KR20130065620A - 부상 반송 유닛 - Google Patents

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KR20130065620A
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모토히로 쇼세
유타카 사토
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가부시키가이샤묘토쿠
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Abstract

전체 구성의 복잡화를 억제할 수 있다. 부상 반송 유닛(10)은, 복수 조립되어 천정벽(42)에 의해 연속된 부상 반송로면(36)을 구성하고, 내부에 공동부를 가진 하우징(40A~40C); 천정벽(42)에 형성되어 공동부와 연통하는 복수의 기체 분출공(54); 하우징(40A~40C)의 측부에 설치되고 하우징끼리를 접속하여, 인접하는 공동부 내의 기체의 유통을 가능하게 하는 접속 수단(62); 부상 반송로면(36)의 양단부에 위치하는 하우징에 설치되고, 튜브(34)로부터 공급된 기체를 공동부에 공급하는 제1 에어 공급 박스(88) 및 제2 에어 공급 박스(100);를 구비한다.

Description

부상 반송 유닛{Floating transfer unit}
본 발명은 부상 반송 유닛에 관한 것이다.
종래 일본 공개특허 2008-7319호 공보에 기재된 바와 같은, 개별적으로 에어 공급 박스에 접속된 복수의 부상 반송 유닛이 워크의 반송 방향으로 늘어서도록 배치되어 전체적으로 부상 반송 유닛이 구성된 기술이 알려져 있다.
특허문헌 : 일본 공개특허 2008-7319호
그러나, 상기 구성은, 부상 반송 유닛(하우징)의 수만큼 에어 공급 박스, 즉 기체 공급 수단이 설치되기 때문에 전체 구성이 복잡화된다.
본 발명은, 상기 사정을 고려하여 전체 구성의 복잡화를 억제할 수 있는 부상 반송 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 제1 태양에 관한 부상 반송 유닛은, 복수 조립되어 천정벽에 의해 연속된 부상(浮上) 반송로면(搬送路面)을 구성하고, 내부에 공동부(空洞部)를 가진 하우징; 상기 천정벽에 형성되어 상기 공동부와 연통하는 복수의 기체 분출공; 상기 하우징의 측부에 설치되고 상기 하우징끼리를 접속하여, 인접하는 상기 공동부 내의 기체의 유통을 가능하게 하는 접속 수단; 적어도 하나의 상기 하우징에 설치되어 기체 공급 장치로부터 공급된 기체를 상기 공동부에 공급하는 기체 공급 수단;을 구비한다.
이 구성에 따르면, 적어도 하나의 기체 공급 수단에 기체 공급 장치로부터 기체를 공급하면, 접속 수단을 통하여 기체가 각 하우징의 공동부에 공급되기 때문에, 연속된 부상 반송로면이 된 각 천정벽의 기체 분출공으로부터 기체가 분출하여 워크를 부상 반송할 수 있다. 이에 의해, 하우징의 수만큼 기체 공급 수단을 설치할 필요가 없어지고 전체 구성의 복잡화를 억제할 수 있다.
본 발명의 제2 태양에 관한 부상 반송 유닛에서는, 제1 태양에 있어서, 상기 접속 수단은, 상기 하우징의 한쪽의 측부 아래쪽으로부터 연장되어 나옴과 동시에, 상기 하우징의 폭방향으로 연장되어 위쪽으로 개방된 하부 걸어맞춤 홈을 구비한 하측 이음매와, 상기 하우징의 다른 쪽의 측부 위쪽으로부터 연장되어 나옴과 동시에, 상기 하우징의 폭방향으로 연장되어 아래쪽으로 개방된 상부 걸어맞춤 홈을 구비한 상측 이음매를 구비하고, 상기 상측 이음매가 상기 하부 걸어맞춤 홈에 걸어맞춤되고, 상기 하측 이음매가 상기 상부 걸어맞춤 홈에 걸어맞춤된다.
또, 상기 「하우징의 폭방향」이란, 워크의 반송 방향(부상 반송로면의 연속 방향)과 교차하는 방향을 가리키는 것으로 한다.
이 구성에 따르면, 하우징의 한쪽의 측부 아래쪽으로부터 연장되어 나오는 하측 이음매의 위쪽으로 개방된 하부 걸어맞춤 홈이, 인접하는 하우징의 다른 쪽의 측부 위쪽으로부터 연장되어 나오는 상측 이음매의 아래쪽으로 개방된 상부 걸어맞춤 홈에 걸어맞춤함으로써 하우징끼리가 접속된다. 따라서, 하우징끼리의 접속에 있어서 워크의 반송 방향 및 하우징의 높이 방향의 위치를 정확하게 규제할 수 있다.
본 발명의 제3 태양에 관한 부상 반송 유닛은, 제2 태양에 있어서, 상기 접속 수단은, 상기 하우징의 한쪽의 측부 위쪽으로부터 상기 하부 걸어맞춤 홈과 교차하는 방향으로 튀어나오는 웅편(雄片)과, 상기 하우징의 다른 쪽의 측부 위쪽에 오목하게 설치되어 상기 웅편이 걸어맞춤되는 자부(雌部)를 구비한다.
이 구성에 따르면, 하부 걸어맞춤 홈과 교차하는 방향, 즉 워크의 반송 방향으로 튀어나오는 웅편이 자부와 걸어맞춤함으로써 하우징끼리가 접속된다. 따라서, 하우징끼리의 접속에 있어서 하우징의 폭방향의 위치를 정확하게 규제할 수 있다.
본 발명의 제4 태양에 관한 부상 반송 유닛에서는, 제1 태양 내지 제3 태양 중 어느 하나의 태양에 있어서, 복수의 상기 하우징은 형상 또는 크기가, 다른 하우징과는 다른 하우징을 포함한다.
이 구성에 따르면, 공장의 레이아웃에 따라 부상 반송로면의 궤도나 크기를 자유롭게 조정할 수 있다.
