JP2013139338A - 浮上搬送ユニット - Google Patents

Abstract

【課題】全体構成の複雑化を抑制できる。
【解決手段】浮上搬送ユニット１０は、複数組み付けられ天井壁４２で連続した浮上搬送路面３６を構成し、内部に空洞部を有した筐体４０Ａ〜４０Ｃと、天井壁４２に形成され、空洞部と連通する複数の気体噴出孔５４と、筐体４０Ａ〜４０Ｃの側部に設けられ、筐体同士を接続し、隣り合う空洞部内の気体の流通を可能とする接続手段６２と、浮上搬送路面３６の両端部に位置する筐体に設けられ、チューブ３４から供給された気体を空洞部へ供給する第１エア供給ボックス８８及び第２エア供給ボックス１００と、を備える。
【選択図】図４

Description

本発明は、浮上搬送ユニットに関する。

従来、個別にエア供給ボックスに接続された複数の浮上搬送ユニットがワークの搬送方向に並んで配置され、全体として浮上搬送ユニットが構成された技術が知られている（例えば特許文献１参照）。

特開２００８−７３１９号公報

しかしながら、上記構成だと、浮上搬送ユニット（筐体）の数だけ、エア供給ボックス、すなわち気体供給手段が設けられるため、全体構成が複雑化する。

本発明は、上記事情を考慮し、全体構成の複雑化を抑制できる浮上搬送ユニットを提供することを目的とする。

本発明の第１態様に係る浮上搬送ユニットは、複数組み付けられ天井壁で連続した浮上搬送路面を構成し、内部に空洞部を有した筐体と、前記天井壁に形成され、前記空洞部と連通する複数の気体噴出孔と、前記筐体の側部に設けられ、前記筐体同士を接続し、隣り合う前記空洞部内の気体の流通を可能とする接続手段と、少なくとも１つの前記筐体に設けられ、気体供給装置から供給された気体を前記空洞部へ供給する気体供給手段と、を備える。

この構成によれば、少なくとも１つの気体供給手段に気体供給装置から気体を供給すれば、接続手段を介して気体が各筐体の空洞部へ供給されるため、連続した浮上搬送路面とされた各天井壁の気体噴出孔から気体が噴出し、ワークを浮上搬送することができる。これにより、筐体の数だけ気体供給手段を設ける必要がなくなり、もって全体構成の複雑化を抑制できる。

本発明の第２態様に係る浮上搬送ユニットでは、第１態様において、前記接続手段は、前記筐体の一方の側部下方から延出すると共に、前記筐体の幅方向へ延び上方に開放した下係合溝を備えた下側継手と、前記筐体の他方の側部上方から延出すると共に、前記筐体の幅方向へ延び下方に開放した上係合溝を備えた上側継手と、を備え、前記上側継手が前記下係合溝に係合し、前記下側継手が前記上係合溝に係合する。
なお、上記「筐体の幅方向」とは、ワークの搬送方向（浮上搬送路面の連続方向）と交差する方向を指すものとする。

この構成によれば、筐体の他方の側部上方から延出する上側継手が筐体の幅方向へ延び上方に開放した下係合溝に係合し、筐体の一方の側部下方から延出する下側継手が筐体の幅方向へ延び下方に開放した上係合溝に係合することで筐体同士が接続される。したがって、筐体同士の接続において、ワークの搬送方向及び筐体の高さ方向の位置規制をすることができる。

本発明の第３態様に係る浮上搬送ユニットは、第２態様において、前記接続手段は、前記筐体の一方の側部上方から前記下係合溝と交差する方向へ張出す雄片と、前記筐体の他方の側部上方に凹設され前記雄片が係合する雌片と、を備える。

この構成によれば、下係合溝と交差する方向、すなわちワークの搬送方向へ張出す雄片が雌片と係合することで筐体同士が接続される。したがって、筐体同士の接続において、筐体の幅方向の位置規制をすることができる。

本発明の第４態様に係る浮上搬送ユニットでは、第１態様〜第３態様の何れか１つの態様において、複数の前記筐体は、形状又は大きさが他の筐体と異なる筐体を含む。

この構成によれば、工場のレイアウトに応じて浮上搬送路面の軌道や大きさを自由に調整できる。

本発明の第５態様に係る浮上搬送ユニットでは、第１態様〜第４態様の何れか１つの態様において、複数の前記筐体は、上面視が台形状とされ、前記台形状の上底及び下底を繋ぐ側辺において他の筐体と組み付けられる筐体を含む。

