JPS5981054A - 研磨布クリーニング方法 - Google Patents
研磨布クリーニング方法Info
- Publication number
- JPS5981054A JPS5981054A JP57189303A JP18930382A JPS5981054A JP S5981054 A JPS5981054 A JP S5981054A JP 57189303 A JP57189303 A JP 57189303A JP 18930382 A JP18930382 A JP 18930382A JP S5981054 A JPS5981054 A JP S5981054A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gear
- abraisive
- brush
- rotate
- cleaning
- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
- B24B41/002—Grinding heads
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、両面研ＷＩ装置の研１台布りリーニング用ブ
ラシ体に関する。
ラシ体に関する。
両面（ｌｉｔ賠装ｒｒｉＬ （ボリシング装置ｆともい
う）では、上下両定盤に取付けられた研磨、ｆｌｉが、
両面ｆυ［島を行なうことによって、目づまりを起こす
。劃えばシリプンウェハをシリカゲル系ωＦＭ剤、ある
いはコロイダルシリカ糸研胎剤で両…ｉ研磨した場合、
研磨布としてポリウレタン発泡体あるいはボリウ、レタ
ン含浸ポリエステル不織イｌｉを用いると、＋ｖｆ磨剤
および１υｆｌ！ｊ＃されたシリコンノＷによってイσ
［磨亜は目づま如を起し、それは数時間のω１磨で数百
μｍにも達する。このような目づまυは、両面研磨にお
ける加工速度の低下、研磨されたウェーハの加工精に、
ウェーハ表面へのきす発生などの悪影１Ｊをおよぼす。
う）では、上下両定盤に取付けられた研磨、ｆｌｉが、
両面ｆυ［島を行なうことによって、目づまりを起こす
。劃えばシリプンウェハをシリカゲル系ωＦＭ剤、ある
いはコロイダルシリカ糸研胎剤で両…ｉ研磨した場合、
研磨布としてポリウレタン発泡体あるいはボリウ、レタ
ン含浸ポリエステル不織イｌｉを用いると、＋ｖｆ磨剤
および１υｆｌ！ｊ＃されたシリコンノＷによってイσ
［磨亜は目づま如を起し、それは数時間のω１磨で数百
μｍにも達する。このような目づまυは、両面研磨にお
ける加工速度の低下、研磨されたウェーハの加工精に、
ウェーハ表面へのきす発生などの悪影１Ｊをおよぼす。
このため研磨布の目づま）を除去し、また研磨布の弐−
を洗浄する方法として種々の方法が実施されている。そ
の１つは、鋭利な刃をもったナイフで、研磨布の表面を
しごい−Ｃ１目づま夛した部分を取）去る方法。ｔた各
１σ「暦の終ｒ１σに、（ｕｆｓｌ布の表面をナイフで
しごいて洗浄する方法かめる。しかしこのような方法は
手間がかかる割には効果が薄く、表面のはんの数ｌｏμ
ｍの閑さまでにしか羽目がない。また上記方法による上
定盤側の１υｆ腑蒲の目づま夛除去は、作業上はとんど
効果がないぼか９か、上を向いて作業をするので能率が
極め−Ｃ悪いという不都合がある。
を洗浄する方法として種々の方法が実施されている。そ
の１つは、鋭利な刃をもったナイフで、研磨布の表面を
しごい−Ｃ１目づま夛した部分を取）去る方法。ｔた各
１σ「暦の終ｒ１σに、（ｕｆｓｌ布の表面をナイフで
しごいて洗浄する方法かめる。しかしこのような方法は
手間がかかる割には効果が薄く、表面のはんの数ｌｏμ
ｍの閑さまでにしか羽目がない。また上記方法による上
定盤側の１υｆ腑蒲の目づま夛除去は、作業上はとんど
効果がないぼか９か、上を向いて作業をするので能率が
極め−Ｃ悪いという不都合がある。
他の１つの方法は、円筒状のブラシを上下定盤間に挾ん
Ｃ上下両定盤にａ対的回転を与えて、目づまシを除去し
研）ｄイｂを洗浄する方法である。この方法は、定盤の
内周側と外周囲とでブラシの暦耗量が異るためブラシの
寿命が短かいこと、目づまシ除去と洗浄の程度が研磨布
上で差が生じ、すなわち均一にならないという不都合が