본 발명의 제5 태양에 관한 부상 반송 유닛에서는, 제1 태양 내지 제4 태양 중 어느 하나의 태양에 있어서, 복수의 상기 하우징은 상면(上面)에서 보아 사다리꼴 형상이 되고, 상기 사다리꼴 형상의 상측 바닥 및 하측 바닥을 연결하는 측변에서 다른 하우징과 조립되는 하우징을 포함한다.
이 구성에 따르면, 상면에서 보아 사다리꼴 형상이 된 하우징의 개수를 바꿈으로써 부상 반송로면의 궤도를 보다 자유롭게 조정할 수 있다.
본 발명의 제6 태양에 관한 부상 반송 유닛은, 제1 태양 내지 제5 태양 중 어느 하나의 태양에 있어서, 상기 하우징이 놓이는 받침대와, 상기 접속 수단이 설치된 측부와는 다른 상기 하우징의 측부로부터 연장되어 나와 상기 받침대에 고정되는 연장편을 구비한다.
이 구성에 따르면, 하우징이 연장편을 개재하여 받침대에 고정되므로, 하우징끼리의 접속시에 하우징이 어긋나거나 하는 것을 억제할 수 있어 하우징끼리의 접속이 용이하게 된다.
본 발명의 제7 태양에 관한 부상 반송 유닛에서는, 제2 태양 내지 제6 태양 중 어느 하나의 태양에 있어서, 상기 기체 공급 수단은, 상기 하측 이음매 또는 상기 상측 이음매에 걸어맞춤되는 중공 부재이고, 상기 중공 부재에는 중공부에 기체가 공급되는 기체 공급구와, 상기 하우징의 상기 공동부와 상기 중공부를 연통시키는 연통구를 구비하고 있다.
이 구성에 따르면, 중공 부재가 하측 이음매 또는 상측 이음매에 걸어맞춤되므로, 중공 부재를 연속된 부상 반송로면의 양단부에 배치할 수 있다. 이에 의해, 부상 반송로면의 양단부에서 중앙부의 하우징의 공동부까지 기체를 고루 보급할 수 있고, 부상 반송로면의 어느 쪽의 단부나 중앙부에서 기체 분출공으로부터의 기체의 분출량이 저감되는 것을 억제할 수 있다.
본 발명의 제8 태양에 관한 부상 반송 유닛은, 제1 태양 내지 제7 태양 중 어느 하나의 태양에 있어서, 상기 접속 수단은, 인접하는 상기 하우징의 측부에 형성된 접속구에 각각 끼워져, 인접하는 상기 공동부를 연통시키는 접속관이다.
이 구성에 따르면, 접속관을 인접하는 하우징의 측부의 접속구에 각각 끼우는 것만으로 되기 때문에 하우징의 제조가 용이하게 된다.
본 발명은, 상기 구성으로 하였으므로 전체 구성의 복잡화를 억제할 수 있는 부상 반송 유닛을 제공할 수 있다.
도 1은 제1 실시형태에 관한 부상 반송 유닛이 조립된 부상 반송 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 제1 실시형태에 관한 부상 반송 유닛이 조립된 부상 반송 장치를 나타내는 측면도이다.
도 3은 제1 실시형태에 관한 부상 반송 유닛이 조립된 부상 반송 장치를 나타내는 평면도이다.
도 4는 제1 실시형태에 관한 부상 반송 유닛의 전체 사시도이다.
도 5는 제1 실시형태에 관한 부상 반송 유닛의 일부 측단면도이다.
도 6은 제1 실시형태에 관한 부상 반송 유닛을 구성하는 하우징끼리의 접속 구조의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 7은 제1 실시형태에 관한 부상 반송 유닛을 구성하는 하우징끼리의 접속 구조의 다른 예를 나타내는 사시도이다.
도 8은 제2 실시형태에 관한 부상 반송 유닛의 일부 측단면도이다.
도 9는 제1 실시형태에 관한 부상 반송 유닛의 변형예를 나타내는 도면이다.
도 10은 제1 실시형태에 관한 부상 반송 유닛의 다른 변형예를 나타내는 도면이다.
이하, 첨부하는 도면을 참조하면서 본 발명의 실시형태에 관한 부상 반송 유닛에 대해 구체적으로 설명한다. 또, 도면 중 동일하거나 대응하는 기능을 갖는 부재(구성 요소)에는 같은 부호를 부여하고 적절히 설명을 생략한다.
<제1 실시형태>
도 1 내지 도 3에는, 본 실시형태에 관한 부상 반송 유닛(10)이 내장된 부상 반송 장치(12)가 도시되어 있다.
이 부상 반송 장치(12)는, 중간부가 곡선형상을 이루는 2개의 레일(14)과, 레일(14)의 단부 간을 연결하는 2개의 가로재(16)로 긴 틀 형상으로 구성된 조립 프레임(18)을 구비하고 있다. 이 조립 프레임(18)은, 포스트(20)로 틀 형상의 베이스 프레임(22)의 위쪽에 지지되어 있다. 베이스 프레임(22)의 하부에는 캐스터(24)와 스토퍼(26)가 장착되어 있고, 부상 반송 장치(12)가 작업 영역 내에서 이동 설치 가능하게 되어 있다.
또한, 2개의 레일(14) 사이에는 지지 플레이트(28)가 걸쳐져 있다. 지지 플레이트(28)에서의 가로재(16) 방향의 양단부 아래쪽에는 컴프레서(30)가 각각 배치되어 있다. 한편, 지지 플레이트(28) 상에는 복수의 받침대(32)가 레일(14)을 따라 고정되어 있다. 그리고, 각 받침대(32) 상에는, 제1 실시형태에 관한 부상 반송 유닛(10)이 레일(14)을 따라 3열 놓여져 있다. 이들 부상 반송 유닛(10)은 상세는 후술하지만, 컴프레서(30)로부터 튜브(34)를 통하여 정압(正壓)의 기체가 공급되고, 이 기체를 각 부상 반송 유닛(10)의 부상 반송로면(36)으로부터 위쪽으로 분출하여 유리 기판(P)을 부상시키는 것이다. 컴프레서(30)로부터 공급하는 기체는 공기에 한정되지 않고, 질소나 아르곤, 헬륨 등의 비활성 가스, 이산화탄소 등의 기체이어도 된다.