この構成によれば、上面視が台形状とされた筐体の個数を変えることで、浮上搬送路面の軌道をより自由に調整できる。

本発明の第６態様に係る浮上搬送ユニットは、第１態様〜第５態様の何れか１つの態様において、前記筐体が載置される台座と、前記接続手段が設けられた側部とは異なる前記筐体の側部から延出し、前記台座に固定される延出片と、を備える。

この構成によれば、筐体が延出片を介して台座に固定されるので、筐体同士の接続の際に筐体がずれたりすることを抑制でき、もって筐体同士の接続が容易となる。

本発明の第７態様に係る浮上搬送ユニットでは、第２態様〜第６態様の何れか１つの態様において、前記気体供給手段は、前記下側継手又は前記上側継手に係合する中空部材であり、前記中空部材には、中空部に気体が供給される気体供給口と、前記筐体の前記空洞部と前記中空部とを連通させる連通口と、を備えている。

この構成によれば、中空部材が下側継手又は上側継手に係合するので、中空部材を連続した浮上搬送路面の両端部に配置することができる。これにより、浮上搬送路面の両端部から中央部の筐体の空洞部にまで気体を行き渡らせることができ、浮上搬送路面の何れかの端部や中央部で気体噴出孔からの気体の噴出量が低減することを抑制できる。

本発明の第８態様に係る浮上搬送ユニットは、第１、４〜７態様の何れか１つの態様において、前記接続手段は、隣り合う前記筐体の側部に形成された接続口にそれぞれ嵌り、隣り合う前記空洞部を連通させる接続管である。

この構成によれば、接続管を隣り合う筐体の側部の接続口にそれぞれ嵌めるだけでよいので、筐体の製造が容易となる。

本発明は、上記構成としたので、全体構成の複雑化を抑制できる浮上搬送ユニットを提供することができる。

第１実施形態に係る浮上搬送ユニットが組付けられた浮上搬送装置を示す斜視図である。 第１実施形態に係る浮上搬送ユニットが組付けられた浮上搬送装置を示す側面図である。 第１実施形態に係る浮上搬送ユニットが組付けられた浮上搬送装置を示す平面図である。 第１実施形態に係る浮上搬送ユニットの全体斜視図である。 第１実施形態に係る浮上搬送ユニットの一部側断面図である。 第１実施形態に係る浮上搬送ユニットを構成する筐体同士の接続構造の一例を示す斜視図である。 第１実施形態に係る浮上搬送ユニットを構成する筐体同士の接続構造の他の例を示す斜視図である。 第２実施形態に係る浮上搬送ユニットの一部側断面図である。 第１実施形態に係る浮上搬送ユニットの変形例を示す図である。 第１実施形態に係る浮上搬送ユニットの他の変形例を示す図である。

以下、添付の図面を参照しながら、本発明の実施形態に係る浮上搬送ユニットについて具体的に説明する。なお、図中、同一又は対応する機能を有する部材（構成要素）には同じ符号を付して適宜説明を省略する。

＜第１実施形態＞
図１〜図３には、本実施形態に係る浮上搬送ユニット１０が組み込まれた浮上搬送装置１２が示されている。

この浮上搬送装置１２は、中間部が曲線状を描く２つのレール１４と、レール１４の端部間を繋ぐ２つの横材１６とで長枠状に構成された組付けフレーム１８を備えている。この組付けフレーム１８は、ポスト２０で枠状のベースフレーム２２の上方に支持されている。ベースフレーム２２の下部には、キャスタ２４とストッパ２６が取付けられており、浮上搬送装置１２が作業エリア内で移動設置可能となっている。

また、２つのレール１４間には支持プレート２８が架け渡されている。支持プレート２８における横材１６方向の両端部下方には、コンプレッサー３０がそれぞれ配置されている。一方、支持プレート２８の上には、複数の台座３２がレール１４に沿って固定されている。そして、各台座３２の上には、第１実施形態に係る浮上搬送ユニット１０がレール１４に沿って３列載置されている。これらの浮上搬送ユニット１０は、詳細は後述するが、コンプレッサー３０からチューブ３４を介して正圧の気体が供給され、この気体を各浮上搬送ユニット１０の浮上搬送路面３６から上方に噴出してガラス基板Ｐを浮上するものである。なお、コンプレッサー３０から供給する気体は、空気に限らず、窒素やアルゴン、ヘリウム等の不活性ガス、二酸化炭素等の気体でもよい。