あった。
Ｃ上下両定盤にａ対的回転を与えて、目づまシを除去し
研）ｄイｂを洗浄する方法である。この方法は、定盤の
内周側と外周囲とでブラシの暦耗量が異るためブラシの
寿命が短かいこと、目づまシ除去と洗浄の程度が研磨布
上で差が生じ、すなわち均一にならないという不都合が
あった。
〔発明の目的〕
本発明は上述の不都合を除去するためになされたもので
、人手をわずられすことなく、均一にしかも高能率に研
磨伸の目づま）を解消する研磨布クリーニング用ブラシ
体を提供することを目的とする。
、人手をわずられすことなく、均一にしかも高能率に研
磨伸の目づま）を解消する研磨布クリーニング用ブラシ
体を提供することを目的とする。
本発明は、太陽歯車およびインターナル歯車にかみ会っ
て両歯車により回転駆動される遊星山車、いわゆるキャ
リアと同じよりな由単にブラシを設け、上下両定盤を回
転させるとともに、この遊星歯車を太陽歯車、インター
ナル歯車により回転駆動して、そのブラシの回転によ’
） ４ｒ）ｆ ＨＡｂの目づまシを除去する研磨布クリ
ーニング用ブラシ体である。
て両歯車により回転駆動される遊星山車、いわゆるキャ
リアと同じよりな由単にブラシを設け、上下両定盤を回
転させるとともに、この遊星歯車を太陽歯車、インター
ナル歯車により回転駆動して、そのブラシの回転によ’
） ４ｒ）ｆ ＨＡｂの目づまシを除去する研磨布クリ
ーニング用ブラシ体である。
以下本発明の静ａｋ図示の実ＭＭ例により説１ノＪする
。第１図〜第４図において、（１）は合成噌尉；信から
なる環形板状部材の外ｌＩｌにｉｍ ｔ２） 、・・・
を刻設して形成した遊星歯車で、そのモジュールは太１
ｕ歯車（３）。
。第１図〜第４図において、（１）は合成噌尉；信から
なる環形板状部材の外ｌＩｌにｉｍ ｔ２） 、・・・
を刻設して形成した遊星歯車で、そのモジュールは太１
ｕ歯車（３）。
インターナル歯車（４）と同じで両歯車（Ｊ）、（４）
にか・失合って回転駆動される。この遊星歯車（１）の
一方の主面（５）には外周に近く譲状にナイロン線束か
らなるブラシ（８）が埋め込まれてい−Ｃ１ブラシ体ｔ
ｌＩを構成する。
にか・失合って回転駆動される。この遊星歯車（１）の
一方の主面（５）には外周に近く譲状にナイロン線束か
らなるブラシ（８）が埋め込まれてい−Ｃ１ブラシ体ｔ
ｌＩを構成する。
なお本実施例ならびに関連部分の４１り成諸元は、のピ
ッチ円直径２４１．３ｍｍ、モジュール２．１．インタ
ーナル歯車（４）のピッチ円径８６３．５朋、モジー−
ル２．１で、ブラシ体向は、 、−°。
ッチ円直径２４１．３ｍｍ、モジュール２．１．インタ
ーナル歯車（４）のピッチ円径８６３．５朋、モジー−
ル２．１で、ブラシ体向は、 、−°。
° ゛ その遊星歯車（１）は
ピッチ内径３１１．１１１１１１１ 、モジュール２．
１．ｌ質はナイロン６６で厚さは１５ｍｍ、ブック（８
）のナイロン線束は、線径０．４ｇ＋＋に、を束ねて４
朋径とし、これを半径方゛向に３列に並べ、幅１５ｍｍ
とした。そしてその幅の中央が遊星歯車ｔｉ＞の中心か
ら半径７３ｍｍの円環状になるように涯込み、ブラシ（
８）を構成するナイロン線束の長さは１０朋とした。
ピッチ内径３１１．１１１１１１１ 、モジュール２．
１．ｌ質はナイロン６６で厚さは１５ｍｍ、ブック（８
）のナイロン線束は、線径０．４ｇ＋＋に、を束ねて４
朋径とし、これを半径方゛向に３列に並べ、幅１５ｍｍ
とした。そしてその幅の中央が遊星歯車ｔｉ＞の中心か
ら半径７３ｍｍの円環状になるように涯込み、ブラシ（
８）を構成するナイロン線束の長さは１０朋とした。
第５図に示すものは第２の実施列で、遊星山車（１）の
両面にブラシ（８）を設けたブラシ体（１１）である。
両面にブラシ（８）を設けたブラシ体（１１）である。
第６図は第３の実施例であって、遊星歯車（１）の一方
の而にブラシ（８）を上述の場合と同様に設け、ブラシ
（８）のない能力の向に譲状の同心溝（１２１，・・・
を設けたブラシ体Ｑａ１でおる。
の而にブラシ（８）を上述の場合と同様に設け、ブラシ
（８）のない能力の向に譲状の同心溝（１２１，・・・
を設けたブラシ体Ｑａ１でおる。
次に、これらのブラシ体向を用いてクリーニングする。
場合を、作用とともに説明する。クリーニング用のプラ