또, 2개의 레일(14) 중 한쪽의 레일(14)에는 리니어식의 반송 장치(38)가 탑재되어 있다. 이 반송 장치(38)에는 진공식의 흡반(39)이 복수 구비되어 있고, 부상 반송로면(36)을 부상한 유리 기판(P)의 하면을 척킹(chucking)하여 화살표 방향(D)으로 반송하는 구성이다(이하, 화살표 방향(D)을 반송 방향(D)이라고 칭함). 부상 반송된 유리 기판(P)은, 각 부상 반송 유닛(10)의 위쪽에서 부상 상태가 유지된 채로 도시하지 않은 노광 수단에 의해 노광되어 소정의 회로 패턴이 형성된다.
다음에, 제1 실시형태에 관한 부상 반송 유닛(10)의 구체적인 구성을 설명한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 각 부상 반송 유닛(10)은, 형상 또는 크기가 서로 다른 복수종의 하우징(40A, 40B, 40C)을 구비하고 있다. 하우징(40A)은 상면에서 보아 정사각형상으로 되고, 하우징(40B)은 상면에서 보아 직사각형상으로 되며, 하우징(40C)은 상면에서 보아 사다리꼴 형상으로 되어 있다. 또, 본 실시형태에서는, 사다리꼴 형상 중에서도 상측 바닥과 하측 바닥이 원호형상이 되어 하우징(40C)의 상면에서 보아 부채형 형상으로 되어 있다.
각종 하우징(40A~40C)은, 동종 또는 이종(異種)의 하우징끼리가 조립되어 각종 하우징(40A~40C)의 천정벽(42)에 의해 연속된 부상 반송로면(36)을 구성한다. 이 때, 하우징(40C)은, 사다리꼴 형상(부채형 형상)의 상측 바닥 및 하측 바닥을 연결하는 측변에서 다른 하우징(40A~40C)의 어느 것과 조립되고, 부상 반송로면(36)의 궤도를, 우측으로 굽어지도록 또는 좌측으로 굽어지도록 바꿀 수 있게 되어 있다. 또, 하우징끼리의 조립에 특별히 한정은 없지만, 도 3의 최상부에 나타내는 부상 반송로면(36)에서는, 반송 방향(D)(부상 반송로면(36)의 연속 방향)의 한쪽으로부터 하우징(40A, 40B, 40B, 40C, 40C, 40B, 40C, 40C, 40C, 40C, 40B)의 순서가 되도록 하우징끼리가 조립되어 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 각종 하우징(40A~40C)은 내부에 공동부(44)를 가지고 있다. 이 공동부(44)를 구성하는 각종 하우징(40A~40C)의 바닥벽은 개방되어 평판형상의 덮개(46)로 폐색되어 있다. 구체적으로, 공동부(44)를 구성하는 각종 하우징(40A~40C)의 바닥벽 주위에 나사공(48)이 형성되고, 이 나사공(48)과 대향하는 덮개(46)에도 나사공(50)이 형성되며, 이들 나사공(48, 50)에 아래쪽으로부터 나사(52)를 돌려 넣음으로써, 공동부(44)를 구성하는 각종 하우징(40A~40C)의 바닥벽의 개방된 개소를 덮개(46)가 폐색하게 되어 있다.
이 덮개(46)와 대향하는 각종 하우징(40A~40C)의 천정벽(42)에는, 공동부(44)와 연통하는 복수의 기체 분출공(54)이 형성되어 있다. 각 기체 분출공(54)은 원기둥 형상이 되고, 천정벽(42) 전체에 균등하게 배치되어 있다.
각종 하우징(40A~40C)에서의 반송 방향(D)의 한쪽의 측부(56A)에는, 공동부(44)와 연통하는 끼워맞춤공(58)이 2개 형성되어 있다(하나는 도 5에서 도시생략). 또한, 각종 하우징(40A~40C)에서의 반송 방향(D)의 다른 쪽의 측부(56B)(보다 구체적으로는 후술하는 상측 이음매(70)의 측부)에는, 인접하는 다른 하우징(40A~40C)의 끼워맞춤공(58)에 끼워져 공동부(44)와 연통하는 끼워맞춤관(60)이 2개 형성되어 있다(하나는 도 5에서 도시생략). 기체가 끼워맞춤관(60)과 끼워맞춤공(58)의 끼워맞춤 개소로부터 누출되지 않도록, 끼워맞춤공(58)의 구멍벽에는 끼워맞춤관(60)의 외경보다 약간 작은 직경의 O링(61)이 설치되어 있다.
또, 각종 하우징(40A~40C)에서의 반송 방향(D)의 양 측부(56A, 56B)에는, 하우징끼리를 접속하여 끼워맞춤관(60)이 끼워맞춤공(58)에 끼워짐으로써, 인접하는 공동부(44) 내의 기체의 유통을 가능하게 하는 접속 수단(62)이 형성되어 있다.
구체적으로, 접속 수단(62)은 도 6의 (A) 및 도 6의 (B)와 도 7의 (A) 및 도 7의 (B)에 도시된 바와 같이, 각종 하우징(40A~40C)에서의 한쪽의 측부(56A) 아래쪽으로부터 연장되어 나옴과 동시에, 각종 하우징(40A~40C)의 폭방향(반송 방향(D)과 직교하는 방향)으로 연장되어 위쪽으로 개방된 하부 걸어맞춤 홈(64)을 구비한 하측 이음매(66)를 구비하고 있다. 또한, 접속 수단(62)은 각종 하우징(40A~40C)에서의 한쪽의 측부(56B) 아래쪽으로부터 연장되어 나옴과 동시에, 각종 하우징(40A~40C)의 폭방향으로 연장되어 아래쪽으로 개방된 상부 걸어맞춤 홈(68)을 구비한 상측 이음매(70)를 구비하고 있다.