さらに、２つのレール１４のうち一方のレール１４には、リニア式の搬送装置３８が搭載されている。この搬送装置３８には、バキューム式の吸盤３９を複数備えており、浮上搬送路面３６を浮上したガラス基板Ｐの下面をチャックして、矢印方向Ｄに搬送する構成である（以下、矢印方向Ｄを搬送方向Ｄと称する）。浮上搬送されたガラス基板Ｐは、各浮上搬送ユニット１０の上方で浮上状態が維持されたまま、図示しない露光手段により露光され、所定の回路パターンが形成される。

次に、第１実施形態に係る浮上搬送ユニット１０の具体的な構成を説明する。

図４に示すように、各浮上搬送ユニット１０は、形状又は大きさが互いに異なる複数種の筐体４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃを備えている。筐体４０Ａは上面視が正方形状とされ、筐体４０Ｂは上面視が長方形状とされ、筐体４０Ｃは上面視が台形状とされている。なお、本実施形態では、台形状の中でも上底と下底が円弧状とされて筐体４０Ｃの上面視が扇状とされている。

各種筐体４０Ａ〜４０Ｃは、同種又は異種の筐体同士が組み付けられ各種筐体４０Ａ〜４０Ｃの天井壁４２で連続した浮上搬送路面３６を構成する。この際、筐体４０Ｃは、台形状の上底及び下底を繋ぐ側辺において他の筐体４０Ａ〜４０Ｃの何れかと組み付けられ、浮上搬送路面３６の軌道を右曲がり又は左曲がりに変えることができるようになっている。なお、筐体同士の組み付けに特に限定はないが、図４では、搬送方向Ｄ（浮上搬送路面３６の連続方向）の一方側から、筐体４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｂ，４０Ｃ，４０Ｃ，４０Ｂ，４０Ｃ，４０Ｃ，４０Ｃ，４０Ｃ，４０Ｂの順となるように筐体同士が組み付けられている。

図５に示すように、各種筐体４０Ａ〜４０Ｃは、内部に空洞部４４を有している。この空洞部４４を構成する底壁は開放され、平板状の蓋４６で閉塞されている。具体的に、空洞部４４を構成する底壁周囲にネジ穴４８が形成され、このネジ穴４８と対向する蓋４６にもネジ穴５０が形成され、これらのネジ穴４８，５０に下方からネジ５２を捻じ込むことにより、空洞部４４を構成する底壁の開放した箇所を蓋４６が閉塞するようになっている。

この蓋４６と対向する各種筐体４０Ａ〜４０Ｃの天井壁４２には、空洞部４４と連通する複数の気体噴出孔５４が形成されている。各気体噴出孔５４は円柱形状とされ、天井壁４２全体に均等に配置されている。

各種筐体４０Ａ〜４０Ｃにおける搬送方向Ｄの一方の側部５６Ａには、空洞部４４と連通する嵌合穴５８が２つ形成されている（１つは図５において不図示）。また、各種筐体４０Ａ〜４０Ｃにおける搬送方向Ｄの他方の側部５６Ｂ（より具体的には後述する上側継手７０の側部）には、隣り合う他の筐体４０Ａ〜４０Ｃの嵌合穴５８に嵌り、空洞部４４と連通する嵌合管６０が２つ形成されている（１つは図５において不図示）。なお、気体が嵌合管６０と嵌合穴５８との嵌合箇所から漏れ出ないように、嵌合穴５８の穴壁には、嵌合管６０の外径よりも若干小径のＯリング６１が設けられている。

さらに、各種筐体４０Ａ〜４０Ｃにおける搬送方向Ｄの両側部５６Ａ，５６Ｂには、筐体同士を接続し、嵌合管６０が嵌合穴５８に嵌ることによって、隣り合う空洞部４４内の気体の流通を可能とする接続手段６２が形成されている。

具体的に、接続手段６２は、図６（Ａ）及び（Ｂ）並びに図７（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、各種筐体４０Ａ〜４０Ｃにおける一方の側部５６Ａ下方から延出すると共に、各種筐体４０Ａ〜４０Ｃの幅方向（搬送方向Ｄと直交する方向）へ延び上方に開放した下係合溝６４を備えた下側継手６６を備えている。また、接続手段６２は、各種筐体４０Ａ〜４０Ｃにおける他方の側部５６Ｂ上方から延出すると共に、各種筐体４０Ａ〜４０Ｃの幅方向へ延び下方に開放した上係合溝６８を備えた上側継手７０を備えている。
そして、例えば嵌合管６０の先端を嵌合穴５８に斜め上方から当接させ、嵌合方向へ押し込みながら下方向へも押し込み、上側継手７０が下係合溝６４に係合し、下側継手６６が上係合溝６８に係合することによって、各種筐体４０Ａ〜４０Ｃ同士が接続される。

