JPH09314457A - ドレッサ付き片面研磨装置 - Google Patents
ドレッサ付き片面研磨装置Info
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- JPH09314457A JPH09314457A JP15761096A JP15761096A JPH09314457A JP H09314457 A JPH09314457 A JP H09314457A JP 15761096 A JP15761096 A JP 15761096A JP 15761096 A JP15761096 A JP 15761096A JP H09314457 A JPH09314457 A JP H09314457A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B53/00—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/27—Work carriers
- B24B37/30—Work carriers for single side lapping of plane surfaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B53/00—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces
- B24B53/017—Devices or means for dressing, cleaning or otherwise conditioning lapping tools
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 定盤を修正するに当ってドレッサを加圧プレ
ートに対して着脱する必要のないドレッサ付き片面研磨
装置を得る。 【解決手段】 回転自在の定盤２と、ワーク６を貼り付
けるための貼着ブロック５と、該貼着ブロックを介して
上記ワークを定盤に押し付けるための複数の加圧プレー
ト４とを有する研磨装置において、１つの加圧プレート
４における上記貼着ブロック５を取り付けるための保持
リング１１ａを、定盤の作業面を修正するためのドレッ
サとして兼用させ、貼着ブロック５を取り外した状態で
上記保持リング１１ａを定盤２に押し付けることによ
り、該定盤の作業面を修正できるようにする。
ートに対して着脱する必要のないドレッサ付き片面研磨
装置を得る。 【解決手段】 回転自在の定盤２と、ワーク６を貼り付
けるための貼着ブロック５と、該貼着ブロックを介して
上記ワークを定盤に押し付けるための複数の加圧プレー
ト４とを有する研磨装置において、１つの加圧プレート
４における上記貼着ブロック５を取り付けるための保持
リング１１ａを、定盤の作業面を修正するためのドレッ
サとして兼用させ、貼着ブロック５を取り外した状態で
上記保持リング１１ａを定盤２に押し付けることによ
り、該定盤の作業面を修正できるようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハやガ
ラスウエハ、磁気ディスク基板、その他の電子部品や機
械部品のような、実質的に平らな面を持ったワークの片
面を定盤で研磨する片面研磨装置に関するものであり、
更に詳しくは、定盤の作業面を修正するためのドレッサ
を備えたドレッサ付き片面研磨装置に関するものであ
る。
ラスウエハ、磁気ディスク基板、その他の電子部品や機
械部品のような、実質的に平らな面を持ったワークの片
面を定盤で研磨する片面研磨装置に関するものであり、
更に詳しくは、定盤の作業面を修正するためのドレッサ
を備えたドレッサ付き片面研磨装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】モータにより駆動回転自在の定盤と、研
磨すべきワークを貼り付けるための貼着ブロックと、該
貼着ブロックを介して上記ワークを定盤に所要の加工圧
で押し付ける複数の加圧プレートとを有する片面研磨装