그리고, 예를 들면 끼워맞춤관(60)의 선단을 끼워맞춤공(58)에 대각선 상방으로부터 접촉시켜 끼워맞춤 방향으로 밀어넣으면서 아래방향으로도 밀어넣어, 상측 이음매(70)가 하부 걸어맞춤 홈(64)에 걸어맞춤되고, 하측 이음매(66)가 상부 걸어맞춤 홈(68)에 걸어맞춤함으로써, 각종 하우징(40A~40C)끼리가 접속된다.
또한, 접속 수단(62)은, 각종 하우징(40A~40C)에서의 한쪽의 측부(56A)의 위쪽 중앙부로부터 하부 걸어맞춤 홈(64)과 교차하는 방향(반송 방향(D))으로 튀어나오는 웅편(72)과, 각종 하우징(40A~40C)에서의 다른 쪽의 측부(56B)의 위쪽 중앙부에 오목하게 설치되어 웅편(72)이 걸어맞춤되는 자부(74)를 구비하고 있다.
또, 상측 이음매(70)에서의 자부(74)의 양측에는, 상측 이음매(70)를 상하로 관통한 나사공(76)이 형성되고, 이 나사공(76)과 대향하는 하측 이음매(66)에도 나사공(78)이 형성되어 있으며, 이들 나사공(76, 78)에 위쪽으로부터 나사(80)를 돌려 넣음으로써 하우징끼리가 고정된다.
또한, 접속 수단(62)이 설치된 측부(56A, 56B)와는 다른 각종 하우징(40A~40C)의 폭방향의 측부에는, 해당 측부로부터 연장되어 나온 연장편(82)이 설치되어 있다. 연장편(82)에는 상하로 관통하는 나사공(84)이 형성되고, 이 나사공(84)에 대향하여 각종 하우징(40A~40C)이 놓이는 받침대(32)에도 도시하지 않은 나사공이 형성되어 있으며, 이들 나사공에 위쪽으로부터 나사(86)를 돌려 넣음으로써 연장편(82)이 받침대(32)에 고정된다.
도 6의 (A), 도 6의 (B)에 도시된 바와 같이, 부상 반송로면(36)에서의 반송 방향(D)의 일단부에 위치하는 하우징(40A)에는, 컴프레서(30)로부터 튜브(34)를 통하여 공급된 정압의 기체를 하우징(40A)의 공동부(44)에 공급하는 제1 에어 공급 박스(88)가 설치되어 있다.
이 제1 에어 공급 박스(88)는, 하우징(40A)에서의 하측 이음매(66)의 하부 걸어맞춤 홈(64)에 끼워져 접속되는 형상이 되고, 내부에 중공부(88A)가 형성되어 있다. 제1 에어 공급 박스(88)에서 하우징(40A)의 하측 이음매(66)의 나사공(78)과 대향하는 개소에는, 제1 에어 공급 박스(88)를 상하로 관통하는 나사공(90)이 형성되어 있다. 그리고, 이들 나사공(78, 90)에 위쪽으로부터 나사(92)를 돌려 넣음으로써, 제1 에어 공급 박스(88)와 하우징(40A)이 접속 고정된다.
또한, 제1 에어 공급 박스(88)에서의 폭방향의 측부에는 튜브(34)가 접속되고, 중공부(88A)에 기체가 공급되는 기체 공급구(94)가 형성되어 있다. 또, 제1 에어 공급 박스(88)에서의 하우징(40A) 측의 측부에는, 하우징(40A)의 끼워맞춤공(58)에 끼워져 그 하우징(40A)의 공동부(44)와 연통하는 끼워맞춤관(96)이 2개 형성되어 있다. 이들 끼워맞춤관(96)의 사이에서 제1 에어 공급 박스(88)의 위쪽 중앙부에는, 끼워맞춤관(96)이 끼워맞춤공(58)에 끼워질 때에 하우징(40A)의 웅편(72)이 걸어맞춤되는 자부(98)가 오목하게 설치되어 있다.
이상의 제1 에어 공급 박스(88)와 같이, 부상 반송로면(36)에서의 반송 방향(D)의 타단부에 위치하는 하우징(40B)에는, 도 4 및 도 7에 도시된 바와 같이 컴프레서(30)로부터 튜브(34)를 통하여 공급된 정압의 기체를 하우징(40B)의 공동부(44)에 공급하는 제2 에어 공급 박스(100)가 설치되어 있다.
이 제2 에어 공급 박스(100)는, 하우징(40B)에서의 상측 이음매(70)의 상부 걸어맞춤 홈(68)에 끼워져 접속되는 형상이 되고(구체적으로 하부 걸어맞춤 홈(64)과 하측 이음매(66)를 가짐), 내부에 중공부(100A)가 형성되어 있다. 이 제2 에어 공급 박스(100)에서 하우징(40B)의 상측 이음매(70)의 나사공(76)과 대향하는 개소에 나사공(102)이 형성되어 있다. 그리고, 이들 나사공(76, 102)에 위쪽으로부터 나사(80)를 돌려 넣음으로써, 제2 에어 공급 박스(100)와 하우징(40B)이 접속 고정된다.
또한, 제2 에어 공급 박스(100)에서의 폭방향의 측부에는 튜브(34)가 접속되고, 제2 에어 공급 박스(100)의 중공부(100A)에 기체가 공급되는 기체 공급구(104)가 형성되어 있다. 또, 제2 에어 공급 박스(100)에서의 하우징(40B) 측의 측부에는, 하우징(40B)의 끼워맞춤관(60)이 끼워져 그 하우징(40B)의 공동부(44)와 연통하는 끼워맞춤공(106)이 2개 형성되어 있다. 이들 끼워맞춤공(106)의 사이에서 제2 에어 공급 박스(100)의 위쪽 중앙부로부터는, 하부 걸어맞춤 홈(64)과 교차하는 방향(반송 방향(D))으로 튀어나오고, 끼워맞춤관(60)이 끼워맞춤공(106)에 끼워질 때에 하우징(40B)의 자부(74)에 걸어맞춤되는 웅편(108)이 튀어나와 있다.