また、接続手段６２は、各種筐体４０Ａ〜４０Ｃにおける一方の側部５６Ａの上方中央部から下係合溝６４と交差する方向（搬送方向Ｄ）へ張出す雄片７２と、各種筐体４０Ａ〜４０Ｃにおける他方の側部５６Ｂの上方中央部に凹設され雄片７２が係合する雌片７４と、を備えている。

さらに、上側継手７０における雌片７４の両側には、上側継手７０を上下に貫通したネジ穴７６が形成され、このネジ穴７６と対向する下側継手６６にもネジ穴７８が形成されており、これらネジ穴７６，７８に上方からネジ８０を捻じ込むことにより、筐体同士が固定される。

また、接続手段６２が設けられた側部５６Ａ，５６Ｂとは異なる各種筐体４０Ａ〜４０Ｃの幅方向の側部には、当該側部から延出した延出片８２が設けられている。延出片８２には、上下に貫通するネジ穴８４が形成され、このネジ穴８４に対向し、各種筐体４０Ａ〜４０Ｃが載置される台座３２にも図示しないネジ穴が形成されており、これらネジ穴に上方からネジ８６を捻じ込むことにより、延出片８２が台座３２に固定される。

図４及び図６に示すように、浮上搬送路面３６における搬送方向Ｄの一端部に位置する筐体４０Ａには、コンプレッサー３０からチューブ３４を介して供給された正圧の気体を筐体４０Ａの空洞部４４へ供給する第１エア供給ボックス８８が設けられている。

この第１エア供給ボックス８８は、筐体４０Ａにおける下側継手６６の下係合溝６４に嵌って接続される形状とされ、内部に中空部８８Ａが形成されている。第１エア供給ボックス８８において筐体４０Ａの下側継手６６のネジ穴７８と対向する箇所には、第１エア供給ボックス８８を上下に貫通するネジ穴９０が形成されている。そして、これらネジ穴７８，９０に上方からネジ９２を捻じ込むことにより、第１エア供給ボックス８８と筐体４０Ａが接続固定される。

また、第１エア供給ボックス８８における幅方向の側部には、チューブ３４が接続され、中空部８８Ａに気体が供給される気体供給口９４が形成されている。さらに、第１エア供給ボックス８８における筐体４０Ａ側の側部には、筐体４０Ａの嵌合穴５８に嵌り、当該筐体４０Ａの空洞部４４と連通する嵌合管９６が２つ形成されている。これら嵌合管９６の間で第１エア供給ボックス８８の上方中央部には、嵌合管９６が嵌合穴５８に嵌る際に筐体４０Ａの雄片７２が係合する雌片９８が凹設されている。

以上の第１エア供給ボックス８８と同様、浮上搬送路面３６における搬送方向Ｄの他端部に位置する筐体４０Ｂには、図４及び図７に示すように、コンプレッサー３０からチューブ３４を介して供給された正圧の気体を筐体４０Ｂの空洞部４４へ供給する第２エア供給ボックス１００が設けられている。

この第２エア供給ボックス１００は、筐体４０Ｂにおける上側継手７０の上係合溝６８に嵌り接続される形状とされ（具体的に下係合溝６４と下側継手６６を有する）、内部に中空部１００Ａが形成されている。この第２エア供給ボックス１００において筐体４０Ｂの上側継手７０のネジ穴７６と対向する箇所にネジ穴１０２が形成されている。そして、これらネジ穴７６，１０２に上方からネジ８０を捻じ込むことにより、第２エア供給ボックス１００と筐体４０Ｂが接続固定される。

また、第２エア供給ボックス１００における幅方向の側部には、チューブ３４が接続され、空洞部４４と同様の形状とされた第２エア供給ボックス１００の中空部１００Ａに気体が供給される気体供給口１０４が形成されている。さらに、第２エア供給ボックス１００における筐体４０Ｂ側の側部には、筐体４０Ｂの嵌合管６０が嵌り、当該筐体４０Ｂの空洞部４４と連通する嵌合穴１０６が２つ形成されている。これら嵌合穴１０６の間で第２エア供給ボックス１００の上方中央部からは、下係合溝６４と交差する方向（搬送方向Ｄ）へ張出し、嵌合管６０が嵌合穴１０６に嵌る際に筐体４０Ｂの雌片７４に係合する雄片１０８が張出している。