置は、従来より広く知られている。このような片面研磨
装置においては、ワークの研磨に伴って定盤の平坦度が
低下したり、パッドを使用している場合には該パッドの
目詰まりや偏摩耗が生じるなど、作業面の状態が次第に
悪くなり、それによって研磨精度が低下するため、定盤
の作業面は定期的に修正しなければならない。定盤の作
業面を修正する方法として、従来では、専用のドレッサ
を別途に用意し、これを加圧プレートに装着して定盤に
押し付けることにより、その作業面を修正するようにし
ていた。ところがこのように、専用のドレッサを加圧プ
レートに着脱して使用する方法は、その着脱作業が非常
に面倒で作業性が悪く、特に大形の片面研磨装置におい
ては、必然的にドレッサの寸法及び重量も大きくなり、
一人の力では動かせない程度に大形のものを使用するケ
ースが多いため、ドレッサの着脱作業がより面倒にな
り、危険性も増大する。しかも、ドレッサの不使用時に
は、該ドレッサを研磨装置の近くに収納しておかなけれ
ばならず、そのためのスペースや運搬のための手数等を
必要とする。
磨すべきワークを貼り付けるための貼着ブロックと、該
貼着ブロックを介して上記ワークを定盤に所要の加工圧
で押し付ける複数の加圧プレートとを有する片面研磨装
置は、従来より広く知られている。このような片面研磨
装置においては、ワークの研磨に伴って定盤の平坦度が
低下したり、パッドを使用している場合には該パッドの
目詰まりや偏摩耗が生じるなど、作業面の状態が次第に
悪くなり、それによって研磨精度が低下するため、定盤
の作業面は定期的に修正しなければならない。定盤の作
業面を修正する方法として、従来では、専用のドレッサ
を別途に用意し、これを加圧プレートに装着して定盤に
押し付けることにより、その作業面を修正するようにし
ていた。ところがこのように、専用のドレッサを加圧プ
レートに着脱して使用する方法は、その着脱作業が非常
に面倒で作業性が悪く、特に大形の片面研磨装置におい
ては、必然的にドレッサの寸法及び重量も大きくなり、
一人の力では動かせない程度に大形のものを使用するケ
ースが多いため、ドレッサの着脱作業がより面倒にな
り、危険性も増大する。しかも、ドレッサの不使用時に
は、該ドレッサを研磨装置の近くに収納しておかなけれ
ばならず、そのためのスペースや運搬のための手数等を
必要とする。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の主たる課題
は、定盤の作業面を修正するに当ってドレッサを加圧プ
レートに対して着脱する必要のない、取り扱いの容易な
ドレッサ付き片面研磨装置を提供することにある。本発
明の他の課題は、ドレッサの収納や保管のために特別な
手数やスペース等を必要としないドレッサ付き片面研磨
装置を提供することにある。本発明の更に他の課題は、
加圧プレートが必然的に有する部材をドレッサとして兼
用した、合理的設計のドレッサ付き片面研磨装置を提供
することにある。
は、定盤の作業面を修正するに当ってドレッサを加圧プ
レートに対して着脱する必要のない、取り扱いの容易な
ドレッサ付き片面研磨装置を提供することにある。本発
明の他の課題は、ドレッサの収納や保管のために特別な
手数やスペース等を必要としないドレッサ付き片面研磨
装置を提供することにある。本発明の更に他の課題は、
加圧プレートが必然的に有する部材をドレッサとして兼
用した、合理的設計のドレッサ付き片面研磨装置を提供
することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明のドレッサ付き片面研磨装置は、モータによ
り駆動回転自在の定盤と、ワークを貼り付けるための貼
着ブロックと、該貼着ブロックを介して上記ワークを定
盤に押し付けるための複数の加圧プレートとを有し、上
記加圧プレートの少なくとも一つが、定盤の作業面を修
正するためのドレッサを一体に備えていて、該ドレッサ
が、上記貼着ブロックを取り外した状態で加圧プレート
の下面に露出するように設けられていることを特徴とす
るものである。本発明において上記ドレッサは、加圧プ
レートを取り囲むリング状をしていることが望ましい。