다음에, 본 발명의 제1 실시형태에 관한 부상 반송 유닛(10)의 작용을 설명한다.
2개의 컴프레서(30)로부터 정압의 기체(예를 들면, 0.1~400kPa)를 제1 에어 공급 박스(88) 및 제2 에어 공급 박스(100)의 중공부(88A, 100A)에 공급한다.
제1 에어 공급 박스(88)의 중공부(88A)에 공급된 기체는, 끼워맞춤관(96)을 통하여 하우징(40A)의 공동부(44)로 전해지고 순차적으로 접속 수단(62)(에 있는 끼워맞춤관(60))을 통하여 각종 하우징(40B~40C)의 공동부(44)로 전해진다. 마찬가지로 제2 에어 공급 박스(100)의 중공부(100A)에 공급된 기체는, 제2 에어 공급 박스(100)의 끼워맞춤공(106)을 통하여 하우징(40B)의 공동부(44)로 전해지고 순차적으로 접속 수단(62)(에 있는 끼워맞춤관(60))을 통하여 각종 하우징(40A~40C)의 공동부(44)로 전해진다. 이에 의해, 각종 하우징(40A~40C)의 공동부(44)에 기체가 고루 보급되고 각종 하우징(40A~40C)의 기체 분출공(54)에서 위쪽으로 향하여 분출한다. 즉, 부상 반송로면(36)의 대략 전면(全面)으로부터 기체가 분출하기 때문에, 유리 기판(P)에 휨을 발생시키지 않고 부상시켜 부상 반송로면(36)(천정벽(42))과 비접촉으로 반송하는 것이 가능하게 된다. 이 부상한 유리 기판(P)을 흡반(39)이 척하여 반송 방향(D)으로 반송 장치(38)가 반송한다.
이상, 본 발명의 제1 실시형태에 관한 부상 반송 유닛(10)에 따르면, 2개의 제1 에어 공급 박스(88) 및 제2 에어 공급 박스(100)에 컴프레서(30)로부터 기체를 공급하면, 접속 수단(62)을 통하여 기체가 각종 하우징(40A~40C)의 공동부(44)에 공급되기 때문에, 연속된 부상 반송로면(36)이 된 각 천정벽(42)의 기체 분출공(54)으로부터 기체가 분출하여 유리 기판(P)을 부상 반송할 수 있다. 이에 의해, 각종 하우징(40A~40C)의 수만큼 컴프레서(30)나 에어 공급 박스(88, 100)를 설치할 필요가 없어지고, 따라서 전체 구성의 복잡화를 억제할 수 있다.
또한, 각종 하우징(40A~40C)끼리의 접속시, 상측 이음매(70)가 하부 걸어맞춤 홈(64)에 걸어맞춤되고, 하측 이음매(66)가 상부 걸어맞춤 홈(68)에 걸어맞춤되므로, 각종 하우징(40A~40C)에서 반송 방향(D)의 위치를 정확하게 규제할 수 있다.
또, 각종 하우징(40A~40C)끼리의 접속시, 웅편(72)이 자부(74)와 걸어맞춤되므로, 반송 방향(D)과 교차하는 각종 하우징(40A~40C)의 폭방향의 위치도 정확하게 규제할 수 있다.
또한, 형상 또는 크기가 다른 복수종의 하우징(40A~40C)의 천정벽(42)에 의해 유리 기판(P)의 부상 반송로면(36)을 구성하므로, 공장의 레이아웃에 따라 부상 반송로면(36)의 궤도나 크기를 자유롭게 조정할 수 있다.
또, 복수종의 하우징(40A~40C)은 상면에서 보아 사다리꼴 형상이 되고, 이 사다리꼴 형상의 상측 바닥 및 하측 바닥을 연결하는 측변에서 다른 하우징(40A~40C)과 조립되는 하우징(40C)을 포함하므로, 하우징(40C)의 개수를 바꿈으로써 부상 반송로면(36)의 궤도를 보다 자유롭게 조정할 수 있다. 구체적으로 상측 바닥 및 하측 바닥을 연결하는 측변끼리의 각도가 예를 들면 22.5도인 경우, 도 3에 도시된 바와 같이 하우징(40C)을 2개 연속하여 접속하면 부상 반송로면(36)의 궤도를 45도 바꿀 수 있고, 하우징(40C)을 4개 연속하여 접속하면 부상 반송로면(36)의 궤도를 90도 바꿀 수 있다.
또한, 각종 하우징(40A~40C)의 공동부(44)를 구성하는 바닥벽은 개방되어 덮개로 폐색되어 있기 때문에, 개방된 공동부(44)를 형성하면 되므로 각종 하우징(40A~40C)의 제조가 용이하게 된다.
또, 각종 하우징(40A~40C)이 연장편(82)을 개재하여 받침대(32)에 고정되므로, 하우징끼리의 접속시에 각종 하우징(40A~40C)이 어긋나거나 하는 것을 억제할 수 있고, 이에 의해 하우징끼리의 접속이 용이하게 된다.
또한, 제1 에어 공급 박스(88)가 하측 이음매(66)에 걸어맞춤되고, 또한 제2 에어 공급 박스(100)가 상측 이음매(70)에 걸어맞춤되므로, 제1 에어 공급 박스(88) 및 제2 에어 공급 박스(100)를 연속된 부상 반송로면(36)의 양단부에 배치할 수 있다. 이에 의해, 부상 반송로면(36)의 양단부에서 중앙부에 위치하는 하우징(40B, 40C)의 공동부(44)까지 기체를 고루 보급할 수 있고, 부상 반송로면(36)의 어느 쪽의 단부나 중앙부에서 기체 분출공(54)으로부터의 기체의 분출량이 저감되는 것을 억제할 수 있다.
<제2 실시형태>
다음에, 본 발명의 제2 실시형태에 관한 부상 반송 유닛(110)에 대해 설명한다.
