CN101905808B - 悬浮输送装置以及悬浮单元 - Google Patents

Abstract

本发明涉及悬浮输送装置及悬浮单元。在悬浮输送装置中，在悬浮单元主体的上面形成喷嘴，在悬浮单元主体的下侧设置空心管状的悬浮单元脚，悬浮单元脚的内部与容器的内部连通，在悬浮单元主体的设置孔中，以能够绕铅垂轴心旋转的方式嵌入安装有调节悬浮单元脚的一对开口部的开口面积的圆形的调节部件。根据上述悬浮输送装置，即便在大型的基板上存在弯曲等变形的情况下，也能够避免基板的输送宽度方向的端面与侧悬浮单元等的干扰，从而能够足以防止基板的损伤。

Description

悬浮输送装置以及悬浮单元

技术领域

本发明涉及向输送方向悬浮输送玻璃基板等基板的悬浮输送装置、以及利用压缩空气等悬浮气体的压力使基板悬浮的悬浮单元。

背景技术

近年，在清洁输送的领域里，关于悬浮输送装置进行了各种开发，已知有专利文献1(日本特开2009-105377号公报)、专利文献2(日本特开2009-12872号公报)、以及专利文献3(日本特开2009-12873号公报)所记载的技术等。以下说明现有技术的悬浮输送装置的结构等。

现有技术的悬浮输送装置具备装置框架(支撑框架)，在该装置框架上设有向输送方向输送基板的输送机构(输送单元)。另外，在该装置框架上，沿着输送方向留出间隔而设有多个容纳作为悬浮气体的压缩空气的容器。各容器内部连接在提供压缩空气的风扇等悬浮空气供给源上。在各容器上，沿着与输送方向正交的输送宽度方向设有多个利用压缩空气的压力使基板悬浮的悬浮单元。即，在多个容器上，沿着输送方向以及输送宽度方向设有多个悬浮单元。在各悬浮单元的上面形成有喷出压缩空气的喷嘴。

在由悬浮气体供给源向各容器的内部提供压缩空气并使压缩空气从各悬浮单元的喷嘴喷出的同时，使输送机构适当地工作。由此，可以向输送方向悬浮输送基板。

近年，作为悬浮输送对象的玻璃基板等基板的大型化迅速地发展。并且弄清楚，当基板的大小为例如一边是3m以上，并且在基板上有弯曲等变形时，悬浮输送中的基板的输送宽度方向的端部附近向下方大幅度地挠曲。因此，当在大型的基板上存在弯曲等变形的情况下，存在如下问题，即，基板的输送宽度方向的端面与悬浮单元等干扰，从而基板容易受损，并且很难实现顺利的悬浮输送。

发明内容

于是，本发明的目的在于提供能够根据基板来调节悬浮气体量，从而防止基板和装置的干扰的悬浮输送装置以及悬浮单元。

本发明的悬浮输送装置，是将基板向输送方向进行悬浮输送的悬浮输送装置，具备：设置在装置框架上，并向上述输送方向输送基板的输送机构；设置在上述装置框架上，内部与提供悬浮气体的悬浮气体供给源相连接，并容纳悬浮气体的容器；以及沿着上述输送方向以及与上述输送方向正交的输送宽度方向设置在上述容器上，并利用悬浮气体的压力使基板悬浮的多个悬浮单元。多个上述悬浮单元的每一个具备在上面形成有喷出悬浮气体的喷嘴的空心状的悬浮单元主体；和设置在上述悬浮单元主体的下侧，内部与上述容器的内部连通，并在上侧具有将悬浮气体导入到上述悬浮单元主体的内部的开口部的空心状的悬浮单元脚。进而，多个上述悬浮单元之中，排列在上述输送宽度方向的两侧的侧悬浮单元，除了具备上述悬浮单元主体以及上述悬浮单元脚之外，还具备调节上述开口部的开口面积的调节部件。并且在上述侧悬浮单元的上述悬浮单元主体的上面形成有设置孔，上述调节部件以能够绕铅垂轴心旋转的方式嵌入安装在上述设置孔中，上述调节部件构成为能够从上方操作，并且能够通过绕铅垂轴心的旋转来改变上述开口部的开口面积。