め、本発明のドレッサ付き片面研磨装置は、モータによ
り駆動回転自在の定盤と、ワークを貼り付けるための貼
着ブロックと、該貼着ブロックを介して上記ワークを定
盤に押し付けるための複数の加圧プレートとを有し、上
記加圧プレートの少なくとも一つが、定盤の作業面を修
正するためのドレッサを一体に備えていて、該ドレッサ
が、上記貼着ブロックを取り外した状態で加圧プレート
の下面に露出するように設けられていることを特徴とす
るものである。本発明において上記ドレッサは、加圧プ
レートを取り囲むリング状をしていることが望ましい。
【０００５】また、本発明のドレッサ付き片面研磨装置
は、モータにより駆動回転自在の定盤と、研磨すべきワ
ークを貼り付けるための貼着ブロックと、該貼着ブロッ
クを介してワークを定盤に押し付けるための複数の加圧
プレートとを有し、上記各加圧プレートが、上記貼着ブ
ロックを嵌合するための保持リングを有していて、少な
くとも一つの加圧プレートの保持リングが、定盤の作業
面を修正するためのドレッサを兼用し、該保持リングで
兼用されるドレッサが、貼着ブロックを取り外した状態
で加圧プレートの下面に露出する構成であることを特徴
としている。
は、モータにより駆動回転自在の定盤と、研磨すべきワ
ークを貼り付けるための貼着ブロックと、該貼着ブロッ
クを介してワークを定盤に押し付けるための複数の加圧
プレートとを有し、上記各加圧プレートが、上記貼着ブ
ロックを嵌合するための保持リングを有していて、少な
くとも一つの加圧プレートの保持リングが、定盤の作業
面を修正するためのドレッサを兼用し、該保持リングで
兼用されるドレッサが、貼着ブロックを取り外した状態
で加圧プレートの下面に露出する構成であることを特徴
としている。
【０００６】本発明の一つの具体的な構成態様によれ
ば、上記ドレッサが、金属又はセラミックからなる母材
の修正面となる部分にダイヤモンド砥粒を電着すること
により構成されている。本発明の他の具体的な構成態様
によれば、上記ドレッサが、金属又はセラミックからな
る母材の修正面となる部分にダイヤモンド砥粒を電着す
ることにより構成され、該ドレッサの内面に、嵌合した
貼着ブロックを緩衝的に接触させるための緩衝部材が取
り付けられている。
ば、上記ドレッサが、金属又はセラミックからなる母材
の修正面となる部分にダイヤモンド砥粒を電着すること
により構成されている。本発明の他の具体的な構成態様
によれば、上記ドレッサが、金属又はセラミックからな
る母材の修正面となる部分にダイヤモンド砥粒を電着す
ることにより構成され、該ドレッサの内面に、嵌合した
貼着ブロックを緩衝的に接触させるための緩衝部材が取
り付けられている。
【０００７】上記構成を有する本発明のドレッサ付き片
面研磨装置においては、加圧プレートにドレッサが一体
的に備え付けられているから、定盤の作業面を修正する
際には、この加圧プレートを単に下降させてそのドレッ
サを回転する定盤に押し付けるだけで良く、従来のよう
に専用のドレッサを別途に用意し、これを修正作業毎に
加圧プレートに一々着脱する必要がない。従って、研磨
装置の取り扱いが非常に容易であって、修正作業を簡単
且つ迅速に行うことができ、しかも、大重量のドレッサ
の着脱作業に伴う事故の発生のおそれもなく、安全性が
極めて高い。そのうえ、ドレッサの収納や保管のために
特別な手数やスペース等も必要としないため、省力化及
び省スペース化を図ることもできる。また、上記ドレッ
サは、加圧プレートを取り囲むリング状に形成されてい
るため非常に軽量であり、それを加圧プレートに簡単に
取り付けることができると共に、その取り付けによる不
都合を生じることもない。更に、貼着ブロックを嵌合さ
せる目的で加圧プレートに設けられている保持リングを
ドレッサとして兼用することにより、専用のドレッサを
特別に取り付ける必要がなく、この結果、研磨装置を非
常に合理的で簡単な設計構造とすることができる。
面研磨装置においては、加圧プレートにドレッサが一体
的に備え付けられているから、定盤の作業面を修正する
際には、この加圧プレートを単に下降させてそのドレッ
サを回転する定盤に押し付けるだけで良く、従来のよう