次に、本発明の第１実施形態に係る浮上搬送ユニット１０の作用を説明する。

２つのコンプレッサー３０から、正圧の気体（例えば０．１〜４００ｋＰａ）を第１エア供給ボックス８８及び第２エア供給ボックス１００の中空部８８Ａ，１００Ａへ供給する。

第１エア供給ボックス８８の中空部８８Ａに供給された気体は、嵌合管９６を介して筐体４０Ａの空洞部４４へ伝わり、順次、接続手段６２（にある嵌合管６０）を介して各種筐体４０Ｂ〜４０Ｃの空洞部４４に伝わって行く。同様に、第２エア供給ボックス１００の中空部１００Ａに供給された気体は、第２エア供給ボックス１００の嵌合管６０を介して筐体４０Ｂの空洞部４４へ伝わり、順次、接続手段６２（にある嵌合管６０）を介して各種筐体４０Ａ〜４０Ｃの空洞部４４に伝わって行く。これにより、各種筐体４０Ａ〜４０Ｃの空洞部４４に気体が行き渡り、各種筐体４０Ａ〜４０Ｃの気体噴出孔５４から上方に向かって噴出する。つまり、浮上搬送路面３６の略全面から気体が噴出するため、ガラス基板Ｐに反りを発生させずに浮上させて、浮上搬送路面３６（天井壁４２）と非接触で搬送することが可能となる。この浮上したガラス基板Ｐを吸盤３９がチャックして搬送方向Ｄに搬送装置３８が搬送する。

以上、本発明の第１実施形態に係る浮上搬送ユニット１０によれば、２つの第１エア供給ボックス８８及び第２エア供給ボックス１００にコンプレッサー３０から気体を供給すれば、接続手段６２を介して気体が各種筐体４０Ａ〜４０Ｃの空洞部４４へ供給されるため、連続した浮上搬送路面３６とされた各天井壁４２の気体噴出孔５４から気体が噴出し、ガラス基板Ｐを浮上搬送することができる。これにより、各種筐体４０Ａ〜４０Ｃの数だけコンプレッサー３０やエア供給ボックス８８，１００を設ける必要がなくなり、もって全体構成の複雑化を抑制できる。

また、各種筐体４０Ａ〜４０Ｃ同士の接続の際、上側継手７０が下係合溝６４に係合し、下側継手６６が上係合溝６８に係合するので、各種筐体４０Ａ〜４０Ｃにおいて搬送方向Ｄの位置規制をすることができる。
さらに、各種筐体４０Ａ〜４０Ｃ同士の接続の際、雄片７２が雌片７４と係合するので、搬送方向Ｄと交差する各種筐体４０Ａ〜４０Ｃの幅方向の位置規制をすることができる。

また、形状又は大きさが異なる複数種の筐体４０Ａ〜４０Ｃの天井壁４２で、ガラス基板Ｐの浮上搬送路面３６を構成するので、工場のレイアウトに応じて浮上搬送路面３６の軌道や大きさを自由に調整できる。
さらに、複数種の筐体４０Ａ〜４０Ｃは、上面視が台形状とされ、この台形状の上底及び下底を繋ぐ側辺において他の筐体４０Ａ〜４０Ｃと組み付けられる筐体４０Ｃを含むので、筐体４０Ｃの個数を変えることで、浮上搬送路面３６の軌道をより自由に調整できる。具体的に、上底及び下底を繋ぐ側辺同士の角度が例えば２２．５度である場合、図４に示すように、筐体４０Ｃを２個連続して接続すると、浮上搬送路面３６の軌道を４５度変えることができ、筐体４０Ｃを４個連続して接続すると、浮上搬送路面３６の軌道を９０度変えることができる。

また、各種筐体４０Ａ〜４０Ｃの空洞部４４を構成する底壁は開放され、蓋で閉塞されているため、開放した空洞部４４を形成すればよいので、各種筐体４０Ａ〜４０Ｃの製造が容易となる

さらに、各種筐体４０Ａ〜４０Ｃが延出片８２を介して台座３２に固定されるので、筐体同士の接続の際に各種筐体４０Ａ〜４０Ｃがずれたりすることを抑制でき、もって筐体同士の接続が容易となる。