゛シ体向を、両面イｔＩＦ磨装置の太陽歯車（３）とイ
ンターナル歯車（４）に遊星山車（１）がかみ会うよう
にして上定盤面の研磨ａｈｕｂｌ上に取付ける。このと
き対象性を考慮して、４個の同型のブラシ体向、・・・
を取９イ］けるとよい。ブラシ（８）が片面にしかない
場合には、第３図、第４図に示すように４個の中２個全
ブラシ（８）が上向きになるように取り付け、他の２個
を下向きになるように取付ける。
゛シ体向を、両面イｔＩＦ磨装置の太陽歯車（３）とイ
ンターナル歯車（４）に遊星山車（１）がかみ会うよう
にして上定盤面の研磨ａｈｕｂｌ上に取付ける。このと
き対象性を考慮して、４個の同型のブラシ体向、・・・
を取９イ］けるとよい。ブラシ（８）が片面にしかない
場合には、第３図、第４図に示すように４個の中２個全
ブラシ（８）が上向きになるように取り付け、他の２個
を下向きになるように取付ける。
このとき上向きと、下向きと９０度間隔で父互に配置す
る。次に下定盤μ７）′Ｉｒ、’Ｆ降させ、ブラシ（８
）先端に上定盤面に取付けた研磨布−の表面が接触ノー
るようにした後、さらに１ ｍｍ〜２朋程度下降させ、
ブラシ（８）先端に変形を与える。仄に上Ｆ定ｎ１Ｅｔ
＋！’９．αＤ。
る。次に下定盤μ７）′Ｉｒ、’Ｆ降させ、ブラシ（８
）先端に上定盤面に取付けた研磨布−の表面が接触ノー
るようにした後、さらに１ ｍｍ〜２朋程度下降させ、
ブラシ（８）先端に変形を与える。仄に上Ｆ定ｎ１Ｅｔ
＋！’９．αＤ。
太陽−車（３）、インターナル歯車単（４）全通常の研
ｒｄ条件と同一の回転数で回転させる。欠施例では、上
定盤頼）は２Ｏｒ、ｐ、ｒｎ、下定盤（１９は６０ｒ、
ｐ、ｍ、太陽歯車（３）は３０ｒ、ｐ、ｒｎ、インター
ナル歯車（４）は１９ ｒ、 ｐ、ｍとし、純水を上定
盤ｕ′θ側の研磨剤供給孔り１から注ぎ込む。上述のよ
うにして両面研磨装置を作動させると、ブラシ（８）は
自転しながら太陽歯車（３）の周囲を公転し、研磨４ｈ
四、賭はクリーニングされる。
ｒｄ条件と同一の回転数で回転させる。欠施例では、上
定盤頼）は２Ｏｒ、ｐ、ｒｎ、下定盤（１９は６０ｒ、
ｐ、ｍ、太陽歯車（３）は３０ｒ、ｐ、ｒｎ、インター
ナル歯車（４）は１９ ｒ、 ｐ、ｍとし、純水を上定
盤ｕ′θ側の研磨剤供給孔り１から注ぎ込む。上述のよ
うにして両面研磨装置を作動させると、ブラシ（８）は
自転しながら太陽歯車（３）の周囲を公転し、研磨４ｈ
四、賭はクリーニングされる。
例えば４インチのシリコンウェハ２０ 枚ｔ−コロイダ
ルシリカ１Ｌｌｆ ｍ剤、ポリウレタン含浸ポリエステ
ル不織布の研磨布で両面研磨をくシ返し、１ｏ回行った
後には、研磨剤およびシリコンボリジングぐずが堆積し
、萌謔イ１ｊ（Ｉす、α樽表面には薄茶色に着色した目
づ゛まりの部分が幅広く形成される。この研Ｖ ＩＩ
ｔｉｅ 、（至）を上ね己の方法で２分間クリーニング
すると、着色した部分は完全に除去され（ｕｆ Ｗ！イ
ｈａ（ａ、ｕ樽はもとの色に戻り、目づま９が除去され
ていた。
ルシリカ１Ｌｌｆ ｍ剤、ポリウレタン含浸ポリエステ
ル不織布の研磨布で両面研磨をくシ返し、１ｏ回行った
後には、研磨剤およびシリコンボリジングぐずが堆積し
、萌謔イ１ｊ（Ｉす、α樽表面には薄茶色に着色した目
づ゛まりの部分が幅広く形成される。この研Ｖ ＩＩ
ｔｉｅ 、（至）を上ね己の方法で２分間クリーニング
すると、着色した部分は完全に除去され（ｕｆ Ｗ！イ
ｈａ（ａ、ｕ樽はもとの色に戻り、目づま９が除去され
ていた。
上記の実力出側においては片面にブラシ（８）を設けた
ものを１史用したが、第５図の第２実施ν１］のように
両面にブラシ１Ｂ） 、 （８）を設けたグラブ体住υ
でもよく、′また第６図の２１４３実施例のように能力
の面にｅ ａｔを設けたブラシ体Ｕ漕は、上定盤Ｕηを
上昇させたとき、これに密層して一諸に上昇するような
不都合が防止できる。
ものを１史用したが、第５図の第２実施ν１］のように
両面にブラシ１Ｂ） 、 （８）を設けたグラブ体住υ
でもよく、′また第６図の２１４３実施例のように能力
の面にｅ ａｔを設けたブラシ体Ｕ漕は、上定盤Ｕηを
上昇させたとき、これに密層して一諸に上昇するような
不都合が防止できる。
以上計速したように、本発明の研磨布クリーニング用ブ
