下する。
時に、定盤２０の内外周の速度差によりプレッシャプレ
ート２２が従動回転し、各ワークＷはパッド面上を円運
動しながら研磨される。このときのワークＷとパッド面
との接触頻度（接触長）はパッド面全体で均一ではな
く、定盤２０の半径方向の位置によって異なっている。
具体的には、定盤２０の外周側と内周側とで接触頻度が
少なく、中間部分で接触頻度が多くなる。このため、図
８に示すように、定盤２０のパッド面は作業領域の中間
部分が最も摩耗して凹形になり易く、この状態で研磨が
行われると、ワークの外周が過剰に研磨されていわゆる
ダレを生じ、平坦度が低下する。
【０００４】このため通常は、ドレッサーを使用して定
期的にパッド面を修正するようにしているが、その修正
作業中はワークの研磨工程が中断されるため、生産効率
が悪いという問題がある。
期的にパッド面を修正するようにしているが、その修正
作業中はワークの研磨工程が中断されるため、生産効率
が悪いという問題がある。
【０００５】一方、研磨工程を中断することなくパッド
面を修正できる方法として、リテーナリングをパッド面
に接触させながら研磨する方法があるが、この方法は、
研磨パッドとリテーナリングとの相対運動があるため、
該リテーナリングが摩耗するという問題がある。
面を修正できる方法として、リテーナリングをパッド面
に接触させながら研磨する方法があるが、この方法は、
研磨パッドとリテーナリングとの相対運動があるため、
該リテーナリングが摩耗するという問題がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の主要な技術的
課題は、ワークの片面を研磨加工しながら同時に定盤の
パッド面を修正することができる、生産効率に勝れたワ
ークの研磨手段を提供することにある。
課題は、ワークの片面を研磨加工しながら同時に定盤の
パッド面を修正することができる、生産効率に勝れたワ
ークの研磨手段を提供することにある。
【０００７】本発明の他の技術的課題は、回転する修正
ローラーを使用してパッド面を修正することにより、従
来のリテーナリングに見られるような摩耗の問題を解決
することにある。
ローラーを使用してパッド面を修正することにより、従
来のリテーナリングに見られるような摩耗の問題を解決
することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明によれば、回転する定盤のパッド面に、加圧
手段によりワークを押し付けると共に、該パッド面にお
ける作業領域の幅と同等以上の長さを有する修正ローラ
ーを定盤の半径方向に配置して押し付け、上記パッド面
でワークを研磨しながら、その研磨と同時に、回転する
上記修正ローラーによって該パッド面の表面形状を修正
することを特徴とするワークの片面研磨方法が提供され
る。上記修正ローラーは、パッド面との摩擦のために定
盤の回転に従動して回転する。
め、本発明によれば、回転する定盤のパッド面に、加圧
手段によりワークを押し付けると共に、該パッド面にお
ける作業領域の幅と同等以上の長さを有する修正ローラ
ーを定盤の半径方向に配置して押し付け、上記パッド面
でワークを研磨しながら、その研磨と同時に、回転する
上記修正ローラーによって該パッド面の表面形状を修正
することを特徴とするワークの片面研磨方法が提供され
る。上記修正ローラーは、パッド面との摩擦のために定
盤の回転に従動して回転する。
【０００９】また、本発明によれば、上記方法を実施す
るため、研磨パッドが貼着された駆動回転自在の定盤；
ディスク形ワークを定盤のパッド面に押し付けるための
１つ以上の加圧手段；上記パッド面上に定盤の半径方向
に配設され、該パッド面に一定の接触圧で当接しながら
回転することによって該パッド面の表面形状を修正す
る、該パッド面における作業領域の幅と少なくとも同じ
長さを有する１つ以上の修正ローラー；上記修正ローラ
ーの接触圧を設定するための接触圧設定手段；を有する
ことを特徴とするワークの片面研磨装置が提供される。
るため、研磨パッドが貼着された駆動回転自在の定盤；
ディスク形ワークを定盤のパッド面に押し付けるための
１つ以上の加圧手段；上記パッド面上に定盤の半径方向
に配設され、該パッド面に一定の接触圧で当接しながら
回転することによって該パッド面の表面形状を修正す
る、該パッド面における作業領域の幅と少なくとも同じ
長さを有する１つ以上の修正ローラー；上記修正ローラ
ーの接触圧を設定するための接触圧設定手段；を有する