また、第１エア供給ボックス８８が下側継手６６に係合し、且つ、第２エア供給ボックス１００が上側継手７０に係合するので、第１エア供給ボックス８８及び第２エア供給ボックス１００を連続した浮上搬送路面３６の両端部に配置することができる。これにより、浮上搬送路面３６の両端部から中央部に位置する筐体４０Ｂ，４０Ｃの空洞部４４にまで気体を行き渡らせることができ、浮上搬送路面３６の何れかの端部や中央部で気体噴出孔５４からの気体の噴出量が低減することを抑制できる。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係る浮上搬送ユニット１１０について説明する。

本発明の第２実施形態に係る浮上搬送ユニット１１０は、図８に示すように、第１実施形態と対比して筐体１１２の構成及び筐体１１２同士の接続方法が異なる。

具体的に、浮上搬送ユニット１１０は、形状及び大きさが同一の複数の筐体１１２を備えており、筐体１１２同士が組み付けられ各筐体１１２の天井壁１１４で連続した浮上搬送路面３６を構成する。各筐体１１２は、内部に空洞部１１６を有した矩形平板状の筐体であり、天井壁１１４が気体噴出孔１１８を備えた孔板１１９で構成されている。

また、各筐体１１２は、隣り合う筐体１１２の側板１２０の板厚方向に貫通して形成された接続口１２２にそれぞれ嵌り、隣り合う空洞部１１６を連通させる接続管１２４で接続される。この接続管１２４の外周中間部には、凸部１２６が形成されており、筐体１１２同士を接続管１２４で接続したとき、各筐体１１２が凸部１２６に当接して搬送方向Ｄの位置規制がされる。また、接続管１２４と接続口１２２との間には、隙間から気体が抜け出ないようにシール部材１２８が設けられている。
なお、浮上搬送路面３６の両端部に位置する筐体１１２の一側板１２０には、外部に気体が抜け出ないように、接続口１２２が形成されていない又は蓋等で閉塞されている。あるいは、接続口１２２を封栓にて塞いでもよい。また、浮上搬送路面３６の両端部に位置する筐体１１２の底壁板１１２Ａには、チューブ３４が接続され、空洞部１１６に気体が供給される気体供給口１１２Ｂが形成されている。なお、孔板１１９や底壁板１１２Ａと側板１２０とは、接着剤や螺子などで固定されている。または、孔板１１９と底壁板１１２Ａを一体的に引き抜き加工にて形成してもよい。

また、第１実施形態と同様に、接続口１２２が設けられた側板１２０とは異なる筐体１１２の幅方向の側部には、当該側部から延出した不図示の延出片が設けられている。延出片には、上下に貫通するネジ穴が形成され、このネジ穴に対向し、筐体が載置される台座３２（図１参照）にもネジ穴が形成されており、これらネジ穴に上方からネジを捻じ込むことにより、延出片が台座に固定される。

以上、本発明の第２実施形態に係る浮上搬送ユニット１１０によれば、第１実施形態と同様に、接続管１２４が接続口１２２に嵌ることで筐体１１２同士が接続されるため、筐体１１２における幅方向や高さ方向の位置規制をすることができる。さらに、接続管１２４の凸部１２６により筐体１１２における搬送方向Ｄの位置規制をすることができる。さらにまた、接続管１２４を隣り合う筐体１１２の側部１２０の接続口１２２にそれぞれ嵌めるだけでよいので、筐体１１２の製造が容易となる。

＜変形例＞
なお、本発明を特定の実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内にて他の種々の実施形態が可能であることは当業者にとって明らかであり、例えば上述の複数の実施形態は、適宜、組み合わせて実施可能である。また、以下の変形例を、適宜、組み合わせてもよい。

例えば、第１実施形態では、各浮上搬送ユニット１０は、形状又は大きさが互いに異なる複数種の筐体４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃを備えている場合を説明したが、第２実施形態のように、形状又は大きさが互いに同一の複数の筐体を備えるようにしてもよい。

また、第２実施形態では、複数の筐体１１２は形状及び大きさが同一の場合を説明したが、第１実施形態と同様に、形状又は大きさが他の筐体と異なる筐体を含んでいてもよい。また、複数の筐体１１２は、第１実施形態と同様に、上面視が台形状とされ、台形状の上底及び下底を繋ぐ側辺において他の筐体と組み付けられる筐体を含んでいてもよい。

