JP2009105377A - 浮上搬送装置及び浮上ユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】支持フレーム3に基板Wを搬送方向へ搬送する搬送ユニット11が設けられ、支持フレーム3に複数の浮上ユニット37が搬送方向及び搬送幅方向に沿って設けられ、各浮上ユニット37は、上面に空気を噴出するノズル41が形成された浮上ユニット本体39と、浮上ユニット本体39の下面中央に設けられかつ内部が浮上ユニット本体39の内部に連通した浮上ユニット脚43とをそれぞれ備え、浮上ユニット脚43の搬送方向の最大外形寸法が浮上ユニット本体39の搬送方向の最大外形寸法よりも小さくなっていること。
【選択図】 図1
Description
本発明の第1実施形態について図1から図5を参照して説明する。
本発明の第2実施形態について図6から図8を参照して説明する。
W 基板
1 浮上搬送装置
3 支持フレーム
5 支持台
11 搬送ユニット
25 チャンバー
27 取入口
29 貫通穴
31 ファン
37 浮上ユニット
39 浮上ユニット本体
41 ノズル
43 浮上ユニット脚
45 浮上搬送装置
47 遮蔽板
Claims (10)
- 基板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送する浮上搬送装置において、
支持フレームと、
前記支持フレームに設けられ、基板を搬送方向へ搬送する搬送ユニットと、
前記支持フレームに前記搬送方向及び前記搬送方向に直交する搬送幅方向に沿って設けられ、上面に気体を噴出するノズルが形成された浮上ユニット本体と、前記浮上ユニット本体の下面に設けられかつ内部が前記浮上ユニット本体の内部に連通した浮上ユニット脚とをそれぞれ備え、前記浮上ユニット脚の前記搬送方向の最大外形寸法が前記浮上ユニット本体の前記搬送方向の最大外形寸法よりも小さくなってあって、各浮上ユニット脚が気体を供給する気体供給源にそれぞれ接続され、気体の圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、
を具備したことを特徴とする浮上搬送装置。 - 各浮上ユニットは、側面視形状が前記浮上ユニット本体と前記浮上ユニット脚によってT字形状になるようにそれぞれ構成されたことを特徴とする請求項1に記載の浮上搬送装置。
- 各浮上ユニットは、前記浮上ユニット脚の前記搬送幅方向の最大外形寸法が前記浮上ユニット本体の前記搬送幅方向の最大外形寸法よりも小さくなってあって、正面視形状が前記浮上ユニット本体と前記浮上ユニット脚によってT字形状になるようにそれぞれ構成されたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の浮上搬送装置。
- 前記搬送方向に隣接関係にある前記浮上ユニット間に設けられた遮蔽板とを具備したことを特徴とする請求項1から請求項3のうちのいずれかの請求項に記載の浮上搬送装置。
- 前記遮蔽板が前記浮上ユニットに対して着脱可能に構成されたことを特徴とする請求項4に記載の浮上搬送装置。
- 前記支持フレームに設けられ、気体を取入れ可能な取入口を有し、気体を収容するチャンバーとを具備し、
各浮上ユニット脚の内部が前記チャンバーの内部にそれぞれ連通してあって、各浮上ユニット脚が前記チャンバーを介して前記気体供給源に接続されていることを特徴とする請求項1から請求項5のうちのいずれかの請求項に記載の浮上搬送装置。 - 前記気体供給源は、前記チャンバーの前記取入口の近傍に設けられかつ前記気体を前記チャンバーの内部に供給するファンであることを特徴とする請求項6に記載の浮上搬送装置。
- 気体の圧力を利用して基板を浮上させる浮上ユニットにおいて、
上面に気体を噴出するノズルが形成された浮上ユニット本体と、
前記浮上ユニット本体の下面に設けられ、内部が前記浮上ユニット本体の内部に連通してあって、ユニット長さ方向の最大外形寸法が前記浮上ユニット本体の前記ユニット長さ方向の最大外形寸法よりも小さい浮上ユニット脚と、を具備したことを特徴とする浮上ユニット。 - 側面視形状が前記浮上ユニット本体と前記浮上ユニット脚によってT字形状になるように構成されたことを特徴とする請求項8に記載の浮上ユニット。
- 前記浮上ユニット脚のユニット幅方向の最大外形寸法が前記浮上ユニット本体の前記ユニット幅方向の最大外形寸法よりも小さくなってあって、正面視形状が前記浮上ユニット本体と前記浮上ユニット脚によってT字形状になるように構成されたことを特徴とする請求項8又は請求項9に記載の浮上ユニット。
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