ことを特徴とするワークの片面研磨装置が提供される。
【００１０】本発明の好ましい具体的な構成態様によれ
ば、上記加圧手段と修正ローラー及び接触圧設定手段が
同数設けられていて、各加圧手段にそれぞれ、修正ロー
ラーが上下動自在に取り付けられると共に接触圧設定手
段が取り付けられている。上記接触圧設定手段はエアシ
リンダにより形成することができる。
ば、上記加圧手段と修正ローラー及び接触圧設定手段が
同数設けられていて、各加圧手段にそれぞれ、修正ロー
ラーが上下動自在に取り付けられると共に接触圧設定手
段が取り付けられている。上記接触圧設定手段はエアシ
リンダにより形成することができる。
【００１１】本発明の１つの具体例によれば、上記修正
ローラーが均一直径を有するように形成されている。
ローラーが均一直径を有するように形成されている。
【００１２】本発明の他の具体例によれば、上記修正ロ
ーラーが、軸線方向両端の直径が異なるテーパー付きロ
ーラーであって、小径端を定盤の内周側に向けると共に
大径端を定盤の外周側に向けて配設されている。
ーラーが、軸線方向両端の直径が異なるテーパー付きロ
ーラーであって、小径端を定盤の内周側に向けると共に
大径端を定盤の外周側に向けて配設されている。
【００１３】本発明の更に他の具体例によれば、上記修
正ローラーが、中間部がくびれたつづみ形をしている。
正ローラーが、中間部がくびれたつづみ形をしている。
【００１４】このような構成を有する本発明によれば、
ワークの片面を研磨加工しながら同時にパッド面を修正
することができるため、研磨工程を中断する必要がな
く、生産効率に勝れる。また、回転する修正ローラーを
パッド面に押し付けて修正するようにしているため、該
修正ローラーとパッド面との間の相対運動によって該修
正ローラが摩耗することがなく、耐久性にも勝れる。
ワークの片面を研磨加工しながら同時にパッド面を修正
することができるため、研磨工程を中断する必要がな
く、生産効率に勝れる。また、回転する修正ローラーを
パッド面に押し付けて修正するようにしているため、該
修正ローラーとパッド面との間の相対運動によって該修
正ローラが摩耗することがなく、耐久性にも勝れる。
【００１５】
【発明の実施の形態】図１及び図２は本発明に係る片面
研磨装置の一つの好ましい実施形態を概略的に示してい
る。図において１は一部を部分的に示す機体、２は該機
体１上に回転自在に配設された定盤であって、該定盤２
の上面には研磨パッド３が貼着されている。
研磨装置の一つの好ましい実施形態を概略的に示してい
る。図において１は一部を部分的に示す機体、２は該機
体１上に回転自在に配設された定盤であって、該定盤２
の上面には研磨パッド３が貼着されている。
【００１６】また、４はディスク形のワークＷを上記定
盤２のパッド面に押し付けるための加圧手段であって、
この加圧手段４は、機体１に取り付けられたエアシリン
ダ５と、このエアシリンダ５のロッド５ａの下端に回転
自在に取り付けられたプレッシャプレート６と、該プレ
ッシャプレート６の下面にリテーナリング８で着脱自在
に取り付けられたワーク保持ブロック７とを有してお
り、該ワーク保持ブロック７に貼着したワークＷを定盤
２のパッド面に押し付けて研磨するものである。このと
き、上記プレッシャプレート６は、ロッド５ａに回転自
在に取り付けられているため、ワークＷとパッド面との
間の摩擦と、定盤２の内外周の速度差とにより、定盤２
の回転に伴って従動回転し、各ワークＷがパッド面上を
円運動しながら研磨される。
盤２のパッド面に押し付けるための加圧手段であって、
この加圧手段４は、機体１に取り付けられたエアシリン
ダ５と、このエアシリンダ５のロッド５ａの下端に回転
自在に取り付けられたプレッシャプレート６と、該プレ
ッシャプレート６の下面にリテーナリング８で着脱自在
に取り付けられたワーク保持ブロック７とを有してお
り、該ワーク保持ブロック７に貼着したワークＷを定盤
２のパッド面に押し付けて研磨するものである。このと
き、上記プレッシャプレート６は、ロッド５ａに回転自
在に取り付けられているため、ワークＷとパッド面との
間の摩擦と、定盤２の内外周の速度差とにより、定盤２
の回転に伴って従動回転し、各ワークＷがパッド面上を
円運動しながら研磨される。
【００１７】上記片面研磨装置はまた、定盤２のパッド
面を修正するための修正ローラー１０と、該修正ローラ
ー１０のパッド面に対する接触圧を設定するための接触
圧設定手段１１とを備えている。これらの修正ローラー