また、筐体の構成は、第１実施形態及び第２実施形態で説明した構成の他、図９（Ａ）に示すような筐体１３０の構成であってもよい。具体的に、筐体１３０は、内部に空洞部４４を有し、当該空洞部４４と連通し天井壁に形成された図示しない気体噴出孔から気体を噴出する。この筐体１３０には、他の筐体１３０と接続したとき、隣り合う空洞部４４内の気体の流通を可能とする連通口１３２が設けられている。また、筐体１３０の両端部の天井壁及び底壁には窪み部１３４が設けられている。そして、隣り合う筐体１３０の窪み部１３４には一枚の接続板１３６が入り、接続板１３６に形成された一対のネジ穴１３８と、このネジ穴１３８と対向する窪み部１３４に形成された一対のネジ穴１４０にネジ１４２を捻じ込むことにより、隣り合う筐体１３０同士が接続される。
さらに、少なくとも１つの筐体１３０、例えば浮上搬送路面３６における搬送方向Ｄの一端部（図１参照）に位置する筐体１３０には、コンプレッサー３０からチューブ３４を介して供給された正圧の気体を筐体１３０の空洞部４４へ供給する図示しないエア供給ボックスが設けられている。

また、筐体の構成は、図９（Ｂ）に示すような筐体１５０の構成であってもよい。具体的に、筐体１５０は、内部に空洞部４４を有し、当該空洞部４４と連通し天井壁に形成された図示しない気体噴出孔から気体を噴出する。この筐体１５０には、他の筐体１５０と接続したとき、隣り合う空洞部４４内の気体の流通を可能とする連通口１５１が設けられている。また、筐体１５０は、当該筐体１５０の一側部の天井壁部分から搬送方向Ｄ側に突起した突起部１５２と、他側部の天井壁部分に形成され、隣り合う他の筐体１５０の突起部１５２が嵌る窪み部１５４と、を備えている。また、筐体１５０の両端部の底壁には窪み部１５６が設けられている。そして、隣り合う筐体１５０の窪み部１５６には一枚の接続板１５８が入り、接続板１５８に形成された一対のネジ穴１６０と、このネジ穴１６０と対向する窪み部１５６に形成された一対のネジ穴１６２にネジ１６４を捻じ込むことにより、隣り合う筐体１５０同士が接続される。
さらに、少なくとも１つの筐体１５０、例えば浮上搬送路面３６における搬送方向Ｄの一端部（図１参照）に位置する筐体１５０には、コンプレッサー３０からチューブ３４を介して供給された正圧の気体を筐体１５０の空洞部４４へ供給する図示しないエア供給ボックスが設けられている。

また、筐体の構成は、図１０（Ａ）及び（Ｂ）に示すような筐体１７０の構成であってもよい。具体的に、筐体１７０は、内部に空洞部４４を有し、当該空洞部４４と連通し天井壁に形成された図示しない気体噴出孔から気体を噴出する。また、筐体１７０は、当該筐体１７０の一側部に設けられた円筒部１７２と、当該筐体１７０の他側部に設けられ、且つ、空洞部４４と連通し、隣り合う他の筐体１７０の円筒部１７２が嵌る開口部１７４と、を備えている。そして、これら円筒部１７２と開口部１７４の嵌め合いにより、互いに空洞部４４が連通して気体の流通が可能となり、且つ、隣り合う筐体１７０同士が接続される。また、この円筒部１７２は、浮上搬送路面３６の端部に位置する筐体１７８の開口部１７４にも嵌り、チューブ３４が接続された筐体１７８の接続口１８２を介して空洞部４４に供給された気体が、各筐体１７０の空洞部４４に伝わるようになっている。

また、第１実施形態では、第１エア供給ボックス８８及び第２エア供給ボックス１００を連続した浮上搬送路面３６の両端部に配置する（両端部に位置する筐体４０Ａ，４０Ｂに設ける）場合を説明したが、第１エア供給ボックス８８又は第２エア供給ボックス１００を少なくとも１つの筐体に設けるようにしてもよい。例えば、第１エア供給ボックス８８のみを連続した浮上搬送路面３６の一端部に配置してもよいし、第１エア供給ボックス８８のみを浮上搬送路面３６の中間部に配置するようにしてもよい。

また、接続手段６２は、各種筐体４０Ａ〜４０Ｃにおける搬送方向Ｄの両側部５６Ａ，５６Ｂに形成される場合を説明したが、各種筐体４０Ａ〜４０Ｃにおける幅方向の両側部にも設けるようにしてもよい。具体的に、各種筐体４０Ａ〜４０Ｃにおける幅方向の一側部に上述の下側継手６６と雄片７２とを設け、各種筐体４０Ａ〜４０Ｃにおける幅方向の他側部に上述の上側継手７０と雌片７４とを設けるようにしてもよい。
また、接続手段６２の接続を容易とするために、嵌合管６０がゴム等の弾性体で構成されていてもよい。