본 발명의 제2 실시형태에 관한 부상 반송 유닛(110)은, 도 8에 도시된 바와 같이 제1 실시형태와 대비하여 하우징(112)의 구성 및 하우징(112)끼리의 접속 방법이 다르다.
구체적으로 부상 반송 유닛(110)은 형상 및 크기가 동일한 복수의 하우징(112)을 구비하고 있고, 하우징(112)끼리가 조립되어 각 하우징(112)의 천정벽(114)에 의해 연속된 부상 반송로면(36)을 구성한다. 각 하우징(112)은 내부에 공동부(116)를 가진 직사각형 평판형상의 하우징으로서, 천정벽(114)이 기체 분출공(118)을 구비한 구멍판(119)으로 구성되어 있다.
또한, 각 하우징(112)은, 인접하는 하우징(112)의 측판(120)의 판 두께 방향으로 관통하여 형성된 접속구(122)에 각각 끼워져, 인접하는 공동부(116)를 연통시키는 접속관(124)으로 접속된다. 이 접속관(124)의 외주 중간부에는 볼록부(126)가 형성되어 있어, 하우징(112)끼리를 접속관(124)으로 접속했을 때, 각 하우징(112)이 볼록부(126)에 접촉하여 반송 방향(D)의 위치 규제가 된다. 또한, 접속관(124)과 접속구(122)의 사이에는, 간극으로부터 기체가 빠져나오지 않도록 시일 부재(128)가 설치되어 있다.
또, 부상 반송로면(36)의 양단부에 위치하는 하우징(112)의 일측판(120)에는, 외부로 기체가 빠져나오지 않도록 접속구(122)가 형성되지 않거나 덮개 등으로 폐색되어 있다. 혹은, 접속구(122)를 마개로 막아도 된다. 또한, 부상 반송로면(36)의 양단부에 위치하는 하우징(112)의 바닥벽판(112A)에는, 튜브(34)가 접속되고, 공동부(116)에 기체가 공급되는 기체 공급구(112B)가 형성되어 있다. 구멍판(119)이나 바닥벽판(112A)과 측판(120)은 접착제나 나사 등으로 고정되어 있다. 또는, 구멍판(119)과 바닥벽판(112A)을 일체적으로 인발 가공에 의해 형성해도 된다.
또한, 제1 실시형태와 마찬가지로, 접속구(122)가 설치된 측판(120)과는 다른 하우징(112)의 폭방향의 측부에는, 그 측부로부터 연장되어 나온, 도시하지 않은 연장편이 설치되어 있다. 연장편에는 상하로 관통하는 나사공이 형성되고, 이 나사공에 대향하여 하우징이 놓이는 받침대(32)(도 1 참조)에도 나사공이 형성되어 있으며, 이들 나사공에 위쪽으로부터 나사를 돌려 넣음으로써 연장편이 받침대에 고정된다.
이상, 본 발명의 제2 실시형태에 관한 부상 반송 유닛(110)에 따르면, 제1 실시형태와 마찬가지로 접속관(124)이 접속구(122)에 끼워짐으로써 하우징(112)끼리가 접속되기 때문에, 하우징(112)에서의 폭방향이나 높이 방향의 위치를 규제할 수 있다. 또, 접속관(124)의 볼록부(126)에 의해 하우징(112)에서의 반송 방향(D)의 위치를 규제할 수 있다. 또한, 접속관(124)을, 인접하는 하우징(112)의 측부(120)의 접속구(122)에 각각 끼우는 것만으로 되기 때문에, 하우징(112)의 제조가 용이하게 된다.
<변형예>
본 발명을 특정의 실시형태에 대해 상세하게 설명하였지만, 본 발명은 이러한 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 범위 내에서 다른 여러 가지의 실시형태가 가능한 것은 당업자에게 있어서 자명하며, 예를 들면 상술한 복수의 실시형태는 적절히 조합하여 실시 가능하다. 또한, 이하의 변형예를 적절히 조합해도 된다.
예를 들면, 제1 실시형태에서는, 각 부상 반송 유닛(10)은 형상 또는 크기가 서로 다른 복수종의 하우징(40A, 40B, 40C)을 구비하고 있는 경우를 설명하였지만, 제2 실시형태와 마찬가지로 형상 또는 크기가 서로 동일한 복수의 하우징을 구비하도록 해도 된다.
또한, 제2 실시형태에서는 복수의 하우징(112)은 형상 및 크기가 동일한 경우를 설명하였지만, 제1 실시형태와 마찬가지로 형상 또는 크기가 다른 하우징과 다른 하우징을 포함하고 있어도 된다. 또한, 복수의 하우징(112)은 제1 실시형태와 마찬가지로 상면에서 보아 사다리꼴 형상이 되고, 사다리꼴 형상의 상측 바닥 및 하측 바닥을 연결하는 측변에서 다른 하우징과 조립되는 하우징을 포함하고 있어도 된다.
또한, 하우징의 구성은, 제1 실시형태 및 제2 실시형태에서 설명한 구성 이외에 도 9의 (A)에 도시된 바와 같은 하우징(130)의 구성이어도 된다. 구체적으로 하우징(130)은 내부에 공동부(44)를 가지고, 그 공동부(44)와 연통하여 천정벽에 형성된 도시하지 않은 기체 분출공으로부터 기체를 분출한다. 이 하우징(130)에는, 다른 하우징(130)과 접속했을 때, 인접하는 공동부(44) 내의 기체의 유통을 가능하게 하는 연통구(132)가 설치되어 있다. 또한, 하우징(130)의 양단부의 천정벽 및 바닥벽에는 오목부(134)가 설치되어 있다. 그리고, 인접하는 하우징(130)의 오목부(134)에는 한 장의 접속판(136)이 들어가고, 접속판(136)에 형성된 한 쌍의 나사공(138)과, 이 나사공(138)과 대향하는 오목부(134)에 형성된 한 쌍의 나사공(140)에 나사(142)를 돌려 넣음으로써, 인접하는 하우징(130)끼리가 접속된다.