に専用のドレッサを別途に用意し、これを修正作業毎に
加圧プレートに一々着脱する必要がない。従って、研磨
装置の取り扱いが非常に容易であって、修正作業を簡単
且つ迅速に行うことができ、しかも、大重量のドレッサ
の着脱作業に伴う事故の発生のおそれもなく、安全性が
極めて高い。そのうえ、ドレッサの収納や保管のために
特別な手数やスペース等も必要としないため、省力化及
び省スペース化を図ることもできる。また、上記ドレッ
サは、加圧プレートを取り囲むリング状に形成されてい
るため非常に軽量であり、それを加圧プレートに簡単に
取り付けることができると共に、その取り付けによる不
都合を生じることもない。更に、貼着ブロックを嵌合さ
せる目的で加圧プレートに設けられている保持リングを
ドレッサとして兼用することにより、専用のドレッサを
特別に取り付ける必要がなく、この結果、研磨装置を非
常に合理的で簡単な設計構造とすることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る片面研磨装置
の一実施例を図面に基づいて詳細に説明するに、この片
面研磨装置は、図１に全体を示すように、地上に据え付
けられる基台部１ａと、該基台部１ａの一端から立ち上
がった支持部１ｂと、該支持部１ｂに基端部を片持梁状
に支持されて上記基台部１ａ上にほぼ水平に延出する梁
状部１ｃとからなる機体１を備えている。
の一実施例を図面に基づいて詳細に説明するに、この片
面研磨装置は、図１に全体を示すように、地上に据え付
けられる基台部１ａと、該基台部１ａの一端から立ち上
がった支持部１ｂと、該支持部１ｂに基端部を片持梁状
に支持されて上記基台部１ａ上にほぼ水平に延出する梁
状部１ｃとからなる機体１を備えている。
【０００９】上記基台部１ａには、鉛直軸線の回りで回
転自在なるように配設されたワーク研磨用の定盤２と、
該定盤２を駆動するモータ３とが設けられ、上記梁状部
１ｃには、貼着ブロック５を介してワーク６を上記定盤
２に所要の加工圧で押し付ける複数の加圧プレート４
が、それぞれシリンダ７のピストンロッド８に取り付け
られて昇降自在に配設されると共に、定盤２の中央部に
研磨液を供給する給液ノズル９が設けられている。上記
定盤２の作業面には研磨パッド２ａが貼着され、この研
磨パッド２ａでワーク６が鏡面研磨されるようになって
いる。
転自在なるように配設されたワーク研磨用の定盤２と、
該定盤２を駆動するモータ３とが設けられ、上記梁状部
１ｃには、貼着ブロック５を介してワーク６を上記定盤
２に所要の加工圧で押し付ける複数の加圧プレート４
が、それぞれシリンダ７のピストンロッド８に取り付け
られて昇降自在に配設されると共に、定盤２の中央部に
研磨液を供給する給液ノズル９が設けられている。上記
定盤２の作業面には研磨パッド２ａが貼着され、この研
磨パッド２ａでワーク６が鏡面研磨されるようになって
いる。
【００１０】上記各加圧プレート４は、その下面に上記
貼着ブロック５を着脱自在に装着できるように構成され
ている。即ち、図２に示すように、円板形をした加圧プ
レート４の外周面には、円環状をした合成樹脂製の保持
リング１１が、その下半部を加圧プレート４より下方に
突出した状態で嵌着され、ボルト１２で該加圧プレート
４に固定されており、この保持リング１１内に、円板形
をした上記貼着ブロック５の上半部を嵌合することによ
り、該貼着ブロック５を加圧プレート４に取り付けられ
るようになっている。上記貼着ブロック５はセラミック
からなっていて、その下面にワックス等の手段によって
１枚又は複数枚のワーク６を貼着するものである。
貼着ブロック５を着脱自在に装着できるように構成され
ている。即ち、図２に示すように、円板形をした加圧プ
レート４の外周面には、円環状をした合成樹脂製の保持
リング１１が、その下半部を加圧プレート４より下方に
突出した状態で嵌着され、ボルト１２で該加圧プレート
４に固定されており、この保持リング１１内に、円板形
をした上記貼着ブロック５の上半部を嵌合することによ
り、該貼着ブロック５を加圧プレート４に取り付けられ
るようになっている。上記貼着ブロック５はセラミック