再者，在此，所谓“设置”，除了是直接地设置的情况之外，也包括通过托架等中介部件间接地设置的情况、以及一体形成的情况。另外，在“悬浮气体”中也包括压缩空气，氩气，氮气等。

根据上述悬浮输送装置，由上述悬浮气体供给源向上述容器的内部提供悬浮气体，并使悬浮气体从各悬浮单元的上述喷嘴喷出，同时使上述输送机构适当工作。由此，可以将基板向输送方向进行悬浮输送(在使其悬浮的状态下进行输送)。

在此，当在大型的基板(例如，一边为3m以上的大小的基板)上存在弯曲等变形的情况下，根据基板的上述输送宽度方向的端部附近(包括端部)的悬浮状态(悬浮行动)，利用各调节部件调节上述开口部的开口面积。由此，可以将各侧悬浮单元的悬浮气体的喷出流量设定为适当的喷出流量，即便在基板W较大且存在变形的情况下，也能够抑制悬浮输送中的基板的上述输送宽度方向的端部附近向下方挠曲。

本发明的悬浮单元是利用悬浮气体的压力使基板悬浮的悬浮单元，具备：在上面形成有喷出悬浮气体的喷嘴的悬浮单元主体；设置在上述悬浮单元主体的下侧，并在上侧具有将悬浮气体导入到上述悬浮单元主体的内部的开口部(导入开口部)的悬浮单元脚；以及调节上述开口部的开口面积的调节部件。并且在上述悬浮单元主体的上面形成有设置孔，上述调节部件以能够绕铅垂轴心旋转的方式嵌入安装在上述设置孔中，上述调节部件构成为能够从上方操作，并且能够通过绕铅垂轴心的旋转来改变上述开口部的开口面积。

如果将多个上述悬浮单元用作上述悬浮输送装置的多个上述侧悬浮单元，可以起到与上述悬浮输送装置的作用相同的作用。

根据本发明，即便在大型的基板上存在弯曲等变形的情况下，也能够抑制悬浮输送中的基板的上述输送宽度方向的端部附近向下方挠曲，因此可以避免基板的上述输送宽度方向的端面与上述侧悬浮单元等的干扰。其结果，能够足以防止基板的损伤，从而顺利地进行基板的悬浮输送。

附图说明

图1(a)是本发明的一个实施方式的侧悬浮单元的俯视图，图1(b)是沿着图1(a)的IB-IB线的剖视图。

图2(a)以及(b)是沿着图1(b)的II-II线的剖视图，表示了悬浮单元脚的开口部的开口面积的可变状况。

图3(a)是本发明的一个实施方式的通常的悬浮单元的俯视图，图3(b)是沿着图3(a)的IIIB-IIIB线的剖视图。

图4是本发明的一个实施方式的悬浮输送装置的局部剖视图(沿着图5的IV-IV线的剖视图)。

图5是图4所示的悬浮输送装置的俯视图。

图6是沿着图5的VI-VI线的剖视图(省略了输送机构)。

图7是表示图5的向视部VII的侧视图。

图8(a)是上述实施方式的变形例的侧悬浮单元的俯视图，图8(b)是沿着图8(a)的VIIIB-VIIIB线的剖视图。

图9(a)以及(b)是沿着图8(b)的IX-IX线的剖视图，表示了悬浮单元脚的开口部的开口面积的可变状况。

具体实施方式

参照图1至图7说明本发明的一个实施方式。再者，附图中分别是“FF”指前方向，“FR”指后方向，“L”指左方向，“R”指右方向。

如图6以及图7所示，本实施方式的悬浮输送装置1是向输送方向(前后方向)悬浮输送玻璃基板等基板W的装置，具备向前后方向延伸的装置框架(支撑框架)3。另外，装置框架3具备向前后方向延伸的支撑台5、一体地设置在支撑台5的下侧的多个支柱7、和以与多个支柱7连结的方式设置的多个加强部件9。