또, 적어도 하나의 하우징(130), 예를 들면 부상 반송로면(36)에서의 반송 방향(D)의 일단부(도 1 참조)에 위치하는 하우징(130)에는, 컴프레서(30)로부터 튜브(34)를 통하여 공급된 정압의 기체를 하우징(130)의 공동부(44)에 공급하는 도시하지 않은 에어 공급 박스가 설치되어 있다.
또한, 하우징의 구성은 도 9의 (B)에 도시된 바와 같은 하우징(150)의 구성이어도 된다. 구체적으로 하우징(150)은 내부에 공동부(44)를 가지고, 그 공동부(44)와 연통하여 천정벽에 형성된 도시하지 않은 기체 분출공으로부터 기체를 분출한다. 이 하우징(150)에는, 다른 하우징(150)과 접속했을 때, 인접하는 공동부(44) 내의 기체의 유통을 가능하게 하는 연통구(151)가 설치되어 있다. 또한, 하우징(150)은, 그 하우징(150)의 일측부의 천정벽 부분으로부터 반송 방향(D) 측으로 돌기한 돌기부(152)와, 타측부의 천정벽 부분에 형성되어, 인접하는 다른 하우징(150)의 돌기부(152)가 끼워지는 오목부(154)을 구비하고 있다. 또한, 하우징(150)의 양단부의 바닥벽에는 오목부(156)가 설치되어 있다. 그리고, 인접하는 하우징(150)의 오목부(156)에는 한 장의 접속판(158)이 들어가고, 접속판(158)에 형성된 한 쌍의 나사공(160)과, 이 나사공(160)과 대향하는 오목부(156)에 형성된 한 쌍의 나사공(162)에 나사(164)를 돌려 넣음으로써, 인접하는 하우징(150)끼리가 접속된다.
또, 적어도 하나의 하우징(150), 예를 들면 부상 반송로면(36)에서의 반송 방향(D)의 일단부(도 1 참조)에 위치하는 하우징(150)에는, 컴프레서(30)로부터 튜브(34)를 통하여 공급된 정압의 기체를 하우징(150)의 공동부(44)에 공급하는 도시하지 않은 에어 공급 박스가 설치되어 있다.
또한, 하우징의 구성은 도 10의 (A) 및 도 10의 (B)에 도시된 바와 같은 하우징(170)의 구성이어도 된다. 구체적으로 하우징(170)은 내부에 공동부(44)를 가지고, 그 공동부(44)와 연통하여 천정벽에 형성된 도시하지 않은 기체 분출공으로부터 기체를 분출한다. 또한, 하우징(170)은, 그 하우징(170)의 일측부에 설치된 원통부(172)와, 그 하우징(170)의 타측부에 설치되면서 공동부(44)와 연통하여, 인접하는 다른 하우징(170)의 원통부(172)가 끼이는 개구부(174)를 구비하고 있다. 그리고, 이들 원통부(172)와 개구부(174)의 끼워맞춤에 의해, 서로 공동부(44)가 연통하여 기체의 유통이 가능하게 되면서, 인접하는 하우징(170)끼리가 접속된다. 또한, 이 원통부(172)는 부상 반송로면(36)의 단부에 위치하는 하우징(178)의 개구부(174)에도 끼워져, 튜브(34)가 접속된 하우징(178)의 접속구(182)를 통하여 공동부(44)에 공급된 기체가 각 하우징(170)의 공동부(44)로 전해지게 되어 있다.
또한, 제1 실시형태에서는, 제1 에어 공급 박스(88) 및 제2 에어 공급 박스(100)를 연속된 부상 반송로면(36)의 양단부에 배치하는(양단부에 위치하는 하우징(40A, 40B)에 설치하는) 경우를 설명하였지만, 제1 에어 공급 박스(88) 또는 제2 에어 공급 박스(100)를 적어도 하나의 하우징에 설치하도록 해도 된다. 예를 들면, 제1 에어 공급 박스(88)만을 연속된 부상 반송로면(36)의 일단부에 배치해도 되고, 제1 에어 공급 박스(88)만을 부상 반송로면(36)의 중간부에 배치하도록 해도 된다.
또한, 접속 수단(62)은 각종 하우징(40A~40C)에서의 반송 방향(D)의 양 측부(56A, 56B)에 형성되는 경우를 설명하였지만, 각종 하우징(40A~40C)에서의 폭방향의 양측부에도 설치하도록 해도 된다. 구체적으로, 각종 하우징(40A~40C)에서의 폭방향의 일측부에 상술한 하측 이음매(66)와 웅편(72)을 설치하고, 각종 하우징(40A~40C)에서의 폭방향의 타측부에 상술한 상측 이음매(70)와 자부(74)를 설치하도록 해도 된다.
또한, 접속 수단(62)의 접속을 용이하게 하기 위해, 끼워맞춤관(60)이 고무 등의 탄성체로 구성되어 있어도 된다.
또한, 제1 실시형태에서는 부상 반송 유닛(10)이 노광 수단을 포함한 부상 반송 장치(12)에 조립된 것이지만, 노광 수단을 포함하지 않은 부상 반송 장치(12)에 조립되어도 된다.
또한, 제1 실시형태에서는 부상 반송 유닛(10)에 의해 반송되는 피반송체로서 유리 기판(P)을 예로서 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 수지판이나 금속판 등 유리 기판(P) 이외의 피반송체(워크)를 반송하는 것이어도 된다.