からなっていて、その下面にワックス等の手段によって
１枚又は複数枚のワーク６を貼着するものである。
【００１１】図３及び図４に示すように、上記複数の加
圧プレート４の中の何れか１つの加圧プレート４ａにお
いては、保持リング１１ａが定盤２の作業面を修正する
ためのドレッサを兼ねている。このドレッサ兼用の保持
リング１１ａは、金属又はセラミックからなるリング状
の母材の下面と内外両側面下端部とを、ダイヤモンド砥
粒を電着することによって修正面１５としたもので、セ
ラミック製の上記貼着ブロック５が嵌合する下半部１６
の内径をその他の保持リング１１のものより大径とし、
この下半部１６の内面に、該貼着ブロック５が直接接触
して傷付くのを防止するため、合成樹脂等からなるリン
グ状の緩衝部材１７を嵌合し、止め螺子１３で固定して
いる。この緩衝部材１７は、その下端部を保持リング１
１ａの下面より若干上方に位置させることにより、修正
面１５を覆い隠さないように取り付けられている。ま
た、上記保持リング１１ａの下面には、適宜間隔で小さ
な切り込み１８が複数設けられている。
圧プレート４の中の何れか１つの加圧プレート４ａにお
いては、保持リング１１ａが定盤２の作業面を修正する
ためのドレッサを兼ねている。このドレッサ兼用の保持
リング１１ａは、金属又はセラミックからなるリング状
の母材の下面と内外両側面下端部とを、ダイヤモンド砥
粒を電着することによって修正面１５としたもので、セ
ラミック製の上記貼着ブロック５が嵌合する下半部１６
の内径をその他の保持リング１１のものより大径とし、
この下半部１６の内面に、該貼着ブロック５が直接接触
して傷付くのを防止するため、合成樹脂等からなるリン
グ状の緩衝部材１７を嵌合し、止め螺子１３で固定して
いる。この緩衝部材１７は、その下端部を保持リング１
１ａの下面より若干上方に位置させることにより、修正
面１５を覆い隠さないように取り付けられている。ま
た、上記保持リング１１ａの下面には、適宜間隔で小さ
な切り込み１８が複数設けられている。
【００１２】保持リング１１がドレッサを兼用していな
いその他の加圧プレート４においては、上述したように
それらの保持リング１１が塩化ビニール等の合成樹脂で
形成されているため、これらの保持リング１１には、ド
レッサ兼用の保持リング１１ａに設けたような緩衝部材
を設ける必要はない。しかし、これらの保持リング１１
もセラミックや金属等で形成することができ、この場合
には、上記保持リング１１ａと同様に、貼着ブロック５
が嵌合する部分の内面に緩衝部材を付設しておくことが
望ましい。
いその他の加圧プレート４においては、上述したように
それらの保持リング１１が塩化ビニール等の合成樹脂で
形成されているため、これらの保持リング１１には、ド
レッサ兼用の保持リング１１ａに設けたような緩衝部材
を設ける必要はない。しかし、これらの保持リング１１
もセラミックや金属等で形成することができ、この場合
には、上記保持リング１１ａと同様に、貼着ブロック５
が嵌合する部分の内面に緩衝部材を付設しておくことが
望ましい。
【００１３】上記構成を有するドレッサ付き片面研磨装
置において、ワーク６を研磨するときは、通常の研磨装
置の場合と同様に、該ワーク６を貼着ブロック５の下面
にワックス等を用いて貼り付け、この貼着ブロック５を
各加圧プレート４，４ａの保持リング１１，１１ａ内に
嵌合させて装着する。そして、各加圧プレート４，４ａ
により貼着ブロック５を介してワーク６を回転する定盤
２に所要の加工圧で押し付け、研磨加工する。このとき
給液ノズル９から研磨液が供給される。
置において、ワーク６を研磨するときは、通常の研磨装
置の場合と同様に、該ワーク６を貼着ブロック５の下面
にワックス等を用いて貼り付け、この貼着ブロック５を
各加圧プレート４，４ａの保持リング１１，１１ａ内に
嵌合させて装着する。そして、各加圧プレート４，４ａ
により貼着ブロック５を介してワーク６を回転する定盤
２に所要の加工圧で押し付け、研磨加工する。このとき
給液ノズル９から研磨液が供給される。
【００１４】また、定盤２の作業面を修正するときは、