如图7所示，在支撑台5上设有向输送方向输送基板W的输送机构(输送单元)11。说明输送机构11的具体的结构。如图5以及图7所示，在各支撑台5的左端部附近，沿着前后方向留出间隔而设有多个支撑臂13。在各支撑臂13上设有支撑基板W的一个端面(左端面)的第一输送辊15。即，在多个装置框架3的左端部附近，通过多个支撑臂13沿着前后方向留出间隔而设有多个第一输送辊15。在此，各第一输送辊15是绕铅垂(垂直)的轴心旋转自如的自由辊。

另一方面，在各支撑台5的右端部附近，设有多个移动用气缸17(参照图7)。各移动用气缸17具有固定在支撑台5上的气缸主体19、和以能够沿着左右方向(输送宽度方向)移动的方式设置在气缸主体19上的活塞杆21。另外，在各气缸主体19上设有能够沿着左右方向移动的滑块23，各活塞杆21连结在相对应的滑块23的适当的位置上。进而，在各滑块23的左端部，以能够绕铅垂的轴心旋转的方式设有支撑基板W的另一端面(右端面)的第二输送辊25。即，在多个装置框架3的右端部附近，通过多个移动用气缸17以及多个滑块23，沿着前后方向留出间隔而设有多个第二输送辊25。各第二输送辊25通过移动用气缸17的动作与滑块23一体地向左右方向移动。并且，在各滑块23的右端部，设有使第二输送辊25旋转的旋转用电动机27，各旋转用电动机27的电动机轴(图示省略)与相对应的第二输送辊25的辊轴连动地连结。

再者，在此，将第一输送辊15设为自由辊，将第二输送辊25设为由旋转用电动机27旋转驱动的驱动辊。但是，也可以将第一输送辊15设为驱动辊，将第二输送辊25设为自由辊。或者，也可以将第一输送辊15以及第二输送辊25设为驱动辊。另外，代替具备多个第一输送辊15以及多个第二输送辊25等的输送机构11，也可以采用具备把持基板W的端部且能够沿着前后方向移动的夹持器的输送机构等。

如图4至图7所示，在支撑台5上，向前后方向留出间隔而设有容纳作为悬浮气体的压缩空气的容器29。各容器29向左右方向延伸。另外，如图4所示，在各容器29的下面，贯通地形成有将压缩空气导入到各容器29的内部的多个导入孔31。在各容器29的上面，贯通地形成有多个连接孔33。进而，在各导入孔31的周缘部，通过托架37设有作为向容器29的内部提供压缩空气的悬浮气体供给源的风扇(在本实施方式中，是风扇过滤器单元)35。即，各容器29的内部与多个风扇35连接。

在各连接孔33的周缘部，设有利用压缩空气的压力使基板W悬浮的悬浮单元39。即，在各容器29上，沿着前后方向以及左右方向设有多个悬浮单元39。在此，悬浮单元39分为通常的悬浮单元39A和排列在左右两侧(输送宽度方向的两侧)的多个侧悬浮单元39B。接下来，说明通常的悬浮单元39A和侧悬浮单元39B的共通的结构。