Claims (16)

  1. 복수 조립되어 천정벽에 의해 연속된 부상(浮上) 반송로면(搬送路面)을 구성하고, 내부에 공동부(空洞部)를 가진 하우징;
    상기 천정벽에 형성되어 상기 공동부와 연통하는 복수의 기체 분출공;
    상기 하우징의 측부에 설치되고 상기 하우징끼리를 접속하여, 인접하는 상기 공동부 내의 기체의 유통을 가능하게 하는 접속 수단;
    적어도 하나의 상기 하우징에 설치되고, 기체 공급 장치로부터 공급된 기체를 상기 공동부에 공급하는 기체 공급 수단;을 구비하는 부상 반송 유닛.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 접속 수단은,
    상기 하우징의 한쪽의 측부 아래쪽으로부터 연장되어 나옴과 동시에, 상기 하우징의 폭방향으로 연장되어 위쪽으로 개방된 하부 걸어맞춤 홈을 구비한 하측 이음매;
    상기 하우징의 다른 쪽의 측부 위쪽으로부터 연장되어 나옴과 동시에, 상기 하우징의 폭방향으로 연장되어 아래쪽으로 개방된 상부 걸어맞춤 홈을 구비한 상측 이음매;를 구비하고,
    상기 상측 이음매가 상기 하부 걸어맞춤 홈에 걸어맞춤되고, 상기 하측 이음매가 상기 상부 걸어맞춤 홈에 걸어맞춤되는 부상 반송 유닛.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 접속 수단은,
    상기 하우징의 한쪽의 측부 위쪽으로부터 상기 하부 걸어맞춤 홈과 교차하는 방향으로 튀어나오는 웅편(雄片);
    상기 하우징의 다른 쪽의 측부 위쪽에 오목하게 설치되어 상기 웅편이 걸어맞춤되는 자부(雌部);를 구비하는 부상 반송 유닛.
  4. 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 하우징은, 형상 또는 크기가 서로 다른 복수의 하우징을 포함하는 부상 반송 유닛.
  5. 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 있어서,
    복수의 상기 하우징은, 상면(上面)에서 보아 사다리꼴 형상이 되고, 상기 사다리꼴 형상의 상측 바닥 및 하측 바닥을 연결하는 측변에서 다른 하우징과 조립되는 하우징을 포함하는 부상 반송 유닛.
  6. 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 하우징이 놓이는 받침대;
    상기 접속 수단이 설치된 측부와는 다른 상기 하우징의 측부로부터 연장되어 나와 상기 받침대에 고정되는 연장편;을 구비하는 부상 반송 유닛.
  7. 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 접속 수단은, 인접하는 상기 하우징의 측부에 형성된 접속구에 각각 끼워져, 인접하는 상기 공동부를 연통시키는 접속관을 구비하는 부상 반송 유닛.
  8. 청구항 2 또는 3에 있어서,
    상기 기체 공급 수단은, 상기 하측 이음매 또는 상기 상측 이음매에 접속되는 중공 부재이고, 상기 중공 부재에는, 중공부에 기체가 공급되는 기체 공급구와, 상기 하우징의 상기 공동부와 상기 중공부를 연통시키는 연통구를 구비하고 있는 부상 반송 유닛.
  9. 청구항 5에 있어서,
    상기 기체 공급 수단은, 상기 하측 이음매 또는 상기 상측 이음매에 접속되는 중공 부재이고, 상기 중공 부재에는 중공부에 기체가 공급되는 기체 공급구와, 상기 하우징의 상기 공동부와 상기 중공부를 연통시키는 연통구를 구비하고 있는 부상 반송 유닛.
  10. 청구항 7에 있어서,
    상기 기체 공급 수단은, 상기 하측 이음매 또는 상기 상측 이음매에 접속되는 중공 부재이고, 상기 중공 부재에는 중공부에 기체가 공급되는 기체 공급구와, 상기 하우징의 상기 공동부와 상기 중공부를 연통시키는 연통구를 구비하고 있는 부상 반송 유닛.
  11. 청구항 5에 있어서,
    상기 접속 수단은, 인접하는 상기 하우징의 측부에 형성된 접속구에 각각 끼워져, 인접하는 상기 공동부를 연통시키는 접속관을 구비하는 부상 반송 유닛.
  12. 청구항 8에 있어서,
    상기 접속 수단은, 인접하는 상기 하우징의 측부에 형성된 접속구에 각각 끼워져, 인접하는 상기 공동부를 연통시키는 접속관을 구비하는 부상 반송 유닛.
  13. 청구항 7에 있어서,
    상기 하우징은, 형상 또는 크기가 서로 다른 복수의 하우징을 포함하는 부상 반송 유닛.
  14. 청구항 8에 있어서,
    상기 하우징은, 형상 또는 크기가 서로 다른 복수의 하우징을 포함하는 부상 반송 유닛.
  15. 청구항 7에 있어서,
    상기 하우징이 놓이는 받침대;
    상기 접속 수단이 설치된 측부와는 다른 상기 하우징의 측부로부터 연장되어 나와 상기 받침대에 고정되는 연장편;을 구비하는 부상 반송 유닛.
  16. 청구항 8에 있어서,
    상기 하우징이 놓이는 받침대;
    상기 접속 수단이 설치된 측부와는 다른 상기 하우징의 측부로부터 연장되어 나와 상기 받침대에 고정되는 연장편;을 구비하는 부상 반송 유닛.
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CN103824792A (zh) * 2014-02-28 2014-05-28 上海和辉光电有限公司 一种储藏柜及控制方法
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5047545B2 (ja) * 2006-06-30 2012-10-10 株式会社妙徳 浮上搬送ユニット
JP2008074538A (ja) * 2006-09-21 2008-04-03 Produce:Kk 非接触搬送装置
JP2009161283A (ja) * 2007-12-28 2009-07-23 Myotoku Ltd 浮上ユニット及び装置
JP5422925B2 (ja) * 2008-06-09 2014-02-19 株式会社Ｉｈｉ 浮上搬送装置
JP5446403B2 (ja) * 2009-04-07 2014-03-19 株式会社Ｉｈｉ 搬送方向転換装置及び浮上搬送システム
JP5581611B2 (ja) * 2009-06-02 2014-09-03 株式会社Ｉｈｉ 浮上搬送装置及び浮上ユニット
KR101187679B1 (ko) * 2010-04-15 2012-10-05 주식회사 태성기연 판유리 이송장치

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