ドレッサ兼用の保持リング１１ａを有する加圧プレート
４ａにおいて、図３の左半部に示すように、その保持リ
ング１１ａから貼着ブロック５を取り外し、該保持リン
グ１１ａ即ちドレッサの下面を加圧プレート４の下方に
露出させる。そして、図５に示すように、加圧プレート
４ａを下降させて該保持リング１１ａの下面の修正面１
５を直接定盤２の作業面に押し付け、該定盤２を回転さ
せることによりその修正を行う。このとき、他の加圧プ
レート４は加工中であっても、非加工状態として上昇位
置に待機させておいても良い。
ドレッサ兼用の保持リング１１ａを有する加圧プレート
４ａにおいて、図３の左半部に示すように、その保持リ
ング１１ａから貼着ブロック５を取り外し、該保持リン
グ１１ａ即ちドレッサの下面を加圧プレート４の下方に
露出させる。そして、図５に示すように、加圧プレート
４ａを下降させて該保持リング１１ａの下面の修正面１
５を直接定盤２の作業面に押し付け、該定盤２を回転さ
せることによりその修正を行う。このとき、他の加圧プ
レート４は加工中であっても、非加工状態として上昇位
置に待機させておいても良い。
【００１５】かくして、加圧プレートにドレッサを一体
的に備え付けておくことにより、定盤２の作業面を修正
する際には、この加圧プレートを単に下降させてそのド
レッサを回転する定盤２に押し付けるだけで良く、従来
のように専用のドレッサを別途に用意し、これを修正作
業毎に加圧プレートに一々着脱する必要がない。従っ
て、研磨装置の取り扱いが非常に容易であって、修正作
業を簡単且つ迅速に行うことができ、しかも、大重量の
ドレッサの着脱作業に伴う事故の発生のおそれもなく、
安全性が極めて高い。そのうえ、ドレッサの収納や保管
のために特別な手数やスペース等も必要としないため、
省力化及び省スペース化を図ることもできる。
的に備え付けておくことにより、定盤２の作業面を修正
する際には、この加圧プレートを単に下降させてそのド
レッサを回転する定盤２に押し付けるだけで良く、従来
のように専用のドレッサを別途に用意し、これを修正作
業毎に加圧プレートに一々着脱する必要がない。従っ
て、研磨装置の取り扱いが非常に容易であって、修正作
業を簡単且つ迅速に行うことができ、しかも、大重量の
ドレッサの着脱作業に伴う事故の発生のおそれもなく、
安全性が極めて高い。そのうえ、ドレッサの収納や保管
のために特別な手数やスペース等も必要としないため、
省力化及び省スペース化を図ることもできる。
【００１６】また、上記ドレッサは、加圧プレート４ａ
を取り囲むリング状に形成されているため非常に軽量で
あると共に、構造も簡単であり、それを加圧プレート４
ａに簡単に取り付けることができる。更に、貼着ブロッ
ク５を嵌合させるための保持リングをドレッサとして兼
用することにより、専用のドレッサを特別に取り付ける
必要がなく、この結果、研磨装置を非常に合理的で簡単
な設計構造とすることができる。
を取り囲むリング状に形成されているため非常に軽量で
あると共に、構造も簡単であり、それを加圧プレート４
ａに簡単に取り付けることができる。更に、貼着ブロッ
ク５を嵌合させるための保持リングをドレッサとして兼
用することにより、専用のドレッサを特別に取り付ける
必要がなく、この結果、研磨装置を非常に合理的で簡単
な設計構造とすることができる。
【００１７】上記実施例では、複数の加圧プレート４の
うちの１つについて保持リングをドレッサとして兼用し
ているが、２つ又はそれ以上の加圧プレートに同様のド
レッサを設けることもでき、必要とあらば全部の加圧プ
レートに保持リング兼用のドレッサを設けることができ
る。また、必ずしも保持リングにドレッサを兼用させる
ことなく、保持リングとは別に、それを取り囲む専用の
ドレッサを加圧プレートに設けることもでき、あるい
は、上述したような保持リングを有しない構造の加圧プ
レートを有する研磨装置においては、少なくとも１つの
加圧プレートにリング状あるいはその他の形をした専用
のドレッサを設けることもできる。なお、本発明の技術
思想は、定盤の作業面に研磨クロスを貼り付けたものに
のみ適用し得るものではなく、研磨クロスを使用しない