如图1(a)以及(b)“侧悬浮单元39B”和图3(a)以及(b)“通常的悬浮单元39A”所示，悬浮单元39(39A和39B)具备空心状的悬浮单元主体41。悬浮单元主体41包括在底面上形成了支撑孔43的外轮廓部件45、和设置在外轮廓部件45的内侧的孤立部件49。孤立部件49通过多根(在本实施方式中是四根)支撑销47被支撑在外轮廓部件45的内侧。另外，在外轮廓部件45的内缘与孤立部件49的外缘之间，区划形成有喷出压缩空气的狭缝状的喷嘴51。即，在悬浮单元主体41的上面，沿着悬浮单元主体41的外缘形成有狭缝状的喷嘴51。另外，如日本特开2006-182563号公报所示的那样，喷嘴51朝向铅垂方向向悬浮单元主体41的中心侧(单元中心侧)倾斜而形成。再者，代替形成为框状的狭缝，喷嘴51还可以将多个方孔或圆孔排列在悬浮单元主体41的上面来形成。

在外轮廓部件45的支撑孔43的周缘部(即，悬浮单元主体41的下侧)，设有空心管状的悬浮单元脚53。悬浮单元脚53的下端部一体地连结在容器29的连接孔33的周缘部。悬浮单元脚53的内部与容器29的内部连通。另外，如图3(b)所示，通常的悬浮单元39A的悬浮单元脚53，在上侧具有向悬浮单元主体41的内部导入压缩空气的圆形的开口部(导入开口部)55。另一方面，如图1(b)所示，侧悬浮单元39B的悬浮单元脚53，在上侧具有向悬浮单元主体41的内部导入压缩空气的一对扇形的开口部(导入开口部)57。如图2(a)以及(b)所示，一对开口部57以悬浮单元主体41的轴心为基准成对称关系。

在此，如图6所示，悬浮单元脚53的前后方向的最大外形尺寸，比悬浮单元主体41的前后方向的最大外形尺寸小，悬浮单元39(39A和39B)的侧视形状呈T字形状。另外，如图7所示，悬浮单元脚53的左右方向的最大外形尺寸，比悬浮单元主体41的左右方向的最大外形尺寸小，悬浮单元39(39A和39B)的主视形状也呈T字形状。

接下来，说明侧悬浮单元39B特有的结构。

如图1(a)以及(b)和图2(a)以及(b)所示，在孤立部件49上形成有圆形的设置孔59。在设置孔59上，以能够绕铅垂轴心旋转且能够升降(能够上下移动)的方式嵌入安装有调节一对开口部57的开口面积的圆形的调节部件61。调节部件61可以从上方(表面侧)操作(旋转操作以及升降操作)。另外，调节部件61在下侧具有对一对开口部57进行开闭的一对扇形的开闭部63，以便通过调节部件61的绕铅垂轴心的旋转可以改变一对开口部57的开口面积。一对开闭部63以调节部件61的轴心(旋转轴心)为基准成对称关系。再者，一对开闭部63的旋转以及升降由支撑孔43的内周壁引导。

在设置孔59的周缘背面，沿着圆周方向以等间隔形成有半球状的多个配合凹部(配合部)65。另外，在调节部件61的外周面上，与设置孔59的周缘背面相对向地形成有法兰盘67。在法兰盘67上，沿着圆周方向以等间隔形成有能够与多个上述配合凹部65相配合的半球状的多个对方配合凸部(对方配合部)69。并且，在调节部件61的背面和悬浮单元脚53的上面之间，设有将调节部件61向上方加载的弹簧71(加载部件的一例)。再者，代替在设置孔59的周缘背面形成多个配合凹部65，并且，在调节部件61的法兰盘67上形成多个对方配合凸部69，也可以在设置孔59的周缘背面形成半球状的多个配合凸部，并且，在法兰盘67上形成能够与多个配合凸部相配合的半球状的多个对方配合凹部。