１０と接触圧設定手段１１とは、それぞれ上記加圧手段
４と同数設けられていて、各加圧手段４に１つずつ組み
付けられている。
面を修正するための修正ローラー１０と、該修正ローラ
ー１０のパッド面に対する接触圧を設定するための接触
圧設定手段１１とを備えている。これらの修正ローラー
１０と接触圧設定手段１１とは、それぞれ上記加圧手段
４と同数設けられていて、各加圧手段４に１つずつ組み
付けられている。
【００１８】即ち、上記加圧手段４におけるロッド５ａ
には、プレッシャプレート６より上方の位置に支持部材
１３が取り付けられていて、この支持部材１３に、ロー
ラー支持用のブラケット１４が、リニアガイド機構１５
を介して上下動自在なるように取り付けられ、このブラ
ケット１４に形成された左右一対の支持部片１４ａ，１
４ａ間に、上記修正ローラー１０が水平軸線の回りに回
転自在なるように取り付けられている。
には、プレッシャプレート６より上方の位置に支持部材
１３が取り付けられていて、この支持部材１３に、ロー
ラー支持用のブラケット１４が、リニアガイド機構１５
を介して上下動自在なるように取り付けられ、このブラ
ケット１４に形成された左右一対の支持部片１４ａ，１
４ａ間に、上記修正ローラー１０が水平軸線の回りに回
転自在なるように取り付けられている。
【００１９】上記リニアガイド機構１５は、ブラケット
１４を直線的に上下動させ得るものであればどのような
機構であっても良く、例えば、レールと、このレールに
沿って摺動自在のスライダとによって構成することもで
きる。
１４を直線的に上下動させ得るものであればどのような
機構であっても良く、例えば、レールと、このレールに
沿って摺動自在のスライダとによって構成することもで
きる。
【００２０】また、上記修正ローラー１０は、研磨パッ
ド３と同様の合成樹脂素材によって該研磨パッド３より
も硬質の表面を有するように形成されたもので、各加圧
手段４における隣接するプレッシャプレート６，６間の
位置で、定盤２の半径方向に配設されている。この修正
ローラー１０は、図３からも明らかなように、パッド面
におけるワークＷと接触する作業領域の幅Ｈと少なくと
も同じ長さを有すると共に、全長に渡って均一な直径を
有するもので、パッド面に一定の接触圧で当接し、定盤
２の回転に伴って従属的に回転することにより、該パッ
ド面の表面形状を修正するものである。
ド３と同様の合成樹脂素材によって該研磨パッド３より
も硬質の表面を有するように形成されたもので、各加圧
手段４における隣接するプレッシャプレート６，６間の
位置で、定盤２の半径方向に配設されている。この修正
ローラー１０は、図３からも明らかなように、パッド面
におけるワークＷと接触する作業領域の幅Ｈと少なくと
も同じ長さを有すると共に、全長に渡って均一な直径を
有するもので、パッド面に一定の接触圧で当接し、定盤
２の回転に伴って従属的に回転することにより、該パッ
ド面の表面形状を修正するものである。
【００２１】上記支持部材１３にはまた、上記接触圧設
定手段１１を形成するエアシリンダ１１ａが支持金具１
７を介して取り付けられ、該エアシリンダ１１ａのロッ
ド１１ｂで上記ブラケット１４を押圧することにより、
修正ローラー１０をパッド面に一定の接触圧で押し付け
るようになっている。このエアシリンダ１１ａは、それ
に供給する空気圧を制御することによって上記接触圧を
調整することができるもので、接触圧を精密に制御する
場合は、修正ローラー１０又はブラケット１４に取り付
けた適宜のセンサで接触圧を検出し、それに基づいて供
給空気圧を制御するように構成することもできる。
定手段１１を形成するエアシリンダ１１ａが支持金具１
７を介して取り付けられ、該エアシリンダ１１ａのロッ
ド１１ｂで上記ブラケット１４を押圧することにより、
修正ローラー１０をパッド面に一定の接触圧で押し付け
るようになっている。このエアシリンダ１１ａは、それ
に供給する空気圧を制御することによって上記接触圧を
調整することができるもので、接触圧を精密に制御する
場合は、修正ローラー１０又はブラケット１４に取り付
けた適宜のセンサで接触圧を検出し、それに基づいて供
給空気圧を制御するように構成することもできる。
【００２２】上記構成を有する片面研磨装置において、
研磨すべきワークＷは、各加圧手段４におけるプレッシ
ャプレート６によって回転する定盤２のパッド面に押し
付けられ、研磨される。このとき、修正ローラー１０も
パッド面に所定の接触圧で押し付けられ、この修正ロー