他の研磨装置にも同様に適用できることは当然である。
うちの１つについて保持リングをドレッサとして兼用し
ているが、２つ又はそれ以上の加圧プレートに同様のド
レッサを設けることもでき、必要とあらば全部の加圧プ
レートに保持リング兼用のドレッサを設けることができ
る。また、必ずしも保持リングにドレッサを兼用させる
ことなく、保持リングとは別に、それを取り囲む専用の
ドレッサを加圧プレートに設けることもでき、あるい
は、上述したような保持リングを有しない構造の加圧プ
レートを有する研磨装置においては、少なくとも１つの
加圧プレートにリング状あるいはその他の形をした専用
のドレッサを設けることもできる。なお、本発明の技術
思想は、定盤の作業面に研磨クロスを貼り付けたものに
のみ適用し得るものではなく、研磨クロスを使用しない
他の研磨装置にも同様に適用できることは当然である。
【００１８】
【発明の効果】このように本発明によれば、定盤の作業
面を修正するに当ってドレッサを加圧プレートに対して
一々着脱する必要がないから、研磨装置の取り扱いが非
常に容易で、修正作業も簡単且つ迅速に行うことがで
き、しかも、大重量のドレッサの着脱作業に伴う事故の
発生のおそれもないため安全性が極めて高く、そのう
え、ドレッサの収納や保管のために特別な手数やスペー
ス等も必要としないため、省力化及び省スペース化を図
ることもできる。また、貼着ブロックを取り付けるため
の部材である保持リングをドレッサとして兼用すること
により、専用のドレッサを特別に取り付ける必要をなく
し、研磨装置を非常に合理的で簡単な設計構造とするこ
とができる。
面を修正するに当ってドレッサを加圧プレートに対して
一々着脱する必要がないから、研磨装置の取り扱いが非
常に容易で、修正作業も簡単且つ迅速に行うことがで
き、しかも、大重量のドレッサの着脱作業に伴う事故の
発生のおそれもないため安全性が極めて高く、そのう
え、ドレッサの収納や保管のために特別な手数やスペー
ス等も必要としないため、省力化及び省スペース化を図
ることもできる。また、貼着ブロックを取り付けるため
の部材である保持リングをドレッサとして兼用すること
により、専用のドレッサを特別に取り付ける必要をなく
し、研磨装置を非常に合理的で簡単な設計構造とするこ
とができる。
【図１】本発明に係る片面研磨装置の一実施例を示す側
面図である。
面図である。
【図２】図１の片面研磨装置における、ドレッサを兼ね
ない加圧プレートの拡大断面図である。
ない加圧プレートの拡大断面図である。
【図３】図１の片面研磨装置における、ドレッサを有す
る加圧プレートの拡大断面図であって、図の右半部は貼
着ブロックを取り付けた状態を示し、図の左半部は貼着
ブロックを取り外した状態を示すものである。
る加圧プレートの拡大断面図であって、図の右半部は貼
着ブロックを取り付けた状態を示し、図の左半部は貼着
ブロックを取り外した状態を示すものである。
【図４】ドレッサを兼ねる保持リングの部分省略拡大断
面図である。
面図である。
【図５】ドレッサを有する加圧プレートによる定盤の修
正状態を示す断面図である。
正状態を示す断面図である。
２ 定盤 ２ａ パッド ３ モータ ４ 加圧パッド ４ 貼着ブロック ６ ワーク １１ 保持リング １１ａ ドレッサ兼
用の保持リング １５ 修正面 １７ 緩衝部材
用の保持リング １５ 修正面 １７ 緩衝部材
Claims (5)
- 【請求項１】モータにより駆動回転自在の定盤と、研磨
すべきワークを貼り付けるための貼着ブロックと、該貼
着ブロックを介して上記ワークを定盤に押し付けるため
の複数の加圧プレートとを有し、 上記加圧プレートの少なくとも一つが、定盤の作業面を
修正するためのドレッサを一体に備えていて、該ドレッ
サが、上記貼着ブロックを取り外した状態で加圧プレー
トの下面に露出するように設けられている、ことを特徴
とするドレッサ付き片面研磨装置。 - 【請求項２】請求項１に記載の片面研磨装置において、
上記ドレッサが、加圧プレートを取り囲むリング状をし
ているもの。 - 【請求項３】モータにより駆動回転自在の定盤と、研磨