接着，说明本实施方式的作用以及效果。

通过使各风扇35适当工作而向各容器29的内部提供压缩空气，使压缩空气从各悬浮单元主体41的喷嘴51喷出。另外，在使各移动用气缸17工作而使各第二输送辊25向左方移动的同时，驱动各旋转用电动机27而使各第二输送辊25同步地旋转。由此，可以在基板W和多个悬浮单元39(39A和39B)之间形成大致均匀的压力滞留层(空气滞留层)S(参照图4)，同时由多个第一输送辊15以及多个第二输送辊25以从输送宽度方向的两侧支撑基板W的状态将其向输送方向进行悬浮输送。再者，由于悬浮单元39(39A和39B)的侧视形状以及主视形状呈T字形状，因此可以增大形成在处于邻接关系的悬浮单元39(39A和39B)之间的通路P(参照图6以及图7)的截面积，从而使从多个喷嘴51喷出的压缩空气很容易地跑到基板W的外侧。

在此，当在大型的基板(例如，一边为3m以上的大小的基板)W上存在弯曲等变形的情况下，进行如下的操作。即，使各调节部件61抵抗弹簧71的加载力而暂且下降，从而解除多个配合凹部65和多个对方配合凸部69的配合状态。然后，根据基板W的输送宽度方向的端部附近(包括端部)的悬浮状态(悬浮行动)，使各调节部件61绕铅垂轴心旋转。进而，通过弹簧71的加载力使各调节部件61上升，从而使多个配合凹部65和多个对方配合凸部69恢复到配合状态。由此，可以将各侧悬浮单元39B的压缩空气的喷出流量设定为适当的喷出流量，即便在基板W较大且存在变形的情况下，也能够抑制悬浮输送中的基板W的输送宽度方向的端部附近(包括端部)向下方挠曲。

因而，根据本发明，即便在大型的基板W上存在弯曲等变形的情况下，也能够抑制基板W的悬浮输送中的基板W的输送宽度方向的端部附近向下方挠曲的情况，因此可以避免基板W的输送宽度方向的端面和侧悬浮单元39B和输送辊13等的干扰。其结果，能够足以防止基板W的损伤，并能够顺利地进行基板W的悬浮输送。

另外，由于可以从上方操作调节部件61，因此可以简单且用短时间进行各侧悬浮单元39B的喷出流量的设定操作。

(变形例)

参照图8(a)以及(b)和图9(a)以及(b)说明本实施方式的变形例的侧悬浮单元。

本变形例的侧悬浮单元73，与上述侧悬浮单元39B同样地利用压缩空气的压力使基板W悬浮。以下，说明侧悬浮单元73的结构之中与上述侧悬浮单元39B不同的结构等。再者，对于侧悬浮单元73的多个结构要素之中与上述侧悬浮单元39B的结构要素相同或同等的结构要素，在图中标以相同的标号，并省略其说明。

在外轮廓部件45的支撑孔43上，嵌入安装有圆形的盖部件75。在盖部件75上形成有将压缩空气导入到悬浮单元主体41的内部的一对扇形的开口部(导入开口部)77。即，悬浮单元脚53通过盖部件75在上侧具有一对扇形的开口部77。一对开口部77以悬浮单元主体41的轴心为基准成对称关系。另外，盖部件75通过多根(在本变形例中是八根)连接杆79一体地连接在孤立部件49上。

在孤立部件49的设置孔59上，嵌入安装有调节一对开口部77的开口面积的圆形的调节部件81。调节部件81利用固定螺钉83可装卸地固定在盖部件75上，可以从上方(表面侧)进行操作(旋转操作)。另外，调节部件81在下侧具有对一对开口部77进行开闭的一对扇形的开闭部85，以便通过调节部件81的绕铅垂轴心的旋转可以改变一对开口部77的开口面积。一对开闭部85以调节部件81的轴心(旋转轴心)为基准成对称关系。

接着，说明本变形例的作用以及效果。

在代替多个侧悬浮单元39B而采用多个侧悬浮单元73的悬浮输送装置1中，当在大型的基板W上存在弯曲等变形的情况下，进行如下的操作。即，松开各固定螺钉83，从而使各调节部件81处于能够绕铅垂轴心旋转的状态。然后，根据基板W的输送宽度方向的端部附近的悬浮状态，使各调节部件81绕铅垂轴心旋转。进而，拧紧各固定螺钉83，从而使各调节部件81恢复到不能旋转的状态。由此，可以将各侧悬浮单元73的压缩空气的喷出流量设定为适当的喷出流量，即便是在基板W较大且存在变形的情况下，也可以抑制悬浮输送中的基板W的输送宽度方向的端部附近向下方挠曲。