ラシ体は、太陽歯車とインターナル歯車とにかみ合う歯
をもった遊星歯車にブラシを設けて構成したので、上定
盤と下定盤のそれぞれの研磨布に接触したブラシが、自
転しながら公転するので、研磨布を人手を要さずに、均
一に高能率にクリーニングすることができる。
ラシ体は、太陽歯車とインターナル歯車とにかみ合う歯
をもった遊星歯車にブラシを設けて構成したので、上定
盤と下定盤のそれぞれの研磨布に接触したブラシが、自
転しながら公転するので、研磨布を人手を要さずに、均
一に高能率にクリーニングすることができる。
第１図は本発明のｇ １の実施例の正面図、第２図は同
じ＜ ｉｕｔ＋面図、第３図は第１の実施例の取付は状
態を説明するだめの研磨装置の要部平面図、第４図は同
じく要部断面正面図、第５図は本発明の第２の実施例の
正面図、第６図は同じく第３の実施例の正面図である。 （１）：遊星歯車、 （３） ：太陽歯車。 （４）：インターナル歯車、 （８）：プラ シ。 （ハ）：下定盤、 四：ω［ｍイｌ。 Ｑ７）：上定盤、 Ｕ樽：研磨布。 代理人 弁理士 則近憲佑 （ほか１名）’１図 電４図 ′逝６図 ３ １２／ｌ 、７
じ＜ ｉｕｔ＋面図、第３図は第１の実施例の取付は状
態を説明するだめの研磨装置の要部平面図、第４図は同
じく要部断面正面図、第５図は本発明の第２の実施例の
正面図、第６図は同じく第３の実施例の正面図である。 （１）：遊星歯車、 （３） ：太陽歯車。 （４）：インターナル歯車、 （８）：プラ シ。 （ハ）：下定盤、 四：ω［ｍイｌ。 Ｑ７）：上定盤、 Ｕ樽：研磨布。 代理人 弁理士 則近憲佑 （ほか１名）’１図 電４図 ′逝６図 ３ １２／ｌ 、７
Claims (2)
- （１）研磨布が取旬けられ回転駆動される上下両定盤お
よびこれら定盤と同軸に設けられて回転駆動される太陽
歯車および上記下定盤の外側に同軸に設けられて回転駆
動されるインターナル歯車を有する研磨装置の上記太陽
歯車と上記インターナル歯車とにかみ合い上記両歯車に
よυ回転駆動される遊星歯車と、上記遊星歯車の表具画
面の少くともいｒれか一方の而に設けられて上記研磨布
をクリー二／グするブラシとを具備したことを特徴とす
る研磨イトクリーニング用ブラシ体。 - （２）遊星歯車の一方の向にのみブラシが設けられてお
シ、他方の曲に１状の溝が設置づられていることを特徴
とする峙Ｉｔ′Ｆｉ１１１求の範囲第１項記載の研磨布
クリーニング用ブラシ体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57189303A JPS5981054A (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | 研磨布クリーニング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57189303A JPS5981054A (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | 研磨布クリーニング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5981054A true JPS5981054A (ja) | 1984-05-10 |
| JPH0234746B2 JPH0234746B2 (ja) | 1990-08-06 |
Family
ID=16239072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57189303A Granted JPS5981054A (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | 研磨布クリーニング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5981054A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5885140A (en) * | 1996-05-29 | 1999-03-23 | Speedfam Co., Ltd. | Single-side abrasion apparatus with dresser |