すべきワークを貼り付けるための貼着ブロックと、該貼
着ブロックを介して上記ワークを定盤に押し付けるため
の複数の加圧プレートとを有し、 上記各加圧プレートが、上記貼着ブロックを嵌合するた
めの保持リングを有していて、少なくとも一つの加圧プ
レートの保持リングが、定盤の作業面を修正するための
ドレッサを兼用し、該保持リングで兼用されるドレッサ
が、貼着ブロックを取り外した状態で加圧プレートの下
面に露出する構成である、ことを特徴とするドレッサ付
き片面研磨装置。 - 【請求項４】請求項１乃至３のいずれかに記載の片面研
磨装置において、上記ドレッサが、金属又はセラミック
からなる母材の修正面となる部分にダイヤモンド砥粒を
電着することにより構成されているもの。 - 【請求項５】請求項３に記載の片面研磨装置において、
上記ドレッサが、金属又はセラミックからなる母材の修
正面となる部分にダイヤモンド砥粒を電着することによ
り構成され、該ドレッサの内面に、嵌合した貼着ブロッ
クを緩衝的に接触させるための緩衝部材が取り付けられ
ているもの。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15761096A JPH09314457A (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | ドレッサ付き片面研磨装置 |
| TW086106918A TW348090B (en) | 1996-05-29 | 1997-05-22 | One side grinding device having dresser |
| US08/863,431 US5885140A (en) | 1996-05-29 | 1997-05-27 | Single-side abrasion apparatus with dresser |
| KR1019970021137A KR100237995B1 (ko) | 1996-05-29 | 1997-05-28 | 드레서가 부착된 편면 연마장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15761096A JPH09314457A (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | ドレッサ付き片面研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09314457A true JPH09314457A (ja) | 1997-12-09 |
Family
ID=15653497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15761096A Withdrawn JPH09314457A (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | ドレッサ付き片面研磨装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
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| JP (1) | JPH09314457A (ja) |
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| TW (1) | TW348090B (ja) |
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- 1997-05-27 US US08/863,431 patent/US5885140A/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-05-28 KR KR1019970021137A patent/KR100237995B1/ko not_active IP Right Cessation
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