因而，根据本变形例，可以起到与上述实施方式的效果相同的效果。

再者，本发明不限于上述实施方式的说明，也可以用各种方式实施。另外，本发明所包括的权利范围也不限于这些实施方式。

产业上的可利用性如下。

本发明的悬浮输送装置以及悬浮单元可以用于将玻璃基板等基板向输送方向进行悬浮输送。

Claims (5)

1.一种悬浮输送装置，将基板向输送方向进行悬浮输送，其特征在于，

具备：设置在装置框架上，并向上述输送方向输送基板的输送机构；

设置在上述装置框架上，内部与提供悬浮气体的悬浮气体供给源相连接，并容纳悬浮气体的容器；以及

沿着上述输送方向以及与上述输送方向正交的输送宽度方向设置在上述容器上，并利用悬浮气体的压力使基板悬浮的多个悬浮单元，

多个上述悬浮单元的每一个具备：在上面形成有喷出悬浮气体的喷嘴的空心状的悬浮单元主体；和设置在上述悬浮单元主体的下侧，内部与上述容器的内部连通，并在上侧具有将悬浮气体导入到上述悬浮单元主体的内部的开口部的空心状的悬浮单元脚，

多个上述悬浮单元之中排列在上述输送宽度方向的两侧的侧悬浮单元，除了具备上述悬浮单元主体以及上述悬浮单元脚之外，还具备调节上述开口部的开口面积的调节部件，

在上述侧悬浮单元的上述悬浮单元主体的上面形成有设置孔，

上述调节部件以能够绕铅垂轴心旋转的方式嵌入安装在上述设置孔中，

上述调节部件构成为能够从上方操作，并且能够通过绕铅垂轴心的旋转来改变上述开口部的开口面积。

2.如权利要求1所述的悬浮输送装置，其特征在于，

上述喷嘴沿着上述悬浮单元主体的外缘形成，并且，朝向铅垂方向向上述悬浮单元主体的中心侧倾斜而形成。

3.一种悬浮单元，利用悬浮气体的压力使基板悬浮，其特征在于，具备：

在上面形成有喷出悬浮气体的喷嘴的悬浮单元主体；

设置在上述悬浮单元主体的下侧，并在上侧具有将悬浮气体导入到上述悬浮单元主体的内部的开口部的悬浮单元脚；以及

调节上述开口部的开口面积的调节部件，

在上述悬浮单元主体的上面形成有设置孔，

上述调节部件以能够绕铅垂轴心旋转的方式嵌入安装在上述设置孔中，

上述调节部件构成为能够从上方操作，并且能够通过绕铅垂轴心的旋转来改变上述开口部的开口面积。

4.如权利要求3所述的悬浮单元，其特征在于，

在上述设置孔的周缘背面，沿着圆周方向留出间隔而形成多个配合部，

上述调节部件相对于上述悬浮单元主体能够上下移动，

在上述调节部件的外周面上，以与上述悬浮单元主体的上述设置孔的周缘背面相对的方式形成法兰盘，

在上述法兰盘上，沿着圆周方向留出间隔而形成能够与多个上述配合部相配合的多个对方配合部，

除了具备上述悬浮单元主体、上述悬浮单元脚以及上述调节部件之外，还具备将上述调节部件向上方加载的加载部件。

5.如权利要求3或4所述的悬浮单元，其特征在于，

上述喷嘴沿着上述悬浮单元主体的外缘形成，并且，朝向铅垂方向向上述悬浮单元主体的中心侧倾斜而形成。

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