ラー１０によるパッド面の修正がワークＷの研磨と並行
して行われる。従って、パッド面の修正のために研磨工
程を中断する必要がなく、生産性が良い。また、修正ロ
ーラー１０が定盤２の回転に従動して回転するため、該
修正ローラー１０とパッド面との間の相対運動によって
該修正ローラー１０が摩耗することがない。
研磨すべきワークＷは、各加圧手段４におけるプレッシ
ャプレート６によって回転する定盤２のパッド面に押し
付けられ、研磨される。このとき、修正ローラー１０も
パッド面に所定の接触圧で押し付けられ、この修正ロー
ラー１０によるパッド面の修正がワークＷの研磨と並行
して行われる。従って、パッド面の修正のために研磨工
程を中断する必要がなく、生産性が良い。また、修正ロ
ーラー１０が定盤２の回転に従動して回転するため、該
修正ローラー１０とパッド面との間の相対運動によって
該修正ローラー１０が摩耗することがない。
【００２３】上記実施例では、修正ローラー１０を定盤
２の回転に従属させて回転させるようにしているが、専
用の駆動機構を設けて強制的に回転させても良い。この
場合には、修正ローラーとして、パッド面を押圧するだ
けの合成樹脂製ローラーに代えて、ダイヤモンド砥粒を
電着した電着砥石のような修正機能のある素材からなる
ものを使用し、この修正ローラーをパッド面に対して相
対的に回転させることにより、該パッド面の形状を強制
的に成形するようにしても良い。また、図示した実施例
では、加圧手段４と修正ローラー１０及び接触圧設定手
段１１が複数組設けられているが、それらは１組であっ
ても良い。
２の回転に従属させて回転させるようにしているが、専
用の駆動機構を設けて強制的に回転させても良い。この
場合には、修正ローラーとして、パッド面を押圧するだ
けの合成樹脂製ローラーに代えて、ダイヤモンド砥粒を
電着した電着砥石のような修正機能のある素材からなる
ものを使用し、この修正ローラーをパッド面に対して相
対的に回転させることにより、該パッド面の形状を強制
的に成形するようにしても良い。また、図示した実施例
では、加圧手段４と修正ローラー１０及び接触圧設定手
段１１が複数組設けられているが、それらは１組であっ
ても良い。
【００２４】図４は修正ローラーの第２実施例を示すも
ので、この第２実施例の修正ローラー１０Ａは、軸線方
向両端の直径が異なるテーパー付きローラーであって、
小径端を定盤２の内周側に向けると共に大径端を定盤２
の外周側に向けて配設されている。
ので、この第２実施例の修正ローラー１０Ａは、軸線方
向両端の直径が異なるテーパー付きローラーであって、
小径端を定盤２の内周側に向けると共に大径端を定盤２
の外周側に向けて配設されている。
【００２５】このようなテーパー付きの修正ローラー１
０Ａを使用することによって、均一直径のローラーを使
用する場合に生じ易い、定盤２の内外周何れかの側で該
定盤２の回転速度差のために修正ローラとパッド面とが
僅かに擦れ合うという問題を確実に解消することができ
る。この場合にはもちろん、上記テーパー付きの修正ロ
ーラー１０Ａが、定盤２の内外周の速度差を吸収できる
ような寸法に形成される。
０Ａを使用することによって、均一直径のローラーを使
用する場合に生じ易い、定盤２の内外周何れかの側で該
定盤２の回転速度差のために修正ローラとパッド面とが
僅かに擦れ合うという問題を確実に解消することができ
る。この場合にはもちろん、上記テーパー付きの修正ロ
ーラー１０Ａが、定盤２の内外周の速度差を吸収できる
ような寸法に形成される。
【００２６】上記各実施例に示された修正ローラー１
０，１０Ａは、何れも、パッド面を平坦な面に修正する
ため円柱状又はテーパー状に形成されているが、パッド
面を僅かに上に凸の形をした曲面に修正する場合には、
修正ローラーを、図５に示す第３実施例の修正ローラー
１０Ｂのように、中間部がくびれたつづみ形とすること
もできる。
０，１０Ａは、何れも、パッド面を平坦な面に修正する
ため円柱状又はテーパー状に形成されているが、パッド
面を僅かに上に凸の形をした曲面に修正する場合には、
修正ローラーを、図５に示す第３実施例の修正ローラー
１０Ｂのように、中間部がくびれたつづみ形とすること
もできる。
【００２７】
【発明の効果】このように本発明によれば、ワークの片
面を研磨加工しながら同時にパッド面を修正することが
できるため、研磨工程を中断する必要がなく、生産効率
に勝れる。また、回転する修正ローラーをパッド面に押