| US6338672B1 (en) * | 1998-12-21 | 2002-01-15 | White Hydraulics, Inc. | Dressing wheel system |
| JP2008137153A (ja) * | 2008-01-28 | 2008-06-19 | Sumitomo Metal Fine Technology Co Ltd | 両面研摩装置並びにこれに使用されるブラシ及びドレッサ |
| US8002610B2 (en) | 1999-05-17 | 2011-08-23 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation | Double side polishing method and apparatus |
| US20140143962A1 (en) * | 2012-11-27 | 2014-05-29 | Techtronic Floor Care Technology Limited | Brush head for an electric toothbrush |
| CN107520754A (zh) * | 2017-08-11 | 2017-12-29 | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 | 一种研磨机清洗机构 |
-
1982
- 1982-10-29 JP JP57189303A patent/JPS5981054A/ja active Granted
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5885140A (en) * | 1996-05-29 | 1999-03-23 | Speedfam Co., Ltd. | Single-side abrasion apparatus with dresser |
| US6338672B1 (en) * | 1998-12-21 | 2002-01-15 | White Hydraulics, Inc. | Dressing wheel system |
| US7101264B2 (en) | 1998-12-21 | 2006-09-05 | White Drive Products, Inc. | Dressing wheel system |
| US8002610B2 (en) | 1999-05-17 | 2011-08-23 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation | Double side polishing method and apparatus |
| JP2008137153A (ja) * | 2008-01-28 | 2008-06-19 | Sumitomo Metal Fine Technology Co Ltd | 両面研摩装置並びにこれに使用されるブラシ及びドレッサ |
| US20140143962A1 (en) * | 2012-11-27 | 2014-05-29 | Techtronic Floor Care Technology Limited | Brush head for an electric toothbrush |
| US8966698B2 (en) * | 2012-11-27 | 2015-03-03 | Techtronic Floor Care Technology Limited | Brush head for an electric toothbrush |
| CN107520754A (zh) * | 2017-08-11 | 2017-12-29 | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 | 一种研磨机清洗机构 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0234746B2 (ja) | 1990-08-06 |
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