また、第１実施形態では、浮上搬送ユニット１０が露光手段を含んだ浮上搬送装置１２に組み込まれたものであるが、露光手段を含んでいない浮上搬送装置１２に組み込まれてもよい。

また、第１実施形態では、浮上搬送ユニット１０により搬送される被搬送体としてガラス基板Ｐを例にして説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、樹脂板や金属板等、ガラス基板Ｐ以外の被搬送体（ワーク）を搬送するものであってもよい。

１０，１１０ 浮上搬送ユニット
３４ チューブ
３６ 浮上搬送路面
３９ 吸盤
４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃ，１１２，１３０，１５０，１７０，１７８ 筐体
４２，１１４ 天井壁
４４，１１６ 空洞部
５４，１１８ 気体噴出孔
５６Ａ，５６Ｂ 側部
５８ 嵌合穴
６０ 嵌合管
６２ 接続手段
６４ 下係合溝
６６ 下側継手
６８ 上係合溝
７０ 上側継手
７２ 雄片
７４ 雌片
８２ 延出片
８８，１００ 第１エア供給ボックス，第２エア供給ボックス（気体供給手段、中空部材）
８８Ａ，１００Ａ 中空部
９４ 気体供給口
９６ 嵌合管（連通口）
１０４ 気体供給口
１２０ 側板(側部）
１２２ 接続口
１２４ 接続管
１３６ 接続板（接続手段）
１５２ 突起部（接続手段）
１５４ 窪み部（接続手段）
１５８ 接続板（接続手段）
１７２ 円筒部（接続手段）
１７４ 開口部（接続手段）

Claims (8)

1. 複数組み付けられ天井壁で連続した浮上搬送路面を構成し、内部に空洞部を有した筐体と、
   前記天井壁に形成され、前記空洞部と連通する複数の気体噴出孔と、
   前記筐体の側部に設けられ、前記筐体同士を接続し、隣り合う前記空洞部内の気体の流通を可能とする接続手段と、
   少なくとも１つの前記筐体に設けられ、気体供給装置から供給された気体を前記空洞部へ供給する気体供給手段と、
   を備える浮上搬送ユニット。
2. 前記接続手段は、
   前記筐体の一方の側部下方から延出すると共に、前記筐体の幅方向へ延び上方に開放した下係合溝を備えた下側継手と、
   前記筐体の他方の側部上方から延出すると共に、前記筐体の幅方向へ延び下方に開放した上係合溝を備えた上側継手と、を備え、
   前記上側継手が前記下係合溝に係合し、前記下側継手が前記上係合溝に係合する、
   請求項１に記載の浮上搬送ユニット。
3. 前記接続手段は、
   前記筐体の一方の側部上方から前記下係合溝と交差する方向へ張出す雄片と、
   前記筐体の他方の側部上方に凹設され前記雄片が係合する雌片と、
   を備える請求項２に記載の浮上搬送ユニット。
4. 複数の前記筐体は、形状又は大きさが他の筐体と異なる筐体を含む、
   請求項１〜請求項３の何れか１項に記載の浮上搬送ユニット。
5. 複数の前記筐体は、上面視が台形状とされ、前記台形状の上底及び下底を繋ぐ側辺において他の筐体と組み付けられる筐体を含む、
   請求項１〜請求項４の何れか１項に記載の浮上搬送ユニット。
6. 前記筐体が載置される台座と、
   前記接続手段が設けられた側部とは異なる前記筐体の側部から延出し、前記台座に固定される延出片と、
   を備える請求項１〜請求項５の何れか１項に記載の浮上搬送ユニット。
7. 前記気体供給手段は、前記下側継手又は前記上側継手に接続される中空部材であり、前記中空部材には、中空部に気体が供給される気体供給口と、前記筐体の前記空洞部と前記中空部とを連通させる連通口と、を備えている、
   請求項２〜請求項６の何れか１項に記載の浮上搬送ユニット。
8. 前記接続手段は、隣り合う前記筐体の側部に形成された接続口にそれぞれ嵌り、隣り合う前記空洞部を連通させる接続管を備える、
   請求項１、４〜７の何れか１項に記載の浮上搬送ユニット。

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