し付けて修正するようにしているため、該修正ローラー
とパッド面との間の相対運動によって該修正ローラーが
摩耗することがなく、耐久性にも勝れる。
面を研磨加工しながら同時にパッド面を修正することが
できるため、研磨工程を中断する必要がなく、生産効率
に勝れる。また、回転する修正ローラーをパッド面に押
し付けて修正するようにしているため、該修正ローラー
とパッド面との間の相対運動によって該修正ローラーが
摩耗することがなく、耐久性にも勝れる。
【図１】本発明に係る片面研磨装置の一実施例を概略的
に示す要部側断面図である。
に示す要部側断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線での断面図である。
【図３】図１の要部拡大断面図である。
【図４】修正ローラーの第２実施例を示す図３と同様位
置での断面図である。
置での断面図である。
【図５】修正ローラーの第３実施例を示す図３と同様位
置での断面図である。
置での断面図である。
【図６】従来の片面研磨装置の要部側面図である。
【図７】図６の要部平面図である。
【図８】定盤の摩耗の状態を示す断面図である。
２ 定盤 ３ 研磨パッド ４ 加圧手段 １０，１０Ａ，１０Ｂ
修正ローラー １１ 接触圧設定手段
修正ローラー １１ 接触圧設定手段
Claims (8)
- 【請求項１】回転する定盤のパッド面に、加圧手段によ
りワークを押し付けると共に、該パッド面における作業
領域の幅と同等以上の長さを有する修正ローラーを定盤
の半径方向に配置して押し付け、上記パッド面でワーク
を研磨しながら、その研磨と同時に、回転する上記修正
ローラーによって該パッド面の表面形状を修正すること
を特徴とするワークの片面研磨方法。 - 【請求項２】請求項１に記載の研磨方法において、上記
修正ローラーを、パッド面との摩擦により定盤の回転に
従動させて回転させることを特徴とするもの。 - 【請求項３】研磨パッドが貼着された駆動回転自在の定
盤；ディスク形をしたワークを定盤のパッド面に押し付
けるための１つ以上の加圧手段；上記パッド面上に定盤
の半径方向に配設され、該パッド面に一定の接触圧で当
接しながら回転することによって該パッド面の表面形状
を修正する、該パッド面における作業領域の幅と少なく
とも同じ長さを持つ１つ以上の修正ローラー；上記修正
ローラーの接触圧を設定するための接触圧設定手段；を
有することを特徴とするワークの片面研磨装置。 - 【請求項４】請求項３に記載の片面研磨装置において、
上記加圧手段と修正ローラー及び接触圧設定手段が同数
設けられていて、各加圧手段にそれぞれ、修正ローラー
が上下動自在に取り付けられると共に、接触圧設定手段
が取り付けられていることを特徴とするもの。 - 【請求項５】請求項３又は４に記載の片面研磨装置にお
いて、上記接触圧設定手段がエアシリンダからなること
を特徴とするもの。 - 【請求項６】請求項３から５までの何れか１つに記載の
片面研磨装置において、上記修正ローラーが均一直径を
有することを特徴とするもの。 - 【請求項７】請求項３から５までの何れか１つに記載の
片面研磨装置において、上記修正ローラーが、軸線方向
両端の直径が異なるテーパー付きローラーであって、小
径端を定盤の内周側に向けると共に大径端を定盤の外周
側に向けて配設されていることを特徴とするもの。 - 【請求項８】請求項３から７までの何れか１つに記載の
片面研磨装置において、上記修正ローラーが、中間部が
くびれたつづみ形をしていることを特徴とするもの。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11349598A JPH11300599A (ja) | 1998-04-23 | 1998-04-23 | ワークの片面研磨方法及び装置 |
| US09/285,342 US6116997A (en) | 1998-04-23 | 1999-04-02 | Single side work polishing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11349598A JPH11300599A (ja) | 1998-04-23 | 1998-04-23 | ワークの片面研磨方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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